【課題】制流体が十分なシール性能を得ることができるバイパス装置及びバイパス装置を備えた流体管を提供すること。
【解決手段】管継手２に接続されるバイパス管１２を介し流体管１の不断流状態を維持するバイパス装置であって、流体管１の流路を遮断する制流体１１を挿入するための挿入孔１ｂを流体管１の外周面１ａに穿設する穿孔手段５０を少なくとも備え、穿孔手段５０は、流体管１とバイパス管１２とを連通させる連通孔１ｃを、挿入孔１ｂとは独立して流体管１の外周面１ａに穿設する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、回転軸の軸線方向に離間して該回転軸を保持する２以上の軸受と、流体経路リングと、を具備してなることを特徴とするスライド弁。 （もっと読む）

【課題】真空装置に用いられる回転式スライド弁に於いて、衝撃の少ない回転操作が可能な操作部構造を提供する。
【解決手段】ピストンの直線運動を、ピニオンラックを介して回転運動に変換し、弁体を回動作動させる弁構造に於いて、ピストン１１２の突起部１１２ｃの円筒面にに形成され、突起部１１２ｃの根本部分から、シリンダ本体１１１の一端側１１１ａに向かって断面積が広がるように、軸線（長手方向）Ｃに対して傾斜した緩衝溝１１８を設け、圧力空間１１３内の流体を緩衝溝１１８を介して排出する。 （もっと読む）

【課題】正確に側方から制流体を所定切断箇所に進出させ、流体の流路を制することが可能な既設管の制流体設置装置を提供すること。
【解決手段】密封ケースは、既設管１に対して固着され、開閉弁７が設けられた第１ケース３と、制流体１１と制流体１１を所定切断箇所に対して進退可能な進退駆動部１４とが設けられた第２ケース１３と、から構成されており、第２ケース１３には、進退駆動部１４の駆動によって所定切断箇所に進出される制流体１１を下方から滑動可能に支持する支持手段１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】制流体の第２ケース内から第１ケース内へのストローク量を抑え、制流体設置装置全体の小型化を実現可能な既設管の制流体設置装置及び制流体設置方法を提供すること。
【解決手段】密封ケースは、既設管１に対して固着され、開閉弁７が設けられた第１ケース３と、第１ケース３に接続されるベース体１５及びベース体１５に対し移動可能な制流体１１と制流体１１を所定切断箇所に対して進退可能な進退駆動部１４とが設けられた移動体１６から成る第２ケース１３と、から構成されており、第１ケース３とベース体１５とを接続し、移動体１６を所定切断箇所に向けて移動させることで制流体１１を所定切断箇所の近接位置まで移動させた後、進退駆動部１４は、所定切断箇所の近接位置に配置された制流体１１を所定切断箇所に向けて進出させる。 （もっと読む）

【課題】バルブ装置において、バルブ室内の水分を排出し低温環境下におけるシート性の低下を防止する。
【解決手段】排気ガス再循環バルブ１０を構成するボディ本体１２には、バルブシート１６の設けられる装着孔２６及び連通室２４の内周面に沿って第１及び第２排出溝２８、３０が形成され、該第１及び第２排出溝２８、３０が、軸方向に沿ってガス流出口２２側まで延在すると共に、前記内周面における鉛直下側となる底面に形成される。そして、装着孔２６及び連通室２４の内部に浸入した水分が、第１排出溝２８へと移動して第２排出溝３０を通じてガス流出口２２の外部へと排出される。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】弁体の発振を抑制して緩衝器に安定した減衰力を発生させることができる減衰バルブを提供することである。
【解決手段】本発明の課題解決手段は、環状弁座４を備えた弁孔３と、弁孔３内に軸方向移動自在に挿入される弁体５と、弁孔３内に固定されるばね座１０と、弁体５とばね座１０との間に介装されたコイルばね６とを備えた減衰バルブ１において、弁孔３内に収容されて内方に弁体５を収容して弁孔内周との間にポート１１に通じる環状隙間Ａを形成する筒状のカラー７を設け、カラー７が弁体５の外周に径方向で対向する透孔７ｅを備え、透孔７ｅと弁体５とで可変絞りを形成し、弁体５の環状弁座４からの離間で可変絞りの流路面積が大きくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、弁体を回転軸に対して正確に、かつ容易に取り付け可能な仕切弁を提供することを目的とする。
【解決手段】挿入工程での凹部９５と突起部９３との接触面は、第一平行面９６ａ，９６ｂ、および第二平行面９７ａ，９７ｂに限られ、突起部９３の第一傾斜面９３ｅ，９３ｆと、凹部９５の第二傾斜面９５ｅ，９５ｆとは接触しない。これによって、例えば、凹部９５と突起部９３との接触面（第一平行面９６ａ，９６ｂ、第二平行面９７ａ，９７ｂ）のクリアランス（隙間）を極めて小さく設定しても、凹部９５を突起部９３に押し込む際の摩擦力が軽減され、スムーズに凹部９５と突起部９３とを嵌合させることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、これらを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、第１可動弁部と第２可動弁部とを締結可能な締結部材と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】伝熱促進が抑制されて熱移動が効果的に遮断され、熱損失を低減して冷暖房能力が向上される四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された高温流体を通流する第１の流路１、低温流体を通流する第２の流路２及び高温流体を通流する第３の流路３と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、弁体７の内部に冷媒がＵターンするよう形成された整流板１２が設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能な仕切弁を提供する。
【解決手段】流路となる第１開口部１２ａ及び第２開口部１２ｂとを有する弁箱１０と、第１開口部を閉塞可能な可動弁部４０と、閉開状態を切り替えする位置切り替え手段と、切り替え手段と前記可動弁部とを接続する中立弁部３０とを有し、可動弁部が、シール部６１が設けられ中立弁部に位置変更可能に接続される第１可動弁部６０と、シール部に対して付勢する第１付勢部７０と、第１可動弁部６０と摺動可能とされる第２可動弁部５０と、可動弁部の厚み寸法を収縮可能なように駆動する第２付勢部８０と、第１可動弁部を前記中立弁部に対して位置変更可能に流路方向中央位置側に付勢する第３付勢部９０と、を具備してなることを特徴とする仕切弁。 （もっと読む）

【課題】プラントに設置されている電動弁が、次回に動作する時、設計条件を満たす能力を発揮しうるか否かを予測する方法を提供する。
【解決手段】弁体４の開閉時において、弁体位置検出手段１８，１９によって得られる弁体４の特定位置における弁体駆動力検出センサ３８が検出した駆動力とそのときの流体圧力と、弁全閉時の前後の差圧に基づいて、今後の動作時において、制御流路に想定される圧力環境の基に、弁装置３の構造型式に応じた必要操作力計算式に当て嵌めて、現時点で得られる最大操作力を求め、この最大操作力と予め設計時に求めた設計操作力との差を、操作力の余裕度として求め、電動弁１の今後の動作時において、どの程度の期間、設計操作力を出し続けられるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】本管の内周面と分岐管部の内周面との一部が面一状態にあっても、穿孔作業が完了したことを作業者が感覚的に確実に捕捉することができ、しかも、閉塞装置の閉塞手段を分岐管部内にスムーズに送り込んで流路を確実に遮断する。
【解決手段】小径の分岐管部２が内周面の一部を面一にした状態で連設されている本管１に、分岐管部２の基端開口２ｂに対して相対向する状態で作業用管部４を連設し、作業用管部４に作業用開閉弁６を介して連結した穿孔装置Ａの穿孔具Ａ１により本管１に挿入口を形成したのち、作業用開閉弁６に連結した閉塞装置Ｂの閉塞手段Ｂ１を分岐管部２内の流路閉塞位置に送り込んで流路を遮断する際、穿孔具Ａ１の設定送り込み軸芯Ｘを、分岐管部２の分岐軸芯Ｘ１に対して分岐管部２の内周面の面一連設箇所２ａから離間する側に偏芯させ、閉塞手段Ｂ１の設定送り込み軸芯を分岐軸芯Ｘ１と合致する位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】部材を回転させて締め付ける作業を必要とせず、上蓋の固定や解体を手軽な作業で行うことができる仕切弁を提供する。
【解決手段】管路の一部を構成する弁箱と、弁箱内の流路を遮断する閉位置と該流路を開放する開位置との間で変位する弁体と、弁体の変位を操作可能な弁軸２３と、弁軸２３を回転自在に支持する弁蓋２５とを有する仕切弁において、弁蓋２５が、弁蓋２５の頂面に設けられた開口部に嵌入されて弁軸２３を頂面側から支持するブッシュ１６と、ブッシュ１６を覆って開口部を遮蔽する上蓋１７とを備える。ブッシュ１６は、バヨネット機構により開口部に係止される。上蓋１７に形成されている貫通孔１７ａにブッシュ１６に設けられたかしめ突起１６ｃを挿通し、かしめ突起１６ｃをかしめることにより、上蓋１７がブッシュ１６に固定されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロフルイディック・システムにおいて使用するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ５０は、上流チャネル５２の中心軸６０に対してある角度をなして配された第１対向壁７４によって規定された導管によって合流させた上流チャネル５２と下流チャネル５４とを規定する基板を含む。感熱物質５６の少なくとも一部が、第１対向壁７４との衝合によって、導管を遮断する。感熱物質５６と熱的に接触状態にある熱源３７の作動時に、感熱物質５６の開口運動によって導管を開放する。 （もっと読む）

【課題】バルブシートの着脱作業を容易に行い得るバルブ装置を提供する。
【解決手段】四方の側壁部11，12及び上下の端壁部13から成るバルブ収納体３内に配置され且つ中央に開口部17が形成されたバルブシート４と、バルブシート４に沿ってスライド可能に配置されて開口部17を開閉可能なバルブ本体５と、バルブ収納体３の下端壁部13Ｄに設けられてバルブ本体５をスライドさせて開口部17を開閉駆動するバルブ駆動体６とから構成し、バルブシート４をバルブ駆動体６の設置側とは反対側である上端壁部13Ｕに固定し、バルブシート４の下縁部に、その先端が細くなるようにシート側傾斜面４ｉを形成すると共に、バルブ収納体３の内部に、シート側傾斜面４ｉに対応する固定側傾斜面15ｉを有してバルブシート４をバルブ収納体３内に挿入する際に側壁部11に押し付けて固定し得る縁部押圧部材15を、配置したもの。 （もっと読む）

【課題】水平面および傾斜面からなるシール面に、通常の切削機であっても支障なく形成し得るようなシール用溝部を有するバルブ装置を提供する。
【解決手段】開口部16が形成された正面視が台形状と逆台形状とを合わせてなる六角形状の仕切面Ｓを有するバルブシート４と、この仕切面Ｓと平行に移動されて開口部16を開閉し得るバルブ本体５とを有するバルブ装置であって、バルブシート４とバルブ本体５とのシールを行うためのシール面21〜23，26〜28を、仕切面Ｓと直交する方向、つまり前後方向で形成すると共にこの仕切面Ｓの外周に沿ってそれぞれ六角形状となし、バルブ本体５側のシール面26〜28に、断面が円形のシール材32に対応して円形状にされると共にその外周から中心に向かって所定高さだけ切除されてなる内面Ｃ字形状のシール用溝部31を形成したもの。 （もっと読む）

【課題】弁箱の内部に乾灰が固着することを防止する仕切弁を提供する。
【解決手段】仕切弁Ｖ１は、乾灰Ｄａが流通する輸送管９１の流路を開閉する。仕切弁Ｖ１は、弁箱１と弁体２を備える。弁箱１は、輸送管９１に接続され、輸送管９１の流路の一部を構成する弁室１１を内部に有する。弁体２は、弁箱１の外周に設けた開口１ａに出入りすると共に、弁室１１の遠心方向に進退して弁室１１を開閉する、又、仕切弁Ｖ１は、空気圧シリンダ３とジェットノズル４を備える。空気圧シリンダ３は、弁箱１に取り付けられ、弁体２を進退させる。ジェットノズル４は、弁箱１の外周に取り付けられ、弁体２及び弁体２を囲う弁室１１の内壁に付着する乾灰Ｄａを飛散させて除去するように、弁体２及び弁室１１の内壁に向けて圧縮空気を噴出する。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）