【課題】差圧がバルブプレートに対して２方向に作用する場合に適応する改良された真空バルブを提案する。
【解決手段】バルブプレート(5)が開位置及び中間位置の区間で動かされる際、バルブロッド(12)は縦駆動装置(15)(15’)により縦方向(6)に動かされる。バルブプレート(5)が閉位置及び中間位置の間で動かされる際、バルブロッド(12)は横駆動装置(16)(16’)により縦方向(7)に動かされる。真空バルブの真空領域外に配置されているベアリングユニット(17)(17’)が壁部(1)に対して固定されている。バルブロッド(12)を縦方向(6)に案内するガイドユニット(20)(20’)がベアリングユニットによって横方向(7)に案内される。 （もっと読む）

本体１と、流れの通路３に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち該流れの通路３が開いている第１の位置と該流れの通路が閉じている第２の位置との間において、該本体内で可動である仕切要素２と、該仕切要素２を該少なくとも２つの位置間で移動させる手段４とを備える、仕切弁であって、該仕切弁本体１は、第１の壁要素９及び第２の壁要素１０と、それらの間に残されている該仕切要素２のための空間１１と、曲げられると該仕切弁本体の該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０の支持表面を形成する縁部分１２とを備え、該縁部分１２には、少なくとも１つの開口部１４、好適には複数の開口部を含む流路空間１３が配置されており、該流路空間は、該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０間に残されている該空間１１内へ媒体を導くように該空間へ開いている、仕切弁。該縁部分１２は、該第１の壁要素９及び該第２の壁要素１０間に配置されているパイプ要素であり、該壁９、１０がクランプ手段１５、１６によって該縁部分１２に対して押圧されることによって該縁部分が該第１の壁９及び該第２の壁１０間で押圧される。
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本明細書内に開示される実施形態は、概して、スリットバルブドアで処理チャンバを密閉する方法に関する。ドアは、最初に、処理チャンバ用開口の下方の位置から高い位置まで持ち上げられる。その後、ドアは、ドア表面にあるＯリングがシール面にちょうど接触するまで拡張する。そして、ドアは、シール面に対してＯリングを圧縮するために再び拡張する。ドアは、ドアの内部容積内にガスを流すことによって拡張する。ドア内の圧力蓄積を制御することによって、ドアが拡張する速度は制御され、これによってドアが静かにシール面に接触し、その後、シール面に対して圧縮することを保証する。従って、処理チャンバに衝撃を与える又は振動させ、プロセスを汚染する可能性のある望まれない粒子を生成するかもしれない過大な力でシール面にドアが接触することを防ぐかもしれない。
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【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）

【課題】できる限り正確にバルブ駆動部の少なくとも１つの推進ロッドに取付けることが可能で、自己整合ができ、短時間で手間無く再び取り外すことが可能で、真空バルブの動作中に真空空間内で発生する自由材料粒子の存在を低く抑えることのできる、真空バルブの閉鎖板を提供する。
【解決手段】流路Ｆの気密封止のための真空バルブ１に関し、前記真空バルブ１は、円筒形接続部を有する少なくとも一つの推進ロッド７と、前記推進ロッド７に脱着自在に設けられ、前記接続部に対応した少なくとも一つの第一ロッド凹部を有する閉鎖板１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成の補強ユニットにより、バルブプレートの閉位置においてバルブシートを有する壁に補強ユニットを安定または強固に押圧することができるスライドバルブを提供する。
【解決手段】スライドバルブはバルブプレート５をバルブシート４に押し付ける補強ユニット１２と、補強ユニット１２がバルブシート４から離反する方向に変位することを防止するための手段とを備えている。当該手段はバルブシート４が形成されている壁２等により構成され、バルブ本体１に固定された第１補強要素１５と、第１補強要素１５と係合する第２補強要素１３とを備えている。ボルトは、その軸方向にお互いに離れた補強ユニット１２の第１セクション２２および第２セクション２３の間に配置されている。 （もっと読む）

シールリテイニングバルブ(26)はバルブカートリッジ(40)、バルブステム(42)、及びバルブシール(66)で構成されている。バルブカートリッジ(40)は、円筒形状の本体、カートリッジボディを通って縦に延びる受け口(67)と、受け口(67)に交差するカートリッジボディの側壁を通って延びる排出口(69)と断続的な入口通路とで構成されている。バルブステム(42)は、受け口(67)の中で滑動可能に細長い本体で構成され、外周を取り囲むように首部(82)とシール溝(114)とが形成されている。バルブステム(42)は、シール溝(114)が入口通路を越えて移動するように受け口(67)の中で滑っている。入口通路の間のカートリッジボディの凸部(74)は、入口通路が首部(82)と開くまでシール溝(114)の中でバルブシール(66)を保持している。一つの実施例では、入口通路は、キャッスルトップ(72)で形成されている。その他の実施例では、入口通路は、穴あきトップ(120)で形成されている （もっと読む）

【課題】弁体外周に形成されたゴムライニング層を保護するとともに、そのゴムライニング層からの物質の浸出を抑える。
【解決手段】弁箱４内に進退可能に設けた弁体１で弁孔２を開閉し、その弁体１の外周にゴムライニング層１３を形成した仕切弁装置において、前記弁体１に、前記ゴムライニング層１３の外周を覆う四フッ化エチレン樹脂からなるフッ素樹脂層１０を形成した。フッ素樹脂は、ゴムを構成する各種化学物質を通しにくい性質を有するので、前記ゴムライニング層１３をフッ素樹脂層１０で覆うことによって、そのゴムライニング層１３からの物質の浸出を抑えることができる。また、前記ゴムライニング層１３の外周にフッ素樹脂層を設けたことによって、弁体１と弁孔２が接する際における弾性を失うことなく、閉弁時における弁体１と弁孔２との密着度合いを維持できる。 （もっと読む）

【課題】シール部材が装着されている弁体のシール面上にパーティクルや粉塵が直接落下することを防止するとともに、弁箱本体のシール座面上に落下するパーティクルや粉塵の量を減らし、かつ、落下してもこれを回収できる構造とする。
【解決手段】被搬送物を通過させるゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱２と、ゲート開口部９ａ，９ｂを横方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱２のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５に形成されたシール面５３ａ，５６ａが弁箱２のシール座面１１，１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９ｂが遮断されるゲートバルブ１において、弁箱２の右シール座面１１の下部が傾斜面１１ａに形成されており、右シール座面１１の傾斜面１１ａの下端部に粉塵を収納するための収納凹部３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造過程で発生する熱の影響によるシール部材のシール座面への当たりの偏りを改善することでシール部材の劣化の防止、及びゲートバルブの遮断性能の向上を図る。
【解決手段】ゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱１と、ゲート開口部９ａ，９ｂを一方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａ及び左側弁体部５６の周端面５６ａに装着されているシール部材１３が、弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂの周端面である右シール座面１１及び左シール座面１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９へが遮断されるように構成されたゲートバルブ１において、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａと弁箱２の右シール座面１１との間に、シール部材１３の圧潰量を規制するスペーサ部材２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】プラズマを安定させ、シール部材の劣化を防止することができるプラズマ処理装置のシール構造を提供する。
【解決手段】プラズマ発生室２の開口部をシールするゲートバルブは、バルブ弁体１６と、バルブステム１７と、バルブ弁体１６とプラズマ発生室２の隙間を密封する環状のシール部材１１、１２と、を備える。シール部材１１はプラズマ発生室２側にあり、直接プラズマ雰囲気に触れる。シール部材１１とシール部材１２とは接しておらず、間隙Ｓが存在する。バルブ弁体１６は、シール部材１１の長手方向に沿って複数のガス溝１３がある。ガス溝１３は、シール部材１１の長手方向にほぼ直交する方向にあり、間隙Ｓとプラズマ発生室２を連通している。プラズマ発生室２の壁に、間隙Ｓにガスを注入するガス注入通路１４が設けられる。シール部材１１の長手方向に沿って連続する凹部１５を備え、ガス注入通路１４のガス排出口と凹部１５を連結する。 （もっと読む）

【課題】 ガス栓の取替え費用を安価にする。
【解決手段】栓本体１のガス流出孔１ｂにケーシング７を挿脱可能に挿入する。ケーシング７には、その周壁部を貫通してガス流入孔１ａに連通した貫通孔７ａを形成し、ケーシング７内にガスが流入するようにする。これにより、ケーシング７の内部をガス流出孔１ｂの一部たる上流側流出孔７ｂとする。上流側流出孔７ｂには、第１、第２コイルばね４Ａ，４Ｂ、主弁３、第３コイルばね５及び副弁３を抜け止め状態で挿入する。これによって、弁ユニット６を構成する。上流側流出孔７ｂの内周面が主弁２によって傷つけられたときには、弁ユニット６を新たな他の弁ユニット６と交換する。栓本体１は、再利用する。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構を簡単化したゲートバルブを提供する。
【解決手段】 弁体が、支持アームに、回転軸を中心とした回転方向に移動可能に支持される。弁体が開口の正面からずれた位置から、開口の正面まで移動するように、回転軸支持体が、回転軸を昇降させる。移動部材が、昇降可能に支持されている。弾性体が、移動部材と回転軸支持体とを弾性的に接続し、上下方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形する。駆動機構が移動部材を昇降させる。変換機構が、回転軸支持部材と移動部材との相対位置関係の変化を、回転軸の回転方向の運動に変換する。回転軸支持体を昇降させて弁体を開口の正面に位置させたとき、ストッパが、回転軸支持体のさらなる上昇を禁止する。駆動機構は、回転軸支持体の上昇が禁止されている状態で、移動部材をさらに上昇させる。変換機構は、移動部材のさらなる上昇を、弁体が前記開口を塞ぐように回転軸を回転させる回転力に変換する。 （もっと読む）

【課題】制御流体の粘性変化の影響を少なくした流量調節弁を提供する。
【解決手段】軸方向に摺動可能に嵌合された摺動軸３０および摺動円筒面２１ａと摺動軸を移動する移動機構４０を有し、摺動軸３０表面に形成された三角形状テーパ溝３３と摺動円筒面２１ａとの間で流体の制御を行う。また、前記三角形状テーパ溝３３は所定関数に従って漸減または漸増する形状とし、移動機構４０の駆動軸３０と摺動円筒面２１ａとを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、温度変化による流路区間の変化と粘性抵抗の変化での流量変化量とが打ち消し合うよう構成の流量調節弁。 （もっと読む）

第１の開口のアレイ（２０’）を画定する第１の部分（１０’）と第２の開口のアレイ（６０’）を画定する第２の部分（５０）とを備えるバルブであって、バルブを通る流体の通過が実質上妨げられる第１の形態と流体の通過が可能とされる第２の形態との間で、第１の部分（１０’）が第２の部分（５０）に対して移動可能であるバルブ。一実施形態では、第１の部分（１０’）は、第２の形態にあるときに第２の部分（５０）の封止面と係合し、バルブ全体にわたる圧力差に応答して第２の形態で係止するように構成された可撓プレート状部材を備える。プレート状部材は、バルブ全体にわたる圧力差に応答して、封止面のプロファイルに合致するのに十分な可撓性を有する。
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第１の開口のアレイを形成する第１の部分（４０１）と第２の開口のアレイを形成する第２の部分（２）とを備えるバルブ（５０）であって、第１の部分（４０１）が、バルブを通る流体の通過を実質上防止するために第１の開口と第２の開口のアレイが一致しない閉鎖構造と、流体を通過させるために第１の開口と第２の開口のアレイが一致する開放構造との間で、第２の部分（２）に対して横方向に移動可能であり、第１および第２の部分（４０１、２）がバルブ全体にわたる圧力差（５０）に応じて、閉鎖構造で係止するように構成されたバルブ。一実施形態では、第１および第２の部分（４０１、２）が閉鎖構造で係止されると、第１の部分（４０１）はバルブ全体にわたる圧力差によって第２の部分（２）に押し当てられ封止されるように構成することができる。
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【課題】 長手のまたはスリット形状のバルブ開口部のための、簡単な構造を有する真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(6)およびバルブ開口部(6)を取り囲むバルブシートを有する壁部(1)と、バルブプレート(7)とを備えている。真空バルブの閉塞に際して、バルブプレート(7)が開位置から閉軌道の主要部分を経て、バルブプレート(7)に対して平行かつシール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して平行な主要閉方向に動かされる。閉軌道の前記主要部分に続いて、バルブプレート(7)は、バルブプレート(7)に対して傾斜しているとともに、シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して傾斜している閉軌道の終端部分を通じて動かされる。バルブプレート(7)に設けられている案内要素(17)(18)と相互作用して、閉軌道の終端部分を経てバルブプレート(7)を案内する少なくとも１つの案内要素(15)(16)が壁部(1)に設けられている。シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(19)(20)(21)(22)によって、閉軌道の終端部分を通じてバルブプレート(7)が案内される。バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)または壁部(1)に設けられている案内要素(15)(16)に、当該案内面のうち少なくとも１つが設けられている。 （もっと読む）

【課題】弁体の閉鎖時における粉体の噛み込みをほぼ完全に防止することができるようにした粉体流路用の開閉弁を提供することである。
【解決手段】円筒形のバルブボディ１１の内側に形成された粉体の流路１３内に、その流路開閉用の円形の弁体１４を組込み、その弁体１４の回動により、その弁体１４の外周部をバルブボディ１１の流路内周面に沿って設けられたシートリング１２に接触させて流路１３を閉鎖する粉体流路用の開閉弁において、弁体１４に、径方向に延びて弁棒の端面で開口するエア供給孔１８と、弁体１４の中心から放射状に延びてエア供給孔に連通する複数のエア噴射孔１９とを形成する。弁体１４の閉鎖時にエア供給孔１８に圧縮エアを供給し、その圧縮エアをエア噴射孔１９から弁体１４の径方向外方に噴射し、その噴射エアにより粉体を吹き飛ばして、粉体が弁体１４とシートリング１２の当接部に噛み込むのを防止する。 （もっと読む）

装置の弁本体内に弁座リングを固定するためのリテーナを有する制御弁が開示される。該弁座リングは、該制御弁の該弁本体の流体流路のボアの中に配置され、該リテーナは、該弁本体の内面に付設されて該弁座リングを該ボア内に保持する。該リテーナは、該ボアの該内面に対して該弁座リングを保つように、該弁座リング上に締着されるボルトを受容するためにこれを貫通して螺刻された開口部、および／または該制御装置が閉じた位置にある場合、密閉を形成して漏出を防止するガスケットを含む。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２のバルブ本体半部によって形成されたバルブ本体を含むナイフゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブ半部が組み立てられて流路、ナイフゲートチャンネル、及び弁座チャンネルを形成する。ナイフゲートが本体半部間に配置され、ゲートチャンネルを横切るようになっている。ナイフゲートは、開放位置において、バルブを通してプロセス流を流すことができ、閉鎖位置において、バルブを通るプロセス流を阻止するように形成されている。弁座組立体がチャンネルガイド内に位置決めされる。弁座組立体は、水平セグメント、一対の垂直セグメント、及び下セグメントによって形成されている。弁座組立体は、第１及び第２のバルブ本体半部間で圧縮される。ナイフゲートが弁座組立体を横切るときにその剛性を維持するように、少なくとも一つの強化プレートが水平セグメントの一部内に配置される。
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