【課題】電磁石の浮上制御電流には主にセンシングキャリア周波数より低い周波数の成分が含まれているので、電磁石電流からセンシングキャリア成分のみを抽出して増幅したとしても、位置検出用信号のＳＮ比を上げることは困難であった。
【解決手段】電磁石ＭＧの駆動信号中に混入されているセンシングキャリア成分を検出することにより被支持体１２と電磁石ＭＧとの距離ｘを検出するに際し、電磁石駆動回路６の電源端子間に接続されているバイパスコンデンサＣに流れるセンシングキャリア成分を検出する。このことにより、位置検出信号のＳＮ比を上げることができる。これは、高い周波数を持つセンシングキャリア成分は主にバイパスコンデンサＣから供給されるという点に着目したものである。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下でも良好な磁気軸受を提供する。
【解決手段】本発明は、封入磁石アセンブリを提供し、このアセンブリは、少なくとも１つの壁１６４を含み且つ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に設けられた磁石１５８と、ハウジングカバーとを含む。ハウジングカバーは、磁性材料からなる第１部分１５４と非磁性材料からなる第２部分１５２を含み且つアパーチャを密閉するように構成されており、第１部分が第２部分に固定して取り付けられ、ここで取り付け部分が熱処理されている。ハウジングの壁１６４は、非磁性材料で形成され、ハウジングカバーの第２部分に固定して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】流体膜軸受と組み合わせた磁気軸受を用いて流体膜軸受の不安定性を制御する方法の提供。
【解決手段】流体膜軸受１８が主耐荷軸受として作用し、磁気軸受アッセンブリ１２がこの流体膜軸受の不安定性を制御する。この効果的な組み合わせによって、安定性の問題も信頼性の問題もなく高速で使用できる軸受が提供される。流体膜軸受の不安定性を制御する代替の方法は、軸方向におけるフローを妨害することである。例えば、スリーブ（ジャーナル）軸受は、軸受軸をシャフト軸に対して傾けて製造することができ、あるいは、可変ジオメトリの軸受は、軸受の角度ミスアラインメントを作るように製造することができる。 （もっと読む）

【課題】曲げ振動モードの固有周波数を安定化できる磁気軸受装置と、このスラスト磁気軸受を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】シャフト５と一体に回転するスラストディスク２７と、磁力によりスラストディスク２７のスラスト力を支持するスラスト磁気軸受２５と、スラストディスク２７の傾きを検出する第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂ（傾斜検出手段）と、第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂに検出された傾きに起因する所定周期の振動によって、スラスト磁気軸受２５の磁力を制御するコントローラ２１（制御部）と、から構成され、スラスト磁気軸受２５は、周方向に複数に分割された第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂ（磁力発生部）を有し、コントローラ２１は、第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂを各々制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】駆動軸と円筒部材とのクリアランスを確保しつつ、磁気軸受の起動時に、駆動軸を磁気軸受の中心軸方向へ移動させる際に必要な最大電磁力を低減する。
【解決手段】水平方向に延びるように配置される駆動軸（13）を、通電時に非接触状態で回転自在に支持する磁気軸受（14）と、駆動軸（13）を囲む円筒状に形成され、磁気軸受（14）の非通電時に駆動軸（13）を内周下部で支持する円筒部材（19）と、磁気軸受（14）の通電開始時に円筒部材（19）の内周下部に支持される駆動軸（13）が、円筒部材（19）の内周面に沿って上方へ移動する旋回動作と、該旋回動作後の駆動軸（13）が磁気軸受（14）の中心軸方向へ移動する軸移動動作と、を行うように、磁気軸受（14）の電磁力を制御する制御部（20）と、を備える軸受機構を構成する。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下での良好な磁気軸受の封入磁石アセンブリを形成する方法を提供する。
【解決手段】非磁性材料で形成されたハウジングカバーの第２部分１５２を磁性材料で形成されたハウジングカバーの第１部分１５４に溶接して溶接ハウジングカバーを提供し、続いて、溶接ハウジングカバーを、溶接応力を緩和するのに有用な温度で熱処理する工程と、非磁性材料で形成された少なくとも１つの壁１６４を含みかつ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に磁石１５８を設ける工程と、ハウジングカバーの第２部分がハウジングの壁に固定して取り付けられてアパーチャが密閉されるように、熱処理された溶接ハウジングカバーをハウジングに溶接する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 ゼロパワー制御により電磁石への励磁電流を常にゼロに収束させる方式において、定常的な外力に起因する浮上体の位置変動を抑制することができ、且つ動的な外力が作用した場合でも良好な追従性を得る。
【解決手段】 浮上体１０と、浮上体１０に永久磁石及び電磁石による磁気回路を形成する磁石ユニット２３と、磁石ユニット２３を固定する可動枠２２と、可動枠２２を支持する固定枠２１と、固定枠２１に対して可動枠２２を支持すると共に固定枠２１と可動枠２２との距離を調整可能な可動枠支持機構２７と、浮上体１０と磁石ユニット２３との相対変位を測定する第１のセンサ２４と、固定枠２１と可動枠２２との相対変位を測定する第２のセンサ２５と、第１及び第２のセンサ２４，２５の各出力に応じて電磁石の電流を制御することにより浮上体１０を安定的に非接触支持する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体２は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部３と線状の非有効通気部４とを有する。複数の有効通気部３は、それぞれ非有効通気部４によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部４を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子１２を備え、回転子１２は、回転子１２のラジアル方向に配置されて該回転子１２のラジアル方向変位を非接触で制御する２組以上のラジアル磁気軸受４０と、回転子１２の周囲に３組以上に分割配置されて該回転子１２のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受５０によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受４０のラジアル電磁石４４とアキシャル磁気軸受５０のアキシャル電磁石５４は、略同一平面上に配置されてケーシング部１４に固定されている。 （もっと読む）

【課題】 スピンドルの駆動モータやスピンドル軸受部等から発生した熱を効率よく冷却し、外部の真空環境に対しアウトガス等の発生を抑えて真空環境を所望の清浄度に保つと共に、シール部材の劣化を防止し得る冷却構造を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、回転軸２と、回転軸２を支持しこの軸心回りに回転自在に支持する静圧気体軸受３と、モータ４とを備える。ハウジング本体１Ａ，１Ｂの表面と、同ハウジング本体の表面に重ねられる閉塞部材３２，３４との間に冷却液が循環する流路３３，３５を設け、両者の重なり面に介在して流路３３，３５を密封するシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを流路３３，３５に対して内外に並ぶ２重構造に設ける。２つのシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを互いに材質の異なるものとする。 （もっと読む）

【課題】磁気ベアリングは、取り付けの間に、多大な注意を要し、特に、磁気ベアリングの種々の構成部品を、構造体に対して非常に精度良く配置することが、しばしば必要である。
【解決手段】環状の本体２０は、クランプ手段に関連して設けられている少なくとも１つの径方向のスロットを有し、且つステータ構造体１０に面している面にセットバック部分２１を有する。前記ステータ構造体１０に面している前記環状の本体２０の面は、シース１３の表面部分１４と共動する摺動面２３を有しており、前記環状の本体２０の前記セットバック部分２１は、前記本体２０に面している前記シース１３の面に形成されている環状の溝１５に係合される調整リング３０のねじ部分３２と共動するねじ部分２２を形成している。前記調整リング２０は、前記環状の溝１５に軸方向に移動しないように防がれる。 （もっと読む）

【課題】ホールセンサ等のロータ回転位置検出機能を備えることなく、ロータ回転始動時における逆転を防止することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受３７，３８およびアキシャル磁気軸受３９により磁気浮上されたロータ３０を、モータ３６により高速回転して気体の排気を行う磁気浮上式真空ポンプにおいて、モータ駆動開始の前に、ラジアル方向の吸引力がラジアル磁気軸受３７，３８の中心軸に対して回転する回転磁界であって、ロータ３０をモータ回転方向Ｒと逆方向Ｒ２に公転運動させ、かつ、該公転運動に対して進み角を有する回転磁界をラジアル磁気軸受３７，３８により形成させるようにした。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】各種装置に搭載されるスピンドルアセンブリ内に水が侵入するのを防止する。
【解決手段】スピンドルハウジング２１に、エア供給口２３０とエアベアリング連通路２３１との間にウェータエアセパレータ２５を配設し、更に、ウォータエアセパレータ２５からエア排出路２４に連通しウォータエアセパレータ２５内で分離された水を排出する水排出路２５０を備え、エア供給口２３０から供給された高圧エアに含有される水分がウォータエアセパレータ２５内で分離され、分離された水分が水排出路２５０から押し出されエア排出路２４を介して外部へ排出されるように構成することにより、エアベアリング側へ水分が進入するのを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】 回転精度が高いことに加えて、モータ等で発生した熱が主軸を経由してモータと反対側の回転テーブルへ伝わりにくく、かつ主軸の熱膨張を抑えることができ、さらに、不導体材料を使用しながら静電容量タイプの非接触計での測定を可能にした静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、主軸２と、この主軸２を回転自在に支持する静圧気体軸受３と、主軸２の一端がモータ軸と２ｃなり主軸２を回転駆動するモータ４と、主軸２の他端に固定された回転テーブル５とを備える。主軸２における静圧気体軸受３により回転自在に支持される部分である主軸被支持部２ａ、および主軸２における主軸被支持部２ａよりも回転テーブル５側の部分である主軸テーブル側部２ｂをセラミックス材で形成し、主軸被支持部２ａにおけるラジアル軸受部３ｂに導電性のメッキを施す。 （もっと読む）