【課題】バルブ装置において、バルブ室内の水分を排出し低温環境下におけるシート性の低下を防止する。
【解決手段】排気ガス再循環バルブ１０を構成するボディ本体１２には、バルブシート１６の設けられる装着孔２６及び連通室２４の内周面に沿って第１及び第２排出溝２８、３０が形成され、該第１及び第２排出溝２８、３０が、軸方向に沿ってガス流出口２２側まで延在すると共に、前記内周面における鉛直下側となる底面に形成される。そして、装着孔２６及び連通室２４の内部に浸入した水分が、第１排出溝２８へと移動して第２排出溝３０を通じてガス流出口２２の外部へと排出される。 （もっと読む）

【課題】弾性材が流体中に溶出する可能性を低減できるソフトシール弁を提供する。
【解決手段】弁体３は、芯金１２と、芯金１２の外縁部に設けられ且つ閉位置Ｓにおいて弁箱シート部６に当接する弁体シート部１３とを有し、弁体シート部１３は芯金１２にゴム２１をライニングすることによって形成され、芯金１２の外表面は、弁体シート部１３で囲まれた部分に、ゴム２１がライニングされていない非ライニング部２５を有している。 （もっと読む）

【課題】弁箱弁座の開口部側の間隔を容易に矯正可能で、良好な遮断性を実現できる簡単な構成の仕切弁を提供する。
【解決手段】開口部と金属の弁箱弁座を有する弁箱と、弁棒に取り付けられ金属の弁体弁座を有する弁体と、弁箱の開口部を閉塞し弁棒を挿通させる蓋とからなり、弁体弁座は楔状とされ、弁箱弁座は逆ハの字状とされた仕切弁において、弁箱開口部と前記蓋の何れか一方または双方に、その前記弁体の厚み方向の歪みを外部から矯正する矯正手段を設ける。この仕切弁によれば容易に弁箱弁座の間隔を矯正でき良好な遮断性を簡単な構成で実現できる。 （もっと読む）

【課題】バルブ装置において、シート部材に摩耗が生じた場合でも弁閉時にバルブを確実にシートさせ、流体の漏出を防止する。
【解決手段】排気ガス再循環バルブ１０を構成するボディ本体１２には、連通室２６に臨み、且つ、ガス流入口２０に臨む環状凹部２４を備え、前記環状凹部２４には、バルブシート１６の環状凸部３５が挿入される。この環状凸部３５は、ボディ本体１２側に向かって突出し、バルブシート１６とボディ本体１２の内壁面１２ａとの間には、リング状のスペーサ４２が設けられ、前記バルブシート１６に対して当接している。そして、バルブシート１６のシート部３２が摩耗した際、弁閉時において前記バルブシート１６がボールバルブ１４から離間する方向に移動してしまうことがスペーサ４２によって規制されると共に、環状凸部３５によってガスのスペーサ４２側への流入が抑制される。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、第１可動弁部と第２可動弁部とを締結可能な締結部材と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】スリーブ５の外周にフィードバック油路が形成され、且つ、スリーブ５の全周にストレーナ１３を取り付けるための取付け溝１２が形成された油圧制御弁において、入力ポート６側からフィードバック油路へ作動油が流れ込むことを防止する。
【解決手段】スリーブ５の外周には、入力ポート６の開口面を含んでスリーブ５の全周に凹設された取付け溝１２が形成され、この取付け溝１２には、作動油に含まれる鉄粉等の異物を取り除くためのストレーナ１３が装着される。このストレーナ１３には、入力ポート６側から取付け溝１２を通ってフィードバック油路へ作動油が流れ込むことを防止するシール部品１４が取り付けられている。シール部品１４は、ストレーナ１３に２箇所取り付けられて、スリーブ５の外周面に凹設された窪み面９の周方向両側に配設され、ストレーナ１３の外周面と取付け孔の内周面との間に形成される隙間をシールしている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】電気を使用できない場所や弁体の移動操作をする人がいない場所でも動作可能なスリーブ弁装置を提供する。
【解決手段】スリーブ弁装置１は、多孔スリーブ２、筒状弁体５、フロート30及び連結機構２０を具備している。多孔スリーブ２には、貯水槽50内に水を流出させるテーパ孔からなる複数の流出孔３が設けられている。弁体５は、多孔スリーブ２に内嵌されるとともにその軸方向の一方向及び他方向に移動することにより複数の流出孔３の開口度を増減させるものである。フロート３０は、貯水槽５０内の水位の変動に伴って昇降動作するものである。連結機構２０は、フロート３０の昇降動作により弁体５が多孔スリーブ２の軸方向の一方向及び他方向に移動されるようにフロート３０と弁体５とを連結している。 （もっと読む）

【課題】ステムを回り止めしながら弁体のガタつきを防ぐことにより、弁体と弁座とのシール面が傷付くことを防止して高いシール性を確保でき、しかも、ステムの回り止め部分を外方から容易にメンテナンス可能に設けることで、ステムを常に安定動作させてシール性を維持できるゲートバルブを提供する。
【解決手段】ボデー１内で昇降動するステム２の下端に弁体３を吊下し、この弁体３でボデー１内の弁座４に着座させて開閉するゲートバルブである。このゲートバルブは、ボデー１の上部に取付けた駆動機構５の回転力でステム２を昇降動自在に設け、このステム２を駆動機構５の上方より延出させた延出部１７の径方向に回転防止用の回り止めピン２２を設けると共に、駆動装置５の上部に長穴３３を有する回り止めカバー３２を固設し、この長穴３３に回り止めピン２２を係合可能に案内させてステム２の回転力を防いで弁体３が弁座４に摺動する現象を抑制する。 （もっと読む）

【課題】環状シール部材の摩耗損傷を効果的に防止すると共に、構造が簡単なバルブを提供する。
【解決手段】ロータ１と、ロータ１を収容する円筒状本体２と、本体２に形成され、本体２に設けた一対のポート２２と、ポート２２に設けられ、ロータ１の周面１１と密接して流体の流れを遮断する環状シール部材３とより成るバルブにおいて、流体の流れを遮断する為に、ロータ１がシール部材３に接近する際における関係において、ロータ１のシール部材３に近い側の一端部の幅Ｗ２と遠い側の他端部の幅Ｗ１との関係がＷ２＜Ｗ１であると共に、最もロータ１に近いシール部材３のロータ１の周面１１に対するリップ飛び出し量Ｈ１と、最もロータ１から離れているシール部材３のロータ１の周面１１に対するリップ飛び出し量Ｈ２との関係がＨ１＜Ｈ２の関係であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って、出口用弁口を完全に塞ぐことを可能とする弁装置を提供する。
【解決手段】切換弁１は弁室６内に流体が供給される入口用弁口１１と流体を排出する出口用弁口１２とが設けられた弁座１０と出口用弁口１２を開閉自在に設けられた弁体４とを備えている。弁体４は出口用弁口１２を塞ぐ塞ぎ部１７の表面１７ａから凹の凹みが設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でシール材が弁体の弁本体から外れることを防止できる仕切弁を提供する。
【解決手段】弁体１５を、弁本体１９の周囲にシール材２０を被覆して形成する。弁本体１９は、上流側面１９ａと下流側面１９ｂの弁座に当接する位置に第１シール材装着溝２２を、弁箱内周面下半部に当接する位置に、第１シール材装着溝２２に連続して第２シール材装着溝をそれぞれ形成する。第１シール材装着溝２２は、上流側面１９ａまたは下流側面１９ｂに開口する溝部２２ａと、該溝部２２ａとつながる所定深さ位置で前記溝部より幅広となる幅広溝部２２ｂとを備え、第１シール材装着溝２２と第２シール材装着溝２３とにシール材２０を装着する。 （もっと読む）

【課題】ドーム部１１の内側の椀状凹部１１ａ内に開口部１１ｂを横断して補強ピン１３を配設し、ドーム部１１の外側を高圧、椀状凹部１１ａ内を低圧とする流路切換弁用の弁体１０において、補強ピン１３の端部を支持する段部１１ｃ（補強部材支持部）で応力集中が発生しても弁体１０の両端が浮きやすくなるのを防止する。弁漏れの減少、ならびに弁体の摺動による生じる、弁体と弁座の双方の局部的な磨耗を低減する。
【解決手段】摺動部１２の上面１２ｂに、その４箇所に「応力均一化形状部」としての凹形状部１を形成する。２つの凹形状部１，１は軸Ｌ２の両側においてそれぞれ組を成し、各組の凹形状部１，１は、段部１１ｃ（補強部材支持部）に対して補強ピン１３と直交する方向の対称な位置に形成する。凹形状部１で応力を集中させて弁体１０の全体での応力を略均一化する。 （もっと読む）

【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Ｓを有するバルブシート４と、この仕切面Ｓと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体５とを有するバルブ装置であって、バルブシート４とバルブ本体５とのシールを行うためのシール面21〜23，26〜28を、仕切面Ｓと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Ｓの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体５側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面Ｃ字形状のシール用溝部31を形成したもの。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブにおける高さ寸法を抑制して小型化を図ると共に、弁ディスクによる弁閉状態を確実且つ安定的に維持する。
【解決手段】ゲートバルブ１０を構成するハウジング１６の内部には、サイドフレーム３２ａ、３２ｂと略平行に一対のサブフレーム８８ａ、８８ｂが設けられ、前記サブフレーム８８ａ、８８ｂの長手方向に沿って形成されたローラ挿通溝には、それぞれ二対の保持ローラ９０ａ、９０ｂが挿通されている。そして、弁ディスク２２が傾動動作して弁座に着座した弁閉状態において、弁ロッド２０が連結され傾動変位した変位ブロック６２から付与される荷重が保持ローラ９０ａ、９０ｂに付与され、該保持ローラ９０ａ、９０ｂが当接しサブフレーム８８ａ、８８ｂに設けられた第１及び第２受圧体によって負担される。この第１及び第２受圧体は、サブフレーム８８ａ、８８ｂより硬度の大きい材質によって形成される。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】流体のフローフォースを相殺すると共に摺動部品間に圧密状態を作り出し、流体の通過面積を連続的且つ滑らかに変化させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】第１、第２の流路が中心を通る直線の両側に対称に配置され、一側端面１１ａに１つの開口部が開口し内部で二股に分岐されて他側端面１１ｂに２つの開口部が開口するステータ１１と、一側端面１２ａがステータの他側端面１１ｂに密着して回動され、第１の制御位置にて第１の流路の２つの開口部と第２の流路の２つの開口部との連通を遮断して第１、第２の流路を遮断し、第１の制御位置から第２の制御位置まで回動するに伴い第１、第２の流路の各２つの開口部の各一側の対応する開口部同士及び各他側の対応する開口部同士を連通させて第１、第２の流路を連通させるロータ１２と、ケーシング１３と、ロータとケーシングとの間に設けられてロータをステータに密着させる押圧手段１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】穿孔を穿設しても流体管の構造強度を維持して密封性を確保できる制流弁を提供すること。
【解決手段】流体管１の外周を密封状に被覆したケース２と、ケース２内に連通する連通部１２ａを介し挿入されて流体管１に周方向に沿って穿孔Ｑを穿設する穿孔手段５０と、穿孔Ｑを介しケース２内と流体管１内とを移動自在に支持される弁体６０と、から構成され、弁体６０を流体管１内に移動することで弾性変形させて流路を遮断可能な制流弁１０であって、穿孔手段５０は、流体管１に周方向に沿って略９０度〜１５０度の開口角度θで穿孔Ｑを穿設する。 （もっと読む）