【課題】帯状部材が加工処理される真空装置に用いられる真空バルブであって、バルブ開口部を通じて帯状部材が案内される際、閉塞可能かつバルブ開口部が密閉可能な真空バルブを提供する。
【解決手段】パッキン(10)(11)がその延在範囲のうち第１パッキン主要部の中央部(19)にある第１範囲(22)において、閉塞子(9)に対して固定されるとともに溝部(12)(13)の２つの側壁のうち一方の側壁(24’)を構成する押縁部材(23)によりクランプされている。また、パッキン(10)(11)の延在範囲のうち第２範囲において、溝部(12)(13)を画定する２つの側壁(24)(25)および底壁(26)が閉塞子(9)により構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧力差によるバルブプレートの変位を防止して、密閉状態を確実に保持すると共にバルブプレートの損傷を抑制する。
【解決手段】真空用ゲートバルブ１０は、開口１２ａを有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口１２ａを開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４のケーシング１２への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート１４の変位を許容しない位置調整手段を備えている。位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体２２と、この回転体２２の回転により回転体２２に対して相対的に昇降する昇降体２４とから成り、この昇降体２４はバルブプレート１４に接してバルブプレート１４の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】流体機器の方向切換弁において、シール性能を悪化させずにスプール孔の内周面を滑らかな面のまま薄く削り取る。
【解決手段】スプール式方向切換弁Ｖに、スプール孔５２及びこのスプール孔５２に連通する複数のポートｐ，ｔ，ｃを有するスリーブ５１と、スプール孔５２の軸方向に挿入され、軸方向に沿って移動して複数のポートｐ，ｔ，ｃを開閉するスプール弁３０とを設ける。このスプール弁３０に、スプール孔５２内周に接する最大径部５３と、この最大径部５３よりも外径が小さく、ポートｐ，ｔ，ｃと連通可能な小径部５４とを設ける。そして、この最大径部５３と小径部５４との境界角部外周面５５に、砥粒を含む環状砥石部５６や断面が小径部５４側へ先細に延びる刃物形状の環状刃物部を設ける。 （もっと読む）

【課題】弁体の移動方向に対して横向きとなる左右の両側に分岐管を設けられ、流量を確保しやすい構造でありながら、弁体を適正な姿勢で精度良く位置決めできる分岐用仕切弁を提供すること。
【解決手段】サドルに接続されるサドル接続口と対向する端部に、穿孔装置を取り付けるための取付口が設けられた直管５と、直管５と十字状に交差し、分岐管を接続するための分岐接続口６１が両端部に設けられた枝管６と、直管５の横方向に枝管６と高さを揃えて設けられ、弁棒９の回転に伴って直管５の軸方向と交差する方向に移動する弁体７と、枝管６から弁体７の移動方向に延設された弁ケース８とを備え、弁体７の正面側に弁体７の移動方向から見て湾曲した湾曲面７０が形成され、その湾曲面７０に対向する弁ケース８の内面に、湾曲面７０に沿って湾曲した案内面８０が設けられている。 （もっと読む）

互いに向かい合って位置する２つの当付け面を、閉じられた輪郭に沿ってシールするためのシール部材（１６０）であって、弾性的なシールエレメント（２１０）が設けられており、該シールエレメント（２１０）が、前記輪郭の領域で前記当付け面（１７０）に当て付けられる、互いに反対の側に位置する２つのシール面（２４０）を有しており、さらに２つのばねエレメント（２２０，２３０）が設けられており、該ばねエレメントが、前記シール面（２４０）の一方にそれぞれ対応配置されており、前記ばねエレメント（２２０，２３０）の間に配置された支持エレメント（２５０）が設けられており、各ばねエレメントが、２つの脚部（２６０，２７０）を有しており、２つの脚部のうちそれぞれ一方の脚部が、ばねエレメント（２２０，２３０）に対応配置されたシール面（２４０）を当付け面（１７０）に対して押圧し、それぞれ他方の脚部（２６０，２７０）が、支持エレメント（２５０）に支持されている。
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本発明は、流路（Ｆ）を気密式に遮断するためのバルブに関する。バルブは、バルブハウジング（１）と、バルブプレート（５）と、バルブプレート（５）を開放位置（Ｏ）と閉鎖位置（Ｃ）との間でシフトすることができる駆動部（７）とを有する。本発明によると、バルブは、連結位置（Ｋ）において、バルブプレート上のバルブプレート（５）の第一のシール（２１）に対して連結および分離することができ、係留位置（Ｐ）において、バルブハウジング（１）の係留部における係留部（８）の第二のシート（２２）に対して連結および分離することができる、シール支持部（３０）を有する。第一のシール（３１）が連結位置（Ｋ）および閉鎖位置（Ｃ）でバルブシート（４）に気密式に接触し、第一のシール（３１）とバルブプレート（５）上にある閉鎖表面（１３）との間に気密接続が形成されるように、第一のシール（３１）がシール支持部（３０）上に配置される。シール支持部（３０）は、第一の連結手段（３３）により、連結位置（Ｋ）でバルブプレート（５）の第一のシート（２１）に分離可能に連結することができる。シール支持部（３０）は、第二の連結手段（３４）により、係留位置（Ｐ）で係留部（８）の第二のシート（２２）に分離可能に連結することができる。
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バッグ・イン・ボックス容器と連係して使用するための栓体は、胴部、プラグ部材、上部シールアセンブリ、および下部シールアセンブリを備える。胴部は、内表面および外表面を有する細長い管の形態の栓体ノズル、その第１端にあるハンドル開口およびその第２端にある分注開口を含む。ノズル開口が、第１端と第２端の間の細長い管の中へと延びており、バッグ・イン・ボックス容器と流体連通して設置することができる。プラグ部材の外表面が細長い管の内表面に対向するように、プラグ部材は、胴部の細長い管内部に嵌って、摺動移動できるように構造的に構成されている。開放方向においては、ノズル開口は、分注開口と流体連通している。閉止方向においては、ノズル開口は、分注開口との流体連通をはばまれている。上部シールアセンブリは、上部シール表面領域と、ノズル開口と胴部のハンドル開口の間に位置する上部シールビードとを含む。上部シールアセンブリは、栓体の閉止方向と開放方向の間の連続的な密封係合を維持する。
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【課題】本発明は、取り扱う流体が潤滑効果の少ない水を対象とし、尚且つ高圧で使用する場合であっても、リップ部の磨耗及び亀裂損傷の問題が極めて少なく、リップパッキンを開閉弁として利用することができる長寿命化に優れた開閉弁の技術を提供する。
【解決手段】バルブ「閉」は、弁体のテーパー面がリップパッキンのリップ部に接触した位置で、スピンドルの軸方向移動を停止させて流路を閉塞している。この流路閉塞の状態でリップパッキンンのリップ部が外形方向へ圧縮されることはなく、変形することはない。スピンドルが停止した後は、流体の静圧によりリップ部が弁体のテーパー面に押し付けられるようになり、シールが行われる。バルブ「開」は、テーパー面がリップパッキンのリップ部から離れるように弁体を軸方向移動させるだけでよい。この場合も、リップパッキンのリップ部は解放されるだけであり、リップ部自体の変形を伴うものではない。 （もっと読む）

弁であって、ケーシングが設けられており、該ケーシングが、流体のための流入開口と、閉鎖エレメントと、流体のための流出開口とを有しており、閉鎖エレメントにより流体の流れが制御可能であり、さらに調節装置（３７）が設けられており、該調節装置が、閉鎖エレメントの閉鎖横断面を調整するための電気的な調節駆動装置（４０）を有しており、さらに駆動装置ケーシング（３８）が設けられており、該駆動装置ケーシングに調節駆動装置（４０）の固定子（３９）が堅く結合されており、流体の圧力下にある駆動装置ケーシング（３８）の内室（４５）内で、調節駆動装置（４０）の可動な可動子（４１）が閉鎖エレメントに運動伝達可能に連結されており、固定子（３９）が、内室（４５）内に配置されている形式の弁が開示される。研磨性かつ浸食性の成分を有する流体のために、流体内に位置する調節駆動装置を備える弁を使用するために、駆動装置ケーシング（３８）の内室（４５）が、可動な分離エレメント（４８）により流体から分離されている。
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自動車の暖房及び／又は冷房システム内で媒体の流量を制御するための弁（１００）であって、少なくとも１つの第１の通路（１４０）を備えた弁ハウジング（１１０）と、前記第１の通路（１４０）を開閉するための調整ディスク（１７０）とを有している。この場合、調整ディスク（１７０）は、回転可能に支承された駆動軸（１８０）の第１の端部に配置されており、前記駆動軸（１８０）が、前記調整ディスク（１７０）から、前記弁ハウジング（１１０）の軸方向開口（１６０）を通って、前記弁ハウジング（１１０）内に配置されたばね室（２３０）内に延在している。前記ばね室（２３０）内に配置された、駆動軸（１８０）の第２の端部が平歯車（１９０）を有している。さらに、前記ばね室（２３０）内にばね（２４０）が配置されていて、該ばね（２４０）の第１の端部が前記弁ハウジング（１１０）に支えられ、前記ばね（２４０）の第２の端部が前記平歯車（１９０）に支えられている。
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【課題】量産に適しかつ圧力損失を極小化することができるスライド式バルブを提供すること。
【解決手段】２方弁は、固定流路構成部材１と組付部材５と可動流路構成部材７とスライドシール部材２１とコイルばね１８とアクチュエータとを備える。可動流路構成部材７は、収容孔６の形状に略合致する外形形状を有し、収容孔６内に第１端面３と垂直な方向へ摺動可能に収容される。スライドシール部材２１は、第１端面３及び第２端面９に対し摺動可能である。コイルばね１８は、可動流路構成部材７の第２端面９がスライドシール部材２１の第２シール摺動面２３に圧接されるよう可動流路構成部材７を押圧する。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被覆部材の寿命の短縮を防止することができ、案内片に亀裂や剥離が発生するのを防止することができる仕切弁を提供する。
【解決手段】仕切弁は弁体４１を開閉方向へ案内する案内手段４４を有し、案内手段４４は、弁箱４の内面に形成された案内溝４８と、弁体４１に設けられ且つ案内溝４８に嵌り込んで開閉方向に移動自在な案内突部４９と、案内突部４９の外面を覆う案内片５０とからなり、案内溝４８は、一対の溝内側面４８ａ，４８ｂと、溝奥面４８ｃとを有し、案内片５０は、一対の外側面５２ａ，５２ｂと、外端面５２ｃとを有し、一対の溝内側面４８ａ，４８ｂはそれぞれ案内溝４８の奥ほど間隔が縮小するように傾斜しており、一対の外側面５２ａ，５２ｂはそれぞれ弁体４１の幅方向Ｂの外側ほど間隔が縮小するように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】ゲートバルブの小型化を図る。
【解決手段】ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬに装着され、開閉により基板を搬送させる。ゲートバルブＧＶは、ロードロック室ＬＬの内部空間と連通する前方開口１０５ａが形成された筐体１０５と、筐体１０４に回転可能に内蔵され、回転軸１１０ａとその回転軸に取り付けられた弁体１１０ｂとを有する回転部材１１０と、弁体１１０ｂに取り付けられ、膨張可能なシール部材２００とを有する。ゲートバルブＧＶを閉じる場合には、回転軸１１０ａを回転させて弁体１１０ｂを前方開口１０５ａを塞ぐ第１の位置まで回転させた後、シール部材２００を膨張させる。 （もっと読む）

ゲートバルブは一対の対向する筺体部材、ゲート、一次シールスリーブ、および二次シール部材を含む。一次シールスリーブは筺体部材の各々に配設される。ゲートは筺体が互いに接合されるとき画定される横断方向のゲートチャンバを通って滑動可能に通過するように構成される。二次シール部材は筺体部材の間に固定され、潤滑流体が、筺体部材の少なくとも１つを通り、二次シール部材を通ってゲートに塗布されるのを可能にするように構成された少なくとも１つの通路または開口部を含む。
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ゲートバルブは、支持部材を有する。これらの支持部材は、バルブゲート開口部に隣接するゲートバルブの本体構造に取り付けられる。これらの支持部材は、前記バルブゲート開口部の両側上においてゲートスリーブの周囲に放射状に固定される。
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【課題】 保守維持費の増大を抑制することが可能な真空装置を提供すること。
【解決手段】 被処理基板Ｇを真空状態下におくことが可能な、気密に構成された容器本体５０と、容器本体５０に設けられた、被処理基板Ｇを出し入れする開口部５１と、開口部５１を開閉する弁体６１と、開口部５１を囲むように枠状に形成され、容器本体側表面７１ａ、及びこの容器本体側表面７１ａに相対する弁体側表面７１ｂの双方に枠状シール部材７２ａ、７２ｂを備えた、開口部５１の周囲に着脱自在に取り付けられるシール板７０と、を具備する。 （もっと読む）

弁アッセンブリは、凹部及びフランジ面を有するハウジングと、凹部の中に配置される弁スリーブと、を含んでいれば望ましい。スリーブは、中心軸の周囲に通路を画定する、外面及び内面を有する環を含んでいれば望ましく、外面及び内面は、壁を画定するために互いから半径方向に間隔を空けて配置されている。壁は、第１の端部分及び第１の端部分から軸方向に間隔を空けて配置される第２の端部分と、第１の端部分から第２の端部分まで均等な材料特性と、を有している。第１の端部分は、凹部の中の環を支持するリップを画定し、更に第１の支持部材の少なくとも一部を包み込む第１の室を画定すれば望ましい。第２の端部分は、フランジと係合する外面に沿ってフランジ部分を画定し、更に第２の支持部材の少なくとも一部を包み込む第２の室を画定すれば望ましい。
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【課題】横梁部材の旋回運動によって、バルブプレートがバルブロッドに対して、バルブロッドに対して垂直な揺動軸線の回りに揺動可能な懸架装置を提案する。
【解決手段】横梁部材(3)は、中央連結部(4)において前記バルブロッド(2)に対して連結されている。横梁部材(3)は、中央連結部(4)の両側における少なくとも２つの横連結部(5)(6)(54)(55)(56)(57)においてバルブプレート(1)に対して連結されている。横梁部材(3)は、中央連結部(4)及びその両側に隣接する横梁部材(3)の部分が存在する中央範囲(17)においてバルブプレート(1)に対して間隔(a)を有している。 （もっと読む）

【課題】産業用設備及び発電設備から出る高流量で低濃度の排出物内の揮発性有機化合物を処理するための再生式熱酸化装置において、適切な密閉性を保証し磨耗を低減または無くすような、弁および弁システムの提供。
【解決手段】ガスを処理するための再生式熱酸化装置は、燃焼ゾーンと、排気と、熱交換媒体が入っており、燃焼ゾーン及び排気と連通している第１熱交換ベッド及び第２熱交換ベッドと、ガスを第１熱交換ベッドへ流す第１静止モードと、移動モードと、ガスを第２熱交換ベッドへ流す第２静止モードとの間で流れを交代させるための、弁駆動装置、弁座及び流れ分配器５０であるポペット弁を備えており、弁の位置に基づいてガスの流れを制御することができ、弁が第１又第２静止モードにあるとき、弁を弁座に対して密閉するための手段と、弁が移動モードにあるとき、弁を密閉解除するための手段を備えている。 （もっと読む）