【課題】電動弁を流れる冷媒が、正逆の流れ方向に拘わらず、同一流量とする。
【解決手段】弁室内の弁体により流体の通過流量を調整する弁本体１２と、該弁本体１２に固着され弁体１３を作動させるロータ１７を内蔵するキャン１６と、キャン１６に外嵌されロータ１７を回転駆動するステータ１８とを備えた電動弁１０において、弁体１３は回転可能とし、流体の流れ方向が正逆いずれに拘わらず、流量が略同一となるように構成する。そのため、弁体１３は、外面円筒形状でこの円筒の中心線を軸として回転するようにし、弁体１３には冷媒を流路２ａ，２ｂ間で連通させるオリフィス１３ａと切欠き部１３ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】揺動形のゲートバルブにおけるバルブプレートを揺動させるための揺動装置を、構造が簡単で耐久性に勝れると共にハウジングに省スペース的に付設することができるようにする。
【解決手段】バルブプレート２を揺動させる揺動装置８を、ハウジング１の側面に配設されたアクチュエータ２８と、該アクチュエータ２８から延出して先端部が上記ハウジング１の内部に進入し、上記アクチュエータ２８でバルブプレート２と平行な方向に直線的に往復駆動される操作ロッド３３と、上記バルブプレート２に形成されたカム溝３８と、上記操作ロッド３３に取り付けられて該カム溝３８内に変位自在なるように嵌合し、該カム溝３８と協同して上記操作ロッド３３の直線運動をバルブプレート２の揺動運動に変換するカム軸３９とで構成する。 （もっと読む）

低騒音流量調節弁装置が提供される。本流量調節弁装置は、シリコーンを利用して流路を形成して、流量調節の際、流体との摩擦を減少させると同時に乱流の形成を防止することで、騷音の発生を最小化する。本流量調節弁装置は、内部に通孔が形成され、側面上にプランジャガイドが形成されたパイプと、前記パイプのプランジャガイド内に設けられ、該プランジャガイドに沿って上下運動するプランジャと、前記パイプの内面上に設けられ、中央に流路が形成されたシリコーン壁と、前記パイプの入口に設けられ、前記シリコーン壁を前記パイプに固定するクランプジョイントと、前記パイプの出口に設けられ、前記シリコーン壁が押し出されることを防止するストップジョイントとを備える。
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【課題】 可動部分が必要最小限の簡単な構造を実現し、これにより閉塞運動が可能な限り速く実行されるとともに、閉塞位置において比較的自由度が低いアクチュエータによって強い閉塞力が達成されるバルブを提供する。
【解決手段】 本発明は閉塞部材３を有し、閉塞部材３の閉塞位置においてバルブ開口部１を気密に閉塞するためのバルブに関する。アクチュエータ４は、閉塞部材３との関係において、初期最大開口位置から始まる初期作動区間において、閉塞部材３の直線運動成分と、アクチュエータ４の直線作動方向との間の角度が０°および１８０°以外の角度になるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を可能にしながら、湯水が通過する際に発生する通水音を低下させることができる湯水混合バルブユニット及びそれを備えた湯水混合水栓を提供する。
【解決手段】本発明は、湯水混合バルブユニット（８）であって、バルブユニット本体部（８ａ）と、湯流入孔、水流入孔、及び混合された湯水を流出させる湯水流出孔が形成された固定弁体摺動面（２２ｄ）を備えた固定弁体（２２）と、湯流入孔及び水流入孔を開閉する可動弁体摺動面（２４ｃ）、及び可動弁体摺動面に形成された湯水混合室（２４ｂ）を備えた可動弁体（２４）と、この可動弁体を摺動させる摺動操作部（８ｂ）と、を有し、湯水混合室は、可動弁体摺動面に形成された凹部であり、湯水混合室の流入孔側の側壁面（２５）には、流入孔側流路拡張凹部（２５ａ）が形成されており、この流入孔側流路拡張凹部は、入口の幅が奥行きよりも広く形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】メーンシャフトの‘Ｌ’形の２段階駆動を正確になし得る、駆動機構の改善された方形真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】ウェハー移動通路を開閉する密閉部材１００と；前記密閉部材１００が上側に結合され、側面にはガイド部材４１０が突設されたメーンシャフト４００と；前記メーンシャフト４００のガイド部材４１０が挿入される第１ガイド溝２１０が垂直上下方向に形成されたハウジングブラケット２００と；前記ハウジングブラケット２００の内部に形成され、空気の圧力によって駆動されるエアシリンダー３１０、前記エアシリンダー３１０の内部に形成されたピストン３２０、前記ピストン３２０に結合されるピストンシャフト３３０、前記ピストンシャフト３３０に結合される可動ユニット３４０、及び前記可動ユニット３４０とメーンシャフト４００に連結される連結リンク３５０を含むバルブ駆動部３００と；前記ハウジングブラケット２００の下側面から垂直下方向に延設される垂直ブラケット５１０、前記上下プレート５１０の長手方向の各対辺に形成された第２ガイド溝５３０、及び前記上下プレート５１０の下端を連結する水平ブラケット５２０が形成されたガイドブラケット５００と；前記メーンシャフト４００の外周面に一側が連結され、他側は前記第２ガイド溝５３０に挿入されたままで、前記メーンシャフト４００の垂直上下運動によって回動するガイドリンク６００とを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の被処理体に対して所定の処理を行うチャンバーに用いられる圧力制御バルブにおいて、シール部材の長寿命化を達成することができる圧力制御バルブを提供すること。
【解決手段】 チャンバー１１側と排気装置５３，５４側とを連通する開口６１ｂを備えた弁ボディ６１と、前記開口を閉止する封止用弁体６２と、該封止用弁体に設けられたシール部材６２ａ及びその外側の保護シール６２ｂと、前記開口６１ｂを所定の開度だけ開口するシール部材を持たない制御用弁体６３と、を設け、プラズマ処理をする場合は、開口を制御用弁体で所定の開度にし、封止用弁体６２は、弁退避部に退避させておく。弁退避部では、保護シールの内側にシール部材が密封されるので、シール部材はプラズマやラジカルに曝されない。 （もっと読む）

【課題】湯水混合バルブユニットの外部において発生する騒音を低減することができる湯水混合水栓を提供する。
【解決手段】本発明は、供給された湯及び水の混合比を変化させると共に、流量を調整して吐水させる湯水混合水栓（１）であって、バルブ本体（８ａ）、及びこのバルブ本体に取り付けられ、湯と水の混合比及び吐水流量を変化させる操作ロッド（８ｂ）を備えた湯水混合バルブユニット（８）と、この湯水混合バルブユニットに湯を供給する湯供給通路（１６ａ）、水を供給する水供給通路、及び湯水混合バルブユニットにおいて混合された湯水が流入する湯水流出通路（１７）が形成された通水路形成部（１６）と、湯水流出通路から流出された湯水を吐水させる吐水部（６）と、湯水流出通路内部に配置された整流フィン（２０ｃ）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】使用中における耐摩耗性及び耐摩損性を提供する。
【解決手段】相互に移動可能な外部部材及び内部部材を備え、外部部材は、内周囲面を有し、内部部材は、外周囲面を有し、内周囲面及び外周囲面は、外部部材と内部部材との間のそれぞれの移動中に、互いに緊密に隣接する装置であって、外部部材における内周囲面周りに形成された複数の縦方向のチャネルと、外部部材及び内部部材よりも高い耐磨耗性を有している金属から形成され、内周囲面及び外周囲上の磨耗を低減する外部部材及び内部部材のそれぞれの移動を案内する内周囲面及び外周囲面に適合された縦方向のチャネルの各々内の案内部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】４つの入出口間の開通・閉鎖を選択的に行うことができて、複数の弁機能を併せ持つ電動弁を提供する。
【解決手段】第１入出口４１と第２入出口４２とを連通する第１通路部３１、並びに第３入出口４３と第４入出口４４とを連通する第２通路部３２が形成された弁本体１０と、該弁本体１０内に回動可能に嵌挿された弁軸２０と、駆動手段５０とを備え、前記第１通路部３１と第２通路部３２との間に第３通路部３３が形成されるとともに、該第３通路部３３と前記第１通路部１とを連通する第１連通路３５及び前記第３通路部３３と前記第２通路部３２とを連通する第２連通路３６が形成され、かつ、前記弁軸２０に、前記第１通路部３１と第３通路部３３とを選択的に開閉する第１弁体２１と前記第２通路部３２を選択的に開閉する第２弁体２２とが所定角度間隔をあけて一体回転可能に設けられ、第３通路部３３に絞り部材２５が装着される。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行うことができ、しかも、仕切板弁の幅の合理的な工夫により漏洩構造の簡素化と小型化を図る。
【解決手段】 両管部に対して、それらの両連結フランジ部の外周を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢに、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の弁板８Ａを備えた仕切板弁８と、この仕切板弁８の弁板８Ａを密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段Ｃが設けられ、仕切板弁８の弁板８Ａの幅が、両管部の内径よりも大で、且つ、両管部の管軸芯を挟んで相対向する締結具５の両ボルト５Ａの対向間隔よりも小に構成されている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単でありながら、バルブ開口部のサイズを大きくすることができる真空バルブを提供する。
【解決手段】第１縦駆動装置（２１）および第２縦駆動装置（２２）がバルブハウジング（１）の真空領域に位置する作動端（２９）（３０）を有する複数の作動要素（２５）（２６）を備えている。作動要素（２５）（２６）は真空ガイド（２７）（２８）を通じて真空領域に案内され、かつ、真空領域の外側に配置された駆動要素（２３）（２４）によって非作動位置と作動位置との間で変位可能である。作動要素（２５）（２６）が非作動位置にあるとき前記作動端（２９）（３０）が開閉リム（１３）から離れている。一方、作動要素（２５）（２６）が前記作動位置にあるとき作動端（２９）（３０）が開閉リム（１３）に押し付けられ、かつ、第１開閉プレート（１４）が第１バルブシート（１１）に押し付けられ、あるいは、第２開閉プレート（１５）が第２バルブシート（１２）に押し付けられる （もっと読む）

トリムを有する弁であって、該トリムは、複数の渦流路(201)からなり、各流路は、中央渦流室(202)からなり、３つの接線方向の流入路(203、204、205)を備える。流体が流入路(203、204、205)を通過し、渦流室(202)に入ると、流体が回転し始め、互いに衝突する。すなわち、流入路203を経由して流入した流れは、流入路204を経由して流入した流れに衝突し、流入路204を経由して流入した流れは流入路205を経由して流入した流れに衝突し、流入路205を経由して流入した流れは流入路203を経由して流入した流れに衝突する。渦流室に入った流体が、流路壁に対向するもう一つの流体流れに衝突するため、渦流は浸食の少ない流路を形成することができる。流入路(203、204、205)からの流れは、渦流室(202)内の放射状の流れにおいて結合され、実質的に渦流室に対して垂直方向に延設された流出路(206)から流出する。
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【課題】振り子式圧力コントロールバルブにおいて摺動するＯリング等から発生する微粒子の拡散を防止する。
【解決手段】シールリング８を作動するためのシャフト１４のシャフト摺動面及び流路壁面とシールリング８との間の摺動面にそれぞれ付設されたＯ−リング１０、１１から発生する微粒子及び各摺動面に使用される真空グリースから、真空プロセスチャンバ雰囲気を遮断するために枠体壁面とシールリングとの外壁面に上記Ｏ−リングを挟む位置に２本の耐食性材料からなる環状保護バンド１２、１３を配置する構成とする。 （もっと読む）

【課題】管継手、バルブ、空気弁等の管接続部材を容易に構築でき、しかも熟練を要することなく、不断流で管接続部材の脱着を行うことができる管接続部材の脱着方法を提供する。
【解決手段】分岐部Ｂと管接続部材とのフランジＦ１、Ｆ２を接続しているボルト・ナットを作業用ボルト・ナット１に交換する工程と、弁体２ｄを有する弁装置２を分岐部Ｂのフランジに水密に取り付ける工程と、作業用ボルト・ナット１を緩めてフランジＦ１，Ｆ２間に間隙を設け、間隙に弁体２ｄを挿入する工程と、弁体２ｄを分岐部ＢのフランジＦ１、Ｆ２の座に押圧して、分岐部Ｂの既設管から管接続部材側への流れを止める工程と、分岐部Ｂが止水された状態で分岐部Ｂより管接続部材を取り外す工程を有し、分岐部Ｂに新たに管接続部材を接続する作業に備えることを特徴とする管接続部材の脱着方法。 （もっと読む）

【課題】ねじの最初の堅固な締め付け後、変位路の方向における連結棒に対する閉鎖ディスクの自己方位付けを達成し、動作中の弁ディスクと連結棒の間の相対的移動を回避する。
【解決手段】流路の気密閉鎖用の真空弁が、少なくとも一つの棒凹部が形成されている閉鎖ディスクと少なくとも一つの連結棒を含む。連結部の横穴に通され、棒凹部のねじ穴に噛み合うねじによって、棒凹部を連結棒の連結部上に位置決めすることで、閉鎖ディスクが連結棒上に取り外し可能に取り付けられる。突出部と凹部が、棒凹部と連結部の結合領域に設けられている。突出部と凹部は、連結棒の軸を含む平面内で突出部が凹部により把持され、インターロック結合によって変位路の方向に閉鎖ディスクと連結棒が互いに固定されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】バルブロッドを曲げることなくバルブプレートをバルブシートに動かすことが可能であるにもかかわらず構造が簡単であり、かつ、バルブプレートのバルブシートへの平行な変位調節が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート８は開放位置ではバルブ開口部４を開放し、閉塞位置ではバルブシート６に密接し、中間位置ではバルブ開口部４を覆う一方でバルブシート６から離れている。横変位調節ユニット１２により、バルブプレート８がバルブ開口部４の縦軸１０に対して垂直な横変位方向１６に開放位置と中間位置との間で動かされる。案内装置１８により、横変位調節ユニット１２がバルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位することができる。案内装置１８は、バルブプレート８の中間位置から閉塞位置への変位および閉塞位置から中間位置への変位により、バルブボディ１に対して、縦変位方向１７に平行に変位する。 （もっと読む）

【課題】冷却水中に含まれる異物が冷却手段内に蓄積するのを防止し、冷却機能の低下を防止することが可能な高温用弁を提供する。
【解決手段】冷却水Ｗを流すことで冷却を行う冷却手段を備えた高温用仕切弁であって、冷却手段の冷却水入口１２に冷却用配管３５が接続され、冷却用配管３５は、上流側管部３９と、冷却水入口１２に接続される下流側管部４０と、上流側管部３９から分岐するとともに下流側管部４０に統合される２本の分岐管部４１ａ，４１ｂとを有し、各分岐管部４１ａ，４１ｂにフィルタ３８ａ，３８ｂが設けられ、両分岐管部４１ａ，４１ｂのうちからいずれかを選択して冷却水Ｗを流す切換弁３６ａ，３６ｂが設けられ、上流側管部３９と下流側管部４０との差圧を検出する差圧スイッチ５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高圧気体が長期間にわたり停止される閉塞状態が維持されうる、コンパクトで優れた真空バルブを提供する。
【解決手段】バルブケース（１）を備え、バルブケース（１）の対向する壁（４）（５）には入口開口部（２）および出口開口部（３）が設けられ、入口開口部（２）の周囲にはバルブシート（６）が設けられている。調整ピストン（１５）の出口開口部（３）に対向する側に一または複数のタペット（１８）が取り付けられている。調整ピストン（１５）が待機位置から動作位置に動くとき、タペット（１８）は開閉ユニット（８）の内部空間（１６）から開口部を通じて押し出される。タペット（１８）はバルブプレート（９）をバルブシート（６）に当接させるために出口開口部（３）の近傍領域において直接的または間接的にバルブケース（１）に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】大型の真空用ゲート弁において、シール材を交換するための大きな作業空間を予め確保しておく必要がなく、さらにはシール材の交換作業を容易に行うことができる真空用ゲート弁およびこの真空用ゲート弁におけるシール材の交換方法を提供すること。
【解決手段】弁箱４およびバルブケース２１間を往復移動することにより弁箱４内のゲート開口部１２を閉または開とする弁板１０と、を備えたゲート弁であって、バルブケース２１の下方に、Ｘ、Ｙ両方向に往復移動可能に構成された移動装置３０を着脱自在に取付けし、弁箱４とバルブケース２１との係合を解除した後、移動装置３０を操作することにより、バルブケース２１をＸ方向およびＹ方向に移動させ、シール材２４を交換するようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）