【課題】逆止弁を使用せずに流体を輸送でき、構造が簡単で、所望の流量を得ることが可能な圧電マイクロポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム２０を間にしてポンプ室１５の外周部と対向するポンプ本体１０の部位に、ダイヤフラムと接する第１壁部１３ｂが形成され、この壁部と接するダイヤフラムの部位に第１開口部２１ａが設けられ、ポンプ本体の側壁であって、ダイヤフラムのポンプ室側の側面と接する第２壁部１２ｂに第２開口部１２ｃが設けられる。圧電素子の振動に伴うダイヤフラムの屈曲変位によって、第１開口部及び第２開口部を交互に開き、一方の開口部から流体を吸い込み、他方の開口部から流体を排出する。特に、ダイヤフラムを３次共振モードで駆動すると、最大流量が得られる。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、径方向に二以上の任意の整数に分割された内部電極を有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側に密着固定されるダイアフラム３０と、最も内側にある内部電極１１ｃと対向する位置に前記圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、内部電極の形成領域の一つ一つを独立して外側から内側方向に向かって時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により外側から内側に向かって順々に縮小していき、出口孔６０から流体を送出し、流体噴射開口部からパルス状に高速噴射する。 （もっと読む）

【課題】効率よくスムーズに流体を排出することができる流体噴射装置を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１は、圧力室４０と、周方向に分割され、回転方向に配列される内部電極１１ａ〜１１fを有する円柱形状の積層型圧電素子１０と、積層型圧電素子１０の圧力室４０側の端面に密着固定されるダイアフラム３０と、内部電極１１ａの一つを始点内部電極とし、始点内部電極の回転方向の一つ前に配設される内部電極１１ｆを終点内部電極としたとき、終点内部電極と対向する位置で圧力室４０を開口する出口孔６０と、を有し、積層型圧電素子１０を、始点内部電極から終点内部電極に向かって内部電極の形成領域の一つ一つを独立して時間差を有して順々に変位させ、圧力室４０の容積をダイアフラム３０により始点内部電極の形成領域から終点内部電極の形成領域に向かって順々に縮小していき、圧力室４０内の圧力を高め、出口孔６０から流体を送出する。 （もっと読む）

【課題】水の供給が困難な状況下でも切除に用いる液体噴射装置を適切に用いることがで
きるようにすること。
【解決手段】液体を貯留する貯留部と、前記液体を噴射する液体噴射装置と、前記液体噴
射装置に電力を供給する燃料電池であって、前記電力を発生させる際に生ずる水を前記貯
留部に供給する燃料電池と、を備える液体噴射システム。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能であり、十分な流量を得ることのできる、ポンプ装置及びそれを用いた内視鏡装置を提供する。
【解決手段】流路壁面の少なくとも一部を構成する第１可撓性薄膜に、流路の長手方向に伝播する進行波を発生させて流路内の流体を搬送するポンプ装置であって、第１可撓性薄膜の所定部位を面外方向に加振することにより進行波を生起させる加振手段を備える。また、第１可撓性薄膜が非圧縮性流体を封入したチャンバーの一部を構成し、第２可撓性薄膜がチャンバーの他の一部を構成し、第２可撓性薄膜に作用する加振機構によって第２可撓性薄膜に進行波を生起させ、第２可撓性薄膜に生起された進行波に伴う非圧縮性流体の変位によって、第１の可撓性薄膜に進行波を生起させ、第２可撓性薄膜に生起された進行波よりも、第１可撓性薄膜に生起させた進行波の方が面外変位が実質的に大きい。 （もっと読む）

【課題】吐出口の位置を筐体の中心部から変更することができる圧電マイクロブロアを提供する。
【解決手段】ブロア筐体１と圧電素子２１を有するダイヤフラム２０との間にブロア室５を形成し、圧電素子に電圧を印加してダイヤフラムを屈曲振動させることにより、ブロア室から空気を吐出する圧電マイクロブロアである。ブロア室は楕円形に形成され、楕円形の一方の焦点Ｆ１にダイヤフラムの最大変位点が位置するようにし、楕円形の他方の焦点Ｆ２の位置に開口部４１を形成する。ダイヤフラムにより発生した圧力波がブロア室の内周壁で反射し、開口部より排出される際に周囲の空気を巻き込んで空気流として吐出する。 （もっと読む）

【課題】安定して熱源を冷却することができる冷却装置及びプロジェクターを提供する。
【解決手段】冷却装置は、ピストン又は可動壁を駆動することによって容積が変更可能なポンプ室と、ポンプ室へ流体を流入させる入口流路と、ポンプ室から流体を流出させる出口流路と、入口流路とポンプ室との間に、入口流路を開閉する流体抵抗要素と、を備えるポンプ２０と、出口流路から入口流路へ流体を循環させる循環流路１８と、循環流路１８の出口流路より入口流路に近い箇所に、ポンプ室に流入する流体の圧力を調整させる第２流路１９と、を備え、第２流路１９の調整容量は、循環流路１８の流体の圧力増分をΔＰ、その時の循環流路１８の体積増分をΔＶ、流体を循環させたときの循環流路１８の出口流路側の圧力をＰ_Sとしたときに、式
【数１】


を満たす調整容量Ｖ_Bである。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】脈動流体が噴射されない間は、余分な流体の流出および流体の供給を停止する事により、術部視野を確保し、微少切除深さ、または微小領域の切除を可能とする。
【解決手段】脈動流体を発生させるための容積変更手段と、流体供給手段から流体室の入口流路の間に第１流路切換手段および流体室の出口流路から流体噴射口の間に第２流路切換手段２とが備えられ、容積変更手段は駆動が開始される時間Ｔ１から脈動流体を発生させる時間Ｔ３までの第１期間を除く、第２期間内Ｔ３〜Ｔ５に駆動され、第１流路切換手段を第１期間内の時間Ｔ２、もしくは第２期間内に発生させる最終の脈動流体の噴射が開始される時間Ｔ４に動作させ、第２流路切換手段を第１期間内の時間Ｔ２、もしくは第２期間内に発生される最終の脈動流体の噴射が終了した時間Ｔ５に動作させる。 （もっと読む）

【課題】全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、接続流路を介して接続される第１空間および第２空間を形成するケースと、第１空間に接続される流体吸入管と、第２空間に接続される流体吐出管と、第１空間を覆うようにケースに設けられる第１変形部材と、第２空間を覆うようにケースに設けられる第２変形部材とを含む。第２変形部材は、第１変形部材より大きく形成され、第２変形部材の最大変位は、第１変形部材の最大変位より大きい。 （もっと読む）

【課題】供給圧力の変動する液体が供給された場合でも、液体噴射装置の操作感が損なわれることを回避する。
【解決手段】液体圧送手段を用いて液体室に液体を圧送するとともに、容積変更部に駆動電圧を印加して液体室の容積を減少させることによって、加圧した液体室内の液体を噴射ノズルから噴射する。容積変更部に駆動電圧を印加するに際しては、液体室に圧送される液体の圧力変動が液体の噴射に与える影響を、駆動電圧の電圧波形を変更することによって補償するとともに、供給流量が所定の圧力以下に低減した場合は駆動波形の時間間隔を補正する。こうすれば、たとえ液体室に圧送される液体の圧力が変動した場合でも、液体噴射装置の操作に違和感が現れることを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で最適な流体噴射条件の流体を噴射する流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、かつ、供給される流体供給流量を検出する検出器１１を有し、圧力室８０の容積を変化させる周波数を流体供給流量に比例するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ポンプ筐体に格別な加工を行うことなく、吐出圧の高い圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラムに圧電体を接着した振動板を使用し、振動板の外周部をポンプ筐体に固定する。振動板と対向するポンプ筐体の表面は平坦面に形成され、振動板は、ポンプ筐体と逆側を向くダイヤフラムの主面に圧電体を熱硬化型接着剤により接着固定したものである。ダイヤフラムは、圧電体より線膨張係数が大きいので、圧電体への電圧の非印加時において、ダイヤフラムはポンプ筐体側と逆方向に凸状に反った形状を有し、ダイヤフラムの反りによってポンプ筐体との間にポンプ室が形成される。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電子機械システムを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。複数の圧電アイランドは、複数のチャネル（２０５）を有するボディ（２００）に支持される。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、それを取り扱い基板に一時的に結合し、カットされた圧電レイヤ（１０７）をエッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に取り付け、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】切除力と切除速度を独立して調整可能な流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、ポンプ１０から供給される流体供給流量と、圧力室８０の容積変化の周波数（圧電素子３０の駆動周波数に相当）と、を比例の関係で変化させる。圧力室８０の容積変化量（排除体積）は切除力を変化させ、排除体積と駆動周波数の積は切除速度を変化させることから、切除力と切除速度を独立して調整できる。 （もっと読む）

【課題】外形寸法が極めて小さく、生産性が良く、流量制御精度が高く、動作が円滑であり、吸引力と吐出力が大きく、信頼性が高いマイクロダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】吸入弁２６および吐出弁２８の一方の弁板１４と他方の弁の流路となる流路開口１６とが形成され、互いに逆向きに積層された二枚の弁板シート１２と、この積層体に積層され弁座２０および弁ストッパ２２とが形成された二枚の弁座シート１８と、ベース板３２と、枠体３４と、ダイヤフラム３６と、駆動素子４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層（２）とマイクロ流体層（３）を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層（２）は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分（２１）を含む。マイクロ流体層（３）は、基板層（２）にラミネートされており、変形可能部分（２１）と流体連通されたマイクロチャンネル（３１）を有する。変形可能部分（２１）は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル（３１）内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】 構造が極めて簡単で、駆動液体を選ばない、超小型化を容易に実現できる新規な構成の超音波ポンプを提供する。
【解決手段】 KHz帯の超音波放射手段を用いて、液体中にマイクロキャビテーションの発生しきい値を超える強度の超音波定在波を形成させ、この定在波の最大圧力変動点の位置に、内径が液中超音波の波長より十分に小さい吐出管の導入口を設置し、吐出管の導入口から吐出口へ連続的に揚液することを特徴とする超音波ポンプを提供する。容器２と、容器底面に形成されたKHz帯の超音波放射手段３と、容器の壁を貫通して容器内液体の底に近い位置に形成された吸込管の流出口４ｂと、容器の上面から超音波放射手段に対向し最大圧力変動点の位置まで挿入した内径が超音波の波長より十分に小さい吐出管５を有し、容器内の空間の高さが液中超音波の半波長に等しく、容器内を液体で満たされた状態で運転されることを特徴とするポンプがその一実施例である。 （もっと読む）

【課題】振動板の送風能力を向上させて冷却能力を向上させた圧電ファン、及び該圧電ファンを用いた冷却装置を提供する。
【解決手段】圧電ファン１０１は、振動板１１１における圧電素子１１２Ｂと固定板１１３との隙間Ｇの区間の剛性を上げるため、ステンレススチール製の補強板１５１、１５２を備えている。補強板１５１、１５２は、この隙間Ｇを跨ぐように、第１端部が振動板１１１における圧電素子１１２Ａ、１１２Ｂの接合箇所の幅方向の両側に接合され、第２端部が振動板１１１の固定端部を固定板１１３と両面から挟むように振動板１１１の固定端部に接合されている。補強板１５１、１５２は、振動板１１１の隙間Ｇの区間が振動するのを抑制して、両圧電素子１１２Ａ、１１２Ｂの伸縮によって生じる振動エネルギーの一部が当該隙間Ｇの区間で消費されるのを防ぎ、複数のブレード１１４先端の振幅を強める。 （もっと読む）