【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴化を抑制しつつ薬液の滴下流量を減少させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、回転するウェハ上に薬液を供給するための薬液吐出弁を提供する。本薬液吐出弁は、閉弁状態と最大リフト量との間でリフト量を操作することによって、薬液供給口と薬液吐出口との間の流路状態を変化させる当接部を有するダイアフラム弁と、作動ガスの供給量を操作するための第１開度を連続的に調整可能な第１比例制御弁５１と、作動ガスの排出量を操作するための第２開度を連続的に調整可能な第２比例制御弁５２と、前記第１比例制御弁５１と前記第２比例制御弁５２とを接続する中間流路に設けられている作動ガス供給口とを有する作動ガス供給部と、作動ガス供給口から供給された作動ガスの供給圧力に応じてリフト量を操作するアクチュエータ部と、を備える。アクチュエータ部は、最大リフト量を調整可能に制限するリフト量制限部を有する。 （もっと読む）

【課題】弁開度を任意にかつきめ細かく調整することができるとともに、騒音の発生を効果的に抑えることができ、加えて、優れた応答性、動作安定性、制御特性等が得られる電動式パイロット型制御弁を提供する。
【解決手段】主弁体２０にパイロット通路２８と弁室１３とを連通する連通孔７０が設けられ、パイロット弁体３５に、パイロット通路２８における背圧室側上端部２８ａを開閉するための主パイロット弁体部３６Ａが設けられられるとともに、パイロット出口２８ｂを開閉するための副パイロット弁体部３６Ｂが設けられ、パイロット弁体３５が上方に移動せしめられるとき、副パイロット弁体部３６Ｂがパイロット出口２８ｂを開いた後、少し遅れて主パイロット弁体部３６Ａがパイロット通路２８の背圧室側上端部２８ａを開くようにされる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム弁体が弁座に当接する際に発生する弁座支持部のたわみを防止すること。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂは連結すること、樹脂製弁本体２は、弁室１３と第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの間に弁座１５を支持する弁座支持部１７を備える、流体制御弁１において、弁座支持部１７は弁座補強部１８を有すること、弁座補強部１８は第１流路２１内を一部塞ぐ形状で形成する。 （もっと読む）

【課題】弁部と弁座の着座時の衝撃による材料組織の剥離により発生するパーティクルの被制御流体への混入を抑制し、被制御流体の高度な清浄度を維持することができるエア操作弁を提供する。
【解決手段】弁座２３を形成した弁室２０を有する弁室ボディ部１１と、弁座をシールする弁部３１と弁室内にダイヤフラム部４０を備える弁機構体３０と、作動エアにより弁機構体を進退させて弁座を開閉駆動制御する駆動機構体９０を収容するハウジングボディ部１２とを備え、駆動機構体は、第１ピストン部５０と、第１ピストン部を付勢する第１ばね８１と、ハウジングボディ部内に摺動可能に収容され、第１ピストン部を内部に摺動可能に収容するとともに第１ピストン部を押圧する第２ピストン部７０と、第２ピストン部を付勢する第２ばね８２とを備え、第２ばねのばね荷重を第１ばねのばね荷重よりも大とする。 （もっと読む）

【課題】流体が正逆両方向に流される流体回路で使用することができるとともに、流体の特定方向への漏洩を確実に防止することのできる遮断弁を提供する。
【解決手段】主弁体３０内に、主弁室１５とパイロット室１６とを連通するための第１連通路４１及び第２入出口３２とパイロット室１６とを連通するためのパイロット通路４２が形成され、逆止弁組立体５０は、第１連通路４１を介して主弁室１５からパイロット室１６への流入は許容するがパイロット室１６から主弁室１５への流出は阻止する第１逆止弁体５１、パイロット通路４２の上端開口を開閉するためのパイロット弁体５２を備え、主弁体３０内に、前記パイロット通路４２とは別に、第２入出口３２とパイロット室１６とを連通するための第２連通路４３が設けられるとともに、該第２連通路４３に、第２入出口３２からパイロット室１６への流入は許容するがパイロット室１６から第２入出口３２への流出は阻止する第２逆止弁体６５が設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】主弁体に対するプランジャ及び逆止弁組立体の回転方向の位置決めを不要にすることができるとともに、構成部材に摩耗を生じ難くでき、もって、作動不良や漏洩等を生じ難くできて、耐久性、信頼性等を向上させることのできるパイロット式双方向電磁弁を提供する。
【解決手段】主弁体３０に対してプランジャ２５及び逆止弁組立体５０の回転方向の位置が何処であっても、第１逆止弁体５１及び第２逆止弁体５２により第１連通路４１及び第２連通路４２の上端開口を確実に閉止することができるように、第１連通路の上端開口が電磁弁１０の中心線Ｏから半径方向外周側へ所定の距離だけ偏心した部位に設けられ、第２連通路の上端開口が電磁弁の中心線Ｏ上に設けられ、第１逆止弁体が電磁弁の中心線Ｏを中心とする円環状のシール面５１ｃを有する短円筒状とされ、第１逆止弁体の内周側中央に円形状のシール面５２ｃを有する第２逆止弁体が配在されてなる。 （もっと読む）

【課題】液体コンフォーマルコーティング材料の流れに途切れを生じさせることなくかかる流れを基板上に小出しするアプリケータ及び方法を提供する。
【解決手段】アプリケータ（10）は液体コンフォーマルコーティング材料の入口（16）を備えた液体流路（40）、液体出口（44）、弁座（62）及び弁作動機構体（80）を含む本体組立体（12）と、開放位置と閉鎖位置との間で往復動する弁棒（70）と、弾性減衰要素（180 ）を有する。弁作動機構体は弁棒を開放位置と閉鎖位置との間で作動させる。弁棒の第１の端（70ａ）は閉鎖位置では弁座に係合して液体出口を通る液体材料の流れを止め、開放位置では弁座から離脱して液体出口を通る液体材料の流れを可能にする。弾性減衰要素は弁棒が閉鎖位置から開放位置に動いているときに弁棒に対して付勢力をもたらす。 （もっと読む）

【課題】単動式エアオペレートバルブの操作用エアを制御することにより、ウォータハンマ現象の発生が確実に抑制できる操作エア用中間弁を提供する。
【解決手段】弁座２２３に当接または離間すると共に、操作用エアのエア流路に連通する貫通孔２５０Ｈを有する弁体２５０と、弁体を挟んで、入力ポート２１１と出力ポート２２１とを繋ぐ主連通路及びオリフィス連通路２２４と、弁体を弁座に向けて付勢する付勢部材２７０と、貫通孔に設けられたチェック弁と、を備え、弁座は主連通路に形成され、弁体は、エア流路のうち、貫通孔内の貫通孔内エア流路をチェック弁で閉路した状態で、入力ポート側と出力ポート側との間で操作用エアの差圧が所定の圧力値以下になったときに、付勢部材の付勢力により弁座に当接して主連通路を閉路し、操作用エアの流れを、主連通路からオリフィス連通路のみに切替えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薬液回路の内部に形成される流路の設計自由度を提供し、あるいは薬液回路の大型化を抑制する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、薬液回路装置を提供する。本薬液回路装置は、薬液を流通させるための薬液流路と、薬液流路の端部に形成されている主開口部とを有する主回路部材と、主回路部材に対して荷重を印加しつつ当接させた状態で組み付けられ主開口部を薬液回路装置の外部から封止する封止面を有する副回路部材と、主回路部材を収容する収容部と、主回路部材を収容した状態で主開口部に通じる位置に設けられている連通用開口部とを有し、荷重の反力を収容部から主回路部材に伝達するフレーム部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動弁装置を起動した際に予告放水から本格放水に切り替わる放水状態を監視可能とする。
【解決手段】自動弁１０、起動弁１２、初期放水圧力制御弁１５、圧力調整弁１６から構成される自動弁装置１０を備えたトンネル水噴霧設備について、自動弁１０の駆動機構による弁移動位置を検出するポテンショメータ１５０を設ける。センタ制御装置はポテンショメータ１５０の位置検出信号から自動弁１０の低圧設定制御による弁移動位置を判別して予告放水を表示し、その後の自動弁１０の規定圧設定制御による弁移動位置を判別して本格放水を表示する。 （もっと読む）

【課題】暖房運転時の除湿性能を良好に確保可能な車両用冷暖房装置、およびその車両用冷暖房装置に好適な制御弁を提供する。
【解決手段】ある態様の車両用冷暖房装置は、圧縮機、室外熱交換器、蒸発器、制御弁、および制御部を備える。制御弁６は、上流側と下流側との差圧が供給電流値に応じた差圧となるよう流体の流れを制御可能なパイロット作動式の電磁弁である。パイロット弁体１５０は、主弁１０５の上流側と下流側との差圧が供給電流値に応じた差圧となるよう副通路の開度を調整する差圧弁体１５６と、差圧弁体１５６とは別に供給電流の有無に応じて副通路を開閉する開閉弁体１５８とを含む。 （もっと読む）

【課題】複雑な解決手段が設けられた従来技術の欠点を解消する改良された切換弁を提供する。
【解決手段】切換弁１、特に作動液流を制御するための切換弁１において、ボールペン機構２を備え、ボールペン機構２は、ボールペン機構２の操作手段３に操作パルスＩを印加することにより交互に第１の係止位置又は第２の係止位置に係止可能であり、かつ第１の係止位置又は第２の係止位置が、切換弁１の制御ピストン６のそれぞれの第１の切換位置又は第２の切換位置に対応するように、切換弁１に連結されているよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧油の給排を制御する開閉弁のソレノイドを小型化する。
【解決手段】圧油を相対的に高圧の高圧部２から相対的に低圧の低圧部３に流通させる油路を、電磁コイル１９の電磁力によって駆動されて開閉する開閉弁１を備えた油圧制御装置において、開閉弁１は、高圧部２に連通された入力ポート７と、低圧部３に連通された出力ポート８と、その入力ポート７における圧油の圧力が閉弁方向に作用してシール面９に押し付けられることにより出力ポート８を閉じかつその出力ポート８側の圧力がシール面９から離隔させられる方向に作用する弁体５と、その弁体５に対して閉弁方向に作用する圧油を出力ポート８側に導くバイパス流路１４と、そのバイパス流路を開閉するソレノイド１５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】エア消費量の節減と設備の簡素化・小型化とにより、ランニングコストやイニシャルコストを抑制することが可能な減圧切換弁を提供する。
【解決手段】減圧切換弁１Ａを、１本の弁孔２と、弁孔に連通された給気ポートＰ１，Ｐ２、第１出力ポートＡ、第２出力ポートＢ及び排気ポートＲとを有する主弁本体３と、弁孔内に互いに隣接させて摺動自在に挿通されている第１スプール４及び第２スプール５とを有するものとし、第１スプールにより、第１出力ポートを給気ポート又は排気ポートに選択的に接続させる切換弁部７を構成し、第２スプールにより、給気ポートから入力された圧縮エアの圧力を減圧して第２出力ポートから出力する減圧弁部１０を構成した。 （もっと読む）

【課題】 バルブとリミットスイッチとを合わせた流体制御器のコンパクト化が可能な流体制御器を提供する。
【解決手段】 バルブ6は、ケーシング21の開口から突出する突出部を有しバルブ6の開閉に伴って直線移動してリミットスイッチ7に当接する移動部材としてのピストン26を有している。リミットスイッチ7は、ピストン26に臨まされて、リミットスイッチ位置決め手段8を介して位置調整可能に取り付けられている。リミットスイッチ位置決め手段8は、ボディ2に固定された第１のボルト42と、リミットスイッチ7に固定された第２のボルト43と、両ボルト42,43を連結する連結ねじ44とを有しており、第１のボルト42と第２のボルト43とでピッチが異なるものとされている。 （もっと読む）

【課題】制御装置のコストおよび動作動力を減少させることができる比例圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】 比例圧力制御装置１０は、流入ポート２８、送出ポート３０および排出ポート３２を有する本体を備える。フィルバルブ５４は流入ポート２８内の加圧流体に連通する。ダンプバルブ５６はフィルバルブ５４からの加圧流体に連通する。流入ポペットバルブ３６はフィルバルブ５４を通過する加圧流体によって開放される。排出ポペットバルブ８０は、閉鎖時、加圧流体を排出ポート３２から隔離する。送出流路３４は流入ポペットバルブ３６の開放時に加圧流体に連通し、また送出流路３４および排出／送出共通流路８６に連通する。充填流入流路６２は流入流路５８とフィルバルブ５４とを連通させる一方、送出流路３４、排出／送出共通流路８６、送出ポート３０および排出ポート３２からは比例圧力制御装置１０がどの動作状態にあっても隔離される。 （もっと読む）

【課題】応答速度及び正確さに関して優れた流量制御弁を提供する。
【解決手段】流体導管を形成するハウジングと、ハウジング内を流れる流体に最大インピーダンスを与える第１の位置と導管内を流れる流体に最小インピーダンスを与える第２の位置との間で移動可能な隔壁と、軸を介して、隔壁を、前記第１の位置、第２の位置および第１の位置と第２の位置との中間の位置に動かすことができる空気圧式アクチュエータと、入力電気信号に比例し少なくとも２つの流路間で切換え可能な空気流を空気圧式アクチュエータに供給する空気圧比例弁と、隔壁の位置を表すフィードバック信号を発生する手段と、前記フィードバック信号と必要な隔壁位置によって決まる基準信号とを受信し、空気圧比例弁に制御信号を供給するコントローラとから構成される。 （もっと読む）

より大きな室と、肩部によって分離されたより小さな室とによって画定された内部流体ポートを有する弁ハウジングと、弁ハウジングに着座し、かつハウジングに着座可能なエンドプレートに隣接する弁本体の円周の周りに円周方向に均一に離間した複数のポートによって画定された弁本体と、ポートの間の複数の支持壁セクション（ムリオン）と、内部翼の補強を提供する対応するムリオンに沿って各々が延びる複数の内部翼９とを含む高速動作の直接流体（ガスまたは液体）作動弁アセンブリ。翼９は、傾斜されおよび／または曲げられ、また丸くされた面によって画定されて、滑らかな循環する内部流体流れを促進する。環状カラーで形成された弁キャップは、弁本体に取り付けられ、弁本体２およびキャップ／カラー７は、開位置と閉位置との間の弁ハウジング１に摺動可能に支承される。弁アセンブリを容易に取り付けまた取り外すために、ツールセットも開示される。 （もっと読む）