【課題】 セラミック特性を最大限有効に活用して弁開閉操作を円滑かつ軽快にできるとともに、維持管理の簡略化、メンテナンス費用の低減化を図りつつ、長期間に亘る繰り返し使用にも所定のシール性能、止水性能を安定よく確保できる開閉弁を提供する。
【解決手段】 流入口２及び流出口３を有する筒状弁本体４内の通水方向に間隔を隔てて互いに平行に固定された一対のセラミック製固定ディスク５Ａ，５Ｂ間にそれらの相対向面に両面が密接する状態でセラミック製可動ディスク６を挟み込み保持させてなり、この可動ディスク６を弁本体４の軸心ａ周りに回転操作して両ディスク５Ａ，５Ｂと６とを相対回転させることにより弁孔同士が重合されて流入口２と流出口３とが連通する開弁状態と、弁孔同士が非重合とされて流入口２と流出口３との連通が遮断される閉弁状態とに切替可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供する。
【解決手段】略箱形状に形成された弁箱本体と、弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】仕切弁の構造のコンパクト化を図るとともに、弁体の開閉動作を単純化する。
【解決手段】開口部６３を開閉する弁体５１と、開口部６３を有する弁座６０と、を備える。弁体５１には、弁座６０に当接される第１シール面部５６が設けられている。弁座６０には、弁体５１の第１シール面部５６が当接される第２シール面部５７が、開口部６３を通過する基板の搬送方向にほぼ平行に設けられている。 （もっと読む）

バルブ本体と、バルブ本体上に設けられた媒体が流れるための貫通する通路と、前記通路と相互に交わる錐形のバルブ室と、バルブ室中に回転可能に設けられた、バルブが閉じた状態で前記通路を遮断するための円錐形バルブコアと、バルブコアを回転させるためのバルブレバーと、バルブコアの底部とバルブ室との間に設けられたスプリングと、バルブ本体の上端に設けられたバルブ蓋と、を有し、前記バルブコアはバルブ室で上下移動可能な浮動式円錐回転プラグバルブコアであり、バルブコアの上端のトルク制限スライダーとトルク伝達ピンを有する回転伝動スリーブがバルブレバーの外側に設けられ、トルク制限スライダーとトルク伝達ピンとがトルク制限器を構成し、回転伝動スリーブとバルブレバーとの間には、回転可能なねじ山と組み合わされた伸縮インナースリーブが設けられ、伸縮インナースリーブの外側には伸縮アウタースリーブが設けられることを特徴とする、浮動式円錐回転プラグバルブ。本発明は1つの作動機構の一方向への回転だけで、バルブコアをまず上方向に持ち上げ、一定の角度を回転させ、押し下げ、密封することができる。また、バルブ室とバルブコアとの密封面に潤滑膜が不要で、回転摩擦及び磨耗がなく、または磨耗が小さく、密封性がよく、構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】汚水に含まれる土砂等が内部に滞留してしまうことを有効に防止可能なゲートバルブを提供すること。
【解決手段】長尺状の一対のバルブスペーサー３の上部を挿通孔５を有する取付板４で連通し、挿通孔５にスクリューナット６を装着し、上方部分に流路８を有するとともに流路８の周辺に取り付け用カラー９を有する固定プレート７を、バルブスペーサー３の長手方向中央部近傍から下端近傍にかけてバルブスペーサー３を連通しつつバルブスペーサー３の表裏面に装着して弁箱２を構成し、貫通孔１１を有するスライド板１０を前記一対のバルブスペーサー３間に上下動自在に挿装するとともに、前記スクリューナット６に螺合させたスクリューネジ１２の下端部分をスライド板１０に回動自在に連結し、スクリューネジ１２を回動することでスライド板１０を上下動させて前記流路８を開閉自在とした。 （もっと読む）

【課題】フィルタ組立体用の通気ポート及びドレンポートを通る流れを制御するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１２は、全体として円形断面を有する通路４６を取り囲む、環状スリーブ４９を有し、スリーブを一の方向に移動するとバルブが開放し、スリーブを一の方向とは逆の方向に移動するとバルブが閉鎖するように構成される。また、通路４８がバルブ部材４３を含み、前記スリーブを移動することによって、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを可能にする、第１の位置と、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを阻止する、第２の位置との間で、前記バルブ部材を移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 真空バルブの運転または制御方法の可能性の拡張を図る。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(2)を有するバルブボディ(1)と、真空バルブを密閉するため、開位置と閉位置との間で閉軌道を経て変位可能な閉塞部材(3)と、閉塞部材(3)を駆動するアクチュエータ(5)と、アクチュエータ(5)を制御する制御装置(9)とを備えている。閉軌道において弾性シール(4)がシール面(35)に当接する位置(p)およびその際の閉塞部材(3)の速度(v)のうち一方または両方が制御装置(9)に必要なパラメータとして用いられる。 （もっと読む）

【課題】摩耗による流体漏れを防ぐ、スリーブバルブの提供。
【解決手段】バルブアセンブリは、バルブ本体と、バルブ本体に亘る入口端36及び出口端38を有する流体通路34とを備えている。バルブ座部は、前記流体通路内に規定されている。スリーブ60は、流体通路内において軸方向にスライド可能であり、上流端68と、下流端66と、前記流体通路の入口端36及び出口端38に連通する軸方向の流体通路61とを具備している。バルブステム24は、流体通路34から半径方向に離隔されたステムピボット27で揺動自在に取り付けられる。バルブステムは、スリーブを、流体通路34を通じた出口端への流体の流れを選択的に制御するために、前記バルブ座部から離隔した下流端66を有する開位置と、前記バルブ座部に支えられた下流端を有する閉位置との間でスライドさせるように作動可能である。 （もっと読む）

【課題】排出ポートからの流体の漏れをより低減することができる。
【解決手段】電磁弁２０は、スリーブ４１の内部空間４５に、摺動方向へ移動可能にスプール４４が配設され、このスプール４４の摺動方向への移動に伴い入力ポート５２と出力ポート５４とドレーンポート５６とでの油量を調節する。そして、このスプール４４を摺動方向に移動すると、入力ポート５２近傍に形成された壁部４１ａの当接面４２ａにスプール４４に形成されたシール面６２ａが面で当接して入力ポート５２を閉塞する。一般に、スプール４４とスリーブ４１との間には摺動クリアランスが設けられており、このクリアランスの間を作動油が流通可能であるが、ここでは、入力ポート５２の壁部４１ａに、摺動方向に直交するシール面６２ａが当接して入力ポート５２からの作動油の流入を防止するのである。 （もっと読む）

第１の剪断バルブ部材(100)と、第２の剪断バルブ部材(300)と、前記第１の剪断バルブ部材(100)と前記第２の剪断バルブ部材(300)との間に配置された層部材(200)とを備えた剪断バルブ(10)であって、前記層部材(200)が、前記第１及び第２の剪断バルブ部材(100,300)が互いに対して運動した際に該第１の剪断バルブ部材(100)に対して固定された空間的関係を有するよう構成されている、剪断バルブ(10)。 （もっと読む）

【課題】高い精度をもつレギュレーション／調節機能および信頼性ある遮断機能の両方を遂行できる弁装置を提供することにある。
【解決手段】流体流れダクト（１１１）内に配置された環状シーリングガスケット（１３０）を有し、該シーリングガスケット（１３０）はスロットル要素（１２０）の内部キャビティ（１２３）の壁に接触しており、スロットル要素（１２０）の内部キャビティ（１２３）は球形であり、これにより、弁の全閉位置では、シーリングガスケット（１３０）の全周がスロットル要素（１２０）の内部キャビティ（１２３）の壁に接触することを特徴とする弁装置。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）

【課題】水と湯を混合して迅速かつ正確に所望温度及び流量の温水を得ることができるとともに、弁本体の内周壁面と弁体の外周壁面との間から湯水が漏出するのを効果的に抑制することのできる混合弁を提供する。
【解決手段】環状シート部材４１とＯリング４２からなる環状弾性シール部材４０を水導入口１１の先端面１１ａと弁体２０の外周壁面との間及び湯導入口１２の先端面１２ａと弁体２０の外周壁面との間に、それぞれ、それら両者に圧接するように介装してなる。 （もっと読む）

【課題】 シール性、操作性に優れ、且つ小型化を可能にしたスライド切替え弁構造を得る。
【解決手段】 １つの流入路２と並設して配置された２つの流出路４，５を有し、スライド弁体８を往復スライドさせて、一方を開き、他方を閉じることにより流体の流出路４，５を変更するスライド切替え弁構造であって、２つの流出開口部６，７を、２つの流出開口部６，７の中間の仕切り体３の位置が一番深くなるように円弧状に湾曲させ、前記スライド弁体８を、２つの流出開口部６，７の湾曲に沿う湾曲板で形成した。 （もっと読む）

【課題】メーンシャフトの‘Ｌ’形の２段階駆動を正確になし得る、駆動機構の改善された方形真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】ウェハー移動通路を開閉する密閉部材１００と；前記密閉部材１００が上側に結合され、側面にはガイド部材４１０が突設されたメーンシャフト４００と；前記メーンシャフト４００のガイド部材４１０が挿入される第１ガイド溝２１０が垂直上下方向に形成されたハウジングブラケット２００と；前記ハウジングブラケット２００の内部に形成され、空気の圧力によって駆動されるエアシリンダー３１０、前記エアシリンダー３１０の内部に形成されたピストン３２０、前記ピストン３２０に結合されるピストンシャフト３３０、前記ピストンシャフト３３０に結合される可動ユニット３４０、及び前記可動ユニット３４０とメーンシャフト４００に連結される連結リンク３５０を含むバルブ駆動部３００と；前記ハウジングブラケット２００の下側面から垂直下方向に延設される垂直ブラケット５１０、前記上下プレート５１０の長手方向の各対辺に形成された第２ガイド溝５３０、及び前記上下プレート５１０の下端を連結する水平ブラケット５２０が形成されたガイドブラケット５００と；前記メーンシャフト４００の外周面に一側が連結され、他側は前記第２ガイド溝５３０に挿入されたままで、前記メーンシャフト４００の垂直上下運動によって回動するガイドリンク６００とを含む。 （もっと読む）

【課題】 シート部材に対して弁体を接離させるのに該弁体の傾動させるようにしても、該弁体とステムとのトルク伝達部位で十分な強度を得られることのできるボールバルブを提供する。
【解決手段】 前記弁体には、該弁体の回転軸線と直交する方向に延びる一対の第一支点領域が回転軸線を挟んで形成されるとともに、一対の第一支点領域と直角をなし、且つ回転軸線と直交する方向に延びる線状又は面状をなす一対の第一接触領域が回転軸線を挟んで形成され、前記ステムには、前記一対の第一支点領域と隙間をあけて対向する一対の第二支点領域が回転軸線を挟んで形成されとともに、一対の第二支点領域と直角をなし、且つ回転軸線と直交する方向に延びる線状又は面状をなす一対の第二接触領域が回転軸線を挟んで形成され、第一接触領域と第二接触領域とが接触していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気密性を確実に確保することが可能な弁装置を提供する。
【解決手段】工具本体の装填孔に嵌合装填される弁筺１０と、弁筺１０の長手方向に貫通する油通路２２を有し、弁筺１０の一端側に設けられる油流入部２０と、ステム３１に弁杆を取り付け、弁筺１０に配される弁部３０と、ボール弁３５と、弁部３０を油流入部方向２０に付勢するスプリング４０と、弁筺１０の側壁に設けられ、ボール弁３５の移動に伴って移動する弁部３０のステム３１の側壁によって開閉される油排出孔１１とを備え、油流入部２０は、スプリング４０側の油通路に、油通路２２より大径で、ボール弁３５と弁部３０のステム３１の突起部３２とを挿入する油流出部２２ａを有するとともに、油通路２２と油流出部２２ａとの境界部にボール弁３５によって開閉するテーパ角１００〜１４０°の弁座面２２ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】 摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 内部に流体が移動するための第１の流路２１が形成され、表面に第１の流路２１に連通した試料導入口５を有する第１の部材１１を作製し、第１の部材１１の表面に垂直に切った第１の部材１１の切断面４２に対して摺接し、第１の流路２１に連通可能な第２の流路２２が内部に形成された第２の部材１２を作製し、第２の部材１２と摺接する切断面４２に、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０を、塗布及び焼成を含むステップにより形成する。第１の弾性膜３０の焼成ステップ中において、第１の部材１１の表面に治具を用いて試料導入口５に接する閉塞された空間を形成し、閉塞された空間に導入された気体を、試料導入口５から第１の流路２１を通して切断面４２に露出した第１の流路２１の開放端より噴出させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、真空露光装置、真空検査装置等に使用されるゲートバルブおよびゲートバルブを備えた露光装置に関し、弁体の開閉に伴う振動の発生を低減することを目的とする。
【解決手段】 バルブ本体の開口部を弁体の移動により開閉するゲートバルブにおいて、前記弁体の移動を案内する静圧軸受を有していることを特徴とする。また、前記静圧軸受を、前記バルブ本体に配置してなることを特徴とする。さらに、前記開口部の閉時に前記開口部を遮蔽する差動排気シールを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は特に内燃機関の複数の枝管を備えた冷却水循環経路用の複数の断面調節部材を有する回転滑り弁に関する。この弁には、断面調節部材2,3,4;24,25,38;102,103間で異なる回転角度が生じ、断面調節部材2,3,4;24,25,38;102,103が互いに連結された少なくとも１つの装置が設けられる。また、本発明は回転自在に支承された少なくとも１つの断面調節部材と、シール手段を介して断面調節部材に密着する基本部材とを備えた回転滑り弁に関する。さらに、本発明は基本部材に回転自在に支承された少なくとも１つの断面調節部材を備えた回転滑り弁に関する。最後に、本発明は回転滑り弁を備えた電気機械組立品に関する。 （もっと読む）