【課題】本発明は、弁体加熱用ヒータを真空処理雰囲気と隔離して大気雰囲気中に置くとともに交換可能な構造とすることにより、伝熱効率が良く、弁体の温度制御が十分に可能であり、パーティクルの発生がなく、かつ、ヒータ部分の交換が可能なゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、真空処理装置における真空処理室の開口部を開閉するゲートバルブにおいて、弁体と、該弁体を加熱するための弁体加熱用ヒータと、一方の面に弁体を支持し、他方の面に弁体加熱用ヒータを収納するヒータ収納部を有する弁体支持部材と、該弁体支持部材のヒータ収納部を密閉する蓋と、弁体支持部材を支持するとともに内部に大気と連通する挿通孔を有する弁ロッドとを備え、蓋をＯリングを介して弁体支持部材に着脱可能に固定し、弁体支持部材のヒータ収納部と弁ロッドの挿通孔とを連通する接続通路を弁体支持部材に設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 圧力制御装置１０よりも下流側で発生する圧力変動を防止することのできる整流器４４を備える圧力制御装置１０を提供する。
【解決手段】 圧力制御装置１０は、弁座１１と整流器４４とを含んで構成される。弁座１１は、流体が流れる管路に設けられ、管路を上流側管路１２と下流側管路１３とに仕切り、上流側管路１２の内径よりも小さい内径の透孔１４を規定する。透孔軸線と上流側管軸とは、角度を成す。透孔軸線方向は、透孔１４を流れる流体の流れ方向であり、上流側管軸方向は、上流側管路１２内の流体の流れ方向である。整流器４４は、弁座１１よりも上流側に配置され、板状案内部４６と筒状案内部４８とを有する。板状案内部４６は上流側管軸に略平行に設けられる板状の部分であり、筒状案内部４８は、板状案内部４６に設けられ、透孔１４よりも上流側の流体を下流側に案内する。 （もっと読む）

【課題】 駆動機構を簡単化したゲートバルブを提供する。
【解決手段】 弁体が、支持アームに、回転軸を中心とした回転方向に移動可能に支持される。弁体が開口の正面からずれた位置から、開口の正面まで移動するように、回転軸支持体が、回転軸を昇降させる。移動部材が、昇降可能に支持されている。弾性体が、移動部材と回転軸支持体とを弾性的に接続し、上下方向に関する両者の相対位置関係が変化すると弾性変形する。駆動機構が移動部材を昇降させる。変換機構が、回転軸支持部材と移動部材との相対位置関係の変化を、回転軸の回転方向の運動に変換する。回転軸支持体を昇降させて弁体を開口の正面に位置させたとき、ストッパが、回転軸支持体のさらなる上昇を禁止する。駆動機構は、回転軸支持体の上昇が禁止されている状態で、移動部材をさらに上昇させる。変換機構は、移動部材のさらなる上昇を、弁体が前記開口を塞ぐように回転軸を回転させる回転力に変換する。 （もっと読む）

【課題】不断水状態で切断された既設流体管の切断面を確実に防錆できる制水体設置装置を提供する。
【解決手段】筐体７内において、金属製の既設流体管１の２箇所を不断水状態で流体管切断装置により切断した切断片１’を筐体７内から所定の回収方向に沿って、筐体７外へ取り出し、制水体２を切断箇所Ｋに挿入して設置するとともに、既設流体管１の切断面２６ａ，２６ｂを防錆する制水体設置装置であって、切断面２６ａ，２６ｂは、回収方向に向かって漸次拡開するテーパ状に切断されており、防錆フランジ３１，３１には、切断面２６ａ，２６ｂに対応するように回収方向に向かって漸次拡開するテーパ状に形成された当接面３２ａ，３２ａを備えた防錆材３２，３２が設けられ、防錆材３２，３２は、制水体２が切断箇所Ｋに設置された状態において、切断面２６ａ，２６ｂと周方向に亘って当接するように成っている。 （もっと読む）

【課題】制御流体の粘性変化の影響を少なくした流量調節弁を提供する。
【解決手段】軸方向に摺動可能に嵌合された摺動軸３０および摺動円筒面２１ａと摺動軸を移動する移動機構４０を有し、摺動軸３０表面に形成された三角形状テーパ溝３３と摺動円筒面２１ａとの間で流体の制御を行う。また、前記三角形状テーパ溝３３は所定関数に従って漸減または漸増する形状とし、移動機構４０の駆動軸３０と摺動円筒面２１ａとを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成し、温度変化による流路区間の変化と粘性抵抗の変化での流量変化量とが打ち消し合うよう構成の流量調節弁。 （もっと読む）

【課題】 両連結フランジ部に対して遮断作業カバーを適正な装着位置に能率良く容易に取付けることができるとともに、仕切板弁の先端部の変形を抑制する。
【解決手段】 シール材４を介装した状態で締結具５にて締付け連結されている両管部２，３に、両連結フランジ部２Ａ，３Ａの外周を密封状態で囲繞可能で、両管部２，３の流路を遮断可能な薄板状の仕切板弁１０が抜き差し操作自在に設けられている遮断作業カバーＢを装着し、これの仕切板弁１０を、締結具５の緩み操作によって発生した両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間の隙間Ｓを通して流路遮断位置にまで差し入れることにより、両連結フランジ部２Ａ，３Ａ間において流路を遮断する。両管部１，２に遮断作業カバーＢが装着されたとき、流路開放位置にある仕切板弁１０の先端部１０ｂが両連結フランジ部２Ａ，３Ａの対向面間の外周側に形成されている環状空隙２６内に入り込んだ状態に設定している。 （もっと読む）

【課題】脱着のための装置が大型化することなく容易に構築でき、しかも熟練を要することなく、不断流で管接続部材の脱着を行うことができる管接続部材の脱着装置を提供すること。
【解決手段】既設流体管の分岐部Ｂと、分岐部Ｂに接続された管接続部材ＦＰとの間に介在するフランジＦ１，Ｆ２に弁体挿入部１を外嵌して、弁体挿入部１によりフランジＦ１，Ｆ２の対向面間に弁体２ａを水密的に挿入し、管接続部材ＦＰを脱着する管接続部材の脱着装置であって、弁体挿入部１には、両フランジＦ１，Ｆ２を接続する接続ボルトＢＮが取り外されたボルト挿通孔２４，２５を水密的に閉塞する挿通孔閉塞手段２６，２７が設けられ、挿通孔閉塞手段２６，２７により閉塞された両フランジＦ１，Ｆ２におけるボルト挿通孔２５の配置部位同士の間を通過して弁体２ａが挿入されることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】温度補償を有効にする絞り弁を提供する。
【解決手段】互いに軸方向に摺動可能に嵌合された操作軸およびハウジング（２０）と、この操作軸（１２）およびハウジング（２０）の少なくともいずれか一方の摺動面に流体通路を形成するスパイラル溝（１４）と、ハウジング（２０）に対して前記操作軸（１２）を軸方向に移動させる操作軸移動機構とを有し、操作軸（１２）の軸方向の任意の位置において前記操作軸（１２）の一定移動量に対する前記流体通路の流量の変化率が指数関数的な傾きで表したとき一定になるようにスパイラル溝（１４）を流体通路を流れる流体の流量抵抗が長さ方向に沿ってハーゲン・ポアズイユの式により求められる指数関数的に漸減又は漸増するように形成し、操作軸（１４）とハウジング（２０）とを互いに熱膨張係数の異なる材料により構成した。 （もっと読む）

２つの平行するリンク部（６）によって本質的に平らな前部を備える枠組構造と、平行なレバー（１４）によって起動棒（１２ａ）とに、それぞれ接続される二つのキャリア（５ａ）を具備する真空室のための仕切弁。レバー（１４）を用いた、ピストン（１７）による動作棒（１２ａ）の上方への動作は、キャリア（５ａ）の上方への動作をもたらし、キャリア（５ａ）の動作はリンク部（６）により円軌道の動作に変換され、同時に、キャリア（５ａ）は前部と平行を保ちながら前部に近づき、密閉板（９）が前部及び開口部（３）を圧迫する作動位置に、キャリア（５ａ）に固定された密閉板（９）を移動させる。ピストン（１７）の収縮は、逆の動作をもたらし、それにより、密閉板（９）は、開口部（３）から完全に取り除かれ、開口部（３）は、簡単にアクセス可能になる。
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【課題】 長手のまたはスリット形状のバルブ開口部のための、簡単な構造を有する真空バルブを提供する。
【解決手段】 真空バルブは、バルブ開口部(6)およびバルブ開口部(6)を取り囲むバルブシートを有する壁部(1)と、バルブプレート(7)とを備えている。真空バルブの閉塞に際して、バルブプレート(7)が開位置から閉軌道の主要部分を経て、バルブプレート(7)に対して平行かつシール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して平行な主要閉方向に動かされる。閉軌道の前記主要部分に続いて、バルブプレート(7)は、バルブプレート(7)に対して傾斜しているとともに、シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面に対して傾斜している閉軌道の終端部分を通じて動かされる。バルブプレート(7)に設けられている案内要素(17)(18)と相互作用して、閉軌道の終端部分を経てバルブプレート(7)を案内する少なくとも１つの案内要素(15)(16)が壁部(1)に設けられている。シール面(10)またはバルブシートのシールリングの平面(45)に対して傾斜している案内面(19)(20)(21)(22)によって、閉軌道の終端部分を通じてバルブプレート(7)が案内される。バルブプレート(7)の案内要素(17)(18)または壁部(1)に設けられている案内要素(15)(16)に、当該案内面のうち少なくとも１つが設けられている。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生や機構部寿命低下を生じさせることなく、動作時間を目標時間に納めることが可能なゲートバルブ装置を提供すること。
【解決手段】真空処理室１０の側壁に設けられた、ガラス基板Ｇの搬入出用の搬入出口１０ａを開閉するためのゲートバルブ装置３０は、搬入出口１０ａを開閉する弁体３３と、弁体３３を駆動させるエアシリンダ３６と、弁体３３の位置に応じて弁体３３の移動速度を異ならせるように弁体３３の駆動を制御するエア駆動回路６０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの作動力なしで，弁体を基板搬出入口に押しつけた状態で保持することを可能とする。
【解決手段】ゲートバルブ２００は，カム機構２６０により弁体２１０を進退させて基板搬出入口１１２を開閉するように構成する。カム機構は例えば弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材２６１と，長尺部材を筐体の背板から支持する支持ローラ２９０とこれに対向するように弁体２１０に設けられた弁体駆動用ローラ２８０と，長尺部材の弁体駆動用ローラ側に設けられた板状カム２７０とを有し，長尺部材を一方向に摺動させて弁体駆動用ローラを介して弁体を閉じる方向に前進させて基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置で，基板搬出入口側から押し返される力を長尺部材で受けることによって弁体を閉塞位置で保持する。 （もっと読む）

【課題】四方切換弁に接続された接続配管相互の弁本体を介した熱伝導を抑制した四方切換弁を用いた冷凍サイクル装置を提供する。
【解決手段】四方切換弁の複数の接続配管と弁本体との間に円筒状の熱抵抗部を介在させて、上記接続配管を弁本体に接続する構成とした。接続配管は冷媒配管と同じ銅材から形成する。 （もっと読む）

【課題】四方切換弁内では高温冷媒と低温冷媒との流路が隣接しており、構成部品を介して熱移動が生じるため、熱損失の原因となっていた。
【解決手段】四方切換弁１における弁台座１２の上表面である弁シート面１３に形成される、低圧側接続口７と、第一の接続口９と、第二の接続口８のそれぞれの開口部の周囲を、弁シート面１３を構成する素材よりも熱伝導率の低い素材で覆う構成とする。そして、その弁シート面を覆う熱伝導率の低い素材は、弁体１０の一部１０ａで構成され、弁体１０は椀状部１０ｂとフランジ部１０ａとを有し、フランジ部１０ａは椀状部１０ｂの両側に高温冷媒の流路となる二つの穴が設けられて弁シート面１３を摺動する構成である。また、弁台座１２の弁シート面１３を熱伝導率の低い素材で覆い、弁体の椀状部１０ｂの頂点周辺を平面もしくは凹状にする。 （もっと読む）

【課題】優れたシール性を有するとともに、メンテナンスが容易に行うことができ、安全性の高い、ゲート弁全体としてもコンパクトなゲート弁を提供する。
【解決手段】略箱形状に形成された弁箱本体と、弁箱本体に、その対向する一対の側壁を貫通して形成されたゲート開口部と、一方側の側壁のゲート開口部を開閉する一方側弁板と、他方側の側壁のゲート開口部を開閉する他方側弁板と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する一方側弁板駆動機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部に対して閉止する他方側弁板駆動機構と、一方側弁板を、一方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する一方側弁板付勢機構と、他方側弁板を、他方側の側壁のゲート開口部の方向に付勢する他方側弁板付勢機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 絞り部におけるキャビテーションを抑制し、異音の発生を防止することができる油圧制御弁を提供すること。
【解決手段】 円筒状に形成したバルブボディと、前記バルブボディの内側であって、同軸上で相対角変位可能に嵌め合わせたバルブシャフトと、前記バルブボディの内周側に、軸方向の中間部から端部側にかけて径方向断面積が小さくなる凹部により形成した複数の第１油溝と、前記バルブシャフトの外周側に、軸方向の中間部から端部側にかけて径方向断面積が小さくなる凹部により形成した複数の第２油溝と、前記バルブボディの内周側に形成した凸部と前記バルブシャフトの外周側に形成した凸部とによって、前記相対角変位に応じて相隣する前記第１油溝と前記第２油溝との間の開口面積を可変にする絞り部と、を備えた油圧制御弁において、前記絞り部を、前記第１油溝と前記第２油溝の径方向断面積が小さくなるほど、前記開口面積が小さくなるように形成した。 （もっと読む）

【課題】仕切弁の構造のコンパクト化を図るとともに、弁体の開閉動作を単純化する。
【解決手段】開口部６３を開閉する弁体５１と、開口部６３を有する弁座６０と、を備える。弁体５１には、弁座６０に当接される第１シール面部５６が設けられている。弁座６０には、弁体５１の第１シール面部５６が当接される第２シール面部５７が、開口部６３を通過する基板の搬送方向にほぼ平行に設けられている。 （もっと読む）

【課題】開口上で移動し、その開口に閉鎖ディスクを押し付けることにより気密閉鎖する閉鎖ディスクを備えた真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】閉鎖ディスク4に連結されている連接棒6が、線形ドライブ装置7を用いて直線的に調節可能である。よって、閉鎖ディスクが開口2を覆っていない位置Oと、開口2上に突出している中間位置との間で移動可能である。係合要素10aにより、閉鎖位置で、閉鎖面5を有する閉鎖ディスクをバルブシート3に押し付けることが可能である。また、２つ以上の脚部において、一方の脚部端部が第１結合部14を通って閉鎖ディスクの背面9に、他方の脚部端部が第２結合部16を通って支持材22に、回転可能に設けられている。脚部13と背面と支持材とで、連結式の平行四辺形25を形成する。薄壁の曲げやすい部分で構成されている各第１・第２結合部を有する各脚部13が、一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】シリンダシャフトと弁板との連結を解除しなくてもシール材の交換あるいはメンテナンスを行なうことができるゲート弁を提供する。
【解決手段】弁箱４と、該弁箱４の側面に着脱自在に取り付けられたバルブケース２１と、弁箱４とバルブケース２１との間に弁板１０を往復移動させるシリンダ装置６、８と、を備え、シリンダ装置６、８が、弁箱４に設置されたガイド１５に規制され、弁箱４上をバルブケース２１側に向かって水平方向に往復移動可能に設定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）