【課題】特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに好適に使用されるあり溝用シール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱落抵抗力が高く、仮に大型化された真空用ゲート弁に使用された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができるあり溝用シール材を提供する。
【解決手段】シール面に形成されたあり溝４２に装着される閉環状のシール材２０であって、あり溝４２内に装着されるシール材本体２０ａの断面形状が、略三角形の栗形状を呈しており、あり溝４２の底面に対向する位置に形成された１つの頂部を第１の隅角部２４、残り２つの隅角部を第２の隅角部２６、第３の隅角部２８としたとき、第２の隅角部２６、第３の隅角部２８各々の少なくとも一部が前記あり溝の側面に当接し、第２の隅角部２６と第３の隅角部２８の間を連結する基端部３２の底面に、凹所３４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空シール性、耐ラジカル性、耐腐食ガス性などの性能を有し、繰り返しの使用によっても、脱落や動作不良が発生せず、真空シール性能に優れ、金属パーティクルが発生することなく、被シール部分に対して装着が容易で、製造が容易なシール材を提供する。
【解決手段】シールコア部材と、シールコア部材を被包する外皮部材とを備え、シールコア部材の断面形状が、略波板形状であって、シール材を圧接した際に、シール部を構成する、一方側シール部分と、他方側シール部分と、シール材を圧接した際に、被シール部分のシール面と当接してシール材を固定した状態にする一方側シール固定部と、他方側シール固定部と、これらの間を連接する略直線状の連接部と、最も内周側または外周側に位置する一方側シール部分と他方側シール部分のうち、少なくともいずれか一方の端部に形成されたシール係止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】給湯と給水を混合させて湯水混合水栓の吐水部に供給する湯水について、その流量を著しく減少させることなく整流化させると共に通水音を抑制することができる湯水混合バルブ装置を提供する。
【解決手段】本発明の湯水混合バルブ装置１は、ハウジング２に固定され、給水流入孔１４，２０と給湯流入孔１６，２２と、混合された湯水が流出する湯水流出孔１８，２４を備えた固定弁体部４と、この固定弁体部の上面に配置され、開放位置から閉鎖位置まで摺動可能な可動弁体部６と、を有し、この可動弁体部の内部流路２８は、ほぼ円環状に形成され開放位置において固定弁体の給湯給水流入部と連通する円環部３８と中間部４０を含み、円環部の上流端側内周部には中間部側に向かって突出する複数のフィン形状の突出部４６，４８，５０，５２が配列され、これらの隣り合う突出部同士は、その間隔が突出部の基端部から先端部にかけて狭まるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ロウ付け対象部材を基台等に連結固定する場合に、ロウが前記対象部材に十分保持されるようなロウ付け体を提供すると共に、流体がバルブ装置の外部に漏れることがないようなバルブ装置を提供すること。
【解決手段】 バルブ装置において、金属製の流体の流出パイプ２８ａ、２８ｂと、このパイプより活性化温度の高い金属材料からなる弁体支軸３５とを互いに近接させて前記パイプ及び弁体支軸３５を支持する弁座プレート１３にロウ材にて固定したロウ付け体であって、前記弁体支軸３５と弁座プレート１３とで形成されるロウ付け部分となる軸孔１３ｅに、流出パイプ２８ａ、２８ｂと同じか早く活性化温度に到達する熱容量の小さな金属部材２０を配置し、前記弁体支軸３５を前記熱容量の小さな金属部材２０とともに弁座プレート１３にロウ付け固定した。 （もっと読む）

【課題】電動弁を開放することなく簡易に取付けることができ、しかも高精度で信頼性の高い診断結果を得ることができる電動弁の診断装置及び診断方法を提案する。
【解決手段】弁棒６の外部露出部位に対応するように電動弁１の外表面部分３に設けられて該外部露出部位３での計測により弁棒６の軸方向変位に関する情報を取得する弁棒移動情報取得手段Ｘ１を備え、該弁棒移動情報取得手段Ｘ１〜Ｘ７の取得情報に基づいて電動弁の機能に関する診断を行う。係る構成によれば、電動弁を開放することなく、弁棒移動情報取得手段Ｘ１を電動弁の外表面部分に設置でき、設置作業の簡易化及び迅速化が実現される。また、弁棒６の外部露出部位３において該弁棒６の軸方向変位に関する移動情報を検出することから、該移動情報を容易且つ迅速に取得できる。 （もっと読む）

【課題】キャビテーションの発生をより確実に抑制または防止することができ、また最大流量の減少を抑えることができる流体制御弁用ディフューザおよび流体制御弁を提供する。
【解決手段】弁本体２の下流側開口部内に流体３０の流れを減速し、運動エネルギを圧力に変換するディフューザ３１を組み込む。ディフューザ３１は、底部３４が開放する中空円錐形に形成され、頂部３３の内角度（θ）が９０°以下で、周壁に多数の小孔３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成であるにも拘わらず信頼性が高く、かつ処理装置の構成によらず適用が容易な、処理装置における被加工物の出し入れを行うための開口部の開閉に用いられるゲート弁を提供し、また、処理装置間に所定雰囲気の密閉空間を形成できるゲート弁ユニットを提供すること。
【解決手段】一軸方向に移動可能な支持部材と、前記支持部材を一軸方向に移動させる駆動手段と、前記開口部を略密閉する弁部材と、前記支持部材と前記弁部材とを連結するリンク機構と、前記弁部材の一端部に当接する第一の当接部材と、を備え、前記リンク機構の一端部は前記支持部材に回転自在に軸支され、前記リンク機構の他端部は前記弁部材に回転自在に軸支され、前記支持部材を移動させることにより、前記弁部材の一端部が前記第一の当接部材に当接し、前記リンク機構を介して前記弁部材が前記支持部材の移動方向に対して垂直な方向に移動し、前記開口部を略密閉するゲート弁及びゲート弁ユニット。 （もっと読む）

【課題】 作動ロッドの進退作動における潤滑条件の改善によって従来に比してより高い耐久性を有する流体用作動弁を提供する。
【解決手段】 駆動手段５により作動ロッド４を進退作動させて弁体３を弁座２２に向けて進退させ、弁体と弁座との間の隙間量である弁開度を変更して流量変更を行う。作動ロッドに潤滑剤封入孔７１を形成し、Ｏリング６１，６２と保持筒２８との間の摺動部に対し連通孔７２を開口させて補給口とする。潤滑剤封入孔の基端を流体に臨んで開口させて流体圧導入口７１１とし、内部に封入した潤滑剤に対し流体圧を背圧として作用させ、この背圧により、摺動部での潤滑剤の減少に伴い潤滑剤封入孔から潤滑剤を自動補給させる。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ処理チャンバーのアイソレーションバルブの周囲のプラズマ漏洩を防止する方法及び装置を提供する。
【解決手段】このバルブを接地するための方法及び装置が提供される。一般に、この方法は、導電性エラストマー部材を使用してチャンバーアイソレーションバルブ及び／又はアイソレーションバルブドアを効果的に接地しながら、処理システムの可動部品間の金属対金属接触を回避する。一実施形態では、エラストマー部材は、このバルブのドアに取り付けられて電気的に連通する。エラストマー部材は、ドアが閉位置にあるときにプラズマ処理システムの接地された要素に接触させられる。別の実施形態では、導電性エラストマー部材は、アイソレーションバルブの突っ張り部材に取り付けられ、この突っ張り部材が基板処理中にアイソレーションバルブドアを位置保持するように配置されたときにプラズマ処理システムの接地された要素に接触させられる。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部の接合面間での流路遮断作業を、管内流体の漏洩を抑制しながら少ない労力で能率良く確実、容易に行うことができ、しかも、両連結フランジ部間の隙間寸法も各種条件に応じて最も遮断作業性の高い状態に調節する。
【解決手段】 両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間にシール材を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３にわたって、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ全体を密封囲繞可能で、かつ、締結具５を外部から緩み操作する締結操作手段Ｅと、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの接合面間を通して抜き差し操作自在な仕切板弁８が備えられている遮断作業ケースＢを装着し、締結操作手段Ｅで締結具５を外部から緩み操作したのち、仕切板弁８を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間を通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で弁体により開口部を気密に閉塞することができるとともに、開口部を弁体により開放又は閉塞するときの弁体の移動速度を向上できるゲートバルブを提供する。
【解決手段】チャンバー１１の開口部１４を開放又は閉塞する弁体１６と、弁体１６に設けられた係合手段４８Ａ、４８Ｂと、開口部１４の周囲に設けられ弁体１６が開口部１４と対向する位置に移動したときに係合手段４８Ａ、４８Ｂと係合する被係合手段６２、６３と、係合手段４８Ａ、４８Ｂと被係合手段６２、６３とが係合したときに弁体１６と係合手段４８Ａ、４８Ｂとの間に位置する被係合手段６２、６３に係合手段４８Ａ、４８Ｂから弁体１６側に押圧力を作用させ開口部１４を気密に閉塞し又は押圧力を解除するロック手段４４Ａ、４４Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】チャンバーの開口部に対し水平駆動する弁体の移動が円滑で安定しその移動速度を向上できるとともに、簡易な構成で弁体により開口部を気密に閉塞することができるゲートバルブを提供する。
【解決手段】チャンバー１１の開口部１４と略平行な方向に沿って水平移動し、開口部１４と対向する位置に移動したときに、チャンバー１１の開口部１４を開放又は閉塞する弁体１６と、弁体１６の水平移動を規制するガイド手段２０Ａ、２０Ｂと、弁体１６を支持する支持手段３０Ａ、３０Ｂと、ガイド手段２０Ａ、２０Ｂと支持手段３０Ａ、３０Ｂとを接続する接続手段２４Ａ、２４Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 圧力下でラインを閉鎖することなくパイプが設置されてサービスを受けるときにバルブが設置され得るようにする。
【解決手段】 バルブは、中空バルブボディとアクセス開口を画定する開口画定部分を含む。開口画定部分は、バルブから隔離バルブアセンブリを通ってバルブ停止機構の取り外し及び交換を可能にするアクセス開口上に位置する開口画定部分に対する別個の隔離バルブアセンブリの耐流体接続を容易化するための接続容易化構造として配置される。それは、フランジ、雄ネジ、多少の環状溝又はリング、及び／又はセグメントカムロック配置を含んで良い。関連する方法は、（ｉ）隔離バルブアセンブリと、バルブ停止機構が嵌め合う耐流体圧力チャンバを画定する、取り付けられたチャンバ画定構造を有するバルブサービスアセンブリを提供する工程と、（ｉｉ）バルブボディの開口画定部分に対する予備のバルブアセンブリを接続する工程と、及び（ｉｉｉ）隔離バルブアセンブリを通って圧力チャンバ内にバルブ停止機構を後退させる工程とを含む。
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一実施形態において、開口を封止するように適合され、かつ第１の壁と、該第１の壁に形成された第１の開口（１１５）と、第２の壁と、該第２の壁に形成された第２の開口（１１７）とを有するバルブハウジング（１０５）を含むスリットバルブ（１０１）が提供される。該スリットバルブはまた、該第２の壁に接触して、かつ該第２の開口を封止するように適合された封止部（１０７）と、該封止部に対して移動可能であり、かつ該第１の壁に接触するように適合された支持部材（１０９）とを有する閉鎖部材（１０３）を含む。該スリットバルブはさらに、（１）該封止部を該第２の壁に向かって、かつ該第２の壁に接触して移動させるように、また（２）該封止部を該第２の壁に対して支持するために、該支持部材を該封止部から離して、かつ該第１の壁に接触して移動させるように適合された少なくとも１つの作動機構を含む。多数の他の態様が提供される。
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本バルブ組立体は、出口（２０）まで延びる流路（１４）を持つハウジング（１２）と、流路内にあり且つ出口の周囲に設けられた弁座（２４）と、前記ハウジング内に配置された、弁座と接触して流路を通る流れを遮断する閉鎖位置と、流路を通る流れを許容する開放位置との間で、流路の長さ方向軸線に対して横方向に移動自在の摺動板（２６）とを含み、摺動板及び弁座の少なくとも一方が、摺動板と弁座との間に所定量の導通性を提供する少なくとも一つの通路（７６）を備えている。
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【課題】 低コストで信頼性の高い真空処理装置を提供する。
【解決手段】 ２つの真空容器２０３，２０４の間に配置され各々を連通して一方から他方に処理対象の試料が搬送される封止されたゲート１１０と、このゲートの経路上に配置され第１の開口２０５および第２の開口２０６の各々に面する第１の弁体２１０ａおよび第２の弁体２１０ｂとこれら弁体が連結されたシャフト２１１とを有して前記開口の各々を選択的に開閉するゲートバルブ２０８とを備えた真空処理装置であって、ゲートバルブ２０８は、２１１シャフトの他端側に連結されシャフトをその軸の方向に移動させる軸方向駆動部３０１と、シャフト２１１の一端側と他端側との間に配置されシャフト２１１の軸と交差する所定の回転軸２０７の周りにシャフトを回転させる回転駆動部２１３とを有し、シャフト２１１の軸方向について回転軸２０７と他端との間のシャフト上の部位に回転させる力が伝達される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、高温冷媒と低温冷媒が接近して流れても、両者間で熱漏洩による熱損失の発生が抑制され、冷暖房能力が向上し、また圧縮機入口冷媒ガスの過熱防止による圧縮機効率の向上により空調装置の省エネ性が向上された四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された所定時に高温流体を通流する第１の流路１及び低温流体を通流する第２の流路２と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、上記第１及び第２の流路相互間の上記開口部に近い位置に、これら流路相互間の熱移動を抑制する熱抵抗部８を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】 弁体表面を清浄に保ち、かつ、ランニングコストを低減し、容易にメンテナンスが行えるようにする。
【解決手段】 本発明のゲートバルブ付き真空チャンバは、筐体111の被処理物の出し入れ面側に設けた開口部16と、開口部を開閉するゲートバルブとを有し、ゲートバルブの弁体112の表面の一部または全面に形成した光触媒膜1と、筐体の外側に設けられ光触媒膜を励起する光源2と、光源2からの光を光触媒膜１に導入する光導入口６とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 既存のパイプの内部寸法及び状態から独立して機能するバルブアセンブリ及び設置方法を提供する。
【解決手段】 圧力下の流体を含む予め定められた外側直径の既存のパイプにより形成されたラインへの挿入のためのバルブアセンブリが、バルブボディ内へのアクセス道を規定するボンネットサポートフランジを備えたバルブボディを含み、これを通って設置者が既存のパイプの部分を切断及び除去し得る。パイプの予め定められた外側直径と同程度の幅を有する可動ゲートを備えたボンネットが、耐流体嵌め合いでアクセス道内に嵌め合いするフランジ嵌め合い部分を含み、他方でゲート開口を規定し、これを通ってゲートがバルブボディ内で閉鎖位置に移動し、そこでゲートはパイプのゲート受容ギャップを通って延在してバルブボディと耐流体係合となる。設置は、（ｉ）バルブボディを既存のパイプに組み付け、（ｉｉ）一時遮断バルブをボンネットサポートフランジに載置し、（ｉｉｉ）遮断バルブを通って既存のパイプの部分を切断及び除去してパイプにゲート受容ギャップを形成し、（ｉｖ）遮断バルブを通ってボンネットを設置し、及び（ｖ）ボンネットから遮断バルブを除去することにより、達成される。
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流れチャンネルを持つハウジング、閉鎖位置と開放位置との間で移動自在のスライドプレート、及び流れチャンネルを取り囲み、閉鎖位置でスライドプレートと係合し、開放位置でスライドプレートから離れるシールリングを含む弁アッセンブリを提供する。シールリングは、ハウジングの隣接した表面に形成された穴と夫々整合する複数のボアを有する。各ボアには、リップを画成するアンダーカットが設けられている。ハウジングの環状面の穴に複数のファスナが配置されており、シールリングの対応するボア内に延びる。ファスナの側壁にはスロットが設けられており、これらのスロットは、ファスナをシールリングのボアに挿入し、シールリングを回転したとき、シールリングのボアのリップを捕捉する。
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