【課題】圧力差によるバルブプレートの変位を防止して、密閉状態を確実に保持すると共にバルブプレートの損傷を抑制する。
【解決手段】真空用ゲートバルブ１０は、開口１２ａを有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口１２ａを開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４のケーシング１２への密着時においては弾性部材を介さず機構的にバルブプレート１４の変位を許容しない位置調整手段を備えている。位置調整手段は、駆動源と、この駆動源により回転する回転体２２と、この回転体２２の回転により回転体２２に対して相対的に昇降する昇降体２４とから成り、この昇降体２４はバルブプレート１４に接してバルブプレート１４の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】温度分布や昇温条件を任意に設定可能で、均一な発熱も高精度に実現でき、故障時のリスクを低減でき、修復作業が容易なゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート２０中に、複数の発熱体モジュール３０を設置してバルブプレート２０を加熱する。発熱体モジュール３０は、各々が発熱体を収容部材中に封止した部材であって、これを単位に温度制御が可能であるとともに、故障した場合にはこの発熱体モジュール３０のみを交換すればよい。また、１つが故障をしても全体に対する影響は少なくリスクも低減できる。 （もっと読む）

【課題】 各バルブプレートが簡単に取り付けられかつ取り外され、各バルブプレートが取り付け状態において安定して堅固に保持され、正確に市合わせされうるような閉塞ユニット等を提供する。
【解決手段】 ２つのバルブプレート(7)(8)の間にある支持プレート(19)に対して、当該２つのバルブプレート(7)(8)が取り外し可能に固定される。バルブプレート(7)(8)を支持プレート(19)に対して固定するための押圧部材(20)(21)により、当接しあう複数の押圧面(22)-(26)が相互に押圧される。押圧面(22)-(26)のうち少なくとも１つが傾斜面として形成され、当該傾斜面によってバルブプレート(7)(8)が支持プレート(19)に押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】弁ディスク開度が小さい領域でコンダクタンスを高精度に制御可能にするコンダクタンスバルブ及び真空ポンプを提供する。
【解決手段】流体の流路Ｒを形成する円形状開口部５を有するハウジング２と、ハウジング２内に回動可能に設けられるとともに回動することにより円形状開口部５の開口状態を調整可能な円形状弁ディスク３Ａと、を有し、円形状開口部５には内側方向に突出する突起部５１が設けられており、突起部５１は、円形状弁ディスク３Ａにより円形状開口部５を閉塞する方向側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】弁箱内における弁空洞部の容積を利用して、配管共鳴が発生した場合においても簡単に配管共鳴を回避することができる配管共鳴方法並びに装置、及び弁装置を提供する。
【解決手段】一対の開口を有する弁箱４と、弁体８が取り付けられ前記弁箱４内に位置する弁棒６と、前記弁箱内４に空洞部とを有するゲート弁２と、前記ゲート弁を取り付けた弁取付配管と、を備え、前記空洞部１０内の容積を変化可能な弁空洞内容積調整部材１４が、前記空洞部１０内に挿入若しくは収納されている。 （もっと読む）

【課題】弁体の移動方向に対して横向きとなる左右の両側に分岐管を設けられ、流量を確保しやすい構造でありながら、弁体を適正な姿勢で精度良く位置決めできる分岐用仕切弁を提供すること。
【解決手段】サドルに接続されるサドル接続口と対向する端部に、穿孔装置を取り付けるための取付口が設けられた直管５と、直管５と十字状に交差し、分岐管を接続するための分岐接続口６１が両端部に設けられた枝管６と、直管５の横方向に枝管６と高さを揃えて設けられ、弁棒９の回転に伴って直管５の軸方向と交差する方向に移動する弁体７と、枝管６から弁体７の移動方向に延設された弁ケース８とを備え、弁体７の正面側に弁体７の移動方向から見て湾曲した湾曲面７０が形成され、その湾曲面７０に対向する弁ケース８の内面に、湾曲面７０に沿って湾曲した案内面８０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】接続管の連結フランジと作業用仕切弁の弁ケース内の流路を通して装着される流体機器の連結部との固定連結操作を外部から能率良く容易に行うことのできる作業用仕切弁を提供する。
【解決手段】接続管の連結フランジに対して管軸芯方向から外装可能な連結筒部３２Ｃを備えた弁ケース３２に、管軸芯に対して直交方向に移動自在な弁体３１と、弁体３１を移動操作する弁操作手段３０とが備えられ、弁ケース３２の連結筒部３２Ｃには、弁ケース３２を連結フランジに引き寄せ固定する引き寄せ固定手段が設けられ、弁ケース３２の連結筒部３２Ｃには、連結フランジと弁ケース３２内の流路を通して接合される流体機器とを固定連結する締結具を連結フランジの背面側から操作するための操作凹部３２Ｊが形成されている。 （もっと読む）

【課題】両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を抑制しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】両管部２，３の両連結フランジ部２Ａ，３Ａに対して、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢに、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間に形成された隙間Ｓを通して管内流路を遮断する位置に差込み移動自在な薄板状の仕切板弁８と、仕切板弁８を密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段Ｃとを備えた管内流路遮断装置にて、遮断作業カバーＢが、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周面に径方向外方から圧接される弾性シール材１１と、弾性シール材１１の外周面に当て付けられて、当該弾性シール材１１を径方向外方から両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周面に締付けて圧接する分割構造の締付け輪１２とを備える。 （もっと読む）

荷重を弁パッキンに与えるための方法および装置を説明する。荷重を弁パッキンに与えるための例示的な装置は、荷重をシールアセンブリに提供するように、弁パッキンフランジ（３２２）とストッパフランジ（３２４）との間に配設される付勢要素（３３４）を有する、荷重アセンブリを含む。パッキンフランジ（３２２）は、シールに印加される荷重を調整するように、ストッパフランジ（３２４）に対して調整可能である。パッキンフランジまたはストッパフランジに連結される第１のガイド部材（３４４）は、パッキンフランジとストッパフランジとの間の第１の所定の距離を提供する。第１のガイド部材（３４４）は、パッキンフランジおよびストッパフランジが第１のガイド部材によって提供される第１の所定の距離だけ離間された時に、荷重アセンブリによって提供される第１の所定の荷重の指示を提供する。
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制御の圧力境界完全性を診断する方法は、弁本体（１２）を有する制御弁（１０）を選択することと、制御弁（１０）内における速度分布を決定することと、速度分布の領域を選択することと、該領域における、または該領域付近の弁本体（１２）の外面上の表面を選択することと、その地点に重なる外面上にパッド（２４）を形成することと、検査装置（３０、３６）をパッド（２４）に当てることと、検査装置を用いてパッド（２４）を通して弁本体（１２）の壁（２６）の基準厚を測定することとを含む。この方法は、基準壁厚の測定後に、検査装置（３０、３６）をパッド（２４）に当てることと、第１の壁厚を測定することと、第１の壁厚を基準壁厚と比較することとをさらに含む。基準壁厚に対する第１の壁厚の比較は、使用中に減った弁本体の壁量、および制御弁（１０）の残存使用期間の算出に用いることができる。 （もっと読む）

【課題】流体機械のグランド部から容易に取り出すことができる軸封スペーサ（ランタンリング）を提供すること。
【解決手段】ランタンリング４３は、流体を流通可能に構成されたケーシング２０と、ケーシング２０に設けられた弁軸挿通孔２２に摺動自在に支持されるプラグステム３１と、弁軸挿通孔２２に同軸状に設けられたパッキン収納凹部２２ａに収納される第１パッキン４１及び第２パッキン４２と、を備える調節弁１０に使用される。ランタンリング４３は、弁軸挿通孔２２から流体が漏洩するのを抑制するために、パッキン収納凹部２２ａに収納された第１パッキン４１の上部に配設される。ランタンリング４３は、貫通孔４３ｄが設けられた円筒状の本体部４３ａと、本体部４３ａの軸方向の一端部及び他端部に径方向に延びる鍔部４３ｂ，４３ｃと、を有する。鍔部４３ｂは、直径方向の両端部を貫通する一対の係合孔４３ｅ，４３ｅを有する。 （もっと読む）

【課題】保守点検を要する電動弁駆動装置の設置状態のまま、ステムナットの摩耗量を容易に測定する測定方法と装置。
【解決手段】ステムを弁開閉いずれかの方向に一旦駆動した後、ステムの駆動方向を逆方向に反転して、ステムを駆動するに際し、ステムナットと協動するドライブスリーブ１６の回転に伴い、距離検出センサ４３に対して検出距離を漸次に変化させる部位と、ステムナットと協動するドライブスリーブ１６の軸線方向の先端に、ドライブスリーブ１６のガタ成分を検出する部位を備えた治具３４を、ドライブスリーブ１６の先端部に装着し、かつステムが動き出すのを検出する手段を備えている。 （もっと読む）

少なくとも１つの開口部（２）が形成された第１の弁部分（１）と、少なくとも１つの開口部（４）が形成された弁部分（３）とを含む弁を操作する方法を開示する。第１の弁部分（１）と第２の弁部分（３）は、相対移動を実施するように適合され、第１の弁部分（１）の開口部（２）と第２の弁部分（３）の開口部（４）の相対位置が、開口部（２、４）の重なり領域によって弁の開口度を規定する。この方法は、第１の弁部分（１）および／または第２の弁部分（３）を弁の最大開口度を規定する位置から弁の最小開口度を規定する位置へと移動させるステップであって、重なり領域が減少すると第１の弁部分（１）と第２の弁部分（３）との間の相対移動の速度が低下するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】使い勝手が良好でメンテナンス性に優れると共に、容易に且つ安価に製作することのできる真空ゲート弁及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】一対の開口部４ａ、４ｂが対向して設けられる弁箱１と、前記開口部４ａ、４ｂの何れか一方を開閉すべく前記弁箱１内に設けられる弁体５とを有する真空ゲート弁Ａであって、前記一方の開口部４ａに着脱自在に装着される弁座６と、前記弁体５が着座する弁座６の着座面６ａに設けられるシール部材７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ラジカルの攻撃によるシール部材の劣化を防止すると同時に、かつ電磁波（マイクロ波）の漏洩を防止することができるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】第１弁座３６と第２弁座３８とを有し、開口部２８が形成された弁箱２６と、開口部２８を閉塞したときに、第１弁座３６に接触して開口部２８をシールするシール部材４６を有する弁体３０と、を備えたゲートバルブ装置１０であって、弁体３０に、当該弁体３０が開口部２８を閉塞したときに、第２弁座３８に接触して撓み変形し、開口部２８とシール部材４６との間の空間を遮断する遮蔽部材５８を設け、常温環境下及び高温環境下において、弁体３０が開口部を閉塞している状態で遮蔽部材５８が撓み変形しており、遮蔽部材５８と第２弁座３８との接触状態を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】開口部を開閉するための弁体にヒーターを取り付け、且つこのヒーターに容易に電力を供給することができるようにする。
【解決手段】ゲートバルブ装置１０は、隣接する２つの空間を仕切る壁に設けられた開口部１１２を開閉するための弁体１２と、弁体１２を移動させる弁体移動装置２０と、弁体１２を加熱するためのヒーター１３と、ヒーター１３に電気的に接続されていると共に、ヒーター１３に供給される電力を出力する電力出力部に対して電気的且つ物理的に接続可能なコネクタとを備えている。弁体１２、ヒーター１３およびコネクタは一体化されている。コネクタは、弁体１２が開口部１１２を閉塞した状態では電力出力部に対して電気的且つ物理的に接続され、弁体１２が開口部１１２を開放した状態では電力出力部から電気的且つ物理的に乖離するように、弁体１２と連動する。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、高温冷媒と低温冷媒が接近して流れても、両者間で熱漏洩による熱損失の発生が抑制され、冷暖房能力が向上させる四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５０と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された高温流体を通流する第１の流路１、低温流体を通流する第２の流路２及び高温流体を通流する第３の流路３と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、上記第１及び第２の流路相互間の上記開口部に近い位置に、これら流路相互間の熱移動を抑制する熱抵抗部８４を形成するとともに、第２の流路２を弁室５１の中へ突出するように設けて弁体７の位置規制を行わせるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側等に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動範囲をカバーするようにケーシングの側壁部の内側に加熱手段を設け、輻射熱を利用して弁体を加熱する方式を採用することにより、弁体等の可動側に加熱手段を設けた場合に較べ、加熱手段の構造を簡単化できるとともに、既存の弁装置への加熱手段の適用が容易にできる振り子式ゲートバルブの加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の振り子式ゲートバルブの加熱装置は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動中心にその中心を置き、弁体の回動範囲をカバー可能な中心角をもつ扇形の加熱手段を、弁体と平行に、かつ弁体と間隙を有するようにしてケーシングの側壁部の内側に装着することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ４に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記排気路５に接続された管部１１と、前記管部１１内に対し進退自在に設けられ、前記排気路５を開閉する開閉弁２０と、前記開閉弁２０に設けられ、通気孔を有する多孔質体部２２とを備え、前記開閉弁２０の進退動作による前記排気路５の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部２２を介して前記真空チャンバ２と前記真空ポンプ４とが連通する状態を有する。 （もっと読む）