【課題】洗浄槽から引き上げた基板の下端部に液滴が残って不純物やパーティクル等が基板に残留するのを抑制することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留し、該洗浄液に対して基板を浸漬することができる洗浄槽と、前記洗浄槽の上方に配置され、前記基板を収容可能な乾燥室と、複数の基板を直立に保持し、前記洗浄槽と前記乾燥室とを往復可能に設けられる基板保持搬送部と、前記乾燥室に設けられ、前記乾燥室内へ有機溶剤の蒸気を供給する第１の供給部と、前記基板保持搬送部により前記乾燥室において保持される前記基板の下端部に乾燥ガスを供給可能な第２の供給部とを備える基板処理装置により上記課題が達成される。 （もっと読む）

【課題】熱媒体が流れるヒータ本体を傾斜して取り付けても、その内部に空気が溜まることがないヒータ装置を提供する。
【解決手段】走行路が水平面に対し傾斜角θを有し、走行路に沿って走行する長尺状の基材１を乾燥させるものであって、下面が平らな断面半円形の筒状のヒータ本体４２と、ヒータ本体４２の下面に設けられた遠赤外線を輻射する輻射面４４と、ヒータ本体４２の一端面４６に開口した熱媒体の流入口４８と、他端面５２に開口した流出口５０と、を有したヒータ部４２が、前記走行路に沿って複数個配列され、前記流入口４８と前記流出口５０が、下面の中心から法線を延ばし、その法線に対し上方にθ°回転した位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 粉体に含まれる液体を効率よく取り除くことのできる小型の粉体の乾燥装置を提供する。
【解決手段】 ホッパー１３内に、減圧手段と接続された耐熱濾過体１４と、攪拌部材１５ａ〜１５ｄを備える加熱部１０において加熱装置１８により加熱した粉体を、減圧手段と接続された耐熱濾過体２４と、スクリュー２５を備える搬送部を通過させる。当該耐熱濾過体１４と２４は、粉体より微細な耐熱金属繊維の焼結された構造、或いは、突起部を備える平板部材の積層構造を有してなり、加熱された粉体から放出される蒸気を、濾過体１４、２４を介して、外部に飛散させることなく脱気可能である。 （もっと読む）

【課題】投入領域近傍に投入された湿潤原料が閉塞することを抑制しつつ、湿潤原料を均一に乾燥させることができる流動層乾燥装置、流動層乾燥設備および流動層乾燥方法を提供する。
【解決手段】乾燥室およびチャンバ室を備える乾燥容器と、投入部と、排出部と、前記チャンバ室から前記乾燥室内にガスを供給可能な貫通孔が形成されたガス分散板と、乾燥室で湿潤原料と共に流動層を形成する流動化ガスを、チャンバ室に供給する流動化ガス供給部と、流動化ガスが供給されて形成された流動層の湿潤原料が乾燥されることにより発生する発生蒸気を乾燥容器の上方から排出する蒸気排出部と、乾燥室の流動層が形成される領域のうち投入部側の領域に配置され、乾燥容器の幅方向に延在する軸と、軸と連結し前記軸から離れる方向に延びた枝部および軸を回転させる駆動部を備え、前記軸が回転軸として回転する回転部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被乾燥物の量の変動に拘わらず、被乾燥物から放出される水分量が多い状態から少ない状態に切換ったときには、乾燥初期の温風乾燥運転から乾燥中期の通風乾燥運転に適切に切換えて、省エネを適切に向上できる浴室乾燥機を提供する。
【解決手段】乾燥開始からの乾燥初期及び乾燥終期においては、温風乾燥運転を行い、乾燥初期と乾燥終期との間の乾燥中期においては、通風乾燥運転を行う制御手段１は、乾燥運転を開始したのちにおいて、浴室内の絶対湿度を検出する湿度検出手段の検出湿度が低下傾向になったとき、又は、その低下傾向を示す傾きの設定時間内の変化が設定範囲となる傾き安定状態になったときに、乾燥初期から乾燥中期への切換タイミングであると判別するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】流動層乾燥設備及び流動層乾燥設備を用いたガス化複合発電システムを提供する。
【解決手段】粉砕された粉砕石炭１０１Ａを乾燥する流動層乾燥装置１０２と、流動層乾燥装置１０２の一端側に粉砕石炭１０１Ａを投入する石炭投入ライン１２０と、乾燥容器の下部に流動化ガスである流動化蒸気１０７を供給することで流動層１１１を形成する流動化ガス供給ライン１２１と、流動層乾燥装置１０２の上方から流動化ガス及び発生蒸気１０４を排出するガス排出ライン１２２と、供給された粉砕石炭１０１Ａを加熱する加熱部である伝熱部材１０３と、石炭投入ライン１２０と異なる側の流動層１１１の上部近傍から加熱乾燥した微粒の乾燥炭１０１Ｂ _F（FINE）を排出する微粒乾燥炭排出ライン１２３と、石炭投入ライン１２０と異なる側の流動層１１１の底部近傍から加熱乾燥した粗粒の乾燥炭１０１Ｂ_R（ROUGH)を排出する粗粒乾燥炭排出ライン１２４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】乾燥運転の終了タイミングを適切に判別できる浴室乾燥機を提供する。
【解決手段】換気機能付暖房手段の作動を制御する制御手段１が、乾燥運転を開始したのちにおいて浴室内の絶対湿度が低下傾向になり、かつ、その低下傾向を示す傾きの設定時間内の変化が設定範囲内となる傾き安定状態になったときから、浴室Ｙの絶対湿度から外気の絶対湿度を減算した湿度差と、換気手段の換気量との積を、時間経過に伴って積算した安定後積算排水量を求めて、その安定後積算排水量が予測残排水量になると、運転終了条件が満たされたと判別し、且つ、傾き安定状態になったときの傾きにて、浴室内の絶対湿度が、外気湿度又はその外気湿度に設定値を加えた判別用湿度にまで低下すると仮定して、傾き安定状態になったときから、浴室内の絶対湿度が外気湿度又は判別用湿度に低下する間に浴室から排出される排水量を、予測残排水量として定める。 （もっと読む）

【課題】乾燥運転の終了タイミングを適切に判別できる浴室乾燥機を提供する。
【解決手段】換気機能付暖房手段の作動を制御する制御手段１が、乾燥運転を開始したときから、浴室Ｙ内の絶対湿度から外気の絶対湿度を減算した湿度差と、換気手段の換気量との積を、時間経過に伴って積算して積算排水量を求めて、その積算排水量が、目標総排水量になると、運転終了条件が満たされたと判別するように構成され、且つ、乾燥運転を開始してから浴室Ｙ内の絶対湿度が低下傾向になるまで、浴室Ｙ内の絶対湿度から外気の絶対湿度を減算した湿度差と、換気手段の換気量との積を、時間経過に伴って積算して排出済み排水量を求めて、その排出済み排水量、及び、その排出済み排水量と目標総排水量との関係を定めた目標総排水量関係情報に基づいて、目標総排水量を定めるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被乾燥物からの水分の蒸発量が少なくなる状態となる前に、換気量を減少させることを抑制し、かつ、被乾燥物からの水分の蒸発量が少なくなった状態での換気量を、被乾燥物の乾燥を促進できる換気量に調整して、被乾燥物の乾燥効率を向上できる浴室乾燥機を提供する。
【解決手段】換気機能付暖房手段の作動を制御する制御手段１が、乾燥運転を開始したのちにおいて浴室内の絶対湿度が低下傾向になったとき、又は、その低下傾向を示す傾きの設定時間内の変化が設定範囲となる傾き安定状態になったときに、外気の温度、及び、外気の絶対湿度又は相対湿度に対応して、乾燥を促進する目標換気量を定めた換気量設定関係情報に基づいて、目標換気量を求めて、換気手段の換気量を目標換気量に調整する換気量調整制御を実行するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】乾燥室から被乾燥物を取り出す際に、高温空気が流出するのを防止すること。
【解決手段】熱風発生機（30）が乾燥室（23）との間で熱風を循環させて、乾燥室（23）内の被乾燥物を乾燥させる熱風循環路（21）を備えている。熱風発生機（30）によって熱風を循環させて、乾燥室（23）に収容された被乾燥物を加熱する加熱工程と、続いて、乾燥室（23）の下流側に設けられたファン（35）で乾燥室（23）側の空気を吸い込みながら、乾燥室（23）の開閉扉（25）を開いて被乾燥物を取り出す取出工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
排風循環式の穀物乾燥機において、排風には塵埃が含まれていることが多く、戻し筒内に塵埃が滞留する場合がある。本願発明は戻し筒内の塵埃を除去することを課題とする。
【解決手段】
燃焼バーナ（７）で生成した乾燥風を穀物に作用させる乾燥室（２）と、乾燥風を機外に排出する排風ファン（６）と、排風ファン（６）で排出された排風を乾燥室（２）に戻す戻し筒（２７）と、戻し筒（２７）側に案内する排風と機外に排出する排風の割合を調節する排風調節体とを設け、燃焼バーナ（７）停止後、排風ファン（６）を駆動すると共に戻し筒（２７）内に戻す排風の割合を多くするよう排風調節体を調節する塵埃除去工程を行なった後、排風ファン（６）を停止することを特徴とする穀物乾燥機とする。 （もっと読む）

【課題】
全体の温度コントロールが容易であり、熱利用効率が高く、低温熱源を利用する場合でも過熱蒸気の流速が過多となるのを抑制可能な多段型有機物乾燥システムを提供すること。
【解決手段】
有機物を上段から下段に向けて多段階５に搬送する搬送手段と、該搬送手段を収容する乾燥室１と、該乾燥室内に過熱蒸気ａを送風し、該有機物を乾燥する多段型有機物乾燥システムにおいて、過熱蒸気の導入部７と該乾燥室１との間に、過熱蒸気を該乾燥室１に送風するための加圧室２を有し、過熱蒸気の導出部８と該乾燥室１との間に、過熱蒸気を該乾燥室１から排出するための減圧室３とを有し、該加圧室２と該乾燥室１との間、及び該乾燥室１と該減圧室３との間には、過熱蒸気の流量を調節するための蒸気流調節手段（４１〜４６，５）が設置されていることを特徴とする （もっと読む）

【課題】流動層乾燥装置において、乾燥効率の向上を可能とする。
【解決手段】中空形状をなす乾燥容器１０１と、乾燥容器１０１の一端側に原炭を投入する原炭投入口１０２と、乾燥容器１０１の他端側から原炭が加熱乾燥した乾燥炭を排出する乾燥炭排出口１０３と、乾燥容器１０１の下部に流動化ガスを供給することで原炭と共に流動層Ｓを形成する流動化ガス供給部１０４と、乾燥容器１０１の一端側における原炭投入口１０２より上方から流動化ガス及び発生蒸気を排出するガス排出口１０５と、流動層Ｓの原炭を加熱する伝熱管１０６とを設け、乾燥容器１０１を原炭投入口１０２側の幅を乾燥炭排出口１０３側の幅より大きく形成する。 （もっと読む）

【課題】 天井から浴室乾燥機を外さないまま、ヒータユニット部分裏側の掃除がしやすい浴室乾燥機構造を提供する。
【解決手段】 浴室の空気を吸引しヒータを経由させて浴室方向に空気を噴出する循環モードを備えた浴室乾燥機において、浴室の天井に固定される本体と、前記本体内に格納される送風機と、前記本体内の前記送風機よりも上流側であって前記浴室側となる下部に設けられ、浴室側に開口した吸引口と、前記本体内であって浴室側となる下部に設けられ、前記送付機から吹き出される空気を浴室内に噴出する循環吹出口と、前記循環吹出口内に配置されるように前記本体に対して固定されたヒータユニットと、を備え、前記ヒータユニットは、前記本体に対する固定が解除されると浴室側となる下方に降下可能であり、且つ、そのヒータユニットの一辺を回転軸として浴室側となる下方に回動可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流動層乾燥装置において、乾燥効率の向上を可能とする。
【解決手段】中空形状をなす乾燥容器１０１と、乾燥容器１０１の一端側に原炭を投入する原炭投入口１０２と、乾燥容器１０１の他端側から原炭が加熱乾燥した乾燥炭を排出する乾燥炭排出口１０３と、乾燥容器１０１の下部に流動化ガスを供給することで原炭と共に流動層Ｓを形成する流動化ガス供給口１０４と、乾燥容器１０１の一端側における原炭投入口１０２より上方から流動化ガス及び発生蒸気を排出するガス排出口１０５と、流動層Ｓの原炭を加熱する伝熱管１０６と、流動化ガス及び発生蒸気を乾燥炭排出口１０３側から原炭投入口１０２側に導流させてガス排出口１０５に導く傾斜板１１１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に生じるパーティクルを低減すると共に、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止する。
【解決手段】本実施形態によれば、半導体基板の超臨界乾燥方法は、金属膜が形成された半導体基板を、表面がアルコールで濡れた状態でチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバ内に二酸化炭素の超臨界流体を供給する工程と、前記チャンバ内の温度を７５℃以上かつ前記アルコールの臨界温度未満の所定温度にして、前記半導体基板上の前記薬液を前記超臨界流体に置換する工程と、前記チャンバ内の温度を前記所定温度に維持しながら、前記チャンバから前記超臨界流体及び前記アルコールを排出し、前記チャンバ内の圧力を下げる工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】品質が一定の熱処理木質材料を得ることができる熱処理木質材料製造装置及び熱処理木質材料製造方法を提供する。
【解決手段】木質材料に対して熱処理を行う熱処理木質材料製造装置であって、所定量の木質材料を供給する定量供給装置１１と、第一収容口３１ａと第一排出口３１ｂとを有し、定量供給装置１１から供給される木質材料を第一収容口３１ａより収容し、第一スクリュー３２によって攪拌しながら第一排出口３１ｂへと搬送する第一処理室３１と、蒸気を作る蒸気発生装置４１と、蒸気発生装置４１から供給される蒸気を加熱して、第一処理室３１内に供給する過熱蒸気とする蒸気加熱装置４２と、第一処理室３１を加熱する第一補助加熱装置４４と、蒸気加熱装置４２を制御して過熱蒸気を所定温度に設定するとともに、第一補助加熱装置４４を制御して第一処理室３１を所定温度に設定する制御装置２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を図りつつ、乾燥むらを低減できる乾燥システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる乾燥システム１００は、被乾燥物１０４の乾燥システムであって、被乾燥物が置かれた室内空間１０２の湿度を検出する温湿度センサ１１２と、室内空間に対して空気を循環させる循環ファン１４０と、循環させる空気を加熱するヒートポンプ１２０と、温湿度センサで検出された湿度に基づいて、循環ファンによる循環風量およびヒートポンプによる熱量を制御する制御部１５０とを備え、制御部は、室内空間に熱量を投入する第１運転モードを実行し、第１運転モードで室内空間の湿度の上昇が所定時間停止すると、投入する熱量を抑え、かつ、循環風量を高める第２運転モードに移行する。 （もっと読む）

【課題】効率よく省エネルギー化を図ることができる乾燥装置を提供すること。
【解決手段】
粉粒体を、貯留ホッパ１３内で乾燥して各成形機２へ供給する乾燥装置１において、粉粒体の消費量Ｃ（単位時間当たりに貯留ホッパ１３から各成形機２へ輸送される粉粒体の質量）が、乾燥装置１の乾燥能力Ｄ（単位時間当たりに貯留ホッパ１３内で乾燥される粉粒体の質量）に対して、所定の割合を超過しているときに、熱風供給部１２を第１の動作量で動作させ、粉粒体の消費量Ｃが、乾燥装置１の乾燥能力Ｄに対して、所定の割合以下であるときに、乾燥ブロワ１９の送風量を低下させて、熱風供給部１２を第１の動作量よりも低い第２の動作量で動作させる。 （もっと読む）

【課題】流動層乾燥装置において、乾燥効率の向上を可能とする。
【解決手段】中空形状をなす乾燥容器１０１と、乾燥容器１０１の一端側に原炭を投入する原炭投入口１０２と、乾燥容器１０１の他端側から原炭が加熱乾燥した乾燥炭を排出する乾燥炭排出口１０３と、乾燥容器１０１の下部に流動化ガスを供給することで原炭と共に流動層Ｓを形成する流動化ガス供給口１０４と、乾燥容器１０１の一端側における原炭投入口１０２より上方から流動化ガス及び発生蒸気を排出するガス排出口１０５と、流動層Ｓの原炭を加熱する伝熱管１０６とを設け、制御装置１２５は、第１温度センサ１２１が検出した流動層Ｓの温度に基づいてガス排出ライン１１３の流量調整弁１１４の開度を調整することで、乾燥容器１０１内の圧力を変更して露点温度を変更する。 （もっと読む）