【課題】混合流体に含まれる複数の流体同士の相互作用が生じた後、その混合流体から所望の流体又は生成物を分離する分離作業を簡略化する。
【解決手段】流路構造体では、流通路２は、互いに混合された第１流体と第２流体からなる混合流体が流れる第１混合流体流路２８と、第１混合流体流路２８の下流側に繋がり、第１混合流体流路２８から流入した混合流体が比重の小さい軽質流体とその軽質流体よりも比重の大きい重質流体とに比重差によって分離するような断面形状を有する分離空間３０と、分離空間３０のうち重質流体が溜まる部分に繋がり、分離空間３０から重質流体が流入する重質流路３２と、分離空間３０のうち軽質流体が溜まる部分に繋がり、分離空間３０から軽質流体が流入する軽質流路３４とを有する。 （もっと読む）

【課題】テーパー形状と垂直形状が連通した形状を効率的に形成できる微細構造の形成方法及び流体噴射ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１に垂直な側壁部を有する第１開口部７と、第１開口部７と連通するテーパー状の側壁部を有する第２開口部１０と、を備えた微細構造の形成方法であって、基板１上に階段状の構造を有する貫通孔５を備えたマスク２を形成する第１工程と、マスク２を介してドライエッチング工程と、保護膜８を形成するパッシベーション工程とを交互に連続して繰り返すことにより第１開口部７と第２開口部１０とを形成する第２工程と、を備え、第２工程では、ドライエッチングにおけるエッチング量をパッシベーションにおいて形成される保護膜８の量よりも多くし、第２開口部１０の側壁部となる基板１の一部をエッチングしつつ第１開口部７の底面をエッチングすることで、第２開口部１０の側壁部をテーパー状に形成する。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を流路に供給する際の圧力損失を低減しつつ、複数の流体の混合効率などを維持、向上することが可能なマイクロミキサーおよびそれを備えたマイクロリアクターを提供すること。
【解決手段】本体部２に形成される軸方向に長い丸穴３に軸体４を挿着し、丸穴３の内周面５と軸体４の外表面６との隙間に複数種の流体を軸方向に流しながら混合させる流路を形成してなるマイクロミキサーであって、軸方向に沿って互いに平行に延びる複数の主流路７ａ、７ｂと、軸方向に対して斜め方向に延び、前記主流路間を連通させる複数の副流路８ａ〜８ｇとを設け、主流路７ａ、７ｂを流れる流体に前記副流路８ａ〜８ｇを通じて他の主流路７ｂ、７ａの流体を分岐／合流させることを繰り返して前記複数種の流体を混合することを特徴とするマイクロミキサー。 （もっと読む）

【課題】例えば、フィッシャートロプシュ反応を実行するに当って、温度の精密な制御が可能な単一の装置又はアセンブリ内に統合された複数のマイクロチャネルユニットを提供する。
【解決手段】対向するシムシートの間に、矩形断面の触媒を収容することが可能な一連のマイクロチャネルを形成する波形インサート１５４と波形インサートと熱的に連通した第２の組のマイクロチャネル１５８とを含み、これを構成単位として複数積層して一つのハウジング内に格納する。 （もっと読む）

【課題】応力が過度に集中する鋭角な部分や直角な部分が形成されていない断面形状を有するマイクロ流路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ流路基板１０は、内部にマイクロ流路１１が設けられたマイクロ流路本体１５を備え、マイクロ流路１１の天井部とマイクロ流路１１の内側壁が交わる第１の角部１６、およびマイクロ流路１１の底部と内側壁が交わる第２の角部１７が曲面をなしていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧力センサなどのデバイスの製造工程中に空洞内の上下のシリコン面の固着がない半導体基板およびその製造方法を提供する。また、精度良い小型のダイアグラムを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】ＳＯＮ構造１０１のダイアフラム１００を有するシリコン基板１およびその製造方法において、ＳＯＮ構造１０１を構成する空洞２内の下側のシリコン面３に凸状の島４を形成する。半導体基板の表面に深さの異なるホール群を形成し、高温アニール処理することにより一つの大きな空洞を形成する。 （もっと読む）

【課題】製造における可動部の形状ばらつきを従来よりも小さくして、可動部の回動時の慣性モーメントを低減することができるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射性を有する光反射部２１１と、光反射部２１１を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部２１と、可動部２１に連結し、かつ前記可動部２１の回動に伴って捩り変形する連結部２３、２４と、連結部２３、２４を支持する支持部２２と、を有し、可動部２１は、可動部２１の板厚方向からの平面視にて四角形の四隅の部分をそれぞれ矩形に欠いた形状（十字状）をなし、連結部２３、２４の回動中心軸に垂直な断面は、可動部２１の第１の面から前記第１の面に対向する第２の面側に向けて幅が漸増する形状をなす。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定性及びハンドリング性を向上させたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠状の固定部４と、固定部４の内側に形成されるトーションバー５ａ，５ａ、５ｂ，５ｂと、各トーションバーを介して固定部４に回動可能に軸支され駆動手段により駆動される可動部６ａ，６ｂとを第１半導体基板７で一体形成して備えたアクチュエータ部２と、第２半導体基板１０で形成され固定部４介してアクチュエータ部２を支持する支持部３とを有し、第１半導体基板７として、少なくとも各トーションバーに対応する部位に各トーションバーに応じた厚さが残るように予め溝部９ａ，９ｂが形成されたキャビティー基板を用いて形成したプレーナ型アクチュエータ１において、第２半導体基板１０で形成された支持部３を、固定部４と異なる形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】光照射による溶着によって基板同士を貼り合わせるマイクロチップの製造方法において、流体回路の変形を防止または低減しつつ、基板間の接着性に優れたマイクロチップを生産性良く製造できる方法、および、流体回路の変形が防止または低減されており、基板間の接着性に優れたマイクロチップを提供する。
【解決手段】一方の面に凹部を有する光透過性の第１の基板における凹部形成面上に、光吸収性の第２の基板を配置する工程と、第１の基板側から光を照射することにより、第１の基板と第２の基板とを溶着させる工程とを備えるマイクロチップの製造方法であって、上記凹部に向けて照射される光の少なくとも一部が、第１の基板と第２の基板との貼り合わせ部に集光されるマイクロチップの製造方法および該製造方法により得られるマイクロチップである。 （もっと読む）

【課題】流通路内での著しい圧力損失の増大を回避しつつ、その流通路において合流した流体同士の混合を促進することが可能な流路構造体を提供する。
【解決手段】流路構造体が有する流通路２は、第１流体が導入される第１導入路２２と、第２流体が導入される第２導入路２４と、第１導入路２２を通じて流れる第１流体と第２導入路２４を通じて流れる第２流体とを基板４の厚み方向において合流させる合流部２６と、合流部２６において合流した両流体が基板４の表面４ａに沿って流れる第１合流流体流路２８と、第１合流流体流路２８を通じて流れる流体が基板４の表面４ａ側から裏面４ｂ側へ向かうようにその流体の流通方向を変更させる流通方向変更部３０と、第１合流流体流路２８から流通方向変更部３０を通じて流れる流体が基板４の裏面４ｂに沿って流れるようにその流体の流通方向を変更させて下流側へ流すための第２合流流体流路３２とを含む。 （もっと読む）

【課題】素子面積を減少させることができるとともに、製造コストを低減することができるＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】半導体基板２０と、半導体基板２０の主面２０ａに、半導体基板２０と相対変位可能に設けられた可動部３３と、半導体基板２０の主面２０ａ上に、可動部３３を覆うように設けられた蓋部５０と、半導体基板２０の主面２０ａであって、かつ、蓋部５０の外側の領域に設けられた第１の電極端子４１と、蓋部５０の半導体基板２０と対向する面に形成されており、第１の電極端子４１と可動部３３とを電気的に接続する第１の配線５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】内径の小さいノズルを使った場合でも目詰まりしにくいように粘度の低い接着剤を用いた場合でも、応力を十分に吸収することができ、感度の良いＭＥＭＳマイクモジュールを提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳマイクモジュール１００は、基板１１０と、ＭＥＭＳマイク素子１２０と、基板１１０とＭＥＭＳマイク素子１２０とを接着する接着剤１３０とを備え、ＭＥＭＳマイク素子１２０は、第１主面と、当該第１主面の反対の面である第２主面とを有し、第１主面から第２主面に貫通する貫通孔１２４が形成されている台座１２１と、台座１２１の第１主面上に形成され、貫通孔１２４の一部を覆うダイアフラム１２２とを備え、接着剤１３０は、台座１２１の第２主面と基板１１０とを接着するとともに、台座１２１の側面の一部を覆い、台座１２１の第２主面には、接着剤１３０との界面に少なくとも１つの凹部１２５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 微細化を図ることと基板に代表される基材の接合強度を十分に確保可能なマイクロチップを提供すること。
【解決手段】 マイクロチップ１０１は、分離流路３を形成するための溝が形成されており、かつ互いに貼り合わされた２つの基板１を備えており、基板１には、接合面１０の端縁に隣接し、かつこの端縁に対して接合面１０の法線方向において内方に凹んだ凹部１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】流路構造体を大型化することなく、２つの流体の相互作用による処理量を増加させるとともに、２つの流体の合流後においてそれらの流体同士の相互作用を促進させる。
【解決手段】流路構造体は、複数の流通路２を有し、各流通路２は、その流通路２の合流部２６で合流した第１流体と第２流体が流れる合流流体流路２８と、基板４の表面４ａに形成された第１溝部１０と基板４の裏面４ｂに形成された第３溝部１４のうち第２穴部１８で連通された部分によって構成され、合流流体流路２８を通じて流れる流体を基板４の厚み方向において２つに分流する分流部３０と、分流部３０によって分流された一方の流体が流れる第１分流路３２と、分流部３０によって分流された他方の流体が流れる第２分流路３４とを含み、各流通路２における両分流路３２，３４の相当直径は、その流通路２における合流流体流路２８の相当直径よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】気密性の高い貫通電極及びこれを用いた微小構造体、並びにそれらの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】導電性を有する基板１０の所定領域１１を貫通トレンチ２０で囲み、周囲から絶縁分離した貫通電極１００において、
前記貫通トレンチ内の深さ方向における所定部分を塞ぐように充填された第１の成長膜４０と、
前記貫通トレンチの両側面の間を横断する横断部５５を含み、該横断部の底面部が前記第１の成長膜の内側に接触するように充填された第２の成長膜５０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造体の平面サイズの大型化を抑制しつつ伝送損失の低減を図ることが可能で且つ信号線を囲む接地導体の形成が容易な配線構造を備えた構造体およびＭＥＭＳリレーを提供する。
【解決手段】接地導体５は、ベース基板１の一表面側で信号線１３の幅方向の両側に形成された第１のグランド配線５１，５１と、ベース基板１に形成されて各第１のグランド配線５１，５１に電気的に接続されたビアからなる第２のグランド配線５２，５２と、ベース基板１の他表面側において第２のグランド配線５２，５２同士を電気的に接続し信号線１３に並行する第３のグランド配線５３と、カバー基板３におけるベース基板１との対向面側に形成された第４のグランド配線５４と、中間基板２において空洞部２７の両側に形成され各第１のグランド配線５１，５１と第４のグランド配線５４とを電気的に接続する貫通スリット配線からなる第５のグランド配線５５，５５とを有する。 （もっと読む）

【課題】高分子駆動器を含む微小バルブ構造体及びラボオンチップモジュールを提供する。
【解決手段】微小バルブ構造体は基板１０上に配置される柔軟構造物２０及び柔軟構造物２０内に挿入される高分子駆動器４０を含むことができる。この時、柔軟構造物２０は微小流路３５を定義するバルブ部２５を有し、高分子駆動器４０は柔軟構造物２０によって微小流路３５から分離される。さらに、高分子駆動器４０はバルブ部２５の変位を制御することによって、微小流路３５の幅を変化させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、球状（特に、真球状）の液滴を吐出することが可能なマイクロ流路デバイスを提供することにある。
【解決手段】 本発明のマイクロ流路デバイスは、第１樹脂基板と、第２樹脂基板とを有し、前記第１樹脂基板の片面に、横断面が半円形で、かつ第１樹脂基板の端部に開放する第１流路溝が形成され、前記第２樹脂基板の片面に、横断面が半円形で、かつ第２樹脂基板の端部に開放する第２流路溝が形成され、前記第１流路溝と前記第２流路溝とが重なるように、前記第１樹脂基板と前記第２樹脂基板とを接合して、円形の流路を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造体自体の更なる小型化を可能とし、耐久性に優れた合成樹脂製の微細構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、一方の面に開口する一又は複数の微細空間を有する微細構造体であって、上記一又は複数の微細空間を区画する隔壁の平均厚さ（Ｔ）が２０μｍ以上３５０μｍ以下であり、基材としてシリコーン樹脂が用いられていることを特徴とする。上記一又は複数の微細空間の深さ（Ｄ）の隔壁の平均厚さ（Ｔ）に対するアスペクト比（Ｄ／Ｔ）としては２以上２５以下が好ましい。また、当該微細構造体は、微細粒子を含有するとよい。 （もっと読む）