【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】環境温度が低温になっても、スピンドルが回転不能に陥るのを防止できる空気静圧軸受スピンドル装置、これを用いた回転霧化装置および塗装装置を提供する。
【解決手段】軸部２２およびフランジ部２３を有するスピンドル２１、軸受本体３１、軸部２２との間にラジアル隙間４３を有するラジアル軸受部材４１Ａ，４２Ａ、および、フランジ部２３との間にスラスト隙間４５を有するスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂを備えた空気静圧軸受スピンドル装置２０において、環境温度が２０℃の状態においてスラスト隙間が４０μｍ以下に形成され、環境温度が０℃の状態においてスラスト隙間が１０μｍ以上確保されるように、軸受本体３１およびスラスト軸受部材４１Ｂ，４２Ｂに用いる材料の線膨張係数が選択されている。 （もっと読む）

【課題】石油及びガス環境下で、耐食性で使用可能な磁気ベアリングの提供。
【解決手段】回転マシン用の被覆されたアクティブ磁気ベアリングで、プロセスガスと接触するロータに取着された薄層磁気材料のベアリングアーマチュア３１と薄層磁気材料のヨーク４３に巻き付けられた電磁石巻線４２のベアリングステータ４１を有し、ベアリングステータは、第１の耐漏ハウジング４０を形成するために第１のハウジング部分と協働する磁気耐食材料のフェライト系ステンレス鋼の第１のジャケット３４で保護され、第１のハウジング部分は、フェライト系ステンレス鋼ででき、かつ電磁石巻線及びベアリングステータのヨークが適所に置かれる前に、溶接部３６Ａ、３６Ｂ；３７Ａ、３７Ｂで磁気耐食材料のハウジング端壁部分４４に接続された挿入部３８Ａ；３８Ｂを有して、ベアリングアーマチュア及び検出器アーマチュアの薄層磁気材料をフェライト系ステンレス鋼とする。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸１４０、及び回転軸１４０を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系１３１が備えられ、下部に含油焼結軸系１３２が備えられた中空の円筒状ベアリング１３０を含む。また含油焼結軸系１３２と回転軸１４０の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系１３１の長さは含油焼結軸系１３２の長さより長いスキャナモーター。 （もっと読む）

【課題】軸受溝の深さのばらつきのない流体軸受およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】主ガイド部材３３には流体を流体軸受面３４に供給するための孔に、両端が開口している筒状部材３２が挿入されている。流体噴出口３０から加圧流体が流体軸受面に流出する。流体噴出口３０を含む近傍領域は軸受溝３１が形成されている。主ガイド部材３３と筒状部材３２は異種材料が用いられる。主ガイド部材３３と筒状部材３２の表面は陽極酸化処理がなされて薄膜が形成された構造となっている。主ガイド部材３３と筒状部材３２とが異種材料であることから、陽極酸化処理を行った場合、表面に形成される薄膜の膜厚が異なって形成される。陽極酸化処理により膜成長が速い材料をガイド部材１１に選択し、ガイド部材１１より遅い材料を筒状部材３２に選択する。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】多孔質焼結金属層とステンレス鋼からなる裏金との間に剥離等を生じることなく強固な接合一体化を行わしめることができると共に多孔質焼結金属層の気孔率を高めて当該多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体による浮上量を高めることができる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】ステンレス鋼からなる裏金２と、この裏金２の一方の面に接合層３を介して一体にされた多孔質焼結金属層４とを具備しており、多孔質焼結金属層４の粒界に無機物質粒子が分散含有されており、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層４は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅からなる軸受素材。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】動圧軸受式モータにおいて、コストの低廉化を図ることができるとともに、モータ使用時の軸受け温度を考慮することなく、高精度及び安定した強度で動圧軸受部を固定すること。
【解決手段】一端に開口部を有する樹脂製のハウジング１１０内に、動圧軸受部１５０を配し、この動圧軸受部１５０にロータシャフト１４０を回転自在に支承させる。動圧軸受部１５０の内周面にはヘリングボーン溝部が形成され、動圧軸受部１５０とロータシャフト１４０のとの間には潤滑油が配させる。ハウジング１１０内の動圧軸受部１５０の上端部を覆うようにキャップ１９０が取り付けられている。キャップ１９０は、開口部を閉塞する蓋上面部の外周縁から垂下する筒状壁部の内周面で、動圧軸受部１５０の上端部の外周面に圧入により外嵌され、外周面でハウジング１１０の開口部の内周面に内嵌されて固定させる。 （もっと読む）

【課題】密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、接着剤などの使用によりバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリング用多孔質焼結体を安価に製造できる方法を提供する。
【解決手段】平均直径が０．０５〜０．７ｍｍであり、９９．５％以上の純度を持つアルミニウム粉末又はシリコンを１〜１５質量％含有するアルミニウムシリコン合金粉末に、同径の水素化チタン粉末をアルミニウム１に対して０．０５〜０．２（質量比）となるように添加及び混合し、この混合粉末を黒鉛型に充填して加圧力２．５〜５ＭＰａで加圧成形し、さらにこれを真空中、焼結温度５００〜６５０°Ｃで焼結することを特徴とするアルミニウム又はアルミニウムシリコン合金を主成分とするエアベアリング２用多孔質焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】シャフトを安定して回転させる軸受ユニットを提供する。
【解決手段】
軸受ユニット８は、シャフト５、軸受ハウジング２４、スリーブ９、吸引マグネット２５、スラスト板１０、リング状部材２６、シールワッシャ１２を有し、その内部にはシャフトを円滑に回転させる潤滑用のオイルが充填されている。磁性材料からなる軸受ハウジング２４は、スリーブ９を支持する段差部３０と吸引マグネット２５を内包する小円筒部２８とがプレス加工等によって一体形成される。これにより、小円筒部２８と吸引マグネット２５との間に磁気回路が形成され、吸引マグネット２５の回転軸J１方向シールワッシャ１２側の端面の磁束密度が増加する。結果、吸引マグネット２５から出る磁束が軸受ハウジング２４から漏れ出ることを防止することができ、磁性材料からなるシャフト５が吸引マグネット２５に引き付けられ、その軸方向の動きが規制される。 （もっと読む）

【課題】耐食性磁気軸受とその組立、製造方法の提供。
【解決手段】アーマチュア２は、互いに隣接して配置された絶縁層８及び被覆プレート６のスタック１４を含み、スタック１４は、第１の端部及び第２の端部を有する。第１の圧縮カラー２２は、第１の端部に配置された、第２の圧縮カラー２２は、第２の端部に配置され、またシャフト４は、第１及び第２の圧縮カラー２２並びにスタック１４を貫通して配置される。被覆プレート６は、その上に配置された皮膜を有するコアプレートを含み、皮膜は、金属、金属合金、金属酸化物、金属間化合物、多相合金、固溶体及び前述のものの少なくとも１つを含む組合せからなる群から選択された材料を含む。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で単純、加工および組立精度が低くて良く、隙間の変動に対し安定で、かつ安価な、スクイーズ空気膜圧特性に優れたスクイーズ空気軸受、および大がかりな付帯設備が不要で、小型で簡便な装置であり、高精度駆動および位置決めが可能な平面アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】スクイーズ空気軸受は、振動子１により振動する振動面２１と対向する面のいずれかが外周部に凸部２２を設けるなど平面でなくすことにより、スクイーズ空気膜力特性を改善させる。平面アクチュエータ装置は、非接触軸受としてスクイーズ空気膜力特性に優れたスクイーズ空気軸受を備える。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】上面に自成絞り形状又はオリフィス形状の複数の空気吹出口２ａを、下面に複数の空気吹出口と連通する給気溝２ｂを有する樹脂製軸受部材２と、樹脂製軸受部材の下面に給気溝を覆うように接合され、給気溝と連通する給気口３ａを有する基体３とを備える静圧気体軸受。樹脂製軸受部材を射出成形し、基体の構造も簡単で樹脂製軸受部材の下面に接合する。基体３側に給気溝３ｅを設けてもよい。樹脂製軸受部材と基体を、ポリフェニレンスルフィド樹脂又はガラス繊維、炭素繊維もしくは無機質充填材の少なくともいずれか１つによって強化した補強材入りポリフェニレンスルフィド樹脂で形成することができ、基体は金属製としてもよい。樹脂製軸受部材と基体とは、超音波接合、高周波誘導加熱による接合又は接着剤を介しての接合により接合することができる。 （もっと読む）

気体または空気軸受（２）のための軸受面（１１，１３）を製作する方法が説明される。方法は、少なくとも一つの軸受面領域を有するばらの軸受部分（３０，４４）を取得することと、少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）を画成すべく、軸受面領域にコーティング（３２，４２）を設けることとを含む。少なくとも一つのガスポケット（３４，４０）は、コーティング（３２，４２）の厚さと実質的に等しい深さを有する。一例において、コーティング（３２，４２）の部分を除去してガスポケット（３４，４０）を形成するため、レーザー除去が用いられる。コーティング（３２，４２）は陽極酸化処理されたコーティングであってもよく、ばらの軸受部分（３０）はアルミニウムから形成されてもよい。この方法を用いて形成された空気軸受部品も説明される。
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