【課題】 半導体ウエハーを安全且つ容易に収納、運搬、取り出しができ、搬送時の振動や衝撃から保護し破損を防止することができる半導体ウエハーの収納容器を提供する。
【解決手段】 容器部本体と蓋部からなる半導体ウエハーの収納容器であって、容器部本体が半導体ウエハーと当接する底面と該底面から立ち上がる側壁からなり、側壁が柔構造を有する内側壁及び外側壁の２重構造に形成され、容器部本体の外側壁と蓋部の外側壁内側が各々嵌合して密閉状態を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面取りが形成されていない物品が被包装物であっても、胴膨れや座屈を緩和して収容できる包装材を得ること。
【解決手段】略矩形状の底面形成部１と、底面形成部１のから折り曲げ可能に突出した側壁形成部３と、側壁形成部３から折り曲げ可能に突出した天面形成部６とを有するシート状の包装材であって、側壁形成部３は、底面形成部１との境界に断続的に設けられた切り込み１１ａと、天面形成部６との境界に断続的に設けられた切り込み１３ａとを有し、切り込み１１ａ及び切り込み１３ａが交互に配置された。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を確保しつつ、分割部材にて構成される枠部材に塗装材により塗装を行う場合であっても、塗膜の破損を抑制できるペリクル枠体、ペリクル及びペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、分割枠体のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を５０℃以上１５０℃以下としている。これにより、ペリクル枠体２に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体２と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Ｐの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Ｐの削れも防止できる。したがって、塗膜Ｐの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、分割枠体とすることにより、寸法を容易に調整することができるため、寸法精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を平置き状態で収納する搬送用容器として、四角形の一辺と対向辺の両コーナー部で支持可能な板状体を、他の接触支持不可部分を当接させず安定性よく保持できるようにする。
【解決手段】四角形の板状体を平置き状態で収納できる収納凹部１を、本体周縁部に段積み用の枠部２を残して凹設し、少なくとも１枚の板状体Ｂを、各辺の周囲にクリアランスを存して収納できるように形成し、収納凹部１の底部３の上面３ａを一辺に対応する辺部の側に向かって下り傾斜の傾斜面とし、接触可能な一辺の側を低位側に寄せて位置させて、接触可能な一辺を枠部内側面に当接させて支持できるようにする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板等の板状体を、板状スペーサを介して重ねた状態で収納でき、その保護を良好になすことができる板状体の搬送用容器を提供する。
【解決手段】平面矩形の板状体Ｂを板状スペーサ１０を介在させて複数枚を重ねて平置き状態で容器本体１内に収納して搬送するもので、板状スペーサ１０を、容器本体１の収納部５に対応した板状とし、一方の相対向辺部に、容器本体１の相対向側壁３，３の内面に形成された嵌合凹部６，６に嵌合できる突出縁部１２，１２を形成し、突出縁部１２，１２の厚みをスペーサ本体部１１の厚みより大きく、突出縁部１２，１２を嵌合凹部６，６に嵌合して各板状スペーサ１０を、各スペーサ間に板状体Ｂを挟んで積み重ねた状態において、積み重ね荷重を突出縁部１２で受支するように設ける。 （もっと読む）

【課題】温度変化を与えることなく、ペリクル膜の膜張力を向上する。
【解決手段】基板３０上に成膜した高分子材料からなるペリクル膜１１を、開口部を有する枠体２０にその開口面を覆うように貼り付ける第一の工程と、基板３０から枠体２０に貼り付けられたペリクル膜１１を剥離する第二の工程と、枠体２０のペリクル膜１１を、開口部を有するペリクルフレーム１０にその開口面を覆うように貼り付ける第三の工程と、をこの順に含む。第一の工程において枠体２０の少なくとも１辺に枠体２０の内側に向かう外力を加えて当該枠体２０の辺を内側に変形させた状態でペリクル膜１１を枠体２０に貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】発塵、発熱を伴うことなく基板を高速で出し入れ可能なワイヤ式の基板カセットを提案すること。
【解決手段】同一平面上に平行に架け渡した複数本のワイヤ９によって基板収納棚１０が形成され、当該基板収納棚１０が多段に配列されている基板カセット１において、ワイヤ９には、当該ワイヤ９の軸線方向に沿って一定の間隔で、転がり軸受１１が取り付けられている。転がり軸受１１の内輪２２はワイヤ９に固定され、外輪２１によってガラス基板Ｗを載せる基板載置面が規定されている。ガラス基板Ｗの出し入れの際には、ガラス基板Ｗの移動に伴って外輪２１が回転する。搬送に伴うガラス基板支持部分からの発塵、発熱が起きないので、ガラス基板Ｗを高速搬送でき作業効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】枠体の製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制する。
【解決手段】略矩形状に形成されて大型ペリクル膜３を展張支持する大型ペリクル用枠体２を構成する長辺２ａ，２ｂの一部に、外側に向けて屈曲した屈曲部１０ａ，１０ｂを形成する。このように、長辺２ａ，２ｂの一部を屈曲させるという簡易な方法により屈曲部１０ａ，１０ｂを形成できるとともに、展張した大型ペリクル膜３の張力により大型ペリクル用枠体２の辺が内側に撓んだとしても、大型ペリクル用枠体２の内側に入り込む辺の最大変位量を小さくすることができるため、製造容易性を確保しつつ露光有効面積の縮小を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱テスト後の枠体の撓み量が少ない大型ペリクル用枠体を提供する。
【解決手段】平面視矩形状の開口部（４）を備えるペリクル用枠体（２）であって、端部同士が接合されることにより開口部（４）の周縁を形成する複数の部材（４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ）を有する。接合される一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部には、接合される他方の部材（４ｃ、４ｄ）に向けて突出する少なくとも一つの凸部（Ｐ）を設け、他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部には、凸部（Ｐ）を嵌合させる凹部（Ｃ）を設け、凸部（Ｐ）を凹部（Ｃ）に嵌合させることにより一方の部材（４１ａ、４１ｂ）の端部を他方の部材（４ｃ、４ｄ）の端部に接合させる。 （もっと読む）

【課題】 素子搭載部材の配線パターンと搬送治具との接触不良を低減し、生産性を向上させることができる搬送治具を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の実施形態に係る搬送治具は、平板状に設けられ、素子搭載部材を収容するための第１の貫通穴部を有する金属板部と、第１の貫通穴部内に設けられ、素子搭載部材の２つの隅に当接して保持するための保持部と、保持部に接続され、保持部を前記第１の貫通穴部の中心点に近づく方向に押し付けるばね部と、保持部が、第１の貫通穴部の中心点から遠ざかる方向に保持部を移動させるための保持解除用穴部を有して構成されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】分割枠とする場合であっても接合部に枠体よりも剛性の高い部材等を用いることなく実用上問題のない剛性及び寸法安定性を維持すると共に、歩留まりを向上させることができるペリクル枠体及びペリクルを提供する。
【解決手段】ペリクル１のペリクル枠体２では、接合部２２ａ〜２２ｈにおける接合強度を１０ｋｇｆ以上としているため、分割枠体であっても、撓みや歪みを抑制できると共に、剛性を確保することができる。また、分割枠体とすることで、寸法を容易に調整することができ、寸法精度を確保することができると共に製造工程を簡易化できる。そのため、接合部を有さない枠体と同様の寸法精度を容易にでることができる。したがって、分割枠体を用いる際に、接合部２２ａ〜２２ｈに剛性の高い部材等を用いることなく剛性及び寸法安定性を維持できると共に、歩留まりを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】板状物を撓んだ状態で保持するトレイで、板状物の機能を有する部分を、他と接触させずに、板状物同士、所定の間隔を保持した状態で、重ねて、搬送、保管が簡単に、効率的にでき、振動よる板状物の品質面の問題を解消できるトレイを提供する。
【解決手段】全体を支持する基材で、枠内側領域が前記板状物より大きい枠部２０と、枠部に支持され、枠部の枠内側領域において、板状物を鉛直方向下側に撓ませた状態でその下側から保持する板状物保持部３０とを備え、枠部は、トレイを複数重ねる際の重なり部であり、トレイを複数重ねる際にその表裏が互いに面接触するように形成されているもので、板状物保持部の板状物を載せない側の面である裏面の少なくとも一部に、板状物を載せたトレイを複数重ねた状態において、板状物と接触して振動を抑制する、振動抑制部材４０が取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の積込作業および取出作業の作業性を向上するために、ガラス板をガラス板積層体の状態のまま、箱体の内部空間に出し入れ可能なガラス板梱包体を提供する。
【解決手段】箱体６の底壁部６ａに、ガラス板積層体１の底面の略全面を支持する支持板７を設ける。積込作業時および取出作業時にガラス板積層体１全体を持ち上げ支持する支持手段をガラス板積層体１の底面の下に挿脱するために、支持板７の外周縁に沿う一部領域に切欠凹部７ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】搬送時における部品の飛び出しを防止することを回避すると共に、トレイの厚さの増加を抑えつつ、搬送時においてトレイが削れることを防止することができる部品包装用トレイを提供する。
【解決手段】
部品包装用トレイ１０は、部品Ｐを収納するための複数の収納凹部１１が形成されている。収納凹部１１の側壁部１２には、収納凹部１１の深さ方向ｄに沿って突出した突条部１５が形成されている。部品Ｐを収納凹部１１に収納する際に、突条部１５は、部品Ｐの側面によって押し潰されるように変形すると共に、該変形に対して復元力Ｆが生じるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】磨耗粉を低減することのできるペリクル収納ケース用コーナークリップを提供する。
【解決手段】ペリクルを載置するトレイと、ペリクルを覆うように前記トレイと嵌合するカバーとで構成される、ペリクル収納ケースに用いるコーナークリップ。前記コーナークリップの素材が、デュロメータ硬度がD58〜D64の樹脂であることが特徴である。 （もっと読む）

【課題】 複数のチップを収容し易い収容トレイを提供することである。
【解決手段】 分割予定ラインに沿って基板を分割して形成された複数のチップを収容するための収容トレイであって、該基板を収容可能な大きさの凹部からなるチップ収容部と、該チップ収容部を囲繞する側壁と、該チップ収容部内に配設された複数のチップが接着される接着面を有する粘着材と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】損傷からの電子装置の防護を提供する。
【解決手段】上部１０ａ及び底部１０ｂは、電子装置Ｐと接触する折りかばん１０内側のフェルトなどの軟質層１１、革などの耐久性のある外側層、ならびにカバーの上部及び底部に構造的支持をもたらす堅い中間層からなる３層積層構造を備える。背部１０ｃは、開閉時の曲げやすさを維持するように、軟質層及び外側層の２層しか備えない。折りかばんは、折り曲げをさらに容易にする長手方向の折り目１４、１５、１６を備える。折り目は、中間層における不連続部によって作り出される。 （もっと読む）

【課題】 軽量でコンテナへの搬入及び組み立てが容易で、かつ、用済み後の分解及び廃棄処分が容易なコンテナ輸送治具を実現する。
【解決手段】 建材用板ガラス用のコンテナ輸送治具１は、複数の柱部材２と前記柱部材２同士を連結する複数の梁部材３とを備えて構成され、柱部材２は、立設したときの底部となる底面４と、底面４から鉛直に延在する一対の側面５とを有し、側面５に平行な縦断面が直角三角形の頂部を切断した台形状に形成され、台形状の傾斜面が前面６とされ、前面に対向する鉛直面が背面７とされ、複数枚のダンボール板８を側面５に平行に積層して形成されてなり、梁部材３は、直方体型をしており、複数枚のダンボール板８を長手方向に延在させて積層して形成されてなり、柱部材２には、傾斜面の前面６側に、柱部材２の両側面５を貫通させて、梁部材３がはめ込まれるコの字型の切り込み９が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 ペリクルフレームの内壁面に、薄い粘着剤層をコーティングすることにより、フォトマスクにゴミなどの異物が付着することを効果的に防止することができ、リソグラフィ用ペリクルの歩留まりを向上させることができるリソグラフィ用のペリクルの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のリソグラフィ用のペリクルの製造方法は、第一のスプレーノズル１１と第二のスプレーノズル１２とが所定の間隔で設けられたスプレーノズルセット１０を用いて、まず、ペリクルフレーム２０の内壁面１に、第一のスプレーノズル１１から粘着剤溶液を噴射し、次いで、溶媒の揮発によって、粘着剤溶液中の粘着剤濃度が所定濃度以下にならないうちに、第二のスプレーノズル１２から粘着剤溶液の溶媒を噴射するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】型枠付き太陽電池モジュールなどの板状体を上下に重ねて梱包する際、上下の板状体の隅角部を必要とする大きな面積の仕切片によって緩衝しつつ支持する。
【解決手段】底面部２の側端縁に側面部３および側面側上面部４が折り目を介して順に連設される一方、底面部２の上下各端縁に背面部５および正面部６がそれぞれ折り目を介して連設されるとともに、背面部５の上端縁および正面部６の下端縁に背面側上面部７および正面側上面部８がそれぞれ折り目を介して連設され、また、背面部５の側端縁および正面部６の側端縁に仕切部９がそれぞれ折り目を介して連設されて構成される。そして、各仕切部９には、上下各端縁から垂直方向に延びる設定長さの切れ目ｓと、側端縁から切れ目ｓの終端を結ぶ水平方向に延びる折り目ｔとによって仕切片９１が区画され、各仕切部９の仕切片９１に対応して側面部３の上下各端部近傍の幅方向中間部に差込孔３ａが形成される。 （もっと読む）