【課題】現像後のレジストパターンのディフェクトの発生を抑制できるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。また、異物経時特性（保存安定性）に優れるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。そして、さらに好ましくは、処理前後で感度やレジストパターンサイズの変化が起こりにくいホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。
【解決手段】樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、有機溶剤（Ｃ）とを含むホトレジスト組成物を、孔径が０．０４μｍ以下のナイロン膜からなる第１の膜を備えた第１のフィルタを通過させる工程を有し、且つ前記第１のフィルタを通過させる工程の前後の一方又は両方に、さらに、該ホトレジスト組成物を、ポリオレフィン樹脂またはフッ素樹脂製の第２の膜を備えた第２のフィルタを通過させる工程を有することを特徴とするホトレジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高品質な生産水を得ることができる直列形式の多段海水淡水化装置及び多段海水淡水化装置の運転制御方法を提供する。
【解決手段】原水１１を所定の高圧力とする高圧ポンプＰ₁と、高圧とされた高圧供給水１２中の塩分を濃縮する高圧逆浸透膜１３ａを備えた高圧逆浸透装置１３と、透過水１４を後流側に供給する透過水ラインＬ₂に介装され、前記起動初期の透過水１４を一時的に排水水ラインＬ₆から排水する第１の排水弁２１と、前記第１の排水弁２１の下流側の透過水ラインＬ₃に介装され、透過水１４を所定の低圧力とする低圧ポンプＰ₂と、前記低圧ポンプＰ₂により低圧とされた低圧供給水１５中の塩分を濃縮する低圧逆浸透膜１６ａを備えた低圧逆浸透装置１６と、前記低圧逆浸透装置１６の濃縮水側の排出ラインＬ₅に介装され、低圧逆浸透装置１６に供給する起動初期の低圧供給水１５を一時的に排出する第２の排水弁２２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】塩類等を含有する原水を浄化し飲料用水、農業用水、あるいは工業用水等の淡水にするための移動式の浄水器を提供すること、及び、前記移動式の浄水器を、特に乾燥地帯での井戸水等の浄化に用いる場合の環境適応型の浄化方法を提供すること。
【解決手段】移動式の浄水器において、例えば、逆浸透膜（ＲＯ膜）、限外濾過膜（ＵＦ）又はナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）又は精密濾過膜（ＭＦ）からなる中空糸膜モジュールを、垂直方向に配置してなる縦型の浄水器が自動二輪車に搭載されており、該浄水器の送水ポンプが該自動二輪車のエンジンを利用して駆動するように構成されている移動式の浄水器。エンジン用の燃料としてヘンプオイルを使用することにも特徴がある。 （もっと読む）

【課題】特定成分含有ガスを複数段階で分離濃縮して特定成分を回収する場合でも、大型化することなどがない分離膜モジュールを提供する。
【解決手段】給気ポート３２と分離ガスの数に応じた排気ポート３３〜３５を有する中空ケース内に、特定成分含有ガスを高濃度ガスと低濃度ガスとに分離する分離膜２１・３０が配設された分離膜モジュール３１であって、中空ケースは、外ケース４０と内ケース４１との内外二重構造となっている。外ケース４０内は、濃縮膜２１を透過することで特定成分を高濃度にする濃縮室３８となっており、内ケース４１内は、希釈膜３０を透過しないことで特定成分を高濃度にする希釈室３９となっている。濃縮室３８と希釈室３９とは直列関係にあり、上流側の濃縮室３８において濃縮膜２１を透過した低濃度ガスＧ₂のみが希釈室３９へ流動可能に連通されている。 （もっと読む）

【課題】２種類の分離膜を使用して良好な蒸発燃料の回収効率を確保しながら、キャニスタへ返流するパージ用のガス中の蒸発燃料濃度が的確に低減された蒸発燃料処理装置を提供する。
【解決手段】燃料タンク１から発生する蒸発燃料を吸着捕集するキャニスタ２と、キャニスタ２から分離膜モジュールへ蒸発燃料含有ガスを圧送するポンプ５と、濃縮膜３を備える濃縮膜モジュール３０と、希釈膜４を備える希釈膜モジュール４０とを有する。濃縮膜モジュール３０と希釈膜モジュール４０とは直列に連通され、濃縮膜モジュール３０の透過室３２が燃料タンク１へ連通され、希釈膜モジュール４０の透過室４１がキャニスタ２へ連通されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】給油時に発生したガソリンベーパーを大気中に排出することなく回収することのできるガソリンベーパー回収システムを提供する。
【解決手段】給油所のガソリンベーパー回収システムに関する。給油時に車両の燃料タンクＴからのガソリンベーパーＧｖを回収ガスＧとして回収する回収手段と、回収手段が回収した回収ガスＧが導入され、回収ガスＧ中に含まれる空気ＧａとガソリンベーパーＧｖとを分離する第１分離装置３１と、給油所タンクＬに連通し分離されたガソリンベーパーＧｖを給油所タンクＬに戻す第１戻し管４１と、通気管９に連通し分離した空気Ｇａを通気管９に給気する給気管４３とを供えている。 （もっと読む）

【課題】脱塩及び／又は有機物除去を行うＲＯ装置の膜面透過流束の低下を抑制し、長期安定運転を可能とする。
【解決手段】脱塩及び／又は有機物除去を行う逆浸透膜分離手段を多段に設けた逆浸透膜分離装置の運転方法において、弁Ｖ_Ａを開とすることにより１段目の逆浸透膜分離手段（ベッセル２１〜２４）のみをフラッシングする。フラッシング排水を配管４１〜４４，４５，４９を介して装置外に排出する。フラッシング時に弁Ｖ_Ａを閉としてもよく、弁Ｖ_Ａ，Ｖ_Ｃを開としてもよい。差圧（Ｐ_１−Ｐ_２）に基づいてフラッシング頻度を制御してもよい。 （もっと読む）

【課題】分離膜の処理能力を最大限発揮させながら、効率良く蒸発燃料を分離回収できる蒸発燃料処理装置を提供する。
【解決手段】燃料タンク１で発生する蒸発燃料を捕集するキャニスタ２と、蒸発燃料含有ガスから燃料成分を選択的に透過分離する分離膜４と、キャニスタ２から分離膜４へ蒸発燃料含有ガスを圧送供給するポンプ６とを備える。供給ガス濃度、透過ガス濃度、又は透過ガス流量と、予め記憶された透過特性とに基づいて、ステージカット（供給ガス流量／透過ガス流量）が７以上、好ましくは７〜１０となるように供給ガス流量が制御される。 （もっと読む）

【課題】生物難分解性有機物が含まれる有機排水を効果的に処理でき、得られる処理水中のＴＯＣ濃度を十分に低減できる有機排水の処理装置を提供すること。
【解決手段】生物難分解性有機物及び生物易分解性有機物を含有する有機排水の処理装置１００であって、有機排水を生物処理する第１処理装置１と、第１処理装置１の下流側にあり、生物難分解性有機物の少なくとも一部をオゾン処理によって分解して分解物を得る第２処理装置２と、第２処理装置２の下流側にあり、分解物に対して逆浸透膜処理又は生物処理を行う第３処理装置４と、第３処理装置４の下流側にあり、逆浸透膜処理及び生物処理のうち第３処理装置４と異なる処理を行う第４処理装置５とを具備する有機排水の処理装置１００。 （もっと読む）

本発明は、尿素含有水を処理するための装置に関する。本発明はまたそのような装置を備えた家庭用トイレに関する。本発明はまたそのような装置を備えた動物収容設備に関する。さらに、本発明は尿素含有水を処理するための方法を含む。装置は、尿素を酸化してニトレートと二酸化炭素にするのに適した硝化ユニットを備え、硝化装置はまた、酸素供給部、ガス放出部及び硝化ユニットに接続された濾過ユニットへ硝化ユニットにより硝化される廃液の供給のためのスルー供給部が備えられる。硝化ユニットは好ましくは硝化バクテリアを含む。
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【課題】膜分離システム又はプロセスをモニタリング及び／又はコントロールする方法及びシステムを提供する。
【解決手段】本発明は、それらの性能を最適化できるように、膜分離に固有の一以上のパラメータを評価及び／又はコントロールするために、供給流中に添加された不活性蛍光トレーサー及び標識蛍光剤の測定可能な量を利用する。本発明における方法及びシステムを、原水処理及び排水処理を含む様々な工業的な応用において、利用することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 余剰汚泥を、確実かつ効率的に減量化し、悪臭の発生を効果的に防止し、清浄化した処理水を放流することのできる余剰汚泥減量化設備を提供する。
【解決手段】 余剰汚泥Ｓを一時的に貯留する汚泥貯留槽１０と、微細散気装置７２と第一スポンジ担体７３を備え、混気ポンプ７４によって前記余剰汚泥Ｓとオゾンを混合し、一定時間循環させて前記余剰汚泥Ｓを有機物化すると共に酸化分解し、オゾンの消臭作用により悪臭を除去するオゾン混和槽７０と、微生物を高密度に保持する第二スポンジ担体２６と散気泡装置２３を設けた消化分解装置２０と、オゾン発生機３０と、処理水Ｗを、殺菌処理装置４１を通して一時的に貯留した後、放流する処理水貯留槽４０と、オゾン混和槽７０と消化分解槽で溶解しなかった排オゾンを、規定濃度以下に処理して放出する排オゾン除去装置５０と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】ホウ素濃度の極めて低い純水を、高い水回収率で製造することのできる純水製造装置及び純水製造方法を提供する
【解決手段】純水製造装置は、原水Ｗ０を処理する前処理装置５と、前処理装置５からの処理水Ｗ１を脱塩室１１Ａに受け入れて脱イオン処理を行う第１の電気脱イオン装置６Ａと、第１の電気脱イオン装置６Ａからの濃縮水Ｗ４を脱塩室１１Ｂに受け入れて脱イオン処理を行う第２の電気脱イオン装置６Ｂとを備え、第２の電気脱イオン装置６Ｂからの脱塩水Ｗ５を第１の電気脱イオン装置６Ａの前段に供給する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＡなどのアミノ基を有する水溶性有機溶媒含有水からこの水溶性有機溶媒を効率よく回収することができるアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】アミノ基を有する水溶性有機溶媒含有水から該水溶性有機溶媒を回収する方法であって、逆浸透装置３に、該水溶性有機溶媒含有水をｐＨ９以上の条件化で供給して膜分離処理を行い、該水溶性有機溶媒を透過液室側に透過させて回収することを特徴とするアミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法。逆浸透装置を多段に設けてもよい。 （もっと読む）

【課題】水銀を使用することなく扱い易く、同位体分離係数を従来法に比べて格段によくすることができるリチウム同位体分離濃縮法および装置並びにリチウム同位体分離用隔膜とシステムを提案する。
【解決手段】リチウムイオン伝導性のイオン液体、例えば、ＴＭＰＡ−ＴＦＳＩまたはＰＰ１３−ＴＦＳＩ、を多孔質体に含浸保持させたリチウムイオン選択的透過膜に、^６Ｌｉ同位体および^７Ｌｉ同位体を含むリチウム溶液を接して配置し、透析法によって^６Ｌｉ同位体および^７Ｌｉ同位体を分離する。 （もっと読む）

【発明の課題】水質の良い超純水を供給するとともに、逆浸透装置における水回収率の向上を図るとともに、安定した純水装置の運転を維持できることが可能な純水製造の方法及び装置を提供する。
【解決手段】カチオン交換樹脂装置１と、脱気装置２と、第１の逆浸透装置３と、第２の逆浸透装置４とを有し、さらに、第１の逆浸透装置３の透過水を製造された純水として収容する透過水ピット５と、前処理装置で処理された被処理水及び第２の逆浸透装置４から返送された透過水を収容する被処理水ピット１１と、被処理水をそれぞれ後段の装置へ送液するポンプ１２，３２と、第１の逆浸透装置３の濃縮水を収容する濃縮水ピット４１と、濃縮水ピット４１に収容された濃縮水を第２の逆浸透装置４へ送液するポンプ４２と、第２の逆浸透装置４の透過水を被処理水ピット１１へ返送する配管と、から構成される純水製造装置。 （もっと読む）

【課題】膜分離と吸収液を組み合わせて、コンパクトで二酸化炭素分離性能が高く、かつ、二酸化炭素吸収液の酸化劣化を防止することにより二酸化炭素吸収性能の低下を抑制した二酸化炭素分離装置及びその方法を提供する。
【解決手段】二酸化炭素選択分離膜３を備え被処理ガスが供給される二酸化炭素吸収器１と、疎水性膜４を備えた二酸化炭素分離器２と、前記二酸化炭素吸収器１と前記二酸化炭素分離器２との間を循環する二酸化炭素吸収液７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 膜性能の向上を図った脱水システム及び脱水方法を提供する。
【解決手段】
脱水装置本体１内に、液体を通すための上下に延びる一以上の流路を有する水分離膜の下部に液体入口を、上部に液体出口を有してなる水分離膜部１０と、該水分離膜部の外側面と、装置本体内壁とで規定されるシェル部１１とを備え、該液体の出口付近の該シェル部に加熱手段１２が設けられ、該液体の入口付近の該シェル部に減圧手段１３との接続口１４が設けられ、該液体が該水分離膜を上昇するにつれて、該液体中の水分が、該水分離膜を透過してシェル部に移動し、該液体が脱水される脱水装置１。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを拡大させることなく、容易に高純度の純水を安定供給させることが可能な水処理装置１を提供すること。
【解決手段】水処理装置１は、被処理水を貯水する第１貯水タンク４と、前記第１貯水タンク４から供給される前記被処理水を精製して第１処理水を得る第１精製部５ａ、５ｂと、前記第１精製部５ａ、５ｂの下流側に配設され、前記第１精製部５ａ、５ｂにより精製された第１処理水を精製して第２処理水を得る第２精製部６と、前記第１精製部５ａ、５ｂと前記第２精製部６とを接続する第１接続ライン１０ｂと、前記第１貯水タンク４と前記第１接続ライン１０ｂとを接続させる第１補助ライン１０ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】需要者が、何等手間をかけることなく持参した容器に処理水を充填して入手可能にした処理水自動販売装置を提供すること。
【解決手段】注水チェンバー１内に水容器Ｂ，Ｂ´を載置した後に、水容器Ｂ，Ｂ´を反転して殺菌水を下方より噴射注入して水容器Ｂ，Ｂ´内部を洗浄殺菌処理し、その後、水容器Ｂ，Ｂ´を正転して上方より処理水を注入して水容器Ｂ，Ｂ´を装置ケースＣ外に取り出すように構成した処理水自動販売装置Ａにおいて、上方より処理水を注入した水容器Ｂを、注水チェンバー１内において一旦降下させた後に前方へ押出して注水チェンバー１外に排出すべく構成した。 （もっと読む）