【課題】本発明の目的は、キャビティトーンのエネルギーを減衰させ、ＳＲＶ管台の振動を抑制することにある。
【解決手段】本発明は、主蒸気配管と主蒸気逃し安全弁管台の接合部端部より任意の距離だけ離れた、主蒸気逃し安全弁管台の流路断面積が、主蒸気配管から主蒸気逃し安全弁の弁体に向かって断面積の小さくなる縮小部と、縮小部から弁体に向かって断面積の大きくなる拡大部を有することを特徴とする。
【効果】本発明によれば、キャビティトーンのエネルギーを減衰させ、ＳＲＶ管台の振動を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】閉弁状態で弁座の全周に弁体が面当接する状態で弁口を閉弁する面閉塞型の逆止弁の固有流量特性を変化させる。
【解決手段】弁口２２の外周縁部に設けた環状の弁座２３の全周に面当接する状態で弁座２３に着座して弁口２２を閉弁する弁体２４を設け、付勢手段２５の付勢力によって弁体２４を閉弁側に付勢し、且つ、弁口２２からの流体流入圧によって付勢手段２５の付勢力に抗して弁体２４が弁座２３から離れる側に移動して弁口２２を開弁する構造にしてある逆止弁１０であって、弁体２４の弁口２２側に、弁体２４が弁座２３から離れる側に移動するときに弁体２４の弁座当接部と弁座２３との間に形成される隙間Ａ１の面積よりも弁口２２の内面との間に形成される隙間Ａ２の面積を小さく保つ形態で流体の通過流量を制御する流量制御用の突出部３０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 感応材料の貯蔵のためのコンテナをパージする装置が記載される。
【解決手段】 それは、コンテナ（１）上のパージガス吸気口（２）に圧縮パージガスのソースを接続する手段を含み、パージガスがソースから吸気口まで通過することを可能にするように適応される空気圧動作弁（６）および弁（６）と関連しており、かつ所定の時間の後でガス流を停止するように適応される時限装置（９）を含み、かつガス流の開始と停止の間の時間を変化させる手段を含む。時限装置は、好ましくは空気または時計仕掛けベースで動作するものであり、パージガス圧単独で駆動され、装置がいかなる電源も伴わずに動作することを可能にする。これは、ユニットが必要に応じてコンテナそれ自体に組み込まれることを可能にさえするコストで、単純な信頼性が高いユニットの作成を可能にする。空気圧動作弁の使用は、例えばコンテナから排出されるパージガスの特性を測定する電子センサを含むならば、ポータブル装置が低電力使用で設計されることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】次の作業のために開いた状態のままに保持する必要がある開いた状態に保持したバルブをのうち、終業時に開いた状態にあるバルブを選択して、一括で閉止することができ、安全面でも、運用上においても効率的なバルブ管理システムを提供する。
【解決手段】 複数の配管ラインと、配管ラインに設けられた複数のバルブとを備えた配管網において、所定の作業のために開いた状態にしたバルブのうち、次の作業のために開いた状態のままに保持する必要があるバルブをホールド弁に指定して、所定の作業終了後に、次の作業のためにホールド弁に指定されたバルブを開いた状態に保持し、ホールド弁に指定したバルブのうち、終業時に開いた状態にあるバルブを選択して、一括で閉止するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ダブルブロック・ブリード構成における仕切り弁のシート性能がいかなる状態においてもシートリークを防止または抑制できるようにする。
【解決手段】シール構造は、高圧ガス配管１の下流側端部に接続された第１の仕切り弁２と、第１の仕切り弁２の下流側端部に接続されたキャビティ配管３と、キャビティ配管３の下流側に接続された第２の仕切り弁４と、キャビティ配管３から分岐して先端が大気に開放されたベント配管５と、ベント配管５に接続された逃し弁６と、キャビティ配管３に接続されて圧縮空気を供給可能なエア配管７と、エア配管７の途中に配置された調節弁８と、第１の仕切り弁２および第２の仕切り弁４ならびに逃し弁６が閉じた状態でキャビティ配管３内の圧力と高圧ガス配管１内の圧力との差が所定の範囲内に入るように調節弁８の開度を調節する制御装置１２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】整圧器を複数の系列に分けて設置する複数系列整器において、各整圧器の破損の危険を可及的に防止できる複数系列整圧器制御システムを提供する。
【解決手段】複数系列に配置された複数の整圧器を制御するシステムであって、各整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃの開度を検出する開度検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｃと、複数の整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃの開度を設定圧力及び二次側圧力に基づいて調整するパイロット整圧弁７と、パイロット整圧弁７から各整圧器３Ａ、３Ｂ、３Ｃに至る各流路にそれぞれ設けられて該流路を開閉操作する操作弁１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃと、作動状態にある整圧器の開度検出器の信号を入力して該入力値に基づいて前記操作弁の開閉制御を行なう制御手段１３とを備えたことを特徴とする複数系列整圧器制御システム。 （もっと読む）

【課題】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室の雰囲気を大容量でスループットを低下させることなく置換し、定常時などには精度良く処理ガスを導入して雰囲気を常に適切に管理することができる半導体処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室を備え、前記半導体処理室の雰囲気調整を行うため半導体処理室に接続された真空排気系および処理ガス導入系を有し、前記処理ガス導入系には、大容量マスフローコントローラと小容量マスフローコントローラとを備える。大容量のガスを供給する際には、大容量マスフローコントローラによって大容量ガスをスループットを低下させることなく導入でき、定常時などには、大流量マスフローコントローラの精度の悪い領域を使うことなく、小容量ガスの流量を精度良く制御して導入できる。 （もっと読む）

【課題】１つの調節弁を用いてヘッダ配管の急激な圧力変動の抑制とＬＮＧポンプのサージング防止とを実現する。
【解決手段】タンクに貯留された流体をポンプで払い出しヘッダ配管を介して需要先に供給すると共にポンプで払い出した流体の一部を還流配管を介してタンクに還流する流体払出装置であって、還流配管に設けられた制御弁と、ポンプを通過する流体の流量を検出する流量計と、流量計の検出値に基づいて制御弁をフィードバック制御するものであって、ポンプが起動すると第１の流量を流量設定値として制御弁を制御し、ポンプの停止が指示されると第１の流量よりも大きな第２の流量を流量設定値として制御弁を制御し、またポンプが停止すると第１の流量を流量設定値として制御弁を制御する制御器とを備える。 （もっと読む）

【課題】 配管部等の取り付け・取り外し操作に伴う不純物の混入を排除するとともに、簡易な構成によって、高純度ガスの充填容器を迅速な操作で安全に保守管理を行うことができるガス供給システムを提供すること。
【解決手段】 パージガス流路Ｌｓと配管部Ｌの接続部Ｓを有し、該配管部Ｌの一部として、容器バルブ１ａとの接合部Ｓｏと、接合部Ｓｏと容器バルブ１ａの中間に設けられた第１バイパス流路Ｂ１と、接続部Ｓとプロセス装置２の中間に設けられた第２バイパス流路Ｂ２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】需要変動を確実に吸収できると共に、地震時等の災害により導管によるガスの供給が絶たれた場合でも継続して需要家へのガス供給を可能とする分散型ガス供給システムを提供する。
【解決手段】都市ガスの高圧導管に接続されて該高圧導管から供給される都市ガスを需要者側に供給する中低圧ガス導管網１において、ガス需要の変動を吸収するためのガスタンク３を各需要家５にガスを供給する各枝管７に分散して設けたことを特徴とする分散型ガス供給システム。 （もっと読む）

【解決手段】一実施形態において、複数のガスのガス混合物を提供する装置は、複数の質量流量コントローラ（ＭＦＣ）と、複数のＭＦＣのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を有し得る。 （もっと読む）

【課題】電磁弁の交換や点検時に電磁弁を簡単に取り外し得るようにする。
【解決手段】マニホールド電磁弁は、給気孔３４と排気孔３５，３６とが形成された主弁ブロック１３を有する複数の電磁弁を積層して形成された電磁弁積層体と、該電磁弁積層体の両端に配置され前記それぞれの給気孔と排気孔とに連通する給気ポートと排気ポートが設けられたエンドブロックとを有している。主弁ブロック１３に形成された収容溝４５を貫通する第１の締結ロッド４３がエンドブロックに固定され、主弁ブロック１３に形成された係合溝４６を貫通する第２の締結ロッド４４がエンドブロックに形成された長孔に固定されており、第２の締結ロッド４４を緩めることにより電磁弁を外すことができる。 （もっと読む）

【課題】タンクローリーのタンクの内圧力とＬＮＧ貯槽の内圧力との圧力差によってタンクローリーからＬＮＧ貯槽にＬＮＧを移送する際に、圧力変動の発生を防止することができるようにする。
【解決手段】ＬＮＧ受入システム１０は、タンクローリー４０に備えられたローリータンク４１からＬＮＧをＬＮＧ貯槽に受け入れる際に用いられる。移送用パイプライン３０をローリータンクに接続して、移送用パイプラインによってローリータンクとＬＮＧ貯槽とを連通状態とした後、加圧パイプライン２０によってローリータンクの内圧力を加圧する。これによって、ローリータンクをＬＮＧ貯槽の前段に位置するバッファタンクとして機能させ、加圧の際に生じる圧力変動を防止する。 （もっと読む）

【課題】登録された全てのバルブを監視しなくても、監視の必要な特定のバルブのみを監視することで、バルブ開閉作業における誤操作を防止することのできるバルブグループモニターシステムを提供すること。
【解決手段】少なくとも複数の配管ラインと、前記配管ラインの途中に設けられた複数のバルブと、より構成される配管網のバルブグループモニターシステムであって、前記複数のバルブ中、監視対象となる特定のバルブの開閉状態を、監視対象エリア毎にグループ化して監視する。 （もっと読む）

【課題】シリンダーキャビネットからのプロセスガスの排気量を制御して除害装置の負荷を低減させることができ、十分な安全性を保ちながらプロセスガス供給設備の装置コストや除害装置の保守コストの削減を図れるシリンダーキャビネットを提供する。
【解決手段】ガス供給経路２２から高圧側排気弁２６，低圧側排気弁３１を介して分岐し、排気弁を介して真空排気手段に接続する排気経路４１を備えたシリンダーキャビネット１１において、前記排気経路として、主排気弁４２を備えた主排気経路４３と、該主排気経路に並列に設けられ、ガス流量を前記主排気経路のガス流量より少なく制御される流量調整手段４４及び副排気弁４５を備えた副排気経路４６とを設けるとともに、前記主排気弁と副排気弁とを切替開閉する弁制御部を設ける。 （もっと読む）

【課題】気体配管系において、簡易な手段によって需要家ごとに対応可能な振動防止装置を得る。また、このような振動防止装置を備えた圧力調整装置を得る。
【解決手段】気体が流れる配管系の振動防止装置であって、前記配管系に前記気体が流通可能な複数の容量要素としてのタンク１３を設け、該複数のタンク１３への気体の流通を制御する開閉弁１５を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、酸素及び酸素混合ガス等の高圧ガスを充填容器に供給する供給設備において、高圧側ラインと低圧側ラインとを仕切る開閉弁を介して高圧側から低圧側へ高圧ガスを供給するに際し、予め低圧側ライン内の圧力を、高圧ガスの供給に伴う断熱圧縮による急激なガス温度の上昇を抑制して、高圧ガスを、安全性を確保してガス供給効率を高め確実に供給する方法を提供するものである。
【解決手段】高圧側配管と低圧側配管とを仕切る開閉弁を介して高圧ガスを低圧側配管に供給するに際し、前記高圧側配管と低圧側配管とを仕切る開閉弁を跨いで高圧側配管と低圧側配管とを連結する、開閉弁を備え該開閉弁の上流側及び／又は下流側に昇圧調整手段を備えたバイパスラインにより低圧側配管内の圧力を圧力調整するか、液化ガス貯槽の液化ガスをそのまま気化又は加温して前記高圧側配管と低圧側配管とを仕切る開閉弁より下流側の低圧側配管に供給して前記低圧側配管内の圧力を調整した後、高圧ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、液化ガスのための気化器（１）を備えた冷蔵輸送手段（２）に搭載された液化ガスのためのタンク（５）内に正圧を発生させるための装置および方法に関する。上述した気化器（１）は、液化ガスのための流路（４２）を介してタンク（５）に流体を流すように接続されている。バルブ（４９）は、流路（４２）に配置されている。本発明の方法は、バルブ（４９）を開けて液化ガスをタンク（５）から流路（４２）へ出す工程、液化ガス成分を流路（４２）内に残してタンク（５）へ逆流可能なようにバルブ（４９）を閉じる工程、および流路（４２）内の液化ガス成分を加熱する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】二次側管路から一次側管路へ逆流水が浸入するのを防止することができる縁切り装置を提供する。
【解決手段】主管２２に枝管２６を設け、枝管２６に縁切り弁２７を装着する。前記主管２２の流路２５と前記縁切り弁２７の弁収容室３０との境界部に弁座３１を設ける。前記流路２５と弁収容室３０との間の連通路２９を区画壁により上側の吸気通路３７と下側の逆流水通路３８に区画する。前記枝管２６の上部に吸気口３９を有する吸気筒部４０を設け、下部に排出口４１を有する排出筒部４２を設ける。二次側管路１３ｂの圧力よりも一次側管路１３ａの圧力が低くなって、弁本体３２が開弁位置に移動されて、両逆止弁２３，２４が異物の噛み込み等により共に異常状態で逆流が生じた場合に、空気導入経路５１から一次側逆止弁２３側へ流入する空気と、逆流水排出経路５２を通して外部に排出される逆流水とが互いに干渉して空気に逆流水が混入するのを阻止する。 （もっと読む）

【課題】 高圧流体を送出する配管ラインにおいて、減圧オリフィスやバルブを用いて減圧することで生じていたエネルギーの損失を防止し、高圧流体の有するエネルギーを有効に利用できる配管ラインを提供する。
【解決手段】 高圧流体を送出する配管ラインにおいて、前記配管ラインの途中に回転数制御機能を備えたタービン発電機１４を配置した。配管ラインの途中に配置されたタービン発電機１４は、エネルギー回収型の可変開度調整弁として機能する。そして、配管ラインに、タービン発電機１４に並行して、バイパスライン１８と、該バイパスラインを開閉するバイパスバルブ１７とを配置した。 （もっと読む）