【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体を加熱するようにするとともに、弁体および弁体加熱手段の交換を容易にし、弁体および弁体ホルダ等からなる弁部の厚みをできるだけ小さくした圧力調整弁を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力調整弁は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付け、該弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、材料の噛み込みによる開閉不良を防止することができる開閉弁装置を提供すること。
【解決手段】
位置固定されている固定管２４、固定管２４に対して進退自在に対向配置されている進退管２５、および、固定管２４と進退管２５との間に進退自在なパッド３４を備え、パッド３４を固定管２４と進退管２５との間から退避させてから、固定管２４と進退管２５とを接続して、開状態に切り替え、進退管２５を固定管２４から退避させた後、固定管２４と進退管２５との間にパッド３４を進出させて進退管２５を閉鎖して、閉状態に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 バルブにおいて開放および閉動作時に変位する部材のための位置センサを必要とせずに、動作の規則性に関して高い信頼性がある真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブの開動作時に第１開過程において、第２開機能空間１４の加圧のための第２開媒体通路３７が遮断される。第１開過程の終了時において、第１作動要素２８により第２開媒体通路３７が開放される。真空バルブの閉動作時に第１閉過程において、第１閉機能空間１１の加圧のための第１閉媒体通路３６が遮断される。第１閉過程の終了時において、第２作動要素２９により第１閉媒体通路３６が開放される。 （もっと読む）

【課題】シール部材の摩耗を抑制し、ゲートバルブの開閉動作を高速で行うことを可能としたインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】複数のチャンバの間に設けられて、キャリアが通過する通路１０１を開閉するゲートバルブ１００は、通路１０１を分断する方向に移動操作される弁体１０５と、弁体１０５を挟んだ両側に配置されて通路１０１を形成する開口部１０２ａ，１０２ｂが設けられた一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと、一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂの開口部１０２ａ，１０２ｂを囲む位置に配置されたシール部材１０４とを有し、弁体１０５は、通路１０１を閉塞する方向に向かって漸次幅狭となるテーパー形状を有し、通路１０１を閉塞する位置において、その両側面１０５ａ，１０５ｂが一対の隔壁１０３Ａ，１０３Ｂと相対向しながらシール部材１０４と圧接可能とされている。 （もっと読む）

【課題】浸透性が高く、空気と接触することにより硬化するような特定の流体に用いた場合であっても作動不良を起こし難い回転弁を実現する。
【解決手段】本発明の回転弁２０は、ハウジング１１と、ハウジング１１内に挿入されたステム１と、ステム１の先端に固定され、且つハウジング１１内に備えられたプラグ８と、ハウジング１１内に配置され、且つステム１を軸支する、グランドパッキン５、第一の軸受７及び第二の軸受４とを備え、上記グランドパッキン５がステム１とハウジング１１との間を封止する回転弁であり、第一の軸受７及び第二の軸受４とステム１との間に、第一の軸受７及び第二の軸受４とステム１との間を封止する第一のＯリング１０を備え、第一の軸受７及び第二の軸受４とハウジング１１との間に、第一の軸受７及び第二の軸受４とハウジング１１との間を封止する第二のＯリング９を備える。 （もっと読む）

【課題】メッシュ部材のような消音効果のための別部品を組み込まなくても効果的に通水音に対し消音効果を発揮するシングルレバー水栓を提供する。
【解決手段】シングルレバー水栓において、単一の部材にて構成した可動弁体４８の混合室６６を、摺動面から立ち上がる縦の壁１１４と天井部１１６とを有する形状をなし、そして縦の壁１１４の内面に全周に亘って摺動面側の下端から上向きに延びる複数の凸条１１８を縦の壁１１４の内面に沿って設けておく。 （もっと読む）

【課題】差圧がバルブプレートに対して２方向に作用する場合に適応する改良された真空バルブを提案する。
【解決手段】バルブプレート(5)が開位置及び中間位置の区間で動かされる際、バルブロッド(12)は縦駆動装置(15)(15’)により縦方向(6)に動かされる。バルブプレート(5)が閉位置及び中間位置の間で動かされる際、バルブロッド(12)は横駆動装置(16)(16’)により縦方向(7)に動かされる。真空バルブの真空領域外に配置されているベアリングユニット(17)(17’)が壁部(1)に対して固定されている。バルブロッド(12)を縦方向(6)に案内するガイドユニット(20)(20’)がベアリングユニットによって横方向(7)に案内される。 （もっと読む）

【課題】固定ナットのねじ込みによる押込力を弁ケースの中央側に効果的に作用させ得、シール部材を効果的に圧縮変形させ得て、そのシール機能を十分に発揮させることができ、シールの信頼性の高いシングルレバー水栓を提供する。
【解決手段】固定弁体５８と、可動弁体６０及び弁ケース６５を備えた弁ユニット４６と、筒状の回転体９４とを有するシングルレバー水栓において、弁ユニット４６を固定する固定ナット５６には、弁ケース６５の立上り壁１１８の上端面を押込方向に押圧する第１押圧部１２４を設けておく。 （もっと読む）

【課題】 小型でかつ簡易な構造を備え、しかも、低圧領域でのオーバーシュートを抑え、また、高圧領域でのキャビテーションの発生を抑えることができる定流量弁を提供する。
【解決手段】 定流量弁本体の内周部との間に形成される第１流路の断面積を変化させる外側弁部材と、外側弁部材の内側に摺動可能に配置され、外周部と外側弁部材の内周部との間に形成される第２流路の断面積を変化させる内側弁部材と、外側弁部材に水圧が作用すると外側弁部材を摺動させ、第１流路の断面積を減少させるように縮む外側コイルばねと、内側弁部材に水圧が作用すると内側弁部材を摺動させ、第２流路の断面積を減少させるように縮む内側コイルばねで構成される定流量弁において、内側コイルばねのばね定数は、外側コイルばねのばね定数よりも大きく、その外側コイルばねが外側弁部材の移動に伴いばね定数が大きくなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】既存のパイプの内部寸法及び状態から独立して機能するバルブアセンブリ及び設置方法を提供する。
【解決手段】第１サブアセンブリ（パイプ１８に組み付けるバルブボディ１１）は、アクセス開口２４を規定するボンネットサポートフランジ２３を含む。パイプ１８の部分は、アクセス開口２４を通って切断及び除去されてパイプ１８にゲート受容ギャップ１８Ｃを形成し、これはパイプ１８を別体の部分に完全に分離する。第２アセンブリ（ボンネット１２）は、アクセス開口２４のボンネットサポートフランジ２３に載置され、そこでそれはパイプ１８のゲート受容ギャップ１８Ｃを通ってゲート３０を進行させてバルブボディ１１と耐流体シール係合になる。こうして、パイプ１８の状態はシールに影響を与えない。 （もっと読む）

本明細書内に開示される実施形態は、概して、スリットバルブドアで処理チャンバを密閉する方法に関する。ドアは、最初に、処理チャンバ用開口の下方の位置から高い位置まで持ち上げられる。その後、ドアは、ドア表面にあるＯリングがシール面にちょうど接触するまで拡張する。そして、ドアは、シール面に対してＯリングを圧縮するために再び拡張する。ドアは、ドアの内部容積内にガスを流すことによって拡張する。ドア内の圧力蓄積を制御することによって、ドアが拡張する速度は制御され、これによってドアが静かにシール面に接触し、その後、シール面に対して圧縮することを保証する。従って、処理チャンバに衝撃を与える又は振動させ、プロセスを汚染する可能性のある望まれない粒子を生成するかもしれない過大な力でシール面にドアが接触することを防ぐかもしれない。
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【課題】開閉弁の外方側に大きな作業空間を確保することができない施工条件下においても、流路遮断装置を用いた開閉弁の更新方法を採用することができるとともに、労力の軽減化と作業性の向上、操作性の向上を同時に図る。
【解決手段】外側操作軸３１と内側操作軸３２との相対移動操作によって流路を遮断する状態に切り替えられる流路遮断手段Ｄが設けられ、両操作軸３１，３２の各々が複数に分割された外側分割操作軸３１Ａ〜３１Ｃ及び内側分割操作軸３２Ａ〜３２Ｃから構成され、外側分割操作軸の隣接端部及び前記内側分割操作軸の隣接端部の各々には、操作軸芯方向から互いに脱着可能に連結される連結部５０〜５３が形成され、外側分割操作軸側において対をなす連結部５０，５１のうち、径方向内方側に位置する連結部５１の内周面が、内側操作軸３２の軸芯方向での相対移動を案内するガイド面５１ａに形成されている。 （もっと読む）

【課題】できる限り正確にバルブ駆動部の少なくとも１つの推進ロッドに取付けることが可能で、自己整合ができ、短時間で手間無く再び取り外すことが可能で、真空バルブの動作中に真空空間内で発生する自由材料粒子の存在を低く抑えることのできる、真空バルブの閉鎖板を提供する。
【解決手段】流路Ｆの気密封止のための真空バルブ１に関し、前記真空バルブ１は、円筒形接続部を有する少なくとも一つの推進ロッド７と、前記推進ロッド７に脱着自在に設けられ、前記接続部に対応した少なくとも一つの第一ロッド凹部を有する閉鎖板１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】異物が筒状体の内部へ侵入するのを防止するため、ストレーナを湯入口と水入口の外面側に装着させる。ストレーナ装着後湯および水の湯入口と水入口への流入を阻害することのない湯水混合栓用のサーモカートリッジを提供する。
【解決手段】湯水混合栓本体に形成される湯導入流路および水導入流路に連通する湯入口Ｈおよび水入口Ｉを胴部８に有する筒状体６と、多数の透孔１１を有し、前記胴部の外周に巻き付けて前記湯入口と前記水入口の外面側に装着される帯状の板部材Ｍよりなるストレーナ１０とを備え、板部材を前記湯入口および前記水入口の外面側にそれぞれ装着させうるスリット１３，１３ａを備え、このスリットは、前記胴部の外周面上で前記筒状体の軸心Ｂに沿った方向に設けるとともに、前記多数の透孔は、前記板部材のうち前記各折り曲げ部を除いた前記胴部の外周に巻き付けられる領域Ｒの全面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成の補強ユニットにより、バルブプレートの閉位置においてバルブシートを有する壁に補強ユニットを安定または強固に押圧することができるスライドバルブを提供する。
【解決手段】スライドバルブはバルブプレート５をバルブシート４に押し付ける補強ユニット１２と、補強ユニット１２がバルブシート４から離反する方向に変位することを防止するための手段とを備えている。当該手段はバルブシート４が形成されている壁２等により構成され、バルブ本体１に固定された第１補強要素１５と、第１補強要素１５と係合する第２補強要素１３とを備えている。ボルトは、その軸方向にお互いに離れた補強ユニット１２の第１セクション２２および第２セクション２３の間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】スピンドルカバーの取付作業性を改善し、しかも、構造が簡単で且つ確実な取り付けを実現すると共に、コストの点でも大幅な低減を図ることのできるスピンドルカバーを提供する。
【解決手段】バルブや各種操作器具の操作ハンドル１０１の中心部から出没自在に突設されたスピンドル１０２を被覆保護するスピンドルカバー１において、スピンドル１０２の外側に設置されてスピンドル１０２を被覆する筒状のカバー本体２を有し、カバー本体２は、一端部が閉鎖され、他端部にはスピンドル取付部４を備えており、スピンドル取付部４は、円周方向に配列され、スピンドル１０２のネジ溝に弾性的に係合する複数の係止片７を有する。 （もっと読む）

【課題】製造過程で発生する熱の影響によるシール部材のシール座面への当たりの偏りを改善することでシール部材の劣化の防止、及びゲートバルブの遮断性能の向上を図る。
【解決手段】ゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱１と、ゲート開口部９ａ，９ｂを一方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａ及び左側弁体部５６の周端面５６ａに装着されているシール部材１３が、弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂの周端面である右シール座面１１及び左シール座面１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９へが遮断されるように構成されたゲートバルブ１において、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａと弁箱２の右シール座面１１との間に、シール部材１３の圧潰量を規制するスペーサ部材２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】シール部材が装着されている弁体のシール面上にパーティクルや粉塵が直接落下することを防止するとともに、弁箱本体のシール座面上に落下するパーティクルや粉塵の量を減らし、かつ、落下してもこれを回収できる構造とする。
【解決手段】被搬送物を通過させるゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱２と、ゲート開口部９ａ，９ｂを横方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱２のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５に形成されたシール面５３ａ，５６ａが弁箱２のシール座面１１，１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９ｂが遮断されるゲートバルブ１において、弁箱２の右シール座面１１の下部が傾斜面１１ａに形成されており、右シール座面１１の傾斜面１１ａの下端部に粉塵を収納するための収納凹部３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】設備の稼働に支障を来さない状態で、弁体の作動確認が簡易な構造で速やかに行えるようにするとともに、コストの低減化を図る。
【解決手段】第１、第２シリンダ６、７内にピストンロッド１１により連結した第１、第２ピストン９、１０を設け、第２ピストンを、環状体からなるストッパピストン１２と、環状溝１３に軸線方向に摺動自在に内嵌したバルブ開度規制ピストン１４とで構成し、弁体２の全開状態で、環状溝の溝幅を規制する一方の内壁１３ａとバルブ開度規制ピストンとの間に間隙ａを形成し、弁体の作動確認時に、第１ピストンを、圧縮スプリング８のばね力でもって弁体の全開状態の位置から閉弁方向に駆動させたとき、バルブ開度規制ピストンを環状溝の一方の内壁に当接させて、バルブ開度規制ピストンの駆動範囲を間隙の軸線方向の幅によって規制し、弁体を、予め定めた所望の中間開度に維持させる。 （もっと読む）

ゲートバルブは、バルブ本体内部で開放位置と閉鎖位置との間を移動可能なゲートと、ゲートの互いに反対側の外側シール面間のイコライザポートを規定する、ゲートに設けられた壁と、を有している。イコライザポートは、ゲートの作動によって、閉鎖位置と開放位置との間、および開放位置と閉鎖位置との間を移動できるように構成および配置されている。
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