【課題】ホールトーンの発生が有効に防止でき、騒音の少ないゲート弁装置を提供する。
【解決手段】周方向に沿って所定の間隔をおいて複数個の突起部２２を有し、各突起部２２が流路１２を流通する流体１９の流れ方向に対して斜めに配置された渦流発生リング体１７が、入口側流路１２に臨むように弁本体１５に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】シートリングを弁体に接離させるタイプのボールバルブを粉粒体の空気輸送に用いたときに懸念されるシートリングと弁体間の隙間からの粉粒体の洩れ出しを防止し、洩れた粉粒体が弁体の摺動隙間などに噛み込む現象をなくすることを課題としている。
【解決手段】弁体４に押し付けて弁体外周の摺動隙間を封鎖するシートリング５を有し、そのシートリング５を弁体４から離反させて弁部の開閉操作を行なうボールバルブに、弁体４とその弁体から離反させたシートリング５との間に生じる隙間の外周を取り巻いて外部から供給された空気を前記隙間に向けて噴射するパージ環８を設けた。 （もっと読む）

【課題】弁体をヒーターで直接かつ効率良く加熱することができると共に、弁体及びシャフトに対するヒーターの取り付けが容易で該ヒーターの交換も簡単に行うことができる真空用バルブを提供する。
【解決手段】弁体６に連結したシャフト１０の内部のヒーター孔内にカートリッジヒーター３０を収容し、該カートリッジヒーター３０の先端の発熱部３０ａを上記シャフト１０と弁体６との連結部３２の位置に配置し、該連結部３２においては、上記弁体６とシャフト１０との相互に当接し合う面の相対する位置に上記ヒーター孔に通じる受熱溝と加圧部とを形成し、上記受熱溝には上記カートリッジヒーター３０の発熱部３０ａの半径と等しい半径を有する円弧状の溝部分を形成し、上記発熱部３０ａを上記受熱溝と加圧部との間に配置した状態で相互に固定することにより、該発熱部３０ａが上記加圧部４に加圧されて上記受熱溝の円弧状の溝部分の内周に面接触で密着させる。 （もっと読む）

【課題】弁の分解が不要で、弁箱内部や弁体の洗浄作業を容易にし、弁の状態に応じて洗浄方法が選択できる洗浄可能な弁及び弁洗浄システムを提供する。
【解決手段】弁箱１と弁体２を備え、弁箱１の内部と弁体２が洗浄可能な弁１２において、弁箱１は、洗浄液を注水するための注水口３ａ、３ｂと、洗浄液を排出するためのドレンノズル４を備える。注水口３ａ、３ｂは、洗浄液を弁箱１の内部へ導くための洗浄用ライン１０が接続可能である。ドレンノズル４には、弁箱１の内部と弁体２を洗浄した後の洗浄液を排出するためのドレンライン９が接続される。 （もっと読む）

【課題】弁箱の流路の内面寸法とシートリングの外形寸法の公差管理を容易にしてシートリングを弁箱に取り付ける際にシートリングが弁箱の流路等の縁で損傷することを防止する隔離弁を提供する。
【解決手段】弁箱４１の上部に取り付けられたボンネットを有し、弁箱に該弁箱４１の流路６と連通してボンネット側に開口した穴部４５を形成し、この穴部４５に面した弁箱４１の流路６の端部にステムのウエッジと当接するシート面を有するシートリング７０を備えた隔離弁において、弁箱の流路６の内面にネジ穴を設け、シートリング７０の頭部に溝部を設け、シートリング７０の胴部に弁箱の流路の内面に設けたネジ穴と係合するネジ部を設けて、シートリング７０を弁箱４１の流路に着脱自在に取り付け、弁箱４１のボンネット側に開口した穴部４５を通じて前記シートリング７０を弁箱の流路に対して取り外し又は取り付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】原子力発電プラントの弁の分解点検、手入れ作業に際しての線量率の低減と所要時間を短縮することが可能な弁内遮蔽装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の弁内遮蔽装置１２０の構成は、遮蔽壁１４６と、遮蔽壁１４６を着脱可能に掛止して弁フランジ１１４ｂから弁座１１４ｆの高さまで吊下する掛止部材１３４と、弁フランジ１１４ｂに掛け渡され掛止部材１３４を支持する支持部材１２２と、掛止部材１３４を略水平方向に移動させ弁座１１４ｆに遮蔽壁１４６を挿抜する水平移動機構１３６と、掛止部材１３４と遮蔽壁１４６の着脱を操作し得る遮蔽壁着脱機構１４４とを備え、水平移動機構１３６により遮蔽壁１４６が弁座１１４ｆに挿入され遮蔽壁着脱機構１４４により遮蔽壁１４６の掛止が解除され、弁座１１４ｆに遮蔽壁１４６を残した状態で支持部材１２２および掛止部材１３４が撤去可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷凍サイクルを構成する主弁部をパイロット弁で駆動して冷媒の流路を切り換える流路切換弁において、パイロット弁のパイロット弁体に高圧の冷媒圧力が加わっても、パイロット弁体の切換動作を確実に行うとともに、切り換え時の冷媒騒音等を低減すること。
【解決手段】冷凍サイクルの高圧冷媒をパイロット弁２０の高圧継手管２４ｄから流入させ、切換継手管２４ａまたは切換継手管２４ｂを介して四方切換弁１０の副弁室１８ａまたは副弁室１８ｂに流入させ、主弁体１３を主弁座２２上で摺動させる。パイロット弁２０において、ロータ５とステータユニット６とからなる電動モータを駆動し、ロータ５の回転力をねじ送り機構によりパイロット弁体２３を直線状に移動させて、四方切換弁１０に対する高圧冷媒の流入先を切り換えて四方切換弁１０を駆動する。 （もっと読む）

【課題】可動ディスクと固定ディスクとを所謂１もしくは複数穴構造となし、ディスクの加工の簡略化と、剛性、耐久性の向上と、充分な水量確保との両立を図り、かつ固定ディスク上部にドレン用の凹溝を形成して、該固定ディスクの耐久性低下を招くことなく水抜き用の凹溝を設けることができる不凍水栓柱を提供する。
【解決手段】可動ディスク４３と、ロッド下部との間に、可動ディスク４３を外周から回動させるステムを設けて、可動ディスク４３を無軸構造となし、各ディスク４３、ディスク４４には間隔を隔てて１もしくは複数の通水孔４３ａ，４４ａを形成し、可動ディスク４３を水抜き方向に回動させる時、可動ディスク４３の通水孔４３ａが固定ディスク４４の通水孔４４ａから止水面４４ｂに対向した後の回動方向先方において、可動ディスク４３の通水孔４３ａと連通するように固定ディスク４４上部に凹溝４４ｅを形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で、メンテナンス性に優れ、シール性も良いゲートバルブのシール構造を提供する。
【解決手段】シート状部材Ｗを挟み込んでシールするゲートバルブＧＶは、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに環状の第一シール材６を設け、受け面３の平行な平面３Ａに第二シール材７を設ける。押付け面１を受け面３に押し付けた時に、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して傾斜している第一シール材６の上部が、同シート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間がシールされ、かつ、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して平行になっている第二シール材７が、同シート状部材の他方の部材面Ｗ２に当接することで、該部材面Ｗ２付近の隙間がシールされる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】基板搬出入口の周りの壁面と弁体との間の隙間を微調整できるようにして、その壁面と弁体との間のシール効果を高めることができるゲートバルブ等を提供する。
【解決手段】ゲートバルブ２００は，カム機構２６０により弁体２１０を進退させて基板搬出入口１１２を開閉するように構成する。カム機構は，弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材２６１と，長尺部材と弁体との間に設けられ，長尺部材の動作に連動して長尺部材の摺動動作を弁体の進退動作に変換する板状カム２７０と，板状カムに連動して弁体に当接し，その進退方向にスライドすることで弁体を進退駆動させる弁体駆動部材２８０と，弁体駆動部材の弁体に当接する先端面に設けられ，弁体と基板搬出入口との隙間を調整する隙間調整部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】流体が流れる流路内に配設され、作動することにより前記流路を開閉する弁部を有する流体制御弁において、簡単な構造で弁部を開状態に保持する流体制御弁を提供すること。
【解決手段】コイルスプリング９０で閉弁側に付勢された常閉弁体が、所定量流路を開く方向に作動したとき、弁体を開弁状態に保持し固定する係止溝７０を有し、ハウジング１０側に設けた弁体の係止溝７０に係止する係止爪８０とを備え、開弁状態で係止溝７０に係止爪８０を係止させ、開弁状態を保持する保持手段を備えた流体制御弁１００。 （もっと読む）

【課題】可膨張式チャンバにおけるリークが生じた場合、可膨張式チャンバ内の流体が圧力により減圧チャンバ又は真空チャンバに流入することを防止しうる汎用的な装置を提供する。
【解決手段】本発明の閉塞装置は、可動に支持されている閉塞要素（１）と、貫通開口部（３）がチャンバウォールに適合するように構成されている基体（２）と、可膨張式チャンバ（６）を有し、閉位置において閉塞要素（１）とシート（４）との間に介在して閉塞用素（１）をシート（４）に対して密封する弾性シール部材（５）と、を備えている。弾性シール部材（５）が、可膨張式チャンバ（６）にリークが生じた場合に流体を受容する補助チャンバ（７）を備えている。 （もっと読む）

【課題】高温高圧の冷媒から低温低圧の冷媒への熱伝導を可及的に抑制することができ、熱効率の向上等を効果的に図ることのできる多方切換弁を提供する。
【解決手段】弁ハウジング２０に、弁室２１、及び高温冷媒導入導出ポートが設けられ、弁体３０を回動させることによって、弁体内通路３５及び弁室２１を介して第１冷媒入出ポート１２及び第２冷媒入出ポート１３のいずれかと高温冷媒導入ポート１１及び低温冷媒導出ポートのいずれかとを選択的に連通させることにより、流路の切り換えを行うようにされた多方切換弁１０において、弁体内通路３５、弁室２１、高温冷媒導入ポート１１、低温冷媒導出ポート、第１冷媒入出ポート１２、及び第２冷媒入出ポートのうちの幾つかないし全部に、それぞれその内面を覆う熱伝導率の低い樹脂製の断熱部材５２、５３を配設する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であり、かつ、コスト面で経済的な真空扉機構を提供する。
【解決手段】閉塞要素（１）一又は複数のロッド（９）（９’）（９”）に固定され、開口部（２）を開放する開位置、開口部（２）を覆う一方で開口部を取り囲むシート（７）から離れている中間位置、及びシート（７）に対して押し付けられる閉位置のそれぞれに位置制御される。傾動アクチュエータ（２５）（２５’）（２６）（２６’）の内部空間（２７）を画定する一又は複数のウォール（３９）が、少なくとも延在領域において弾性又は柔軟性を有するように構成されている。傾動アクチュエータは、扉本体（１０）の当接面（３８）と、チャンバウォール（３）の当接面（３７）若しくはチャンバウォール（３）に保持されている固定部材（２１）と、のうち一方又は両方に支持されている。 （もっと読む）

【課題】低コストの構成であり、拡張ユニットの微小なストロークだけで閉塞プレート及び対プレートのそれぞれが、シート及び対シートのそれぞれに対して押し付けられる真空バルブを提供する。
【解決手段】各プレート（１０）（１１）が、閉塞装置（１２）の開位置において各平面（１３）（１４）に対して平行に配置されている。閉塞装置（１２）が、両プレート（１０）（１１）の間において、バルブロッド（２３）に対して固定され、両プレート（１０）（１１）の間隔を広げて、各平面（１３）（１４）に対して平行な拡張面（１７）（１８）を有するシート（８）（９）に対して閉塞プレート（１０）を押し付ける拡張ユニット（１６）を備えている。閉塞装置（１２）が、縦軸線（２６）の方向に拡張ユニット（１６）に対して動かされるとともに、縦軸線（２６）の方向に動かないようにプレート（１０）（１１）に対して固定されている少なくとも１つの支持部（３４）をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】フィルムのロール巻き出し室とフィルムのロール巻き取り室間を連通する搬送路を開閉するゲートバルブにおいて、フイルムを挟持し閉弁した状態において、シール性を確保するゲート弁を提供する。
【解決手段】フィルム製造装置は、巻き出し機、巻き取り機、及び、フィルム１０に所定の処理を施す処理部を有する。巻き出し機、巻き取り機、及び、処理部は、フィルム１０が通過することが可能な開口部を有する真空室の内部に配置され、開口部には、フィルム１０を挟みながら封止することにより真空室を密封可能とするゲートバルブ１８を有する。ゲートバルブ１８の弁体２２のシール部材２０には、フィルムの搬送方向と弁体の移動方向とに対して直交する方向にフィルムの幅よりも大きいサイズの直線部を有する凹部が形成される。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、このケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、このバルブプレート１４を駆動するモーター１６とを備えている。モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上でバルブプレート１４に直接伝達される。この場合、モーター１６の回転力は、モーター１６の回転軸１６Ａに連結されて回転軸１６Ａと共に回転し回転軸１６Ａよりも大径に形成されたフランジ２０と、このフランジ２０及びバルブプレート１４に連結されてフランジ２０と共に回転する回転体２２と、この回転体２２をケーシング１２から離反するように付勢するスプリング２４を介して、バルブプレートに伝達される。フランジ２０は、中空部２０ａを有する。 （もっと読む）

【課題】帯状部材が加工処理される真空装置に用いられる真空バルブであって、バルブ開口部を通じて帯状部材が案内される際、閉塞可能かつバルブ開口部が密閉可能な真空バルブを提供する。
【解決手段】パッキン(10)(11)がその延在範囲のうち第１パッキン主要部の中央部(19)にある第１範囲(22)において、閉塞子(9)に対して固定されるとともに溝部(12)(13)の２つの側壁のうち一方の側壁(24’)を構成する押縁部材(23)によりクランプされている。また、パッキン(10)(11)の延在範囲のうち第２範囲において、溝部(12)(13)を画定する２つの側壁(24)(25)および底壁(26)が閉塞子(9)により構成されている。 （もっと読む）

【課題】 超高速での開閉を可能としてチャンバ内での処理効率を高めつつ、衝突や永年劣化による寿命の低下を防止して耐用年数を向上させる。
【解決手段】 真空用ゲートバルブ１０は、開口を有するケーシング１２と、ケーシング１２内を揺動して開口を開閉するバルブプレート１４と、バルブプレート１４を駆動するモーター１６を備え、モーター１６の回転軸１６Ａの動力は、ギアを介さずに同軸上で、回転軸１６Ａと共に回転するフランジ２０と、フランジ２０及びバルブプレート１４に連結される回転体２２を介してバルブプレート１４に直接伝達される。回転体２２は、本体部２２Ａと、本体部２２Ａから延びるシャフト部２２Ｂを有し、本体部２２Ａは、横方向においてはローラーベアリング２８を介して、上下方向においては本体部２２Ａの上下に配置された２つのスラストベアリング３０Ａ、３０Ｂを介して保持されることによりカバー２６内に回転自在に設置される。 （もっと読む）