【課題】従来の開閉装置と比較して簡単な構造の開閉装置を提供する。
【解決手段】第２ピストンシリンダユニット（９）の第２閉塞シリンダ空間（１９）および第２開放シリンダ空間（２２）のそれぞれが、第１ピストンシリンダユニット（２）の第１閉塞シリンダ空間（１４）および第１開放シリンダ空間（１７）のそれぞれに接続される。開閉装置の閉塞に際して当該シリンダ空間（１４）（１７）（１９）（２２）が加圧される一方、開閉装置の開放に際して第１および第２開放シリンダ空間（１７）（２２）のみが加圧される。第１閉塞ピストン面（１５）は第１開放ピストン面（１８）よりも広い。第２閉塞ピストン面（２０）は第２開放ピストン面（２３）より広い。第１閉塞ピストン面（１５）と第１開放ピストン面（１８）との面積比率が、第２閉塞ピストン面（２０）と第２開放ピストン面（２３）との面積比率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】弁への負荷を軽減し、弁の開閉動作とシール動作とを独立させて小型化かつ安価なゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁体アッセンブリの長手方向にあって、弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、第２の駆動装置と弁体アッセンブリの間に第２の駆動装置によって生成した長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、第１の駆動装置によって、弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて弁体アッセンブリを弁座に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持し、第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成し、操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリをいずれかの直角方向に移動させる。 （もっと読む）

本体（１０１）と、流路（１０３）に対して横断方向に少なくとも２つの位置間、すなわち流路（１０３）が開いている第１の位置と流路が閉じている第２の位置との間で本体内で可動であるゲート要素（１０２）と、ゲート要素（１０２）を少なくとも２つの上記位置間で移動させる手段（１０４）とを備える、ゲート弁。ゲート要素（１０２）は、ゲート部分（１０５）及び作動体（１０８）を備え、ゲート部分（１０５）は、本体壁（１０９、１１０）間の空間内で作動体（１０８）とともに移動するように配置される。 （もっと読む）

【課題】管路の遮断修理技術に関し、連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避し、少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】連結フランジ部２Ａ，３Ａに対して、それの外周面側を密封する状態で装着自在な遮断作業カバーＢが、前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周面に対して径方向外方から圧接可能なシール材１１と、このシール材１１を径方向外方から締付け固定する分割構造の締付け輪１２とから構成されているとともに、前記締付け輪１２を構成する複数の締付け分割輪１２Ａの一つには、前記締結具５の緩み操作によって発生した前記両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間を通して管内流路を遮断する位置にまで差込み移動自在な薄板状の仕切板弁８と、この仕切板弁８を密封状態で流路遮断位置と流路開放位置とに摺動案内する摺動ガイド手段が設けられている管内流路遮断装置。 （もっと読む）

【課題】両連結フランジ部の接合面間の隙間から外部に噴出する流体の圧力に抗して蔽板弁を差し込み操作する従来方法に比して、両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を回避しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行う。
【解決手段】 両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間にシール材４を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３に、締結具５の緩み操作を許容する状態で両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封状態で囲繞可能で、かつ、両管部２，３の流路Ｗを遮断可能な薄板状の仕切板弁８が抜き差し操作自在に設けられている遮断作業カバーＢを装着し、この遮断作業カバーＢの仕切板弁８を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間Ｓを通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体の移動の不具合を効率良く防止できる弁装置を提供する。
【解決手段】弁装置７の弁体24の移動位置に関わらず、弁体24の溝部27がハウジング９の給気孔13に連通する。溝部27のうち直線状の溝部29，29間は、曲線状の溝部15，28にて連通される。ハウジング９の給気孔13への空気を供給すると、この空気は、直線状の溝部29，29および曲線状の溝部15，28を経て、ハウジング９および弁体24の摺動面間の隙間に吹き出し、摺動面間に入り込んだ搬送物を押し出して排出する。 （もっと読む）

【課題】線形動作により開放又は封止される真空バルブ、特に真空トランスファバルブ内で粒子の生成を可能な限り低く抑え、そして流れの方向における外部寸法が特にコンパクトで省スペースに形成されることを特徴とする真空バルブドライブを提供する。
【解決手段】真空バルブドライブ１は、気密状態の作業領域６を含むドライブハウジング５、該作業領域６の内部に存在するピストン７、及び該作業領域６からバルブ封止装置２まで気密性を保ちながら延在する１つ以上の連接棒８，９を備えている。該作業領域６の中心部で該調整軸３と平行に、そして、該ピストン７を介して延在する固定状態の（静的な）ガイド棒１１、及び該ピストン７と該ガイド棒１１との間に設けられた精密線形軸受１２を備えた真空バルブドライブ１が提供される。 （もっと読む）

【課題】バルブの封止を解除するインフラ−トシ−ルの収縮に２つの方法がある。一つは、自身の復元力に依存する方法。他方は、内部を真空に排気する方法。復元力に依存した方法では、バルブの解除スピ−ドが遅い。一方、真空排気する方法では、排気設備を別途用意する必要がある。部品点数が多く、信頼性も低い。
【解決手段】バルブ本体の隙間に設置した弁体又は弁体に対向するバルブ本体の面の内部に高圧流体の導入と排出によって膨張と収縮が可能な中空状のシ−ル材を設ける。弁体又はバルブ本体の弁体に対向する面は、中空状のシ−ル材の膨張と収縮によって２次的に厚みが変わる。バルブ閉時は、弁体又は弁体に対向する面の表に貼ったシ−ル材がバルブ本体の隙間のバルブ開口部周囲の被シ−ル部と弁体の両面の間をシ−ルする。バルブ開動作時には、中空状のシ−ル材が排出加速手段により急速に排気される。 （もっと読む）

【課題】低真空領域での圧力制御を容易に可能とすることができ、制御時間を大幅に短縮する。
【解決手段】弁支えの弁デスクに対する相対的な移動に伴なって弁デスクを弁座の方向に受け板を反弁座面の方向に拡げる手段と、受け板を保持する手段と、を有して、受け板を保持手段によって保持する時に弁デスクは弁座に対して未完閉止状態におかれ、弁支えの弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって弁デスクは弁座に対して完全閉止状態におかれるようにして構成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造によって強い閉塞力（＝押し付け力）が実現される真空バルブを提供する。
【解決手段】駆動装置は前記バルブディスク（６）の内部空間（１９）に配置された駆動ピストン（２０）をさらに備えている。駆動ピストン（２０）は出口部（３）よりも径方向外側に広がっている周辺部分を有し、当該周辺部分には出口部（３）に向けられている側にタペット（２３）が設けられている。タペット（２３）はバルブディスク（６）の内部空間（１９）から外に動かされ、バルブディスク（６）の閉位置において出口部（３）の横領域でバルブケース（１）に当接し、バルブディスク（６）をバルブシート（１３）に押し付ける。また、タペット（２３）はバルブディスク（６）を閉位置から中間位置に動かすために駆動ピストン（２０）が動くことによりバルブケース（１）から離反可能である。少なくとも１つのバネ要素（３１）がシャフト（８）の軸方向に動かすことによってバルブディスク（６）を中間位置に動かす。 （もっと読む）

【課題】コーティングシステムにおいて、できるだけ簡単なデザインで、圧力差が極めて高い場合に、二つの区間の間の確実な封止が可能になるスライド弁。
【解決手段】閉鎖部材２２が作業位置内に移動する際に、閉鎖部材２２にかかる作動力により、ハウジング壁２４の開口部２５を取囲む封止面２６に圧力がかかり、この圧力が作動力のレベルに依存している。 （もっと読む）

本発明は、典型的には真空が維持された混合槽(11)内において乾燥粉末が液体と混合されると共に乾燥粉末が液体表面下へ供給される、乾燥粉末を投入するために使用されるタイプのバルブ(1)およびバルブ閉鎖体(14)、ならびにバルブ(1)およびバルブ閉鎖体(14)の使用法に関する。本発明に係る粉末用バルブ(1)の新規な特徴は、バルブの閉鎖体(14)が閉鎖位置においてバルブの弁座(13)を貫通して湿潤環境内へ伸張することである。これにより、バルブ(1)が開放されたとき、粉末または粉末からの塵埃はバルブ閉鎖体(14)上に堆積しない。このことは、粉末が添加される液体との接触によりバルブ閉鎖体(14)が湿潤しているにも拘わらず行われる。引出された位置において粉末の流入のために開放するバルブ閉鎖体(14)は、細長い形状の故に、流入する粉末が最初にバルブ閉鎖体(14)を乾燥させ、引き続きバルブ閉鎖体を乾燥して維持する特性を有する。
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【課題】あり溝からの脱落を生じないあり溝用シール材の提供。
【解決手段】互いに対面する一対の部材の接合箇所において、あり溝６０内に装着されるあり溝用シール材１０の断面形状において、あり溝の底面６２と接触するとともに、あり溝の開口の最狭幅Ｇよりも若干幅狭に左右の隅角部が位置する底面部１２と、底面部の隅角部１４ａ，１４ｂよりも幅方向に突出し、前記あり溝の内側の斜辺と当接するように設けられた側面突出部１６ａ，１６ｂと、側面突出部から連続して形成された張出肩部１８であって、その隅角部２０ａ，２０ｂが、前記あり溝の開口側端面の位置よりもあり溝底面側に位置するとともに、あり溝の最狭部の位置よりもあり溝の開口側に位置する張出肩部と、張出肩部から連続するとともに、あり溝の開口よりも上方に突出して設置され、他方の部材９０の表面と当接される際には両部材間を封止するシール凸部２２とを備える。 （もっと読む）

柔軟性のあるシール・リングは第１のシーリング面を含み、裏面はこの前方シーリング面と反対側に配設され、かつこの前方シーリング面に対して軸方向にオフセットしている。上面は前面と裏面の間に配設され、上面と裏面の間の内角が１１０度より大きくなるように、この上面は裏面から前面に向かって延びる。別の柔軟性のあるシール・リングは、第１の前方シーリング面と、裏面と、前面と裏面の間に配設される少なくとも１つの下向きに配設される上面と、少なくとも１つの下向きに配設される下面と、下向きに配設される下面と第１の前方シーリング面の間に配設される第２の前方シーリング面とを含む。カートリッジ・シールは、柔軟性のあるシール・リングおよび上側保持リングを含む。
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【課題】作動信頼性を向上させた圧力調整バルブを提供すること。
【解決手段】バルブアセンブリ（１０）は、ボア（４４）と、該ボア（４４）内に収容されるスプール（４６）を備えたバルブ部を有しており、スプール（４６）は、ボア（４４）を経由する流体の流れが許容される開位置と、ボア（４４）を経由する流体の流れが阻止される閉位置との間で長手方向軸（Ａ−Ａ）に沿って軸方向に移動自在に形成されている。インペラ（６０）がスプール（４６）に連結されており、スプール（４６）を長手方向軸（Ａ−Ａ）の周りに回転させる。 （もっと読む）

【課題】簡単小型、保守が容易、耐高負荷、両サイドで活動可能な真空技術分野で用いられるスライドゲートバルブ。
【解決手段】第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と第一シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブプレート５と駆動部８とからなる。駆動部によってバルブプレートは本質的に第一バルブシートと平行な開位置から回転又は移動可能で、バルブプレートと第一バルブシート間の垂直距離は減らすことができる。従って、閉位置において第一シーリングリングと第一バルブシートの軸方向のシーリングコンタクトによって流路は気密封止される。バルブプレートは駆動部と接続され第一シーリングリングを垂直方向に第一バルブシートに固定する支持部９と内部周辺領域１１を有し、第一バルブシートと本質的に垂直に支持部に対して可動となるように設けられたシーリング部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の高い真空性を保つことができ、表面が非粘着性であり、かつ優れた耐プラズマ性を兼ね備えた半導体製造装置用バルブの弁体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】弁体本体１のシール側部分にエラストマーシール材３が一体化された半導体製造装置用バルブの弁体であって、前記弁体本体のシール側部分に、金属、金属酸化物、金属チッ化物、金属炭化物およびそれらの複合物からなる群より選ばれる１種以上の金属または金属化合物を含むコーティング膜を有する半導体製造装置用バルブの弁体である。 （もっと読む）

【課題】シンプルでコンパクトなデザインを有し、メンテナンスが容易で、高圧負荷にも耐えることができ、任意で両サイドで活動可能なバルブを提供する。
【解決手段】バルブは、第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と、シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブディスク５と、少なくとも一つの駆動部８からなる。バルブディスク５は回転可能又は移動可能であり、バルブディスク５と第一バルブシート４間の垂直距離は、減らすことができ、流路は気密封止される。バルブディスク５は、駆動部８と接続され、シーリングリング７を垂直方向に第一バルブシート４に固定する外部ディスクセクション９と、外部周辺領域１１を有し、第一バルブシート４と垂直に外部ディスクセクション９に対して可動となるように設けられた内部ディスクセクション１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ゲート開口部を大型化しなければならないであっても、少ない部品点数でその構造をコンパクトにできる真空用ゲート弁を提供すること。
【解決手段】ツーアクションタイプのゲート弁であって、
弁体２４は、ゲート開口部側方の離反位置および前記ゲート開口部と対面する対面位置との間の水平方向の移動のみを行なうサポートプレート８２と、サポートプレート８２と一体になって水平方向の移動を行った後、対面位置からゲート開口部２６を気密に封止する封止位置までの垂直方向の移動を行なうシールプレート８４と、を備え、サポートプレート８２とシールプレート８４との対向しあう内側面には、圧縮空気が供給された場合にシールプレート８４をサポートプレート８２から離反させるシール用膨張部材４２ａ、４２ｂならびに圧縮空気が供給された場合にシールプレート８４をサポートプレート８２に接近させるシール解除用膨張部材４３ａ、４３ｂがそれぞれ配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】蒸着装置の試料供給に関し、供給する粉体の蒸着材料、例えばＭｇＯが粒子直径約２ｍｍ〜６ｍｍ単結晶ないし同様のサイズのペレットの場合、供給の際に材料が飛び散る乃至はくだけたＭｇＯの粉体が発生する。前記飛び散ったＭｇＯ材料もしくはＭｇＯ粉体がバルブのシ−ル面に付着して、真空が保持できなるのを防止する。
【解決手段】バルブ閉時は従来と同様の弁体部を使用し、バルブ開時は中央部に開口部を持った弁体部でシ−ル面を保護する。さらに可動シ−ルドによって、ケ−シング内に小さい粒子が飛散するのを防止する。以上の手段によってバルブのシ−ル面（ケ−シング内壁面、ケ−シング内シール面、弁体部シール面及びＯリング表面等、弁座面及びＯリング表面等を含むものとする）への異物の付着を防止し、真空が保持できないという問題を解決できる。 （もっと読む）