【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器は、所定の挿入方向に前記基部を擦動可能に案内する一対のレール溝７と、ストッパーリブ８とほぼ平行に形成される係合リブ９と、基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブ９に当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部１４と、前記ハンドル３の基部をレール溝７に挿入して摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブ９を超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材とを備え、前記係止部材の貫通穴への挿入により、当該係止部材と前記脚部で前記係合リブ９を挟持して、前記ハンドル３を前記容器本体１に固定する。 （もっと読む）

【課題】基板を規則正しく整列させることのできる基板整列治具を提供し、また、当該基板整列治具を用いた基板の移送方法を提供する。
【解決手段】基板１１収納する基板カセットに用いられる基板整列治具２５であって、前記基板カセットは、上部及び下部が開放したカセット本体２を備え、前記カセット本体２内部には、基板１１を整列させるために、相対向する一対の面に、上部から下部に向かって溝部７が設けられており、前記基板整列治具２５は、前記カセット本体２の開放した下部に設けられ、基板１１を整列させて保持するための溝２３が設けられたコーム２４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送時の揺れや振動等によって衝撃が加わってもレンズを傷つけないように保持する。
【解決手段】容器２は、凹陥部１１と、支持部１２と、８つの保持部２２とを備える。凹陥部１１は、レンズの径よりも小さい径の開口を有しており、この凹陥部１１の周縁には、レンズの周縁部を支持する支持部１２が設けられている。保持部２２は、支持部１２に連続して凹陥部１１とは反対側に突出すると共に、レンズの外周面に加圧接触する。 （もっと読む）

【課題】電子回路基板のコストアップを招くことなく、搬送時や収納時における塵の発生を防止して塵の付着を減少させることができる電子回路基板用の搬送箱を提供する。
【解決手段】電子回路基板１１を収納して搬送するための搬送箱１０の内側底面１５１に、電子回路基板１１の縁端面１１２に当接する突出部１７を設けたので、電子回路基板１１の縁端面１１２は突出部１７に接触して支持される。このため、搬送箱１０の内側底面１５１と接触する電子回路基板１１の縁端面１１２の面積が減少するので、電子回路基板１１のコストアップを招くことなく、接触によって縁端面１１２から発生する塵等を減少させることができ、電子回路基板１１に付着する塵等を減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェハ収納カセットからウェハが脱落することを簡易な方法で防止できるウェハ収納カセットと、ウェハ収納カセットから容易にウェハを出し入れできるウェハ搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一対の側板と、上記一対の側板の内壁に形成された収納溝と、上記一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするためのウェハ出入面とを有する。そして、上記一対の側板の底部は、上記ウェハ出入面側に角部を有しており、上記ウェハ出入面と反対側には角のない丸角部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

タービン動翼は、世界中の離れた場所から、あるいはその場所に送る必要がある。輸送する際にタービン動翼のコーティングを保護する必要がある。タービン動翼は、輸送パッケージによってその両端が固定されることで、タービン動翼が保護される。
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包装食品（２０）は、トレー（１２）と、複数の積重ね可能なチップスナック（１４）と、管状容器（１６）とを備える。トレーはトレー本体（１８）を備え、トレー本体（１８）は、トレー基端部（２２）及びトレー末端部（２３）と、トレー末端部にある緩衝空間（２５）とを有する。スナックはトレー本体上に整列される。管状容器は、壁本体（３６）と、壁本体に隣接する閉鎖した容器端部（３２）と、壁本体に隣接し、閉鎖した容器端部の反対側にある開放可能な容器端部（３４）とを備える。管状容器は、スナックとトレーを中に収容する。トレーは壁本体に沿ってスライド可能であり、また、緩衝空間が閉鎖した容器端部に隣接した向きとなるように整列される。
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【課題】容易・確実に器具本体を梱包資材に固定でき、梱包作業の効率を改善する。
【解決手段】梱包資材１０は、複数のスリットが形成された位置決め板１２と、弾性を有し、位置決め板１２のスリットに挿通可能なリブ状の緩衝材１４ａとを備える。緩衝材１４ａは、下板１４２と上板１４３とから構成される。下板１４２、上板１４３のそれぞれは、位置決め板１２に固定される部位である固定部１４２ｂ、１４３ｂと、蛍光ランプ本体を取り付ける部位である取付部１４２ａ，１４３ａから構成される。固定部１４２ｂ、１４３ｂがスリットを挿通すると、復元力によって位置決め板１２に固定される。更に、取付部１４２ａ，１４３ａが蛍光ランプ本体の貫通孔を挿通すると、その弾性による復元力によって蛍光ランプ本体を支持する。 （もっと読む）

【課題】容器本体に装着可能であり、基板支持部の寸法精度の向上を図り、基板支持部によって支持された基板の撓みを抑制することができる支持部材、及び支持部材を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の内面に設けられ基板を支持する支持部材５と、支持部材を容器本体に固定する支柱部材５１Ａ，５１Ｂとを有する基板収納容器であって、支持部材５は、基板を載置可能な複数の支持片６１を有し、支柱部材５１Ａ，５１Ｂは、支持片６１を所定間隔で挟持する複数の棚部５２を有し、支持片６１は、棚部５２間に嵌入されている。これにより、複数の支持片６１が支柱部材５１Ａ，５１Ｂとは、別部材として形成されているため、支持片６１の成形が容易となり寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】プレフィルドシリンジなどの長尺部材を収納するに好適であって、小型軽量かつ簡易な仕切りを提供する。
【解決手段】仕切り１０は、長方形のシート２０が折り曲げられて形成され、直方体の収納箱５０に挿入されるものであって、シート２０の長手方向に沿ってそれぞれ形成された第１折罫線１１、第２折罫線１２、第３折罫線１３及び第４折罫線１４によって、長手方向１０１に沿って第１底面部２１、第１側面部２２、上面部２３、第２側面部２４、及び第２底面部２５が順次連続して区画されている。 （もっと読む）

【課題】 熱変形によるペリクルフレームの変形を抑制し、ペリクルを露光原版に貼り付けても、ペリクルフレームの変形に起因する露光原版の変形を極力低減することができるペリクルフレームおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 事前に所定温度で加熱処理しておくことで、リソグラフィー工程時の温度変化によるフレーム変形が実質的に生じないようにすることを特徴とする。温度変化によるフレーム変形が平坦度３μｍ以下であること、前記加熱処理温度が１４０〜２５０℃であること、ヤング率が１〜８０ＧＰａである材料で構成されたものであること、がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ペリクルなどを収納するケースにおいて、フタの周縁部とトレイとの間に隙間が生じることを防止する。
【解決手段】ケース１は、トレイ３に被せられたフタ４が自重で撓んだ状態で、当該フタ４の周縁部１０とトレイ３の間を密閉する密閉構造Ａを有する。密閉構造Ａは、フタ４が自重で撓んで当該フタ４の周縁部１０の下面１０ａがトレイ３の水平上面に対し傾斜した状態で、フタ４の周縁部１０の下面１０ａが密着する傾斜部３ｂをトレイ３の上面に有している。 （もっと読む）

【課題】ペリクルの輸送時に、ペリクル収納ケースに収納されているペリクルに対して塵埃等の異物が付着することを抑制し得る梱包体を提供する。
【解決手段】梱包箱と、該梱包箱の中に収納されるペリクル収納ケースを該梱包箱内において保護する緩衝材とを含み、
前記緩衝材は、ペリクル収納ケースの上面、又は底面を支持する伸縮可能な支持膜と、
前記支持膜が貼張される平面視略多角形の枠体と、を有し、
前記支持膜は、前記枠体の少なくとも１辺上において、当該辺１辺上の少なくとも中央部を挟んだ位置において実質的に固定され貼張されていることを特徴とするペリクル収納ケースの梱包体。 （もっと読む）

【課題】柿果実を見栄え良く展示させ得る柿果実用発泡トレーを提供することを課題としている。
【解決手段】クッション性を有する樹脂発泡シートで形成され、複数の柿果実を並べて展示させ得るように複数の収納凹部が配列されており、該収納凹部には、その開口縁から底面部までの間に前記柿果実を下側から支持させるための曲面状の周壁部が備えられており、該周壁部の内側に形成されている前記底面部が前記周壁部の下端からさらに下方に向けて凹入された状態で備えられていることを特徴とする柿果実用発泡トレーを提供する。 （もっと読む）

【課題】容器本体を成形するための設備の大型化を抑制し、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体の大型化を図ることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】開口２ａを有し基板Ｗを収納する容器本体２と、容器本体２の開口２ａを閉鎖する蓋体３と、搬送用のフランジ部品４とを有する基板収納容器１において、容器本体２を、複数のパーツ７〜９に分割して形成し、分割された複数のパーツ７〜９を組み立てることで一体化する。このように、容器本体２を複数のパーツに分割することで、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体２の大型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】箱詰めしなくても、独立して包装材として機能することができ、省資源化、小型化、軽量化及び作業性の向上などを図ることができる緩衝包装パックを提供する。
【解決手段】緩衝包装パック１は、内側フィルム２１、及び、該内側フィルム２１と接合される凸状の外側フィルム２２を有し、内側フィルム２１と外側フィルム２２との間に、緩衝用流体が密封される一対の緩衝部材２を備え、一対の緩衝部材２の内側フィルム２１どうしの間に、電子部品１０を挟持するように、一対の緩衝部材２が接合されている。 （もっと読む）

【課題】主表面に傷を付けることなく、磁気ディスク用基板を効率良く搬送することができる磁気ディスク用基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用基板の搬送方法は、複数の磁気ディスク用基板を、紫外線硬化型樹脂を介して積層して積層体を形成し、前記積層体を把持する治具を前記積層体に取り付け、紫外線を照射して前記紫外線硬化型樹脂を硬化させて前記積層体及び前記治具を固定し、固定された前記積層体及び前記治具を搬送カセットに収納して搬送することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器の蓋体を取り除くときに、瞬時に基板収納容器内外の圧力差を無くして、蓋体の開閉を問題なく行うことが可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口部を有し基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部をガスケット部材によってシール可能に閉鎖する蓋体３と、を有する基板収納容器１であって、基板収納容器１内外の圧力を平衡状態にする圧力調整手段が設けられていることを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】フロントリテーナの基板に対する押圧力を増大させる必要がなく、蓋体取り外しの際、基板が飛び出すおそれを排除できる基板収納容器及び基板の取り扱い方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を水平に収納する容器本体と、容器本体を開閉する蓋体を備え、容器本体に、半導体ウェーハ１の後部周縁２をＶ溝１８の谷２０に接触させて保持するリヤリテーナ１７を内蔵し、Ｖ溝１８を一対の傾斜面により区画してその間の角度を４５〜１３５°の範囲とし、蓋体に、半導体ウェーハ１を掬い上げてその前部周縁３を保持するフロントリテーナ３３を装着する。容器本体内にロボットハンドを進入させて半導体ウェーハ１の下方に位置させ、ロボットハンドを容器本体の正面方向に向け斜め上方に移動させつつ半導体ウェーハ１を容器本体の支持片１２から持ち上げ、ロボットハンド上に半導体ウェーハ１を吸着して後退させる。 （もっと読む）