【課題】 本発明は、酸化性物質に対する耐食性或いは耐久性に優れたダイヤフラムを提供するとともに、かかるダイヤフラムを用いて構成される往復動ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明に係るダイヤフラム２０は、往復動させて流体を搬送するために用いられるダイヤフラムであって、基布２１と、該基布２１を挟み込む一対の膜体２２，２３とを備え、該一対の膜体２２，２３のうち、搬送対象流体側に配設される一方は、塩素化ポリエチレンによって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 安定した流量を持続する薄型、小型の流体輸送装置及びこの流体輸送装置を備える流体輸送器を提供する。
【解決手段】 流体輸送装置２０は、流体を連続的に輸送する蠕動式の流体輸送装置であって、チューブ８０に沿って同心の円弧上に放射状に複数配置されて流体が流動する弾性を有するチューブ８０の一部を略直角方向に圧搾する押圧軸４０〜４７と、押圧軸４０〜４７を流体の流入側から流出側に向かって順次押圧するローラー５０〜５３、または回転押圧板１００を備えている。 （もっと読む）

本発明は、微小機械装置内の表面形状を光学的に測定することによって流体流動微小機械装置１００内の容積を測定する方法に関する。この方法は、ａ）表面形状を測定するための光学機器１０；５０；３０；７０を用意し配置するステップと、ｂ）形状を測定するための光学機器からの画像を取得し且つ処理するための取得処理手段２４；４４；６４；８４を用意するステップと、ｃ）可動部材１３３を第１の位置に配置してから第２の位置に配置し、さらに、表面形状を測定するための光学機器を動作させて光線を基準面上に向けると共に、取得処理手段を動作させて、可動部材１３３の第１の位置での第１の画像及び第２の位置での第２の画像を取得するステップと、ｄ）基準面の第２の画像と第１の画像とを比較して、可動部材の変形によって生じる空洞１３８の容積変化を決定するステップとを備えている。 （もっと読む）

前記蠕動ポンプが、ポンプ本体（３）と可動な圧力要素（７）と駆動手段（８）とを具備し、前記ポンプ本体（３）が、流体密封の導管を形成するような方法で、前記ポンプ本体（３）に固定された可撓性の膜（２）によって覆われる少なくとも一つの第一溝（４）を包含する面を備え、前記膜（２）がさらに、前記導管内に静止流体密封の密閉部分を得るために、前記溝（４）に接して恒久的な接触状態にある密閉畝部（１９）を包含し、前記可動な圧力要素（７）が、前記溝（４）の上の前記膜（２）の一部分を一時的に圧迫し、前記導管に移動する密閉部分を形成するようになっており、前記駆動手段（８）が、前記溝に沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、さらに、前記ポンプ本体面に平行な平面に専ら沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、前記密閉畝部（１９）を移行する時に、前記密閉畝部（１９）及び／又は前記溝（４）が、前記可動な圧力要素（７）を前記平行な平面内に動かすようになっている、蠕動ポンプにおいて、前記可動な圧力要素（７）が、前記駆動手段（８）の一部分を形成する軸（９）に回転可能に固定され、前記軸（９）が前記膜（２）と平行であることを特徴とする、蠕動ポンプ。
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本発明は、本体４と筐体６とからなる指型ペリスタルティックポンプ２を提供する。本体は、２以上の指型弁１６と、予め定めた時空パターンに従って弁を作動させるよう設定されたプロセッサ２２を備え、且つ、筐体は導管を収める通路１８を有している。筐体には、流体通路における導管が弁指片に近接する第１位置と、流体通路における導管が弁指片から離反する第２位置が設定されている。この発明は前記ポンプに用いる筐体も特徴とする。 （もっと読む）

【課題】べローズポンプにおいて、コンパクトな簡便な構成でボールねじ等がぶれないようにし、パーティクルの発生を回避すること。
【解決手段】ボールねじ軸２５に固定された回り止め部材３４を一対の平行板３０、３１間に配置し、それの平行２辺３４Ａ、３４Ｂを一対の平行板３０、３１の各々に軸線方向に摺動可能に当接させ、平行板３０には軸線方向に長い案内スリット３７を形成し、回り止め部材３４には案内スリット３７に軸線方向に摺動可能に嵌合する凸部３８を形成する。 （もっと読む）

電気動力式の流体噴霧器は、入口ポートと、出口ポートと、ポンプ・チャンバと、圧電要素に掛けられた電気信号により変形および変位することでポンプ・チャンバの容積を変化させる圧電要素と、を含む圧電式流体ポンプを採用する。かかる変位によれば、入口ポート内へ且つポンプ・チャンバ内へと流体が圧送されると共に、ポンプ・チャンバからの流体は出口ポートから送出される。入口ポートは流体貯蔵器と流通する。圧電式流体噴霧器は、（例えば液体および空気などの）異なる流体を圧送する二重チャンバ式圧電ポンプを含む。二重チャンバ式ポンプから送出される流体は、マニフォルド内で混合されて噴射ノズルの下流へと供給される。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの作動室側への変形を短時間且つ確実とし、ポンプ室内への薬液充填時間の短縮と薬液充填量を十分に確保できる薬液供給用ポンプを提供する。
【解決手段】作動室２６（凹設部２２ａ）の内壁面２２ｃには、その中心部に給排通路２２ｂの開口２２ｄが位置し、その給排通路２２ｂの開口２２ｄから該内壁面２２ｃの周縁部側に展開する十字状の通気溝２２ｅが形成される。これにより、薬液の吸入時において、作動室２６内の作動エアが給排通路２２ｂを通じて排出（吸引）されて該作動室２６内が負圧になり、ダイアフラム２３の中央部が先に給排通路２２ｂの開口２２ｄ部分を覆う事態が生じた場合、開口２２ｄは作動室２６の周縁部まで延びる通気溝２２ｅと連通しているので、先に当接した中央部から外側に位置する通気溝２２ｅから作動室２６内の作動エアの排出（吸引）が継続可能となる。 （もっと読む）

本発明は、一般に、流体移動のための方法、およびこの方法に基づくマイクロ蠕動ポンプに関する。マイクロ蠕動ポンプは、以下：ａ）モーターおよび該モーターにより駆動される第１の力エフェクタを備える作動パーツ；ｂ）カートリッジ本体に取り付けられた弾性膜を備えるカートリッジパーツであって、ここで、該カートリッジ本体に取り付けられた該弾性膜が、該カートリッジ本体内に閉鎖空間を形成し、該カートリッジ本体は、少なくとも３つのチャンバを備え、かつ、該カートリッジはまた、該第１の力エフェクタと相互作用する第２の力エフェクタを備える、カートリッジパーツ；ｃ）該少なくとも３つのチャンバが、入口および出口を有し、該チャンバは、タンデムに封着接続されている、チャンバ；を備える。マイクロポンプの分野の先行技術と比べると、本発明のマイクロ蠕動ポンプは、同等な全体のサイズでより大きな作動力を生じ得る。
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【課題】ポンプやポンプ前後の各開閉弁をユニット化して小型化を図りつつ、ユニットの薬液流路中において気泡や薬液の滞留を低減することができる薬液供給用ポンプユニットを提供する。
【解決手段】ポンプユニット１０は、ポンプ室２５と連通する吸入通路１７ａ，２１ｂ及び吐出通路１８ａ，２１ｃが同一直線Ｌ１上となるように、ポンプ１１（ポンプハウジング２１，２２）に対して、吸入側遮断弁１３を一体的に設けられる吸入側流路部材１７と、吐出側遮断弁１４を一体的に設けられる吐出側流路部材１８とが一体的に組み付けられて構成される。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を実現すること。
【解決手段】
吐出ポンプ１３によるレジスト液Ｒの吐出・吸入動作を、正圧、負圧いずれの設定圧にも調整可能な電空レギュレータ５１を用いた作動エアの圧力調整により行うようにした。これにより、モータなどの発熱源が不要となり、吐出ポンプ１３からの発熱が防止される。そして、吐出ポンプ１３の作動室内を負圧として可撓性膜を反ポンプ室側に作動させることで、スプリング等の付勢手段も不要となるし、電空レギュレータ５１と吐出ポンプ１３とを接続する配管に、正圧、負圧を切り換える切換手段等の構成を設ける必要もなく、吐出ポンプ１３の小型化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 反復可能な既知量の均一流体流が得られかつ非使用時にチューブにフラットスポットが生じることがない容積型ポンプを提供することにある。
【解決手段】 ポンプ組立体とカセット組立体とからなる容積型ポンプ。ポンプ組立体は、キャビティを形成する上下のハウジング部分と、キャビティ内に配置されるアームと、該アームの遠位端に取付けられたローラと、アームの近位端に取付けられた、アームを回転させるためのモータとを有している。カセット組立体は、キャビティ内に着脱可能に配置され、かつチャネルが形成される環状圧縮面を形成する上下のカセットハウジング部分を有している。中空圧縮チューブがこの長さに沿って延びているフランジを備え、中空圧縮チューブは、フランジをチャネルに係合させることにより圧縮面に固定される。
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【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を図りながらも、容積可変部材の反ポンプ室側への作動量を充分に確保すること。
【解決手段】本薬液供給システムは、薬液としてのレジスト液Ｒの吐出時にポンプ１３の作動室内に供給源５２にて加圧した作動エアを導入し、レジスト液Ｒの吸入時にポンプ１３の作動室内の作動エアを真空発生源５４にて吸引して負圧になるように構成される。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、先端ノズルから薬液を滴下させる吐出ポンプの小型化を実現できる薬液供給システムを提供する。
【解決手段】レジストボトル１５の上層空間１５ａに圧縮空気を供給することで吐出ポンプ１１のポンプ室内に陽圧とされた薬液を加圧圧送することにより、ポンプ室内にレジスト液Ｒが充填される。このため、吐出ポンプ１１の可撓性膜を作動室側へ駆動してレジスト液Ｒの吸入動作を行わせるべく、スプリング等を使用するという従来の構成を採用する必要がなくなる。これは、電動機を排除して熱によるダメージを半導体ウェハ１９に与える虞がないのは勿論のこと、吐出ポンプ１１それ自体をより一層小型化できる。 （もっと読む）

【課題】 タンクからタンクに液体を移し替える場合、タンクが満タンになったのをしらずにいると、もれて危険であり、燃料は火事の原因になり、強酸や強アルカリもタンクから漏らして周りに危険を及ぼす。
【解決手段】 タンクとタンクを管で隙間なくつなぎ、液体をタンクからタンクに移動させるとき、外部に漏れないように、タンクの口に入れた管の周りを密閉して、液体を移し替え、あるいは注入管を液体の通す管と空気を通す管の２つ設け、注入されるタンクの口に入れた管の周りを密閉して、タンクから漏れることのないようにし、タンクに液体を注入する場合、タンクの口に注入管を挟んだり吸い付くように取り付ければ、タンクの口から注入管がはずれることもなくなる。 （もっと読む）

【課題】ポンプアセンブリの長手方向に沿って延在するＶ形溝を含み、固定および可動の顎と、Ｖ形溝またはシャトルのいずれか一方の端に位置する複数のバルブとに関連したポンプ本体を有する注入ポンプを提供すること。
【解決手段】本発明は、チューブセグメント８を介して流体をポンプ送出するための注入ポンプ１０を提供し、この注入ポンプ１０は、該流体をポンプ送出するための手段と、該チューブセグメント８を該ポンプ１０に自動的に装填するための手段とを備える。 （もっと読む）

薬物送達ポンプ装置は、（ａ）所定の内部容量を有する治療薬貯蔵室を画定する伸縮可能な収納体と、（ｂ）電場応答性ポリマアクチュエータと、（ｃ）伸縮可能な収納体の治療薬貯蔵室と外部とを接続する流路を提供する治療薬排出ポートと、（ｄ）電場応答性ポリマアクチュエータに電気的に接続され、電場応答性ポリマアクチュエータに制御信号を供給する制御ユニットとを備える薬物送達ポンプ装置を提供する。電場応答性ポリマアクチュエータは、受け取った制御信号に基づいて、伸縮可能な収納体の内部容量を低減する。また、液体治療薬を患者に送達する送達方法は、（ａ）上述した注入ポンプ装置を準備するステップと、（ｂ）排出ポートを患者と流体流通可能に配設するステップと、（ｃ）アクチュエータに、伸縮可能な収納体の内部容量を低減させる制御信号を送信し、治療薬貯蔵室内の治療薬の一部を、排出ポートを介して患者に送達するステップとを有する。
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【課題】 蠕動ポンプの更なる改良を提供することである。
【解決手段】 蠕動ポンプ（１）が、支承部材（１９）と、カウンター部材（２４）との間の、チューブ（６）を保持する部分に行使される力を検出する力センサ（５３、５７）と、プロセス処理ユニットにして、力センサ（５３、５７）から送られる信号値から、チューブ（６）が支承部材（１９）とカウンター部材（２４）との間に正しく位置決めされたことを表示する予め決定された条件が満たされたか否かを判定するための手段を含むプロセス処理ユニットと、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 微小量の薬剤などを正確に間歇吐出可能なチューブポンプを提案すること。
【解決手段】 チューブポンプ１では、チューブ６におけるローラ７によって押し潰される部分よりも液体吐出口９の側に挿入された逆止弁１１を備え、ローラ７は、マイクロスイッチ２２の出力に基づき、常に、チューブ６から離れた回転角度位置に停止するように制御される。非動作時にはローラ７がチューブ６から外れているので、チューブ６が押しつぶされたままの状態で放置されることがない。チューブ６の貼り付きや変形が起きず、安定した吐出動作が保証される。逆止弁１１によって液体の逆流が阻止されるので、液体吐出口９からチューブ６内に空気が侵入し、次の動作時に、液体が吐出されない空吐出状態が発生するという、弊害も防止できる。よって、微小量の液体を正確に間歇吐出可能である。 （もっと読む）

本発明は、第１基材層（１）、第２基材層（２）及び機能性要素（３）を接合する方法に関する。本発明によると、前記機能性要素（３）は予め決められた弾性を有する物質から選択され；前記第１層及び第２層は予め決められた剛性を有する物質から選択され；前記機能性要素は前記第１及び第２基材層間にサンドイッチ状に配置され；前記第１及び第２基材層は圧力により互いに接合され；かつ前記機能性要素は前記第１及び第２基材層が永続的に相互結合するように取り付けられ、前記機能性要素は前記第１及び第２基材層間に永続的に配置される。本発明は更に、液体及び／又はガス状媒体を輸送及び／又は貯蔵するためのチャンネル状構造を有するデバイスに関する。該デバイスは、第１基材層（１）及び第２基材層（２）と、当該第１基材層（１）及び第２基材層（２）間にサンドイッチ状に配置された機能性要素（３）を含んで成り、チャンネル状構造が前記第１及び／又は第２基材層に埋め込まれている。前記第１及び第２基材層は固定的及び永続的に相互接合され、かつ前記機能性要素が前記第１及び第２基材層間に取り付けられている。前記機能性要素は弾性体で、前記第１及び第２層は剛体で、前記第１及び／又は第２層のチャンネル状構造は、機能性要素に起因して、少なくとも部分的に気密的及び／又は水密的にシールされる。
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