【課題】過剰仕様を避けながら現実的に要求される性能を満足できる電動リニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】小形ＤＣモータ１でネジ棒２を回転させ、ネジ棒２に螺合させたナット４を直線移動させる電動リニアアクチュエータであって、モータ１の出力軸とネジ軸２の入力端とがカップリング３で結合されており、カップリング３の内部には、磁石６が内蔵され、カップリングの外周に沿わせて、リードスイッチ７が配置されているカップリング３は、ネジ棒側端面に円錐形穴の支持凹部３ａが形成されており、ネジ棒は、そのカップリング側端面が円錐形突部の支持凸部２ａが形成され、その他端面に円錐形穴の受け凹部２ｃが形成されており、受け凹部２ｃに押し付け付勢されるボールプランジャ９がアクチュエータフレームに取付けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で回転運動を直動運動に変換することができるリニアアクチュエータを提供すること。
【解決手段】ステータと、ステータの内部に配置され、ステータに対して相対回転するロータと、ロータの回転中心に固定されロータとともに回転する棒状の部材であり、表面の少なくとも一部にネジ溝が形成されたボールネジ軸と、ステータおよびロータを収納し、ステータを固定するハウジングと、ハウジングを介してステータに固定され、ボールネジ軸のネジ溝と螺合したナットと、を備えるモータと、ロータをステータに対して相対回転させる制御装置と、を有し、制御装置は、ロータをステータに対して回転させることで、ナットに対してボールネジ軸を回転させ、ボールネジ軸をロータの回転方向に直交する直動方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】転動体転走路と転動体との間で発生した微粒子が装置外に漏れ出る量を極力抑制できる、半導体製造装置や液晶表示パネル製造装置等のクリーン環境に好適な直動装置を提供する。
【解決手段】直動装置１において、１対のシール部材７の各々は、移動部材３に取り付けられた状態で、軌道部材２の軸方向に対して直交する方向に沿って切断した際に、軌道部材２に対して０．０２５〜０．１５ｍｍの範囲の隙間δを有する形状に形成され、転動体転走路５と転動体４との間には混和ちょう度２５０以下のグリースが塗布してある。 （もっと読む）

【課題】シール部材の軸方向の寸法に関わらず、ねじ軸とシール部材の芯を合わせ、シール部材とねじ軸の位相を調整することを容易に行うことができるボールねじ装置を提供する。
【解決手段】ボールねじ装置１００のナット３の端部とシール部材７の固定部１１とでインロー部１３を構成し、シール部材７に固定用の長孔部１２を形成し、長孔部１２はねじ軸方向に貫通し、ねじ軸の回転軸を中心とする円弧状として、シール部材７を長孔部１２を通した固定ねじ８によってナット３の端部に固定する。 （もっと読む）

【課題】信頼性を損なうことなく薄型化を達成可能なステージ装置を提案すること。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、板金製のベース板２の上にＸ軸方向にスライドする板金製のＸ軸ステージ板３が搭載され、この上にＹ軸方向にスライドするＹ軸ステージ板４が搭載された構造となっている。金属製の薄板材料を用いて精密板金加工により薄型のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４を製造し、その周囲四辺の部分を裏面側および表面側に２回曲げることで、板金製のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４に強度および精度をもたせるようにしている。信頼性を損なうことなく、板金製の部品を用いてＸＹステージ装置の薄型化を達成できる。 （もっと読む）

【課題】負荷に応じて減速比が変化する回転運動変換装置を提供する。
【解決手段】回転運動変換装置を用いた把持装置１００は、ネジ山を有する主軸１３０と、主軸１３０を支持する軸受であって、主軸１３０と接する面にネジ山の直径より大きい直径のネジ溝が形成された内輪と、内輪を回転可能に支持する外輪と、を有する軸受１５０と、を備えている。そして、軸受１５０は、主軸１３０の軸方向に対して所定の傾斜角度で傾斜しており、主軸１３０を回転させたときに主軸１３０の軸方向に直動する。 （もっと読む）

【課題】案内レールの両側面とスライダおよびねじ軸の上側がカバーで覆われている一軸アクチュエータのねじ軸と案内レールの両方に、長期に渡って潤滑剤を供給する。
【解決手段】スライダ３の移動時に、スライダ３の移動方向端部に設けたグリースニップル８３が案内レール１に設けたニップル挿入口５２ａに嵌まることで、スライダ３の上面に固定された給脂ブロック８の給脂路８１と、案内レール１の上面に固定されたエンドブロック５の給脂路５２ｂが連通するように構成する。連通された両給脂路８１，５２ｂを介して、グリースニップル５３に結合された給脂用配管からスライダ３の内部に潤滑剤が供給される。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転を複数の遊星ローラのそれぞれに対してロスなく確実に伝達できるようにすることである。
【解決手段】外輪部材５の内径面と回転軸１０の外径面間に偶数個の遊星ローラ２１を組み込む。回転軸１０を中心にして回転可能なキャリア１４に遊星ローラ２１と同数のローラ軸１９を設け、そのローラ軸１９によって遊星ローラ２１を回転自在に支持する。周方向で隣接する一対のローラ軸１９を組とし、その組となる一対のローラ軸１９間に引張りコイルばね２３を掛け渡して、一対のローラ軸１９を周方向に付勢し、遊星ローラ２１の外周に形成された螺旋溝２２を外輪部材５の内周に形成されてその螺旋溝２２に係合する螺旋突条６の両側のフランク６ａ、６ｂに圧接させ、その圧接力に対する反力の径方向分力によりローラ軸１９を径方向内方に付勢して、遊星ローラ２１を回転軸１０の外径面に圧接させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は，高剛性で軽量であって高速，高加減速の作動にも対応可能で高精度に位置決め可能で，断面高さが小さいコンパクトな構造に構成する。
【解決手段】本発明のクリーン環境用アクチュエータは，ベッド５とスライダ３とを筐体１で覆い，ベッド５の側壁３３に形成されたＴスロット２９にパッキン３０を挿入して装着してベッド５とサイドカバー３との隙間を密閉する。筐体１は，ベッド５の両端面を覆うエンドブラケット９とモータブラケット１０，ベッドの両側面と上面とを覆う一対のサイドカバー３，サイドカバー３間の開口部を覆うシールプレート４，及びシールプレート４の両側面から突出して露出したテーブル６とスライダ２に掛かるシールプレート４の部分とを上方から覆うテーブルカバー７から構成されている。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転を複数の遊星ローラのそれぞれに対してロスなく確実に伝達できるようにすることである。
【解決手段】外輪部材５の内径面と回転軸１０の外径面間に複数の遊星ローラ２１を組み込む。回転軸１０を中心にして回転可能なキャリア１４に遊星ローラ２１と同数のローラ軸１９を径方向に移動自在に設け、そのローラ軸１９によって遊星ローラ２１を回転自在に支持する。周方向で隣接する一対のローラ軸１９間に引張りコイルばね２２を掛け渡して、一対のローラ軸１９を半径方向内方に向けて付勢し、遊星ローラ２１を回転軸１０の外径面に圧接させて、遊星ローラ２１と回転軸１０の接触部で滑りが生じるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】ボールねじのナットの軸方向端部に接触シールを取り付ける際に、シールのリップ部とねじ軸との周方向での位置合わせが簡単にできるようにする。
【解決手段】シール４が固定されたシールキャップ５をナット１の取付部１２に固定することで、シール４をナット１に取り付ける。取付部１２の外周面の周方向で異なる位置に３つの平面部１３を形成する。シールキャップ５は、取付部１２に外嵌する環状部５１と、内向きフランジ部５２とからなる。環状部５１には、３つの平面部１３と同じ位置に、３つの貫通ねじ穴（貫通穴）５１ａを形成する。シールキャップ５の環状部５１をナット１の取付部１２に外嵌し、平面部１３に貫通ねじ穴５１ａを合わせて小ねじ７を螺合することで、シール４がナット１に取り付けられるとともに、シール４のリップ部４１とねじ軸２との周方向での位置合わせがなされる。 （もっと読む）

【課題】 多様な方向からの荷重を受けることができ、剛性が高く、直動案内精度が良く、コンパクトに構成できる直動案内機構を提供する。
【解決手段】 直動案内機構１は、ハウジング２と、このハウジング２に軸中心Ｏ回りに回転自在かつ軸方向に移動不能に支持されたねじ軸３と、このねじ軸３に螺合したナット４を含みねじ軸３の回転によりねじ軸３の軸方向に移動させられる直動体５とを備える。ハウジング１にねじ軸３の軸方向に沿う複数の案内面１５，１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄを設ける。これら複数の案内面１５は２面ずつが対となる。これら対となる２つの案内面１５は、互いに非平行で背を向き合う。直動体５に、各案内面１５にそれぞれ接する複数の被案内体１６を設ける。 （もっと読む）

【課題】回転運動を直線運動に変換する変換機構（例えばボールねじ機構）を減速機に連結する部分の寸法及び減速機の寸法を短縮し、狭小な空間にも設置可能な直線作動機及び該直線作動機の製造方法を提供する。
【解決手段】軸受けホルダ５４をフレーム５１に内嵌し、軸受けホルダ５４の径方向の寸法をフレーム５１よりも短くする。金具を取り付ける部分を確保することなく、フレーム５１から突出した軸受けホルダ５４を減速機１０の凹部２３ａに収容して、軸方向の寸法を短くする。軸受けホルダ５４はフレーム５１の内側又は減速機１０の凹部２３ａに収容されており、減速機１０の寸法を短縮することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動音の発生を抑制することが可能な駆動装置を提供する。
【解決手段】所定軸方向に延びる断面円形の棒形状を有し、その外周部に前記所定軸方向に沿った螺旋状の着磁帯（２２ａ）を有するガイドバー（２２）と、前記ガイドバーが挿通される貫通孔（１６ａ）を有する駆動対象物体（１１４）と、前記駆動対象物体の前記貫通孔の内壁部分に設けられた、前記着磁帯の一部に沿った螺旋ばね形状を有する強磁性体（２０）と、前記ガイドバーを前記所定軸回りに回転して、前記強磁性体を前記駆動対象物体とともに前記所定軸方向に移動させる回転駆動機構（２６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】コスト安で、取り付け精度の誤差や走行精度の誤差を柔的に吸収することのできる運動装置を提供する。
【解決手段】案内溝部２１を有する軌道体２と、軌道体２の延在方向と直交する幅方向において案内溝部２１の内面と複数のボール４を介して係合し、軌道体２に対して上記延在方向に相対移動可能な移動体３と、を有するスライドアクチュエータ１であって、軌道体２は、案内溝部２１の上記幅方向の両側において案内溝部２１と一体で形成されると共に、取付面２６ａを有して案内溝部２１を支承する取付固定部２２と、案内溝部２１の底部を形成すると共に、取付面２６ａに対して離間する底板部２３と、を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内に設置する駆動用モータ、潤滑油や樹脂製ベルトなどから発生するアウトガスによって真空度が悪化するため分析精度が低下する。またピニオンとラック間のバックラッシュによって位置決め精度が悪化し、ピニオンやベルトの使用によりテーブル移動の分解能が低下する。
【解決手段】Ｙ軸方向に移動可能なスプライン軸受１４を使用することにより、Ｙモータ２とともにＸモータ７を真空容器３０の外に設置することができる。また、直交する２軸間のトルクおよび回転運動の伝達機構として、ラック＆ピニオンの代わりに、非接触でバックラッシュのない磁気カップリング２４を使用することにより、位置決め精度が改良される。さらにラック＆ピニオンやベルトに代えてＸ送りねじ１０を使用することにより分解能が改善される。 （もっと読む）

【課題】長期的な潤滑剤保持性能を有し、潤滑剤の放出制御性に優れた潤滑剤供給体、及び長期に渡り安定した潤滑状態が維持された直動装置を提供する。
【解決手段】潤滑剤供給体２３は潤滑油を含ませた合成樹脂からなり、潤滑剤供給体２３の内部には、潤滑剤が内包され、潤滑剤供給体２３の収縮によって前記潤滑剤を放出する感圧性マイクロカプセル３０が含まれる。 （もっと読む）

【課題】螺子軸を経てスラスト荷重が伝達される一方のラジアル軸受の内輪又は外輪がまんいち破損することがあっても、スラストによる螺子軸の移動を規制し衝撃力を弱くすることができる直線作動機を提供する。
【解決手段】同心上の軸長方向へ離隔した位置にラジアル軸受４，５を保持してあるハウジング１と、ハウジング１内のラジアル軸受４，５にその一端部が回転自在に支持されている螺子軸６及び螺子軸６に相対回転を可能に螺合されている作動体７とを備え、螺子軸６のラジアル軸受４，５よりも一端側が駆動源に連動連結され、螺子軸６の回転により作動体７を往復動可能にしてあり、ラジアル軸受４，５間における螺子軸６に、ラジアル軸受４，５夫々の内輪端面に対向し、螺子軸６に加わるスラスト荷重により該螺子軸６が移動するのを規制すべき移動規制体４０を設けてある。 （もっと読む）

【課題】作動性が良好で、予圧調整作業が容易であるダブルナット式ボールねじ装置を提供する。
【解決手段】共通のねじ軸１に２個のナット３a、３bを螺合させるとともに、各ナット３a、３bに反対向きの軸方向の力を作用させて予圧を与える手段を備えてなるボールねじ装置において、前記２個のナット３a、３bの間にボール保持具６の外周に向けた開口部を有する保持部６aに収納された３個のボール７を略三等配に配置して、プレートにて固定する。ボール７が径方向に転がることによりナット３a、３bの径方向位置が容易に調整出きる。 （もっと読む）

【課題】ボールスクリューが熱膨張しても移動体の移動距離を確実に制御することができる安価な移動体送り機構を提供する。
【解決手段】移動体が終点位置に達したときタッチ信号を出力するタッチスイッチと、パルスモータ４３の単位パルス当たりの移動体の移動距離を格納するメモリを備え、メモリに格納された単位パルス当たりの移動体の移動距離に基づいてパルスモータ４３を制御する制御手段とを具備し、制御手段は定期的に移動体を始点位置からタッチスイッチがタッチ信号を出力する終点位置まで移動させるためにパルスモータ４３に印加した駆動パルス数をカウントし、始点位置から終点位置までの距離を駆動パルス数で除算して単位パルス当たりの移動体の移動距離を求め、メモリに格納された単位パルス当たりの移動体の移動距離を更新する。 （もっと読む）