【課題】弁の開閉動作の際に弁の発塵により発生する汚染物を洗浄槽内に混入させずに外部に排出し、洗浄処理中に洗浄槽内の汚染物を排出弁からのリークにより排出することができ、洗浄槽から洗浄液を効率よく短時間で排出することができる排出弁及び排出弁を有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】弁本体１内部に設けられた弁座１０に当接又は離間することにより、排出口２と排出窓３とを連通又は遮断する弁体２６と、弁本体１又はシリンダ部１４側面に設けられ、シリンダ底部１５上面及びシリンダ部１４内周面とピストン２２下面とで囲まれた第一空間部１８と、シリンダ上部１６下面及びシリンダ部１４内周面とピストン２２上面とで囲まれた第二空間部１９とにそれぞれ連通される一対の作動流体供給口２０、２１とを具備する排出弁において、弁体２５と弁座１０が当接したときに排出口２と排出窓３とを連通する複数の溝２６を形成する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの駆動力を利用して弁体を弁座に対して離接する弁装置において、シール性を向上させる。
【解決手段】アシスト機構４０は、遮蔽板４２で仕切られた二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂを有するチャンバー４１と、チャンバー４１に配置されチャンバー４１内の水素を吸収する水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂとを備える。水素吸蔵合金４３Ａ，４３Ｂは、チャンバー４１内の水素温度に応じて二つの圧力室４１Ａ，４１Ｂ間に差圧が発生するように構成される。アシスト機構４０は、上記差圧により遮蔽板４２に作用する力をアシスト部材４４により弁体３２に作用させ、これにより弁体３２の弁座２４への当接をアシストする。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムに設けられた弁体部のシート性を向上させることである。
【解決手段】 ダイアフラム１６には流入側流路１４の開口部１４ａを開閉する弁体部１６ｂが設けられる。この弁体部１６ｂには固定軸部３５が設けられ、この固定軸部３５は駆動軸２１の先端に形成された取付孔３６にねじ結合される。固定軸部３５には摺動リング３８が装着され、この摺動リング３８はそのテーパ面３８ｂにおいて駆動軸２１の先端に形成された球面状の摺動面３７に摺動自在に接触している。また、取付孔３６の開口部側には大径部３６ｂが形成され、固定軸部３５との間には隙間が形成されている。これにより、駆動軸２１が傾斜すると弁体部１６ｂは弁座１８に均一に接触するように駆動軸２１に対して傾斜する。 （もっと読む）

【課題】 可変容量型油圧モータを駆動負荷の増大に伴って小容量状態から大容量状態に切換え操作するように、容量切換えのハンチングが発生しないバルブ装置をコンパクトな状態に得る。
【解決手段】 スプール５０の一端側に、有底の小径油室穴５２、及び、小径油室穴５２に摺動自在に挿入された小径ピストン６０を設けてある。スプール５０の他端側に、有底の大径油室穴５４、大径油室穴５４に摺動自在に挿入された大径ピストン６１、スプール５０を大容量位置に摺動付勢するように大径油室穴５４に配置されたスプリング６２を設けてある。スプール５０が小容量位置ＶＨに位置すると、小径油室穴５２及び大径油室穴５４が、駆動回路からのパイロット油圧が供給されるパイロットポート４３に連通される。スプール５０が大容量位置に位置すると、大径油室穴５４がパイロットポート４３に連通され、小径油室穴５２がドレンポート４４に連通される。 （もっと読む）

【課題】冷却機能だけでなく吸込み機能も運転のあらゆる段階で確保することができ、付加的に特にコンパクトなかつスペースを節約した構造が実現されるようにする。
【解決手段】弁装置１４が、１つの制御ピストン１５を有しており、該制御ピストン１５が、少なくとも冷却流回路１とポンプ流回路２との間の接続部を制御するために運動可能であるようにした。 （もっと読む）

【課題】止水機能および自己調圧機能を併せ持つ常時閉弁式の止水弁であって、複数の部品が調圧作動をなし、弁自らが開弁作動をなす止水弁１を提供する。
【解決手段】ハウジング２に設けた入力部６および出力部７間にストローク自在に配置され前記両部６，７を連通させる連通路１３を設けた調圧シャフト１１と、調圧シャフト１１の入力部側端部に設けられた弁座１４と、入力部６を圧力室２２と背圧室２３に仕切るよう配置されるとともに弁座１４に接離する弁体２４を備えたダイアフラム２１と、弁体２４を弁座１４へ向けて付勢する止水スプリング２５と、圧力室２２と背圧室２３を連通させるとともに１次圧を背圧室２３に導入するパイロット孔２８と、背圧室２３と出力部７を連通させるバイパス流路３９と、バイパス流路３９を開閉する電磁弁３１と、２次圧力と対抗するよう配置され調圧シャフト１１を均衡位置にて停止させる調圧スプリング１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 容器に充填する液体の乱流を抑制して、泡立ちの発生を防止しつつ液体充填をする。
【解決手段】貯液タンク３０内の液体３１は、液体供給管４０，充填ノズル部１０の流路１２及び充填ノズル１５を介して、容器３に充填される。充填開始時には液弁１３が全開となり充填終了時には液弁１３が全閉となる。充填期間において、流量可変手段１００は、液体３１の液量を充填初期では小流量としその後の期間では大流量とする流量制御をする。流量可変手段１００の下流側に配置した整流用縮流路２００では、液体３１の液流を絞り込むことにより乱流を抑制する。このため乱流成分が抑制された液体３１が、充填ノズル１５を介して容器３に充填されるため、泡立ちの発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体を軸線方向に沿って変位させる際の応答性をより一層向上させる。
【解決手段】燃料電池用電磁遮断弁１０は、ガイドボディ２２の内部にソレノイド部２８の励磁作用下に軸線方向に沿って変位自在な可動部材２０が設けられ、前記可動部材２０の変位作用下にパイロット弁座部１２８よりパイロット弁部１３２が離間し、連通室３６内の流体がパイロット通路１３８を通じて導出ポート１４へと流通する。そして、ダイヤフラム６０によって分割された第１連通室３６ａと第２連通室３６ｂとの間の圧力差によって弁体３４の主弁部１３４がバルブボディ１６の弁座部３２より離間して弁開状態となる。 （もっと読む）

【課題】弁体を軸線方向に沿って変位させる際の応答性をより一層向上させる。
【解決手段】燃料電池用電磁遮断弁１０は、ガイドボディ２２の内部にソレノイド部２８の励磁作用下に軸線方向に沿って変位自在な可動部材２０が設けられ、前記可動部材２０の変位作用下にパイロット弁座部１２８よりパイロット弁部１３２が離間し、連通室３６内の流体がパイロット通路１３８を通じて導出ポート１４へと流通する。そして、ダイヤフラム６０によって分割された第１連通室３６ａと第２連通室３６ｂとの間の圧力差によって弁体３４の主弁部１３４がバルブボディ１６の弁座部３２より離間して弁開状態となる。 （もっと読む）

【課題】流体吐出システムに使用される弁が提供される。
【解決手段】弁は、内部空洞を有する弁本体と、弁本体内で開位置と閉位置との間を軸方向に移動するように取り付けられた弁棒とを有する。弁棒は、空気入口及び空気出口を有する作動空気通路を備え、空気入口は、加圧作動空気の供給源に接続されるようになっている。空気出口は、上記内部空洞に連通している。弁はまた、弁棒によって担持されて内部空洞内に配置されたピストン部材を備える。弁はさらに、液体入口、液体出口、並びに液体入口及び液体出口間に位置する弁座を備え、それにより、加圧作動空気が作動空気通路を通って内部空洞内に導入され、且つピストン部材に作用するとき、弁棒は、弁座に対して閉位置から開位置へ移動可能である。 （もっと読む）

マイクロボールバルブを含む微小流体デバイスが提供される。このマイクロボールバルブは、微小流体デバイスを通じて流れる流体を防ぐか、または中断し得る。この微小流体デバイスは、基板層、およびこのマイクロボールバルブを含む微小流体経路を含み得る。この微小流体デバイスを用いて流体を操作するための方法が提供される。本発明は、一方向性マイクロボールバルブを含む微小流体デバイスが提供する。この一方向性マイクロボールバルブは、微小流体デバイスの通路内に位置され得、そして微小流体デバイス中またはその上に形成される微小流体特徴間の流体流れを制御し得る。
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【課題】 省スペース化および流水検知装置構造の簡易化が図られる乾式スプリンクラー設備に設置される流水検知装置の提供。
【解決手段】 弁箱内部を一次側室Ｉと二次側室ＩＩに分ける隔壁６を有し、該隔壁６には一次側室Ｉと二次側室ＩＩを連通する連通穴７が形成されており、一次側室Ｉの内壁面に沿って移動することで連通穴７を開閉可能とする弁体８が設けられており、弁箱と弁体８の背面によって形成された空間である制御室１２には流体が充填されており、二次側室ＩＩと接続された配管２７には差圧起動装置１７が設けられ、該差圧起動装置１７が制御室１２と接続されており、二次側室ＩＩと接続された配管２７内の流体の減圧によって差圧起動装置１７が作動され、制御室１２内の流体が排出されるようにした。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、配管接続による圧力損失を低減し、各モジュールの配置変更を容易に行なえるもので、また流体に腐食性流体を使用しても腐食が起こることなく、配管後の流量の設定変更や、流路の遮断が可能であり、流入する流体が脈動していても流量の制御が可能な流体制御装置を提供する。
【解決手段】 本発明の流体制御装置は、超音波を流体中に発信する超音波振動子１２と超音波振動子１２から発信した超音波を受信し信号を流量計アンプ部８２に出力する超音波振動子１３とを有する流量計センサ部４と、操作圧により流体の圧力を制御する定流量弁５とを具備し、流量計センサ部４と定流量弁５とが、流体流入口３と流体流出口６を有する１つのケーシング２内に接続されて設置されてなる。 （もっと読む）

【課題】
シリンダー及びピストンを備えた駆動手段の駆動状態を正確に制御することができ且つその構造を簡単にした流体駆動装置を提供する。更には、その流体駆動装置を利用した玩具銃などの弾発射装置及びその他の発射装置を提供する。
【解決手段】
シリンダ３ー及びピストン４を備えた駆動手段２と、駆動手段２を操作するためのスイッチ５と、スイッチ５に接続されているスイッチング手段６と、スイッチング手段６に接続されている開閉弁７と、開閉弁７を介して駆動手段２に加圧流体を供給する流体供給源９とから構成され、スイッチ５が操作されたときにスイッチング手段６により開閉弁７が一定の時間間隔で開閉され、開閉弁７によって駆動手段２のピストン４の往復運動が制御される。 （もっと読む）

【課題】 水素圧力を調整する調圧弁の内部に水分が進入することに伴う弊害を防止する。
【解決手段】 調圧弁４０は、可撓性のダイヤフラム４１を備えており、このダイヤフラム４１によって内部が背圧室４２と調圧室４３とに区分されている。背圧室４２には、上流側分岐流路３３を介して電磁弁５０により水素が供給され、この水素は、オリフィス８０を介して、下流側水素流路３２に還元される。このような構成によれば、背圧室４２内に空気が取り込まれないため、空気中に含まれる水分による凍結や錆の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体が弁座部に着座した際、流体通路と弁体との間における塗料の液だまり及び液漏れを防止する。
【解決手段】メインボディ１２の内部にパイロットエアによって変位するピストン６２が設けられ、前記ピストン６２に連結されたシャフト６４の端部には樹脂製材料からなる弁体６６が連結されている。そして、メインボディ１２の一端部には、塗料が供給される供給ポート１６を備えるサブボディ１８が連結され、該サブボディ１８に形成される弁座部５２に弁体６６が着座することにより、前記塗料の流体通路３０への流通が遮断される。この弁体６６は、弁座部５２に着座する着座部９８が略球面状に形成されると共に、前記弁座部９８の表面は前記着座部９８に対応して略球面状に窪んで形成されている。 （もっと読む）

【課題】 バルブ部材の損傷を軽減し、バルブ全体の寿命が延ばし、保守に要する時間・経費を節約する。
【解決手段】 バルブスリーブ２５内に主弁体１を移動可能に配置する。主弁体１は、バルブスリーブ内を前進することでバルブスリーブの弁座２６ｂに当接して弁流路を閉じ、後退して弁流路を開く。主弁体の後向面側に一次流体の流体圧力が付加される受圧面６ａを設け、受圧面に圧力を付加する流体圧側と二次流体圧側とを連通させる圧抜き流路４を設ける。主弁体に、主弁体に対し移動可能でかつ主弁体に対する後退量が規制された副弁体１０を配置する。副弁体１０は、前進することで主弁体に設けた弁座に当接して圧抜き流路４を閉じ、後退することで圧抜き流路を開く。副弁体１０に、副弁体を前記軸方向に沿って移動させるアクチュエータの作動部５０を連結する。 （もっと読む）

【課題】 急速開放できると共に二次側圧力を目的とする圧力以下に制限することができる簡単な構造の急速開放調圧弁を提供する。
【解決手段】 急速開放調圧弁を本体１、弁体部材２、バネ受け３、バネ４、封圧機構５、弁作動機構６等で構成し、弁作動機構６の作動で尖端６５が封板５２を破って開受圧面２５に入口１１ａの圧力をかける。この状態で、弁座１３の当たり面直径、閉受圧面２４及び開受圧面２５の受圧面積、並びにバネ４の力を、出口１２ａの圧力が所定圧力以下になる関係に定める。弁作動機構６の不作動時は、弁キャップ２２に作用する入口圧力による力がバネ４に勝って弁を閉じる。弁作動機構６の作動時は、開受圧面２５に作用する力が弁キャップ２２に作用する力を相殺してバネ力で弁を開く。出口圧力上昇時には、閉受圧面２４に作用する力がバネ力に勝って弁を閉じ、出口圧力を一定以内に制限する。これによって管、弁等の耐圧は、低くてすむ。 （もっと読む）

【課題】 調節弁の開度を、(1)安定的(2)高精度かつ(3)高応答に駆動することができ、更に軽量かつコンパクトでしかも高効率な弁駆動用電油圧式アクチェータを提供すること。
【解決手段】 電動モータ１１により出力軸１０Ａを直線駆動する弁駆動用電油圧式アクチュエータ１０において、電動モータ１１の回転運動を直線運動に変換するスラストコンバータ１３を設けるとともに、スラストコンバータ１３の両側に油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂを設け、スラストコンバータ１３の両側スラスト軸１７Ａ、１７Ｂのそれぞれを各油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂのピストンに連結し、両油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂに接続される油圧シリンダ３１を設け、油圧シリンダ３１のピストンロッドに出力軸１０Ａを連結し、各油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂの油圧を油圧シリンダ３１のピストンを挟む両側油室のそれぞれに供給可能にしたもの。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハを材料とし、半導体加工技術を用いて作製した、小型の圧力調整用のマイクロバルブおよびそれを搭載した燃料電池を提供する。
【解決手段】 半導体ウェハを用いて製造された圧力調整用のマイクロバルブであって、気体の導入口０３１と導出口０３２を結ぶ流路０３３と、流路０３３中に設けられた弁体０２５と、弁体０２５とバルブ軸０２３を介して連結して設けられたダイアフラム０２４を有し、前記ダイアフラム２４は流路０３３の内部０３４と外部０３５とを隔てて配置され、流路０３３の内部０３４の圧力と外部０３５の圧力の差圧によって変形することにより弁体０２５が変位して開閉するマイクロバルブおよびそれを搭載した燃料電池。 （もっと読む）