【課題】ピットと呼ばれる微細な加工ひずみが加工面に生ずるのを防止でき、ワークのエッジの断面形状が砥石形状で決定されることなく、断面形状精度が砥石の精度により左右されず、断面形状違いのワークの品種ごとに砥石交換をする必要がなく、また砥石がワークの下側にも自由に入り込め、砥石幅を広く保つことができ、加工時間が短く、砥石の寿命を長くすることができるワークの加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを研削加工することを最大の特徴とし、半導体ウェーハ等のワークのオリエンテーションフラットやノッチ等の加工を施すに際して溝のない砥石面でワークのエッジの各種の断面形状を作成することができるようにする構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平板状ワークの周縁加工において、ワーク毎に固有の加工誤差を含む総ての加工誤差を低減する。
【解決手段】主軸と、主軸の軸端に着脱されるワークホルダと、工具と、ＮＣ装置５とを備える。ワークホルダは、加工するワークの形状寸法に応じた平面形状のものを装着する。ＮＣ装置は、装着されるワークホルダ毎に個別に設定される偏倚量αと偏倚角θ0を用い、主軸１の基準位相からの回転角をθとして、Δｘ＝α×ｃｏｓ（θ−θ0）で演算される補正値Δｘを演算し、当該Δｘで辺加工手段の移動位置の指令値ｘを補正する （もっと読む）

【課題】縦長のワークについて、ワーク高さを均一に加工するとともに、その一平坦面を中凸面形状に研削加工することができる片面研削技術を提供する。
【解決手段】回転する砥石車１の平坦な研削砥石面１ａと、砥石車１に対向して固定的に配置した押えガイド２の研削案内面２ａとから形成された研削部ＧＰに、ワークＷを通し送りしながらその底面Ｗｂを片面研削する。押えガイド２の研削案内面２ａは、ワークＷの研削代分ｈを研削する研削砥石面１ａの部位に対向して配置される切込み傾斜案内面５と、切込み傾斜案内面５に連続して設けられる研削砥石面１ａと平行な平坦案内面６と、平坦案内面６に連続して設けられる切込み傾斜案内面５と逆の傾斜とされた逃し傾斜案内面７とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】同一の設備で、短時間のうちに粗研削から仕上げ研削までを行って高精度な仕上げ面を得ることができるワーク研削装置、ワーク研削方法、エンジンバルブ研削装置、及びエンジンバルブ研削方法を提供する。
【解決手段】ワーク２を把持して研削砥石１９によりワーク２の被加工面４Ｃを研削するワーク研削装置３において、前記研削砥石１９が、一の砥石体の研削面２５に粗研削を行う粗研削領域２５Ｃ１と仕上げ研削を行う仕上げ研削領域２５Ｃ２とを区別して備え、粗研削領域２５Ｃ１を被加工面４Ｃに当接させて、トラバース加工により被加工面４Ｃの粗研削を実施し、仕上げ研削領域２５Ｃ２を粗研削実施後の被加工面４Ｃに当接させて、プランジ加工により被加工面４Ｃの仕上げ研削を実施する構成とした。 （もっと読む）

【課題】仕上加工用砥石車による研削体積を可能な限り少なくすることにより、仕上加工用砥石車に要するコストを低減することができる研削方法および複合研削盤を提供する。
【解決手段】複合研削盤１を用い、被加工物Ｗを支持装置２０により支持した状態で、設定された仕上取代を残すように荒加工用砥石車７３を用いて被加工物Ｗに対して荒加工を行う荒加工工程と、荒加工工程の後に、被加工物Ｗを支持装置２０により継続して支持した状態で、仕上加工用砥石車を用いて仕上取代を取り除くように仕上加工を行う仕上加工工程とを実行する。仕上取代は、複合研削盤１の熱変位量および荒加工用砥石車に起因する研削抵抗の変化量の少なくとも一方に基づいて設定される。被加工物Ｗにおいて仕上取代を残した形状は、荒加工用砥石車７３の形状に依存しない形状とされている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の板厚の仕上がり寸法バラツキをバッチ間で抑えることができる、研磨装置の提供。
【解決手段】毎回同じ目標板厚値Ａに従ってガラス基板の研磨処理を行う研磨手段として上定盤４０を備える、研磨装置であって、上定盤４０によって今回の研磨処理で研磨されているガラス基板の研磨中板厚値Ｔｃを測定するために上定盤４０のモーター駆動軸６１に対する相対位置を計測する接触式変位センサ６５と、上定盤４０によって前回以前の研磨処理で研磨されたガラス基板の仕上がり板厚値Ｔと目標板厚値Ａとの仕上がり誤差に基づいて、接触式変位センサ６５の計測結果に基づいて得られた研磨中板厚値Ｔｃの板厚補正値Ｔｐを算出する制御部９０とを備え、上定盤４０は、板厚補正値Ｔｐが目標板厚値Ａに到達するまでガラス基板を研磨する、ことを特徴とする、研磨装置。 （もっと読む）

【課題】製造効率を向上できるとともに、割れや欠け等の発生を抑えて歩留まりを向上できるウエハ外周面の研磨方法、圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】一対の研削テーブル２０５によりウエハＷを厚さ方向両面側から挟持するウエハセット工程と、砥石２０２を、長手方向がウエハＷの厚さ方向に沿うように配置して、ウエハＷの外周面Ｗ１に当接させる当接工程と、研削テーブル２０５によりウエハＷを回転させつつ、砥石２０２を長手方向に沿って往復走行させ、ウエハＷを研磨する研磨工程と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスのパターン面を疵付けることなく安定して送ることができる板ガラスの搬送装置を提供すること。
【解決手段】 板ガラス１の反パターン面を支持して板ガラス１を搬送方向に送るベルト部１１と、このベルト部１１と対向する位置で前記板ガラス１のパターン面２に向けて所定圧の水圧を作用させパターン面支持水ガイド３０とを有する送り機構４０を備え、該送り機構４０は、前記パターン面支持水ガイド３０の水圧で前記板ガラス１を前記ベルト部１１に押圧して、この板ガラス１のパターン面２に非接触の状態で、この板ガラス１を前記ベルト部１１との間で挾持するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 熱可塑性レンズの「軸ずれ」を効果的に抑えた加工を可能にする。
【解決手段】 眼鏡レンズを保持するチャック軸を回転するレンズ回転手段と、レンズを粗加工する粗加工具が取り付けられた加工具回転軸を回転する加工具回転手段と、チャック軸と加工具回転軸との距離を変動させる軸間距離変動手段と、レンズの材質の選択する選択手段と、を備え、粗加工軌跡に基づいてレンズを粗加工する眼鏡レンズ加工装置で、レンズ回転手段及び軸間距離変動手段を制御して粗加工軌跡に基づいて粗加工具によりレンズを加工する制御手段であって、熱可塑性素材のレンズが選択されたときに、複数のレンズ回転角方向でレンズを回転させずに粗加工具を粗加工軌跡まで切り込ませる第１段階の加工を行った後、残った加工領域を、レンズを回転させながら粗加工軌跡に基づいて加工する第２段階の加工を行う制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの破損を抑制可能なリチウムタンタレイト又はリチウムナイオベイトからなるウエーハの研削方法を提供することである。
【解決手段】 表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたリチウムナイオベイト又はリチウムタンタレイトからなるウエーハを研削する研削方法であって、ウエーハの表面に保護テープを貼着する貼着ステップと、該保護テープが貼着されたウエーハの表面を該保護テープを介してチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持されたウエーハの裏面に、研削砥石がウエーハの回転中心を通過し且つ該研削砥石の外周縁が該デバイス領域の外周を通過する外径を有する研削ホイールを回転させつつ当接させて、該デバイス領域に対応するウエーハの裏面を研削して円形凹部を形成するとともに、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状凸部を形成する研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の研磨後の平坦性を向上させることが可能なガラス基板の研磨方法を提供する。また、上記研磨方法をガラス基板の洗浄方法に応用する。
【解決手段】ガラス基板の研磨方法は、ガラス基板４の主表面の延在方向に沿って、ガラス基板４よりも硬い粒子を含む流体と上記主表面とを高速で相対移動させることにより上記主表面を研磨するものである。ガラス基板の洗浄方法は、ガラス基板４の主表面の延在方向に沿って、ガラス基板４よりも軟らかい粒子を含む流体と上記主表面とを高速で相対移動させることによりガラス基板４を洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトなシリコンインゴットブロックの複合面取り加工装置を提供する。
【解決手段】円柱状インゴットブロックの四側面剥ぎ加工をスライサー装置の一対の回転刃９１ａ，９１ｂで行って得られた角柱状インゴットの四隅Ｒ面および四側面を一対のカップホイール型粗研削砥石１１ｇ，１１ｇで粗研削加工して面取りし、ついで、一対の研磨ブラシ１０ｇ，１０ｇでそのブロックの四隅Ｒ面および四側面を仕上げ研磨加工する面取りを行って表面平滑度の優れた角柱状インゴットブロックを短時間で製造することができる複合面取り加工装置１の提供。 （もっと読む）

【課題】ガラス板を一貫した流れ作業で供給することができ、連続して研削することができ、而して、生産量を向上させることができるガラス板の研削装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板の研削装置１は、ガラス板２をＸ方向に直線搬送する直線搬送手段３と、直線搬送手段３により直線搬送されるガラス板２のＸ方向に伸びた両側縁４ａ及び４ｂを夫々研削する研削ヘッド５及び６を備えた第一の研削装置と、Ｘ方向において第一の研削装置に隣接していると共に、直線搬送手段３により直線搬送されるＸ方向に直交するＹ方向に伸びた前縁７及び後縁８を夫々研削する可動の研削ヘッド９及び１０を備えた第二の研削装置とを具備している。 （もっと読む）

【課題】硬質脆性材料からなる円板状ワークの外周加工装置に関し、外周角の面取面と表裏面との間の角に生ずるチッピングの発生を可及的に防止する。また、砥石が摩耗したときに、砥石と円板状ワークとの相対位置の調整によって高い精度の加工形状を維持できるようにする。
【解決手段】ワークホルダで水平に保持された円板状ワークの上面側の外周角と下面側の外周角を面取する上下の面取砥石を備えている。上下の面取砥石は、外周面でワークの上下の外周角を摺擦する円板形の砥石で、ワークの上側の外周角の一箇所と下側の外周角の一箇所に接触している。上下の面取砥石は、ワークの摺擦方向がワークの内側から外側へと向かう方向に回転駆動される。上下の砥石は、ワークの直径方向に個別に位置調整可能に装着されている。 （もっと読む）

【課題】パートラインが様々な形状からなる樹脂成形品の何れも研磨処理することができ、かつ迅速に研磨する。
【解決手段】樹脂成形品Ｗのパートライン５２のばり又は段差を研磨する、略垂直方向に回転するように配置した無端ベルト状の研磨ベルト１と、研磨ベルト１の一部を裏面から押圧して、研磨ベルト１の傾斜面の傾斜角度を可変可能に形成するために、研磨ベルト１を裏面に設けた可動自在になるベルト押圧用プーリ２１と、仕上研磨をするための、研磨ベルト１よりヤスリ目が細かく、かつその硬さも柔らかい、板状の研磨板２と、樹脂成形品Ｗを、パートライン５２が略水平方向になるように着脱自在に担持するワーク保持具３と、から成る。 （もっと読む）

【課題】積層した多数枚のガラス基板をずれないように保持して精度良く切削加工などの加工を各ガラス基板に同時に施すことのできるガラス基板加工方法を提案すること。
【解決手段】本発明のガラス基板加工方法では、加工対象の複数枚のガラス基板３を、液体を含浸させて湿潤状態の液体吸収性シート３１を挟み、厚さ方向に重ね合わせて基板積層体４を形成し、これを厚さ方向の両側からクランプ機構５によってクランプし、クランプ状態の基板積層体４に、走行状態の１本のワイヤー２を押し付けてガラス基板に対して同時に同一の切削加工を施す。湿潤状態の液体吸収性シートを挟んだ状態で多数枚のガラス基板３がクランプされるので、ガラス基板間の密着力が高く、加工時におけるガラス基板のずれを防止でき、加工精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】タイヤ側面とグラインダの相対位置のばらつきを発生させない。
【解決手段】タイヤ加工装置１０は、タイヤ側面１６Ｓを上にしてターンテーブル３４に固定され、矢印Ｒ１の方向に回転されるタイヤ１６を有している。タイヤ側面１６Ｓには、環状のカラーゴム層１８が埋設され、被覆ゴム層２０で被覆されている。被覆ゴム層２０の上方には、砥石１３を有するグラインダ１２が設置され、回転する砥石１３で被覆ゴム層２０を切削する。砥石１３の回転中心には、モータ３６に接続された駆動軸３８が設けられ、矢印Ｒ２の方向に回転される。砥石１３の両側面には、砥石１３より小径のガイドローラ１４が回転可能に取り付けられている。ガイドローラ１４は、外周面でタイヤ１６の側面１６Ｓと当接され、矢印Ｒ３の方向に回転している。回転中心にはボールベアリング軸が設けられ、駆動軸３８の外周を囲んで砥石１３を支持している。 （もっと読む）

【課題】ウエーハを極薄に研削する際、ウエーハの破損を低減可能なウエーハの加工方法を提供する。
【解決手段】表面に膜層５が形成され、且つ外周側面に面取り部８が形成されたウエーハ２の加工方法であって、切削ブレード１８をウエーハ２の表面２ａから外周縁に切り込ませつつウエーハ２を回転させることで少なくとも面取り部８上の該膜層５を円形に切削除去する切削ステップと、該切削ステップを実施した後、ウエーハ２の表面２ａに保護テープを貼着する保護テープ貼着ステップと、表面２ａに該保護テープが貼着されたウエーハ２の裏面を研削する研削ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プレス等の加工後のワーク４に発生するバリ、鋭利なエッジを取り除くバリ取り装置とそのバリ取りの方法に関し、特にワーク４の要望する小さいワーク搬送を可能とすること。
【解決手段】ワーク４を直線的に運ぶ搬送コンベア方式から、円を描くように、ワーク４の角度を変えて一周させる旋回式の搬送方法にする。 （もっと読む）

【課題】正確な深さの円形凹部を形成可能な収容具の形成方法を提供する。
【解決手段】円形凹部１５と該円形凹部１５を囲繞する環状凸部１７とを有する収容具を形成する方法であって、チャックテーブル３６で円板状部材１１を保持するステップと、円板状部材１１に該円板状部材１１の直径の略１／２の直径を有する研削砥石２４を該円板状部材１１の中心と外周の手前に当接させ、該チャックテーブル３６と該研削砥石２４とを回転させて該円板状部材１１に円形凹部１５を形成するとともに該円形凹部１５を囲繞する環状凸部１７を形成する研削ステップとを具備し、第１高さ位置検出手段４４で加工領域の高さ位置を第１高さ位置として検出するとともに、第２高さ位置検出手段４６で該環状凸部１７に対応する外周領域の高さ位置を第２高さ位置として検出し、該第２高さ位置から該第１高さ位置を減じた値が所定値に達した際に研削を終了する。 （もっと読む）