【課題】従来、ダイヤフラムの往復動により薬液を吸引・吐出して間欠的に散布する薬液散布機では、このダイヤフラムのポンプをモータで駆動して散布作業を正確なタイミングで行うようにしていたが、ダイヤフラムが大きく変形したままで停止すると、クリープによる塑性変形を起こすと共に、その材質も大きく劣化する、という問題があった。
【解決手段】薬液散布機１が所定距離移動するとダイヤフラム３５の往復動を開始させる起動信号６４を発信する起動信号発信手段６０と、前記ダイヤフラム３５の往復動を停止させる停止信号６５を発信する停止信号発信手段６１と、前記起動信号６４と停止信号６５に基づいてダイヤフラムポンプ２９のポンプ駆動装置２８の入切を行う制御手段６２を備えると共に、往復動を開始して薬液を吐出した前記ダイヤフラム３５が、該ダイヤフラム３５の変形量の小さな低歪み位置７９ａで停止する制御構成とした。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができ、ピストンとシリンダとの間からの非圧縮性媒体の漏出を監視することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】ポンプ１１はポンプ室１７と駆動室１８とを仕切る可撓性チューブ１６を有し、駆動室１８にはシリンダ１２のシリンダ孔３３内を往復動するピストン３４によって非圧縮性媒体３８が供給される。大径ピストン部３４ａとシリンダ１２との間には第１のシール室６３ａを形成する第１のベローズカバー６４ａが設けられ、小径ピストン部３４ｂとシリンダ１２との間には第２のシール室６３ｂを形成する第２のベローズカバー６４ｂが設けられている。シール室６３ａ，６３ｂ内に封入された非圧縮性媒体３８ａの圧力を検出するためにシリンダ１２にはシール室圧力センサ８１が取り付けられており、この圧力を検出することによってシール材７９ａ，７９ｂの劣化度が判断される。 （もっと読む）

【課題】ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】ベローズポンプ４は、互いに間隔を空けて対向配置されたシリンダヘッド４１と、これらのシリンダヘッド４１の間の中央に配置されたポンプヘッド４２と、各シリンダヘッド４１とポンプヘッド４２との間に介在されたシリンダ４３とを備えている。各シリンダ４３内には、移動部材４６およびこの移動部材４６の移動に伴って伸縮するベローズ４７とが配置されている。シリンダヘッド４１とシリンダ４３とは、それらの接合部分の一部において、それぞれの基材が剥き出しの状態で接合されている。そして、シリンダヘッド４１にアース線６０が接続されることにより、シリンダ４３は、シリンダヘッド４１とともにアース接続されている。 （もっと読む）

【課題】ベローズ式仕切部材１４の変位に伴うポンプ室１６内の容積変化により吸入された薬液を吐出する薬液供給ポンプ１０を用いるものにあって、薬液の吐出や吸入に際して薬液の状態の変動が生じること。
【解決手段】吐出側バルブ３２の開弁に伴うベローズ式仕切部材１４の変動量を、変位量センサ５８によって検出する。この変動量は、吐出側バルブ３２の開弁に伴う薬液の急激な流動と相関を示すパラメータである。したがって、この変動量を低減すべく、吐出側バルブ３２の開弁前におけるポンプ室１６内の圧力を操作する。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができ、ピストンとシリンダとの間からの非圧縮性媒体の漏出を監視することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】ポンプ１１はポンプ室１７と駆動室１８とを仕切る可撓性チューブ１６を有し、駆動室１８にはシリンダ１２のシリンダ孔３３内を往復動するピストン３４によって非圧縮性媒体３８が供給される。ピストン３４とシリンダ１２との間にはベローズカバー６４が設けられており、ベローズカバー６４によりピストン３４の摺動面に連なるシール室６３が形成されている。シール室６３内に封入されたシール用の非圧縮性媒体３８ａの圧力を検出するためにシリンダ１２にはシール室圧力センサ７１が取り付けられており、シール室６３の圧力を検出することによってシール材６９の劣化度が判断される。 （もっと読む）

【課題】ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】ベローズポンプ４は、互いに間隔を空けて対向配置されたシリンダヘッド４１と、これらのシリンダヘッド４１の間の中央に配置されたポンプヘッド４２と、各シリンダヘッド４１とポンプヘッド４２との間に介在されたシリンダ４３とを備えている。各シリンダ４３内には、移動部材４６およびこの移動部材４６の移動に伴って伸縮するベローズ４７とが配置されている。また、各シリンダヘッド４１には、漏液センサ２４の２つの端子５８が配置されている。端子５８は、シリンダヘッド４１を貫通する電極棒５９を備えており、その電極棒５９のシリンダ４３内に配置される先端部には、電極棒５９の長手方向に突出する突起６６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】処理液貯留槽において実際に処理液がなくなり、この処理液貯留槽から処理液を引き抜くためのラインに処理液が流れなくなった場合において、当該処理液貯留槽が空状態であることを自動的に判定することができ、このことにより、処理液貯留槽から引き抜かれた処理液を被処理体に供給するような処理において安全性や生産性の向上を図ることができる処理システムおよび処理方法を提供する。
【解決手段】処理液貯留槽２０から処理液を引き抜くためのライン２２（２３）には往復動ポンプ３０が介設されている。往復動ポンプ３０が処理液貯留槽２０から処理液を引き抜く際に、この往復動ポンプ３０の往復部材３４が往復動作を行う際の所定距離における移動時間を計測する。この移動時間が予め設定された設定時間よりも小さい場合には処理液貯留槽２０が空状態であると判定する。 （もっと読む）

【課題】 フィンガの押圧力を増大させることなく、フィンガの押圧による押圧板の傾きを防止することができる新規な弾性機構が設けられた輸液ポンプを提供する。
【解決手段】 複数のフィンガ１０と、前記フィンガ１０を駆動するための駆動手段４とを備えたハウジング２、およびドア部材３により構成され、前記ドア部材３には前記フィンガ１０との間でチューブ５を狭持しうる押圧板７が弾性機構８を介して設けられてなる輸液ポンプ１において、前記弾性機構８は圧縮部材８１と、中間部が支軸８３によって回動可能に連結された一対のリンクからなるリンク機構８２とを有してなり、前記圧縮部材８１は一端がドア部材３に他端が押圧板７に伸縮可能に固定されてなり、前記リンク機構８２は一方のリンクの押圧板側端部８２１ａが押圧板７に固定され、他方のリンクのドア側端部８２１ｂがドア部材３に固定されることにより伸縮可能に配置されてなる輸液ポンプ１である。 （もっと読む）

特に容積形ポンプにおいて、可撓性チューブ（１）の押圧を目的とするクランプ（２）の開閉を制御するため、とりわけドア（４）によって閉鎖することができるケース（３）、ケース（３）に装着されたチューブ（１）、ケース（３）に内蔵されチューブ（１）と協調して動作してチューブを圧搾または開放させるクランプ（２）、ドア（４）の開放が行われたときにクランプ（２）を閉塞する手段（４４）を含む。この装置には、さらにドア（４）の閉鎖が行われたときにクランプ（２）を閉塞する手段（４４）を含めてもよい。本発明の安全装置により、チューブ（１）が前記ドアの開放中には常に圧搾されているのみならず、ドアが閉鎖された後には、適切な装置（３１）がクランプ（２）の開放を行わないかぎり、圧搾状態の保持を確保できる。この圧搾装置は全面的に機械的構造であるため、劣悪な供給電源による危険にさらされることはない。 （もっと読む）

【課題】一定の微量の流体を洩れなく、また逆流することなしに送る。
【解決手段】マイクロバルブ及びこれを用いたマイクロポンプにおいて、弁体１はステンレス鋼その他の金属材料により、薄膜状の平面形状に形成され、当該平面内に略Ｃ字形の切り欠き１３Ｃを形成されて、リング形状の固定部１１と、フラップ形状の弁部１２とを備える。この場合、弁体１に金メッキなどにより表面処理を施すことが好ましい。 （もっと読む）

アクチュエータは、固体から液体へと相変化するにつれて可逆的に膨張する作動媒体（３）を収容するキャビティ（２）と、前記キャビティの近傍に位置し、作動媒体の膨張及び収縮によって変形するダイヤフラム（４）と、前記キャビティ内に設けられ、前記作動媒体を液体へと相変化させるために前記作動媒体を加熱する半導体素子（６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】薬液供給装置１０ａは薬液タンク２５内の薬液を塗布ノズル２７から吐出させるために使用される。薬液供給装置１０ａはポンプケース１１とシリンダ１２とが一体となった合体部材１３を有し、ポンプ部材である可撓性チューブ１５はポンプケース１１に設けられており、その内側はポンプ室１６となっており外側はポンプ側駆動室１７となっている。シリンダ１２にはピストン３１が組み付けられ、モータ４９によりピストン３１を往復動すると、ポンプ室１６は膨張収縮する。ピストン３１とシリンダ１２との間の隙間はダイヤフラム６１により覆われており、ダイヤフラム６１の内部はシール空間６２となっている。これにより、ピストン３１とシリンダ１２との間から漏れた非圧縮性媒体はシール空間６２に入り込み外部には漏出しない。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡易な構造でありながら従来よりも大きな吐出圧力を得ることができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】内部が気密的に閉じられるとともに伸縮自在に形成されたベローズ１０と、このベローズの内部に連通して流体の流入のみを許容する逆止弁１５が介装された流体供給管１２と、ベローズの内部に連通して流体の流出のみを許容する逆止弁２０が介装された流体排出管１４と、ベローズを伸縮させる駆動手段とを備え、かつ駆動手段は、ベローズの伸縮方向一端部に固定されて当該伸縮方向に移動自在に設けられた駆動軸２６と、この駆動軸の外周部に形成されたリードスクリュー２６ａと、このリードスクリューと歯合するとともに、正逆回転可能なモータ２９によって回転駆動されることによりリードスクリューを介して駆動軸を伸縮方向に往復動させる１以上のギヤー２７、２８を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】例えばスリットコート式の塗布工程などにおいて、塗布時における振動が十分に少なく、平滑な薄膜塗布が可能な定量送液ポンプおよびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】パルスモータから減速機を介して回転が伝達されるボールねじ機構に連結されたピストンロッドの移動により容積が増減するシリンジ室３１と、内部がポンプ室を構成するチューブ５１の外周側の非圧縮性流体収容室５８と、を連通する配管４１に、流量調整弁４２および逆止弁４３を並列に設け、ポンプの吐出工程時には逆止弁４３を閉止して流量調整弁４２のみ通過させることで、非圧縮性流体に絞り負荷を与えて移送液の圧力変動を抑制すると共に、ポンプの吸入工程時には逆止弁４３を開放して流れをバイパスすることで、非圧縮性流体の急激な流量変化を抑えるようにした。 （もっと読む）

【課題】均一で正確な吐出量、吐出圧力で、レジスト液などの薬液の塗布を行うことが可能な定量送液ポンプ、およびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ本体内を軸方向に往復動するピストン部材と、ピストン部材によって区画され、ピストン部材の移動に連動して、容積が相互に逆方向に増減する２つのシリンジ室と、２つのシリンジ室にそれぞれ連結され、非圧縮性流体の作用によって作動する２つのポンプとを備え、ピストン部材を駆動装置により往復動させることで、２つのシリンジ室の容積を相互に逆方向に増減させて、２つのポンプの吸入工程と吐出工程とを相互に逆に行うように構成した。 （もっと読む）

一体的なポンプである内蔵型ポンプが、開示されている。このポンプは、リザーバと、ポンピングメカニズムと、少なくとも1つの出口とを有している。前記ポンピングメカニズムは、リザーバの制御された圧縮のために、リザーバ中の必要とされる量の流体を少なくとも1つの出口へと吐出する。
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【課題】簡易な構成で膜式ポンプの背圧室側に充填される作動油の劣化を最小限に抑えるようにして、作動油交換に要する手間およびコストを軽減する。
【解決手段】カム室４０Ａ内に配設したカム１６の回動で往復摺動するプランジャ２４Ａにより背圧室３０Ａ内の作動流体に脈圧を与え主流体室２５Ａの主流体を加圧して送出するものであって、プランジャ２４Ａに背圧室３０Ａとカム室４０Ａとを連通させる連通路が設けられた膜式ポンプ１Ａにおいて、プランジャ２４Ａに、略下死点位置で開通してカム室４０Ａの作動油を背圧室３０Ａに導入するインレット用の連通路２４１ａと、略上死点位置で開通して背圧室３０Ａの作動油をカム室４０Ａに送出するアウトレット用の連通路２４１ｂとを備えており、プランジャ２４Ａの往復摺動により背圧室３０Ａとカム室４０Ａとの間を作動油が循環する。 （もっと読む）

【課題】小型で構成が簡単なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、（ａ）ゴム弾性を有する絶縁体の膜の周辺部を支持することにより、周辺部の内側に形成されたダイヤフラム部２５と、（ｂ）ダイヤフラム部２５の面を面方向に拘束することなく該両面にそれぞれ接する一対の電極２６，２８と、（ｃ）ダイヤフラム部２３に隣接して配置され、ダイヤフラム部２３の変形に連動して容積が変化する流路１２ｄとを備える。マイクロポンプは、電極２６，２８間に電圧が印加されるとダイヤフラム部２５の面積が変化して流路１２ｄの容積が変化することにより、流路１２ｄ内の流体を搬送する。 （もっと読む）

【課題】微少な吐出量を制御可能な液体流量制御装置を提供すること。
【解決手段】電気制御装置２００は、第２バルブ４を閉弁状態に維持しながら第１バルブ３を開弁することによって第１通路１３をダイアフラムポンプ２に連通し、ダイアフラムポンプ２に通電することによって第１通路１３内の液体をダイアフラムポンプ２内に吸引し、その後、第１バルブ３を閉弁することによって第１通路１３を遮断するとともにダイアフラムポンプ２への通電を停止することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰可能な停止状態に維持し、第２バルブ４を開弁開始することによってダイアフラムポンプ２を原状へ復帰開始させ、ダイアフラムポンプ２の原状への復帰途中で第２バルブ４を閉弁する制御を行う。 （もっと読む）

【課題】腐食性の液体を供給するためのポンプに用いることができ、しかも耐久性、ポンプの定流量性能、定量性能、液置換性能を向上することができ、またポンプ圧力室の洗浄時間を短縮することができるピストンとそのピストンの製造方法及びそのピストンを備えたポンプを提供する。
【解決手段】シリンダ１１内に移動自在に支持され往復駆動されるピストン１は、腐食性の液体によって劣化しないようフッ素樹脂で形成される。該ピストン１のローリング部２は１ｍｍ以下の厚さで、可撓性を有し、略１８０度の折返し部３を経て開放端部にフランジ部７を有し、該フランジ部７がシリンダ１１に取付けられ、ピストン支持体１５の外周面とシリンダ１１の内周面に密着しながら、この２面間の隙間で撓みや折曲りを生じることなく円滑にローリングする。 （もっと読む）