【課題】ＥＵＶ光源（２０）の内部部品（３０）を、プラズマ形成位置（２８）で生成され、最初は内部部品（３０）に向けられたイオン（２０６ａ、２０６ｂ）から保護するシステムを提供する。
【解決手段】内部部品（３０）とプラズマ形成位置（２８）との間に挿入され、プラズマ形成位置（２８）から内部部品（３０）へと延びる線に実質的に沿って位置合わせされた表面を有する少なくとも１つの箔板（１８０）と、イオン（２０６ａ、２０６ｂ）を箔板表面（２０８ａ、２０８ｂ）内へと偏向させる磁場（Ｂ２）を発生させる磁気源（２００ａ、２００ｂ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】不要な放射線を除去するフィルタ材料を使用する透過型Ｘ線管及び反射型Ｘ線管を提供する。
【解決手段】透過型Ｘ線管は、ターゲット材料及びフィルタ材料を備える。ターゲットは、少なくとも一つの元素を有し、元素が励起されるとＸ線が発生する。Ｘ線は、元素の特性Ｋα放射線及びＫβ放射線のエネルギーを備え、これらがＸ線の衝突により物体の画像を形成するために用いられる。Ｘ線が通過するフィルタ材料はＫ吸収端エネルギーを有し、Ｋ吸収端エネルギーは、放射されるＫα放射線のエネルギーよりも高く、Ｋβ放射線のエネルギーよりも低い。フィルタ材料の厚みは、少なくとも10ミクロン3ミリメートル未満である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で不要な放射線の遮蔽とターゲットの冷却を可能とすると共に、軽量化を図った放射線発生装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２を有する外囲器１と、外囲器１内に収納され、第一の窓２と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１５を有する放射線管１０と、第二の窓１５に連通する放射線通過孔２１を有し、第二の窓１５から第一の窓２側に突出した放射線遮蔽部材１６とを備え、しかも、放射線遮蔽部材１６よりも熱伝導率が高い熱伝導部材１７が、放射線遮蔽部材１６の前記突出した部分の外周側に接続されている放射線発生装置とする。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質の出力位置の安定性が向上し、チャンバ外の異物がチャンバ内に侵入することを抑制し得るとともに、チャンバ内のターゲット物質がチャンバ外に放出されることを抑制し得るノズルのクリーニング機構を提供すること。
【解決手段】ＥＵＶ光生成装置１のノズル７１２のクリーニング機構９は、ＥＵＶ光２５２の生成が行われるチャンバ２内にターゲット物質２７１を出力するためのノズル７１２を、チャンバ２内で物理的にクリーニングしてもよい。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化、外囲器と放射線発生管との間の耐電圧の向上、放射線の減衰量の低減を実現した放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２７を有する外囲器１２と、外囲器１２内に収納され、第一の窓２７と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１９を有する放射線発生管１４と、外囲器１２の内壁と放射線発生管１４との間に充填された絶縁性流体１３と、を備える放射線発生装置であって、第一の窓２７及びその周縁部と第二の窓１９及びその周縁部との間に、複数枚の絶縁性板材が隙間を空けて並んで配置され、絶縁性板材間の隙間は、第一の窓２７と第二の窓１９との間の耐電圧が、複数枚の絶縁性板材に換えて各絶縁性板材の厚さの合計と同じ厚さを持った絶縁性板材を配置した場合に比べて大きくなる隙間であることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 長期に亘って信頼性の高いＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置は、高電圧コネクタ２と、Ｘ線管１と、固定部材５と、スプリングと、を備えている。高電圧コネクタ２は、端面Ｓ２２が形成された電気絶縁材と、高電圧出力端子２３と、を有している。Ｘ線管１は、高電圧入力端子１４と、端面Ｓ２２に直接または間接的に密接される密接面Ｓ１３が形成された高電圧絶縁部と、隙間形成面Ｓ１１と、を有している。固定部材５は、隙間形成面Ｓ５を有し、高電圧コネクタ２に直接または間接的に固定される。スプリングは、隙間形成面Ｓ１１及び隙間形成面Ｓ５に接している。 （もっと読む）

【課題】望ましくない放出物（例えば、粒子、赤外線、および可視光線）を最低限に抑えたプラズマ光源を実現する。
【解決手段】光源１００は、プラズマ放電領域１１２を有し、イオン性媒体を含む室１０４、プラズマ放電領域１１２の一部を囲む磁気コア１０８、エネルギーの少なくとも１つのパルスを磁気コア１０８に供給し、プラズマ放電領域内に形成されるプラズマに電力を送るためのパルス電力システム１３６を備える。プラズマは、局所的高輝度ゾーン１４４を有する。 （もっと読む）

【課題】露光精度を高めることができる投影光学系、露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１０は、鏡筒１６の内部に保持された複数のミラー１７を備える投影装置１４を備えている。投影装置１４の鏡筒１６の外周部には、液相と固相との間で相転移する物性を有し、液相と固相とが共存する金属材料１９と、鏡筒１６の外周部に設けられて、金属材料１９を保持する金属保持部材１８とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】露光特性を向上させる。
【解決手段】陰極および陽極間に電圧を印加し、陰極と陽極との間において、所定の原子をプラズマ励起させることによりＥＵＶ光を生じさせ、このＥＵＶ光を、露光部に導き、露光部内において基板の上方に形成された感光膜を露光する工程を、冷却機構により、陰極１０３の先端部１０３ｂを構成する金属部の融点未満の温度に冷却しつつ行なう。例えば、陰極１０３は、支持部１０３ａと、先端部１０３ｂとを有し、冷却機構は、支持部内に冷却溶媒を循環させる機構である。また、支持部１０３ａは、銅よりなり、先端部１０３ｂを構成する金属部は、タングステンよりなり、冷却機構の支持部１０３ａ側の端部からタングステン端部までの距離（Ｄ１）を７ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質の帯電ターゲットを供給するターゲット供給装置の絶縁破壊を抑制する。
【解決手段】このターゲット供給装置は、ターゲット物質を内部に貯蔵するターゲット貯蔵部と、ターゲット貯蔵部に貯蔵されたターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたターゲット出力部と、ターゲット出力部に対向して配置され、ターゲット物質が通過する貫通孔が形成された電極であって、ターゲット出力部に対向する面の一部に電気絶縁材料がコートされた電極と、ターゲット物質と電極との間に電圧を印加する電圧生成器とを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定してＥＵＶ光を生成する。
【解決手段】レーザ装置を備えた極端紫外光生成装置は、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを出力するターゲット供給部と、前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、前記所定位置付近における前記ターゲットの通過位置を調整するターゲット位置調整装置と、前記所定位置付近における前記レーザ光の集光位置を調整するレーザ集光位置調整装置と、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質を効率よく加熱し、融点以上の温度を維持する。
【解決手段】ターゲット供給装置は、ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、リザーバの内部に配置されたヒータであって、リザーバの内部に収容されたターゲット物質を加熱して溶融させるヒータと、ヒータに電流を供給するヒータ電源と、リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、を含んでいてもよい。リザーバの周囲を外部から遮蔽する遮蔽部材であって、ターゲット出力部から出力されたドロップレットが通過する貫通孔を有する遮蔽部材をさらに含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】有害物質水銀を含まないワイドバンドギャップ半導体のAl_xGa_1-xN/AlN多重量子井戸（MQW）層を電子線で励起して励起状態の多重量子井戸から深紫外光を得る従来の深紫外光源において、有害なＸ線を阻止して、発光効率を高める。
【解決手段】深紫外光源は、AlN層４上に形成されたAl_0.7Ga_0.3N/AlN多重量子井戸層５、及びAl_0.7Ga_0.3N/AlN多重量子井戸層５上に形成されたアルミニウム（Al）メタルバック層６よりなる。電子放出源７より電子線ＥＢが照射されると、Al_0.7Ga_0.3N/AlN多重量子井戸層５が励起されて深紫外光ＤＵＶがサファイア（0001）基板１の光取り出し面Ｆより放射される。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光生成装置に用いた場合生成される極端紫外光の強度を安定化させる。
【解決手段】チャンバ装置は、少なくとも１つのレーザビーム生成装置と共に用いられるチャンバ装置であって、前記少なくとも１つのレーザビーム生成装置から出力される少なくとも１つのレーザビームを内部に導入するための少なくとも１つの入射口が設けられたチャンバと、前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給部と、前記少なくとも１つのレーザビームを前記所定の領域で集光させるレーザ集光光学系と、前記少なくとも１つのレーザビームの前記所定の領域におけるビーム断面の光強度分布を補正する光学素子と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に配置された要素の特性や性能が劣化することを抑制する。
【解決手段】チャンバ装置は、レーザシステムおよび前記レーザシステムから出力されるレーザ光を集光する集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、前記レーザ光を内部へ導入するための入射口を有するチャンバと、前記チャンバに取り付けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給システムと、前記チャンバ内に配置され、前記チャンバ内で前記ターゲット物質に前記レーザ光が照射されて発生した帯電粒子を回収するための回収部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線シャッタを備えるハウジングを提供する。
【解決手段】ハウジング内の開口と、遮蔽位置と解放位置との間で移動可能なシャッタとを含み、Ｘ線ハウジングのためのシャッタ構成は、例えば、固体タンタル、ニオブ、若しくは、ジルコニウム、又は、少なくとも８０パーセントを含む合金のシャッタ１０を含む。実施態様において、シャッタは、通孔２２を有し、Ｘ線ハウジングの内面上で閉塞位置と開放位置との間を摺動し、開放位置において、通孔２２はハウジング内の開口８と整列する。 （もっと読む）

【課題】透過形ターゲットから発生する後方散乱Ｘ線がＸ線発生装置から外部へ漏洩することを大幅に低減できる小形で軽量なＸ線発生装置とＸ線発生装置群を用いたＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】透過形ターゲットの表面を囲むように筒状シールド管がターゲットホルダに固定された構成によって後方散乱Ｘ線を吸収する。これによって、シールド管を装着しない場合に比べて、後方散乱Ｘ線を１／２０以下に低減することができ、Ｘ線発生装置全体を覆う鉛板の量を大幅に低減することが可能となる。本発明によるＸ線発生装置複数台と他の装置とを組み合わせて、Ｘ線治療に好適な小形で軽量なＸ線照射装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの電子蓄積リングのような大がかりな装置を用いることなく、所定値以上のエネルギー領域において特性Ｘ線の無い連続Ｘ線を発生することのできるＸ線放射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射装置は、炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性軽元素ターゲットからなり、冷陰極電子源から放出された電子を入射するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備し、電子の入射方向に対して前方に放出するＸ線を利用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過基板の温度上昇を抑制して放射線発生の長時間駆動を可能とし、信頼性の高い透過型放射線管および放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線発生装置は、冷却媒体が充填された収納容器１２内に透過型放射線管１１が収納され、透過型放射線管は、開口部１４ａを有する外囲器１４と、外囲器内に開口部１４ａに臨んで配設された電子放出源１５と、放射線を透過する透過基板１９と、透過基板１９の電子放出源側面に設置され、電子放出源１５から放出された電子の照射により放射線を発生するターゲット１８と、ターゲットから放出された放射線を遮る遮蔽体２０と、を備え、遮蔽体は外囲器１４の外側に突設されると共に、外囲器１４の開口部１４ａに連通する通路２０ａを有し、通路２０ａに設けられる透過基板１９の少なくとも一部は、外囲器１４の外壁面よりも外側に突出して配設され、冷却媒体は遮蔽体２０の少なくとも一部に接している。 （もっと読む）

【課題】背景技術よりも小型化が可能なＸ線発生装置及びＸ線管の駆動方法を提供する。
【解決手段】レンズ電極とグリッド電極、またはレンズ電極とカソード電極に所定の電圧を供給する各駆動回路でインバータ回路を共用する。レンズ電極にはインバータ回路から出力されたパルス列を全波整流することで得られる直流電圧を供給し、グリッド電極またはカソード電極にはインバータ回路から出力されたパルス列を半波整流することで得られる直流電圧を供給する。そして、Ｘ線の発生期間におけるインバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、トランス回路から全波整流回路及び半波整流回路にそれぞれ負極性の電圧が出力されるようにインバータ回路の動作を制御する。 （もっと読む）