【課題】容易にマウントフランジの端面修正を行うことのできるフランジの端面修正方法を提供する。
【解決手段】フェイシングデュアルダイサーにおけるフランジの端面修正方法であって、第２スピンドル側６２から延出して第１フランジ６４の端面に対面するように研削部材９８を配設するステップと、研削部材９８が第１フランジ５６の端面に接近する方向へ第２切削手段８と第１切削手段６とを相対移動させて第１フランジ５６の端面６６を修正するステップと、第２ハウジング６０側から研削部材９８を取り外すとともに、第１ハウジング５４側から延出して第２フランジ７２の端面７４に対面するように研削部材９８を配設するステップと、第２スピンドル６２を回転させつつ、研削部材９８が第２フランジ７２の端面７４に接近する方向へ切削手段６，８とを相対移動させて第２フランジ７２の端面７４を修正するステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 板状物の外周に欠けを生じさせることなく、被研磨面の平坦度を悪化させることのない研磨方法を提供することである。
【解決手段】 板状物の裏面を板状物の直径より大きな半径の研磨面を有する研磨パッドで研磨する板状物の研磨方法であって、板状物を保持する保持面を有するチャックテーブルで板状物の表面側を保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持された板状物の裏面全面を該研磨パッドの研磨面で覆った状態で、該研磨パッドが装着されたスピンドルを回転させて板状物を研磨する研磨ステップとを具備し、該研磨ステップでは、該研磨パッドの回転中心から外側に向かって該研磨面と該保持面とが離反する方向に相対的に傾斜するように該スピンドルの回転軸と該チャックテーブルの回転軸とを相対的に傾斜させて研磨を実施することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ビード周辺の母材表面の削り過ぎを防止でき、且つ削り幅を狭くできる研削方法を提供することを課題とする。
【解決手段】研削方法は、研削装置準備工程と第１研削工程と第２研削工程とからなる。
【効果】第２研削工程で、第１研削工程でビード１６の一部を研削して得た平坦面３９に、逆Ｖ字を呈する研削ベルト２９を当てると、研削ベルト２９の接触部が水平になり、研削ベルト２９の非接触部が湾曲した母材から離れやすくなるため、ビード１６周辺の母材３７表面の削り過ぎを防止できる。また、第２研削工程で、研削ベルト２９は平坦面３９のみを研削するから、削り幅Ｗ２を狭くすることができる。したがって、ビード１６周辺の母材３７表面の削り過ぎを防止でき、且つ削り幅Ｗ２を狭くできる研削方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】複数のガイドローラ間に軸線方向への心ズレが存在する場合でも、走行されるワイヤに捩れが生じることを抑制することができて、ワイヤの断線率を低減することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】加工用ローラ２３Ａ，２３Ｂとボビン２２Ａ，２２Ｂとの間に、ワイヤ２１の走行を案内する複数のガイドローラ２４Ａ〜２９Ａ，２４Ｂ〜２９Ｂを設ける。ワイヤ２１の走行経路に沿って配列された複数のガイドローラ２７Ｂ〜２９Ｂ，２７Ａ〜２９Ａのうちで、１つのガイドローラ２８Ａ，２８Ｂを挟んでその両側に位置する２つのガイドローラ２７Ａ，２９Ａ，２７Ｂ，２９Ｂのガイド溝を、ワイヤ２１が溝幅方向に移動することを拘束する第１形状に形成する。残りの１つのガイドローラ２８Ａ，２８Ｂのガイド溝を、ワイヤ２１が溝幅方向に移動することを許容する第２形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】ドリルと砥石との相対位置検出時にドリルと砥石との衝突による損傷を防止する。
【解決手段】既定方向に移動自在に設けられかつ被加工材となるドリルＷが把持されるチャックを有する主軸１と、既定方向に移動自在に設けられて主軸に把持されたドリルの先端にホーニングを形成するための加工を施す砥石４と、これら主軸と砥石とを既定方向に移動させるための駆動機構と、を具備する。主軸と一体に設けられてチャック内にあるドリル取り付け軸線と平行な位置関係に配置された計測用プローブ３と、主軸の移動範囲内に配置されてチャックに把持されたドリル及び計測用プローブを撮影する撮影カメラ２０，２１と、撮影カメラからのドリル及び計測用プローブの撮像情報並びに駆動機構からの駆動情報を取得し、それらの情報を基に、砥石によるドリルの先端にホーニングを形成する情報を駆動機構に発する制御手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で加工精度を高め、真円度および面粗度を向上させて油密性を確保するとともに、装置の簡素化により、生産コストを抑制できるメタルシール部の加工方法および加工装置を実現する。
【解決手段】ボデーＢ１に設けたテーパ面状のボデーシートＢ２に、ニードルＮの先端に形成したテーパ面状のシート面Ｎ３を着座させるメタルシール部の加工を、ボデーＢ１の中心軸に対してニードルＮの中心軸を傾斜させ、ボデーシートＢ２中心に対してシート面Ｎ３中心を偏芯配置して行なう。シート面Ｎ３とボデーシートＢ２の間に遊離砥粒を介在させた状態で、ニードルＮに自転運動と、ボデーＢ１の中心軸周りに偏芯回転させるすりこぎ運動を与えることにより、シート面Ｎ３とボデーシートＢ２を同時に仕上加工する。 （もっと読む）

【課題】支持基板に貼り合わせたウエハの歩留まりを上げることができる半導体装置の製造方法および製造装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の半導体装置の製造方法は、第１工程、第２工程および第３工程を含む。第１工程は、半導体素子が形成されたウエハの表面を支持基板に貼り合わせる。第２工程は、ウエハの裏面を研削して、ウエハを所定の厚さにする。第３工程は、ウエハの周縁部を支持基板の一部に達するまで研磨して、周縁部を除去する。 （もっと読む）

【課題】ワーク支持部に対するワークの装着のたびに、ワイヤに対するワークの姿勢を調節する必要がなく、作業性を良くして加工能率を向上させることができる測定用治具及びワイヤソーを提供する。
【解決手段】ワイヤソーには、上下方向に延びる軸線を中心に位置調節可能なワーク支持部２７と、位置決め機能を有する複数のクランプ金具３０を介してワーク支持部２７に着脱可能に装着されるワーク用治具とを備える。ワーク用治具に代えて、ワーク支持部２７にクランプ金具３０を介して着脱可能に装着される測定用治具４２を設ける。測定用治具４２には、ワイヤソーのメインローラ間のワイヤ２５の位置を検出するためのカメラ４４を設ける。カメラ４４によるワイヤ２５の位置検出に基づいてワーク支持部２７の位置を調節して、クランプ金具３０をワイヤ２５に対して所定位置に位置設定する。 （もっと読む）

【課題】研ぎ材を回転させるようにすることによってその片減りを防止できて耐久性を高くすることができ、刃物の往復によって研ぎが行え、使用できる刃物に限定がなくて、しかも水洗いが簡単に行えるＢを、簡単な構造のものとして提供すること。
【解決手段】台座１１と、この台座１１に一端部１２ａが固定されて、他端部１２ｂが互いに交差状態で弾発的に傾動する２本の支持杆１２・１２と、これらの支持杆１２の各他端部１２ｂ上のそれぞれに回転可能に嵌挿されて、表面に研ぎ材１４を固着した研ぎ管１３とを備えて、これらの研ぎ管１３・１３の交差部分に刃物３０の刃部３１を通すことにより、刃部３１の研材１４による研ぎを行えるようにしたこと。 （もっと読む）

【課題】内輪及び外輪に対する超仕上加工を１台の設備で自動的に行えるようにし、内輪に対する超仕上加工のためのセットと、外輪に対する超仕上加工のためのセットとの切り換えを全自動で行うことを可能にする。
【解決手段】軌道輪２,４を回転可能に保持する軌道輪保持機構６と、軌道輪の軌道面２ｓ,４ｓに超仕上加工を施す軌道面加工機構とを有し、軌道輪保持機構は、加工対象となる軌道輪の種類に応じて、軌道輪搭載用構造体を回転軸Ａｘに対して接離させる構造体移動手段を備え、軌道面加工機構は、内輪及び外輪軌道面用砥石８ａ,８ｂの双方を支持する軌道面用砥石ホルダと、軌道面用砥石ホルダを移動、旋回させるホルダ移動旋回手段とを備え、加工対象が内輪の場合、内輪軌道面に内輪軌道面用砥石を押し付け、加工対象が外輪の場合、外輪軌道面に外輪軌道面用砥石を押し付けて、オシレーションさせながらトラバースする。 （もっと読む）

【課題】つば付き内輪の複数のつば部（面）に対する超仕上加工を、単一（１台）の設備で同時期に一括して自動的に行うことを可能にする超仕上加工ユニットを提供する。
【解決手段】つば付き内輪２の複数のつば部（面）２ｔに対する超仕上加工を、単一の設備で同時期に一括して自動的に行うことを可能にする超仕上加工ユニットＵ２であって、つば部用砥石６０ａを支持するつば部加工ヘッド６０と、つば部加工ヘッドを反転可能に支持し、かつ、その反転軸Ｒ回りにつば部用砥石を所望の角度で反転させる反転機構６２と、反転機構を支持し、かつ、反転機構と共につば部加工ヘッドを所望の方向θに旋回させると共に、微少往復運動（オシレーション）Ｏｓさせる作動装置６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】実施形態によれば、研磨パッド外縁部でのスラリー廃液の滞留を防ぐ研磨パッド、研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、研磨パッドは、研磨時に研磨対象物が接触する領域を含む研磨面と、前記研磨面よりも外周側の外縁部の上面である非研磨面とを備えている。前記非研磨面の純水接触角は、前記研磨面の純水接触角よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】ブレードの位置検出を精度良く行いブレードの摩耗状態を正しく把握するとともに、装置の小型化を図る。
【解決手段】ワークに対して相対的にＹ方向にインデックス送りとＺ方向に切り込み送りとがされる回転ブレードと、前記ワークを載置して前記回転ブレードに対し相対的にＸ方向の切削送りがされるワーク加工テーブルを有し、前記回転ブレードにより前記ワークの切削加工を行うダイシング装置において、前記ワーク加工テーブルに関して前記回転ブレードとは反対側で、前記ワーク加工テーブルが駆動しても干渉しない位置にその検出部が位置するように、前記回転ブレードを保持するスピンドルと同じ支持部材に取り付けられた、前記回転ブレードの先端位置を検出するブレード位置検出器を備えたことを特徴とするダイシング装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】研磨作業を管理して、被研磨体の表層の硬さが所定硬さ以下になるように行えるフラップホイール研磨方法およびフラップホイール研磨装置を提供する。
【解決手段】回転軸５の周囲に短冊状の多数のフラップ１１を放射状に取り付けて円筒状とされたフラップホイール９を回転させ、フラップホイール９の周面を当てて被研磨体を研磨するフラップホイール研磨方法であって、フラップホイール９の剛性およびフラップホイール９の被研磨体への押付力と研磨された被研磨体の表層の硬さとの関係を予め求め、求められた結果に基づいて、被研磨体の表層の硬さが所定硬さ以下になるようにフラップホイール９の剛性および押付力を管理して研磨する。 （もっと読む）

【課題】切削予定ライン同士が平行でない被加工物を、二つの加工手段を使用して加工する方法を提供する。
【解決手段】互いに平行ではない複数の加工予定ラインを有する加工方法であって、被加工物を保持する保持ステップと、保持テーブルを回転させて複数の加工予定ラインのうちの第１の加工予定ラインをＸ軸方向と平行に位置づける位置付けステップ（Ｓ１７）と、第１加工手段を第１の加工予定ラインに割り出し送りし、被加工物を一端から他端に向かって往路加工する往路加工ステップ（Ｓ１８）と、保持テーブルを僅かに回転させて第２の加工予定ラインをＸ軸方向と平行に位置付ける角度微調整ステップ（Ｓ１９）と、第２加工手段を第２の加工予定ラインに割り出し送りし、更に被加工物を第１の加工送り方向と反対の第２の加工送り方向に加工送りしながら、第２加工手段で被加工物を復路加工する復路加工ステップ（Ｓ２０）と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】この発明は、基準面から突出し、切断位置の断面において角部を有する多角断面突出部材を、効率よく基準面直近で切断するワイヤーソー切断工法を提供することを目的とする。
【解決手段】天井面３１０から突出する中間杭３００を、無端状のワイヤー１１を回転させて切断するワイヤーソー切断工法であって、中間杭３００を、ワイヤー１１で切断する切断位置の断面において角部を有するＨ型鋼で構成するとともに、切断位置を、中間杭３００における天井面３１０の直近位置とし、切断開始時において、中間杭３００のフランジ３００ａの角部のワイヤー１１への角当たりを防止する補助プーリ１１０を有する補助プーリ機構１００を、該基準面直近基端位置にセットするワイヤー１１に対応して中間杭３００に装備した。 （もっと読む）

【課題】加工コストを抑制して、安定した加工精度を得る。
【解決手段】孔の開口部に形成された末広がり面を仕上げ加工するための仕上げ加工装置であって、孔の壁面を仕上げ加工するための研磨部１と、該研磨部１を孔の軸線に沿った回転軸線Ｐを中心として回転させながら該回転軸線Ｐに沿って移動させる駆動部３とを備える。研磨部１は、回転軸線Ｐに対する拡がり角度の大きい状態と拡がり角度の小さい状態との間で姿勢変化可能に設けられている。孔への進入量が小さいときには、末広がり面における手前側の部分に研磨部１が当接するように、研磨部１は拡がり角度の大きい状態となる。孔への進入量が大きいときには、末広がり面における奥側の部分に研磨部１が当接するように、研磨部１は拡がり角度の小さい状態となる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ面内での厚さバラつきを抑えることが可能な一方向走行式ワイヤソーを提供する。
【解決手段】上流側のグルーブローラに形成された各ワイヤ溝のピッチの方を、下流側のグルーブローラの各ワイヤ溝のうち、ワイヤの走行方向に隣接したワイヤ溝のピッチより大きくした。そのため、切断溝の上流側で、スラリーがワイヤに多量に付着して引き込まれることにより取り代の大きい研削を行っても、切断溝の上流側のウェーハ厚さを、その出側のウェーハ厚さと同程度にすることができる。これにより、ウェーハ面内での厚さバラつきを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いずに複数のブロック状ワークを複数段積み重ねて切断する場合に、切断精度の低下を抑制すること。
【解決手段】このワーク切断方法は、切断対象となる複数のブロック状ワークをワイヤで切断するにあたって、複数のブロック状ワークを複数段積み重ねる準備工程と（ステップＳ１１）、ワイヤで複数のブロック状ワークを切断する切断工程と（ステップＳ１３）、を含む。切断工程においては、第１のブロック状ワークの段を切断中に、第１のブロック状ワークの段に隣接して積み重ねられた第２のブロック状ワークの段の切断が開始されるように前記ワイヤの撓みが制御される。 （もっと読む）

【課題】 ホイールに装着されて主軸と共に回転するタイヤの外周面を研磨することが出来るタイヤ研磨装置の提供。
【解決手段】 本体フレーム１のＸ方向に沿って移動することが出来るツール移動台１５を設け、このツール移動台１５にはＹ方向へ移動することが出来るグラインダー移動台１６を取付けると共にＹ方向への移動手段としてエアシリンダー２０を備え、そして、該グラインダー移動台１６の上にはグラインダーベース１７を揺動可能に取付け、グラインダーベース上にはベルトグラインダー３を装着し、上記グラインダーベース１７は研磨ベルト１１の中心がタイヤ外周面１３の中心と一致する定位置に対して揺動する場合には付勢されるバネ力にて該定位置に戻されるように機能する。 （もっと読む）