【課題】 成膜工程で加熱された保持装置を冷却し、蓄熱による熱変形の影響を軽減して、基板とマスクとを高精度に位置合わせることが可能な技術を提供すること。
【解決手段】 基板、及び、基板の上に配置されるマスクパターンが形成されているパターン形成部と、パターン形成部の周囲を支持するマスク枠とを有するマスクを保持する保持装置は、基板と、マスク枠とを、保持面で保持する基台と、保持面に沿って配置され、磁気吸着によりマスクを吸着することにより、基板とマスクとを基台に固定する永電磁石と、保持面の裏面側で、冷却媒体により冷却された冷却体を基台と接触させて基台を冷却する冷却機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】膜欠損を生じさせることなく発光層を形成することができ、製造が容易で、長寿命な有機ＥＬ素子の製造方法、有機ＥＬ素子、照明装置、面状光源、及び表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子は、基板の一方の表面に形成された、陽極および陰極のうちのいずれか一方の電極である第１電極と、前記陽極および陰極のうちの他方の電極である第２電極と、前記第１電極と第２電極との間に配置された発光層と、前記陽極および前記発光層の間に配置された金属ドープモリブデン酸化物層と、前記発光層の前記第１電極側に前記発光層に接して設けられた親液性下地層と、を有する。親液性下地層が金属ドープモリブデン酸化物層を兼ねていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 インライン方式でも使用することができ、更に、熱伝導ガスを用いずに比較的小さい押し付け力、例えば、基板の自重程度の押し付け力で基板と基台間の接触熱抵抗を下げること。
【解決手段】 基板保持装置は、基台と、基台の第一の面に載置される粘着性のある熱伝導シートと、熱伝導シートのプラズマに晒される部分を覆うフィルムと、熱伝導シートの基台と反対側の面に配置された基板を熱伝導シートに押し付ける機構と有する。 （もっと読む）

【課題】摩擦力、剪断力、衝撃力などの機械的な外力が加えられることによって生じる変形によって発光する新規な発光材料を提供する。
【解決手段】本発明の発光材料は、ウルツ鉱型構造の酸化亜鉛と、立方晶又はウルツ鉱型構造の硫化亜鉛と、立方晶の酸化マンガンとの結晶構造の中から少なくとも２種類以上の結晶構造を有するものや、一般式（Ｃａ_１−ｘＡ’_ｘ）_ｙＢａ_１−ｙＴｉＯ_３、（Ｍｇ_１−ｘＡ’_ｘ）_ｙＢａ_１−ｙＴｉＯ_３、及び（Ｓｒ_１−ｘＡ’_ｘ）ｙＢａ_１−ｙＴｉＯ_３（０．０００１≦ｘ≦０．０５，０．００５≦ｙ≦０．９９５，Ａ’はＤｙ，Ｌａ，Ｇｄ，Ｃｅ，Ｓｍ，Ｙ，Ｎｄ，Ｔｂ，Ｐｒ，Ｅｒからなる群より選ばれる希土類元素）からなるもの等のような、複数の結晶構造が混在した混相を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】容易に製造することができ、且つ発光特性および寿命特性が良好な有機ＥＬ素子およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】支持基板と、封止基板と、陽極と、陰極と、陽極および陰極間に配置された有機発光層と、陽極および有機発光層の間に配置された金属ドープモリブデン酸化物層とを含む積層体と、を備え、積層体は、支持基板上に搭載され、支持基板および封止基板に囲繞されて外界から遮断されており、支持基板の少なくとも一方の主面、または、封止基板の少なくとも一方の主面に、放熱層が備えられ、該放熱層の熱放射率が０．７０以上である、有機エレクトロルミネッセンス素子とする。 （もっと読む）

本発明は、薄膜の形をとる密封カプセル化によって周囲空気から保護される、ディスプレイ装置、照明装置、信号装置などの有機光電子装置、及びかかる装置をカプセル化する方法に関する。本発明による光電子装置（１）は、交互する無機物層（２１ａ〜２６ａ）及び有機物層（２１ｂ〜２５ｂ）を含む密封多層カプセル化構造（２０）で被覆される。本発明によれば、この装置は、前記有機物層のうちの少なくとも１つが、熱的に又は電磁放射によって架橋されうる接着剤をベースとする架橋接着膜（２１ｂ〜２５ｂ）から成るようなものであり、前記又はそれぞれの接着膜は均一に２００ｎｍ未満の厚みを有し、前記厚みは、堆積されているがまだ架橋されていない前記膜を真空に通すことによって得られ、それによってカプセル化構造の全厚みが最小化される。
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本発明は、窒素原子を介して結合される二座配位子および二つのホスフィンまたはアルシン配位子との単核中性銅（Ｉ）錯体、電子素子の製造のためのその使用、およびこれら錯体を含んでなる電子装置に関する。 （もっと読む）

【課題】発光装置の高精細化（画素数の増大）及び小型化に伴う各表示画素ピッチの微細化を進めることが可能な発光装置の作製方法および成膜用基板を提供することを目的の一とする。また、精度良くＥＬ層を成膜することが可能な発光装置の作製方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】基板の一方の面に、互いに離間して形成された光吸収層と、光吸収層の一と、他の光吸収層との間に形成された、逆テーパ形状の隔壁層と、光吸収層及び隔壁層上にそれぞれ分離形成された材料層と、を少なくとも有する第１の基板の一方の面と、第２の基板の被成膜面と、を対向させ、第１の基板の他方の面側から光を照射し、光吸収層と重なる領域の材料層を選択的に加熱し、光吸収層と重なる領域の材料層を第２の基板の被成膜面に蒸着させる。 （もっと読む）

【課題】減圧された処理容器の内部において、汚染を生じさせずに基板を搬送させる。
【解決手段】基板Ｇを処理する処理装置１３であって、基板Ｇを収納する処理容器３０と、処理容器３０の内部を減圧させる減圧機構３６と、処理容器３０の内部に配置された、基板Ｇを保持するステージ４１と、ステージ４１を直進運動させる直進運動機構４３と、ステージ４１の回転を防止する平行リンク機構４４、４５を備え、処理容器３０の内部の雰囲気と遮断された空間部１００が、ステージ４１の内部に形成され、空間部１００と処理容器３０の外部との雰囲気を連通させる通気経路１１０が、平行リンク機構４４、４５の内部に形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造容易で、発光特性及び寿命特性が良好で、電気特性が良好で、発光輝度のムラが少なく、発光効率に優れた有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法、照明装置、面状光源、及び表示装置を提供する。
【解決手段】陽極および陰極のうちのいずれか一方の電極である透明な第１電極と、前記第１電極と比較して電気抵抗値の低い材料から構成され、前記第１電極に接して設けられる補助電極と、前記陽極および陰極のうちの他方の電極である第２電極と、前記第１電極と第２電極との間に配置された発光層と、前記陽極と前記発光層との間に配置された金属ドープモリブデン酸化物層と、を含み、前記補助電極が、枠状の第１補助電極と、該第１補助電極の枠内に配置されるとともに、該第１補助電極に電気的に接続され、該第１補助電極よりも線幅の狭い第２補助電極と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高輝度かつ高効率での発光が可能であり、また駆動電圧の増大を抑制することができる有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】陽極１と陰極２の間に、中間層３を介して積層された複数の発光層４を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子に関する。中間層３が、１×１０^５Ωｃｍ以下の導電性金属酸化物と、電子注入性の金属と、ホール注入性の金属の混合物の層であることを特徴とする。ホールや電子の注入性が高まり、発光効率の特性を向上できる。 （もっと読む）

【課題】高輝度かつ高効率での発光が可能であり、且つ、駆動電圧の増大、好ましくない電圧上昇の発生、ショートサーキット等の欠陥発生が抑制されると共に生産性が良好な有機エレクトロルミネッセンス素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子Ａでは、陽極１と陰極２の間に、有機発光層を備える複数の発光層４が中間層３を介して積層している。前記中間層３は、２３℃での比抵抗１×１０⁵Ωｃｍ以下の導電体を含有する第一層３ａと、１０ｅＶ以下の成膜エネルギーの気相法で成膜された金属化合物からなる第二層３ｂと、アルカリ金属、アルカリ土類金属、並びにこれらの酸化物のうち少なくとも一種を含有する第三層３ｃとで構成され、且つ陰極２側から順に前記第一層３ａ、第二層３ｂ及び第三層３ｃが積層している。 （もっと読む）

本発明は、イソニトリル配位子を含んだ金属錯体を備えた電子デバイス、特には有機エレクトロルミネッセントデバイスに関する。 （もっと読む）

本発明は有機エレクトロルミネセントデバイスに関し、これはフルオレン誘導体およびスピロビフルオレン誘導体をりん光発光体のための材料混合物として含む。 （もっと読む）

【課題】例えば銅などの高融点材料を含む原料粉体を加熱して得られる気体を用いてウェハにこの銅膜を成膜するにあたって、原料粉体中の化合物中に含まれる有機物などの不純物が銅膜に取り込まれることを抑えると共に、簡便に固体状の原料粉体から気体が得られるようにして原料粉体のコストを抑えること。
【解決手段】固体状の原料粉体を貯留する原料貯留部から粉体導入路を介してキャリアガスと共にこの原料粉体を処理容器へと供給し、この粉体導入路に介設された粉体気化部において原料粉体をプラズマ化して気体状の原料を得る。 （もっと読む）

本発明は、式（１）の金属錯体を含む有機エレクトロルミネッセンスデバイスに、および有機エレクトロルミネッセンスデバイスにおける使用のための金属錯体に関する。
【化１】
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本発明は、エレクトロルミネセント・ディスプレイ、照明装置、または、表示装置に関し、また、それの製造プロセスに関する。この装置（１）は、少なくとも２つの電極、すなわち、内側電極（５）および外側電極（６）を有するエレクトロルミネセント・ユニット（３）によってコーティングされた基板（２）を備え、２つの電極間には、発光構造（４）が配置され、前記電極の少なくとも１つは、放射される光に対して透明であり、保護プレート（７）が、接着剤（７ａ）によってユニット上に組み立てられる。本発明によれば、前記接着剤は、ユニットに載せられた接着性促進層（１０）を被覆し、前記接着性促進層は、前駆体からＡＬＤ（原子層堆積）によって堆積され、また、前記接着性促進層は、接着剤と相溶性のある少なくとも１つの無機化合物に基づいたものであり、これらの前駆体の少なくとも１つと反応することのできる反応性金属副層（９）が、前記接着性促進層の下にかつ前記接着性促進層に接触した状態で挿入され、放射される光に対して透明な少なくとも１つの誘電中間層（８）が、外側電極と反応性副層との間に配置され、それによって、前記外側電極および前記反応性副層とともに、共振空洞を形成する。
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【課題】発光効率を優れたものとしつつ、１対の電極のうちの一方の電極と配線とを一括して形成することができる発光素子、発光装置および発光素子の製造方法を提供すること、また、高品位な画像を長期にわたり表示することができる表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】発光素子１_Ｒは、陽極３と、陰極１２と、陽極３と陰極１２との間に設けられた発光層６、８、９とを有し、陽極３は、ＩＴＯを主材料として構成された第１の層３１と、第１の層３１に対して発光層６、８、９側に設けられ、ＩＺＯを主材料として構成された第２の層３２とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロヒーター、マイクロヒーターの製造方法、及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】マイクロヒーターは、基板上に形成された金属パターン２０を含むことができる。金属パターン２０の下部には支持部３０が形成され、支持部３０によって、金属パターン２０を基板と離間させるとともに金属パターン２０を基板に固定することができる。スペーサ４０は基板から金属パターン２０の上面までの第２距離より大きい。上記マイクロヒーター及び金属パターン２０上に位置するターゲット基板と基板との間の距離は、スペーサ４０によって調節することができ、この結果、ターゲット基板上に細密なパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】発光デバイスにおいて、金属電極は発光層材料からの原子拡散や、金属電極から発光層への原子拡散によって発光特性が大きく低下することを防止する。
【解決手段】透明基板１上に透明電極２、無機化合物または／および有機化合物からなる発光層３、裏面電極６を積層した有機または無機発光デバイスデバイスにおいて、裏面電極６が銀からなり、裏面電極６と発光層３との間にカーボン薄膜４と酸化亜鉛を主成分とする透明導電酸化物薄膜５が、発光層３側からカーボン薄膜４−透明導電酸化物薄膜５の構造で存在することを特徴とする発光デバイス用電極。また、裏面電極６と発光層３の間に発光デバイスの劣化を予防する樹脂が封止されており、且つ裏面電極６がリードフレームとして機能し、リードフレームと発光層３を金属により接続されていてもよい。 （もっと読む）