【課題】研磨具から被研磨材に作用する負荷を相殺し、装置の振動を低減して、研磨装置の大型化を容易にする。
【解決手段】ガラス板を一方向に移送する研磨テーブルと、該研磨テーブルの上方にガラス板の移送方向に沿って配置された複数の研磨具とを有し、各研磨具は該研磨具の質量中心から偏心した偏心軸を有し、該研磨具上に平行でない２本の軸をとったとき、この２本の軸が常にそれぞれ同じ方向を向くように前記ガラス板に対して一定の姿勢を維持したまま前記偏心軸の回りを回転する偏心回転運動を行い、かつ隣り合う少なくとも３つ以上の研磨具を１つのセットとして、該セットを構成する研磨具により発生する反力を互いに打ち消し合うように、該セットを構成する各研磨具の回転位相差を設定したことを特徴とするガラス板の連続研磨装置を提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状シリコンインゴットの側面剥ぎ切断装置上で、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する方法および外周刃の横揺れ幅を小さくすることができる自己補償機構の提供。
【解決手段】 加圧冷却液供給パッド一対９６ｐ，９６ｐを外周刃９１ａを挟んで外周刃の前面および後面に設け、ポンプ９６ｐより供給される加圧液体の供給管を２分岐し、分岐された供給管のそれぞれの先端を前記一対の加圧冷却液供給パッドの液体貯め空間に望ませた外周刃横揺れ自己補償機構９６。および、レーザ光反射型変位センサｓを用い、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する。 （もっと読む）

【課題】レール端面を、容易に、平坦に且つレールの長手方向に対して垂直に研削する。
【解決手段】研削機１０と、研削機１０をレール１に対して相対移動可能に取り付ける取付具３０とを備えている。研削機１０は、外周面が研削面１２を成す無端研削平ベルト１１と、研削面１２の一部の平坦性を確保するベルト支持板１７と、ガイド受け部２５と、ケーシング２０とを備えている。取付具３０は、レール１を相対移動不能に保持するレール保持部３１と、レール保持部３１が相対移動不能に保持しているレール１の長手方向に平行な方向に伸びるガイドバー４７と、を備えている。ガイド受け部２５は、無端研削平ベルト１１の平坦部１３が、レール保持部３１で保持されているレール１の長手方向に対して垂直な状態を維持しつつ、レール１の長手方向に往復移動可能に、ケーシング２０に固定されている。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおけるワイヤの使用量を抑制できるインゴットの切断方法を提供すること。
【解決手段】インゴットを切断するワイヤソーを用いて、複数のインゴットを順次に切断するインゴットの切断方法であって、前記ワイヤソーのワイヤを一方向に送りつつ１つのインゴットを切断する工程と、この切断時における、前記ワイヤが前記１つのインゴットから離れたときのワイヤの送り位置を基準として、当該ワイヤを以下の数式（１）で示される距離Ｌだけ他方向に巻き戻す工程と、この巻き戻した状態のワイヤに次のインゴットを接触させ、前記ワイヤを一方向に送りつつ前記次のインゴットを切断する工程とを実施する。
０＜Ｌ＜Ｘａ＋Ｘｂ…（１）
数式（１）中、ワイヤ径減少領域Ｒ１の長さをＸａとし、ワイヤ径増加領域Ｒ３の長さをＸｂとする。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板の裏面研削砥石の寿命を低下させない保護フィルム貼付半導体基板を得るエッジ研磨装置の提供。
【解決手段】 回転軸４ａに軸承されたカム状フレーム４ｂに、ストップピン４ｃ、半導体基板のエッジ部に前記研磨テープＴの研磨面を当接するとともに供給リール２より供給された研磨テープを表面滑走させるシリコンゴムスポンジ製当て板４ｄ、この当て板を挟んで離間して設けた一対の第一研磨テープ送りローラ４ｅと第二研磨テープ送りローラ４ｆ、前記第一エンジニアリング樹脂製研磨テープ送りローラの背面に設けられ巻取リール３側に研磨テープを返送する第三研磨テープ送りローラ４ｇを設けた研磨ヘッド４を備える半導体基板のエッジ研磨装置１。 （もっと読む）

【課題】 一つの環状フレームの開口部内に粘着シートを介して複数の被加工物を装着して研削や研磨を実施する場合にも、全ての被加工物を所定の厚みへと薄化可能な加工方法を提供することである。
【解決手段】 環状フレームＦに貼着された粘着テープＴの中心に第１ウエーハ１１を貼着し、複数の第２ウエーハ１３をその周りに貼着したウエーハユニット１５を形成する。チャックテーブル３６の回転軸から第２ウエーハ１３の最外周位置までの長さより大きい半径を有する研削ホイール２２の外周縁が第１ウエーハ１１の中心を通過するように、チャックテーブル３６と研削ホイール２２の位置関係を設定する。厚み測定器４６で第１ウエーハ１１の厚みを測定しながら第１及び第２ウエーハ１１，１３の研削を実施する。第１ウエーハ１１の厚みが所定厚みへ達した際に研削送りを停止することにより、全てのウエーハ１１，１３を所定の厚みへと研削することができる。 （もっと読む）

【課題】 表面がテーパ面に形成された対象物に移動可能に取り付けられる移動装置の芯出しを容易に行うことができる装置を提供する。
【解決手段】 表面がテーパ面に形成された円柱状又は円筒状の対象物５０に、軸線方向に移動可能に取り付けられる移動装置の芯出し装置１０であって、前記移動装置を前記対象物５０の軸線方向に移動可能に支持する複数の支持ローラ１２と、該複数の支持ローラ１２を回転可能、かつ前記対象物５０の径方向に互いに同期させて進退可能に支持する複数のローラ支持手段１１とを備える。移動装置を対象物５０に取り付け、複数の支持ローラ１２を同期させて対象物５０の径方向に進退させ、複数の支持ローラ１２の周面を対象物５０の表面に当接させることにより、移動装置の中心を対象物５０の軸線に一致させることができ、移動装置の芯出しを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】インゴット等を複数のウエハに切断するワイヤソー装置及びこれを用いたウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】ワーク５０を切断するワイヤＷを切断後のウエハの厚さに対応するように複数本並行した状態で保持する保持部を外周に設けたワイヤ保持ローラ１１，１２と、複数のワークを同時に切断するための複数のワーク切断部を前記ワイヤ保持ローラ間に形成するようにワイヤ保持ローラ間に配置された少なくとも２つの補助ローラ１５，１６と、ワイヤ保持ローラと補助ローラが取り付けられる基台とを有したワイヤソー装置であって、基台と補助ローラとの間には補助ローラ移動機構４０が備わり、補助ローラ移動機構を介してワイヤ保持ローラと補助ローラにかけられる一周分のワイヤ長さを変えることなく、ワーク切断部におけるワイヤの傾きが逐次変化するようにワイヤを揺動させる。 （もっと読む）

【課題】容易、確実且つ安全に保護管の切断作業が出来る動力工具を提供する。
【解決手段】既存の動力工具の先端を延長させて、延長部先端を略９０度に折り曲げ、折り曲げ先端部にダイヤモンドディスク１９を取り付けて既存の動力工具の駆動力によりダイヤモンドディスク１９を回転可能とし、ダイヤモンドディスク１９の外周に沿ってダイヤモンドディスク１９の外周縁の一部を被う保護カバー１５を、一定値以上の荷重を加えることにより回転可能に設けた動力切断工具Ａを設け、保護管Ｂの外側面に、長手方向に一定幅を有する開口部３２を設け、開口部３２から、動力切断工具Ａの折り曲げ先端部を挿入し、折り曲げ先端部のダイヤモンドディスク１９によって、保護管Ｂの内側から、保護カバー１５を常にケーブル３３側にして保護管Ｂの輪切り作業を前記開口部３２の端縁から行うこととした。 （もっと読む）

【課題】回転スピンドルがY軸方向に対して平行に、Z軸方向と直交する方向に、配設されているかを確認するための回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、切削ブレードを備えた切削手段と、切削送り手段と、割り出し送り手段と、切り込み送り手段とを具備し、切削手段はスピンドルハウジング６１に回転自在に支持された回転スピンドル６２と、切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、ブレードマウントを雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された回転スピンドル６２の取り付け状態確認治具であって、回転スピンドル６２に設けられた雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材１１０と、回動部材１１０に装着されたマイクロメーター１２０とからなり、マイクロメーター１２０の検出端子１２１が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている。 （もっと読む）

【課題】パートラインが様々な形状からなる樹脂成形品の何れも研磨処理することができ、かつ迅速に研磨する。
【解決手段】樹脂成形品Ｗのパートライン５２のばり又は段差を研磨する、略垂直方向に回転するように配置した無端ベルト状の研磨ベルト１と、研磨ベルト１の一部を裏面から押圧して、研磨ベルト１の傾斜面の傾斜角度を可変可能に形成するために、研磨ベルト１を裏面に設けた可動自在になるベルト押圧用プーリ２１と、仕上研磨をするための、研磨ベルト１よりヤスリ目が細かく、かつその硬さも柔らかい、板状の研磨板２と、樹脂成形品Ｗを、パートライン５２が略水平方向になるように着脱自在に担持するワーク保持具３と、から成る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プレス等の加工後のワーク４に発生するバリ、鋭利なエッジを取り除くバリ取り装置とそのバリ取りの方法に関し、特にワーク４の要望する小さいワーク搬送を可能とすること。
【解決手段】ワーク４を直線的に運ぶ搬送コンベア方式から、円を描くように、ワーク４の角度を変えて一周させる旋回式の搬送方法にする。 （もっと読む）

【課題】金属リングの研削加工に際し、研削ブラシの偏磨耗が発生するのを防止する。
【解決手段】ワーク保持部１００により金属リングＷを保持して円周方向に沿って回転させ、加工ヘッド２００により研削ブラシ２１１を、金属リングを横切るような周回軌道に沿って移動させることにより金属リングの端縁の研削加工を行うに際し、研削加工が行われていないときに、次の研削加工に先立って、ブラシ回転手段２１０ａ、２１０ｂ、２７０、２８０により、研削ブラシを長さ方向の軸の周りに所定角度だけ回転させるようにする。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面を研磨することによるスループットの低減や基板の劣化を防止し、また、研磨部材の交換に要する労力や時間やコストを低減すること。
【解決手段】本発明では、基板（５）の裏面を研磨する基板裏面研磨装置（９）、基板裏面研磨装置（９）を有する基板裏面研磨システム（１）、基板裏面研磨装置（９）で用いる基板裏面研磨方法や基板裏面研磨プログラムにおいて、基板（５）の前工程での処理に関する情報に応じて基板（５）の裏面を基板研磨手段（１６、１７）で研磨することにした。また、基板（５）の前工程での処理に関する情報に基づいて決定した研磨範囲を基板研磨手段（１６、１７）で研磨することにした。さらに、基板（５）の前工程での処理に関する情報に基づいて決定したいずれか又は全ての基板研磨手段（１６、１７）を用いて研磨することにした。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削効率を向上させる。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２２０に研削ブラシ４１０を取り付けるための一端が開放した円筒状の内壁を有する取付け部２１４を設け、研削ブラシの結束部材４１２は、取付け部への嵌合に適した径を有する円柱状の嵌合部４１２ｂを結束部材の結束部４１２ａの端面上において結束部と同軸上に有するものとし、加工ヘッドへの研削ブラシの取付けは、その結束部材の嵌合部を加工ヘッドの取付け部に嵌合させて行うようにし、結束部材の結束部の内径を結束部材の嵌合部の外径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】金属リング研削装置において、研削ブラシの偏磨耗を防止する。
【解決手段】金属リング研削装置において、加工ヘッド２００により各研削ブラシ２１１を回転自在に保持し、各研削ブラシに、アイドルギア２１３ａと固定ギア２１３ｂとを設け、各研削ブラシを、これらのギアの配置順が異なる第１及び第２の研削ブラシの２種類とし、第１及び第２の研削ブラシを交互に配置し、各第１研削ブラシのアイドルギアが、隣接する第２研削ブラシの固定ギアと噛み合い、各第１研削ブラシの固定ギアが、隣接する第２研削ブラシのアイドルギアと噛み合うようにする。 （もっと読む）

【課題】研磨体の研磨面が消耗しても、研磨面が設定したワーク研磨位置に移動するように制御されて安定した研磨作業が行われる研磨装置を提供すること。
【解決手段】昇降機構４を介して研磨体２を支持部１に対し上昇移動若しくは下降移動した際にこの研磨体２下端の研磨面３が予め設定した基準位置Ｐ１に位置したことを検出する基準位置検出手段５と、基準位置検出手段５が前記基準位置Ｐ１に位置した研磨体２の研磨面３を検出した際に、この基準位置Ｐ１から研磨体２を予め設定した移動量Ｌだけ上昇移動若しくは下降移動させてこの研磨体２の研磨面３がワーク研磨位置Ｐ２に位置するように昇降機構４を駆動制御する制御部を備えた研磨装置。 （もっと読む）

【課題】希土類磁石のマルチ切断において、切断砥石ブレードの有効径が小さく、かつ薄い回転切断砥石ブレードを用いて、高さのある希土類磁石ブロックを高精度に切断する。
【解決手段】薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板の外周縁部に砥石外周刃を備える切断砥石ブレードを回転軸にその軸方向に沿って所定の間隔で複数配列し、上記複数の切断砥石ブレードを回転させて希土類磁石１０３を切削してマルチ切断加工する際、希土類磁石１０３上面側から下方に向けて切削操作を開始し、希土類磁石１０３を分断することなく一旦切削操作を停止し、希土類磁石１０３の天地を反転させ、該反転前後で形成される切削溝の位置が上下で一致するように希土類磁石１０３を配置して、反転後の希土類磁石１０３上面側から下方に向けて切削操作を再開し、反転前後で形成される切削溝を連通させて切断する。 （もっと読む）

【課題】すくい面の加工自由度が高く、すくい角が任意に設定可能であり、すくい面の研削時における、隣接する刃と研削工具との干渉を防止しうる総形カッターの製造方法および総形カッターの研削工具を提供する。
【解決手段】総形カッター１は、ねじれ刃６とねじれ溝８とが交互に形成された切刃部２を先端側に有し、回転軸Ｏを中心として切刃部２が回転することで切削を行うようになっている。この総形カッター１の製造は、回転軸Ｏに沿って、直径の異なる山部６Ａと谷部６Ｂとを切刃部材１２に形成する工程と、切刃部材１２にねじれ溝８を形成する工程と、研削工具１８を軸心周りに回転させながら、ねじれ溝８の深さ方向に沿ってねじれ溝８の側壁に線接触させて、ねじれ溝８の側壁にすくい面４を形成する工程とにより行う。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ繰り出し位置とスライダの位置とのずれの発生を抑制する。
【解決手段】トラバース装置は、リール９Ａから繰り出されるワイヤＷが掛け渡されるガイドプーリ５０を備えたスライダ４０と、このスライダを駆動するトラバースモータ４６等を備える。トラバース装置は、さらにワイヤＷに接触可能に配置される一対のタッチローラ５６ａ，５６ｂと、これらに対するワイヤＷの接触荷重を検出するロードセル６０ａ，６０ｂと、これらの検出荷重に基づきトラバースモータ４６を制御する制御装置６２等を備える。制御装置６２は、ロードセル６０ａ，６０ｂのうち何れかにより接触荷重が検出されると、当該荷重が生じた側のタッチローラとワイヤＷとが非接触状態となるように、検出された接触荷重に基づいてトラバースモータ４６を制御することによりスライダ４０の位置をワイヤ繰り出し位置Ｐに対して相対的にシフトさせるシフト動作を実行する。 （もっと読む）