【課題】ケイフッ化水素酸を含むフッ酸廃液を簡便に処理してケイフッ化水素酸と金属成分を低濃度まで除去することによりフッ酸廃液を再利用可能とするフッ酸回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】ケイフッ化水素酸を含むフッ酸廃液をナノ濾過するナノ濾過手段２と、ナノ濾過手段２を経た透過液をアニオン交換処理するアニオン交換手段５と、アニオン交換手段５を経たアニオン交換処理液をカチオン交換処理するカチオン交換手段６とを有するフッ酸回収装置により、上記課題を解決する。この装置において、ナノ濾過手段２で濾過した後の濃縮液をさらにナノ濾過する濃縮液ナノ濾過手段と、その濃縮液ナノ濾過手段で濾過した後の濃縮液を、ナノ濾過手段２に供給されるフッ酸廃液に混合する配管とをさらに備えるように構成してもよい。 （もっと読む）

【課題】油と高温水との混合物から分離される高温水を精製して再利用する工程を含む超重質油層からの油の回収方法の提供。
【解決手段】超重質油層に高温水蒸気を吹き込んで得られる油と高温水との混合物から油と高温水を分離回収した後、前記高温水を前記高温水蒸気の発生用として再利用する、超重質油層からの油の回収方法であって、前記高温水の温度が６０〜９０℃まで冷却された原水を限外濾過膜装置に供給し、限外濾過することで水溶性有機物の含有量が低減された透過水を得る工程を有しており、前記限外濾過工程で使用する限外濾過膜装置が、耐熱性樹脂からなる分画分子量が８，０００〜３０，０００の中空糸膜が充填された限外濾過膜モジュールを有するものである、超重質油層からの油の回収方法。 （もっと読む）

【課題】優れたガス透過性を有しながら、高いガス分離選択性をも実現し、さらに高い製膜適性及び経時安定性を達成するガス分離複合膜、それを用いたモジュール、ガス分離装置を提供する。
【解決手段】架橋ポリイミド樹脂を含有してなるガス分離層をガス透過性の支持層上側に有するガス分離複合膜であって、前記架橋ポリイミド樹脂は、ポリイミド化合物が特定の架橋鎖を介して架橋された構造を有し、前記特定の架橋鎖は、−ＮＲ^ａＣ（＝Ｏ）−、−ＮＲ^ｂＣ（＝Ｏ）Ｏ−、−ＣＨ_２ＯＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＳＣＨ_２−、−ＯＣ（＝Ｏ）Ｏ−、−Ｃ（＝Ｏ）Ｏ⁻Ｎ^＋（Ｒ^ｃ）_３−、−ＳＯ_３⁻Ｎ^＋（Ｒ^ｄ）_３−、および−ＰＯ_３⁻Ｎ^＋（Ｒ^ｅ）_３−からなる群（ここで、Ｒ^ａ、Ｒ^ｂ、Ｒ^ｃ_、Ｒ^ｄおよびＲ^ｅはそれぞれ独立に水素原子または置換基を表す）から選ばれる少なくとも１種の連結基を有するガス分離複合膜。 （もっと読む）

【課題】優れたガス透過性を有しながら高いガス分離選択性をも実現し、さらに高い製膜適性および経時安定性を達成するガス分離複合膜、それを用いたモジュール、ガス分離装置およびガス分離方法を提供する。
【解決手段】架橋ポリイミド樹脂を含有してなるガス分離層をガス透過性の支持層上側に有するガス分離複合膜であって、前記架橋ポリイミド樹脂はポリイミド化合物が架橋されて連結された構造を有し、該ポリイミド化合物は、イミド基含有モノマー成分と、特定の極性基を有するモノマー成分とを少なくとも有する共重合体であるガス分離複合膜、それを用いたモジュール、ガス分離装置およびガス分離方法。 （もっと読む）

【課題】優れたガス透過性を有しながら、高いガス分離選択性をも実現し、さらに高い製膜適性を達成するガス分離複合膜、その製造方法、それを用いたモジュール、及び分離装置を提供する。
【解決手段】架橋ポリイミド樹脂を含有してなるガス分離層をガス透過性の支持層上側に有するガス分離複合膜であって、前記架橋ポリイミド樹脂は、ポリイミド化合物がその分子もしくは別分子由来のカチオン架橋性官能基で架橋された構造を有するガス分離複合膜。 （もっと読む）

【課題】耐水性及び耐薬品性に優れた逆浸透膜フィルタを提供する。
【解決手段】逆浸透膜フィルタは、−Ｓｉ−Ｘ−Ｓｉ−結合を有する無機有機ハイブリッド逆浸透膜を備えている。上記Ｘは、一つ以上の水素が置換されていてもよい飽和若しくは不飽和アルキル鎖を表す。Ｓｉ−Ｃ結合は水溶液中でも安定であり、加水分解しない。このため、逆浸透膜フィルタは、耐水性に優れる。また、無機有機ハイブリッド逆浸透膜は塩素負荷をかけても分解せず、耐薬品性にも優れる。 （もっと読む）

【課題】膜分離装置の分離膜の処理性能が低下する前に、凝集処理条件が適正であることを判別することができ、凝集剤の適切な添加量を決定して安定した水処理を行うことのできる凝集剤の添加量決定方法を提供する。
【解決手段】分離膜を備える膜分離装置に供給される被処理水に凝集剤を添加して凝集処理を行う水処理における凝集剤の添加量決定方法であって、凝集処理を行った被処理水を限外濾過膜で濃縮処理する濃縮処理工程(S3)と、濃縮処理工程で得られた濃縮水に含まれる有機物の濃度を測定する濃度測定工程(S4)と、測定された有機物濃度に基づいて、被処理水へ添加する凝集剤の添加量を決定する添加量決定工程(S5)とを有する。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を処理してレジスト成分を高度に除去した高純度のＴＡＡＨ再生液を得る。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液をｐＨ８〜１２に調整してＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過水をナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により膜分離処理する。ＮＦ膜として、膜表面がゼータ電位−５０ｍＶ以下に負に大きく帯電したものを用いることにより、負に帯電しているレジスト剥離物を効果的に除去して高純度のＴＡＡＨ再生液を得る。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を長期に亘り安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液に酸を添加してｐＨ８〜９．５に調整した後、ＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過液を分画分子量２００〜９００のナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により通液温度４０〜８０℃で膜分離処理し、透過液を活性炭塔３で処理する。ＮＦ膜の通液温度を４０〜８０℃とすることにより、被処理液の粘性を下げ、操作圧力を抑えて透過液量を高める。ＮＦ膜の透過液量を高めると、ＮＦ膜の透過液側にレジスト剥離物がリークするが、このレジスト剥離物は後段の活性炭処理で除去することができ、ＴＡＡＨ純度の高い再生液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ケイフッ酸を含む酸廃液からの酸の回収を、効率及び酸の純度のバランス良く行うことができる方法及び装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る酸廃液の処理方法は、ケイフッ酸及び他の酸を含む酸廃液を第１ナノろ過膜３３に通す工程と、第１ナノろ過膜３３で分離された濃縮液を第２ナノろ過膜３６に通す工程と、第２ナノろ過膜３６で分離された透過液を、酸廃液とともに第１ナノろ過膜３３に通し、分離された透過液を回収する工程と、を有する。酸回収路３９から回収した透過液は、酸使用部２０において再利用される。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液をｐＨ８〜１２に調整した後、ＭＦ膜モジュール４で膜分離処理し、濃縮水を循環処理するに当たり、濃縮水に無機凝集剤及び／又は高分子凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、分離水をＭＦ膜モジュール４の一次側に返送して膜分離処理する。現像廃液を膜分離処理するに当たり、膜供給水ではなく、膜分離処理で得られた濃縮水に凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、得られた分離水を膜の一次側に返送して現像廃液と共に膜分離処理することにより、凝集剤使用量を低減すると共に、凝集・固液分離のための設備を小型化した上で、膜の濁質負荷を軽減し、安定かつ効率的な処理を行える。 （もっと読む）

【課題】ＲＯ膜は溶媒中に溶解したイオン成分までろ過することができ、大変有用であるが、初期コストが高く、さらにランニングコストも非常に高い。さまざまな局面で純水の要求があるなかで、より安価に純水を得る方法が求められている。
【解決手段】本発明の脱塩方法は、被処理水に所定の粒径または所定分子量以上のスケール分散剤を添加する分散剤添加工程と、前記スケール分散剤が添加された被処理水を、前記スケール分散剤の分子量より小なる孔径または小なる分画分子量を備えた、ＲＯ膜以外のろ過膜で処理するろ過処理工程を有することを特徴とし、ＲＯ膜以外のろ過膜を用いても、イオン成分までろ過することができる。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置であって、前記使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状で、かつ有効濾過部の長さが０．８ｍ以下である分離膜４１を有しており、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、１０質量％以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】シリコンをエッチング処理したアルカリエッチング液をエッチング槽から引き抜き、膜分離手段で膜分離処理してエッチング槽に循環するアルカリエッチング液の処理において、シリカ除去効率の向上、不純物の蓄積を防止して低シリカ濃度の透過水をエッチング槽に返送する。
【解決手段】２以上のＮＦ膜モジュールを２段目以降のＮＦ膜モジュールにそれぞれ前段のＮＦ膜モジュールの濃縮水を供給するように直列に連結し、１段目のＮＦ膜モジュール１Ａ，１Ｂの透過水をエッチング槽１０に循環し、２段目以降のＮＦ膜モジュール２〜４の透過水を１段目のＮＦ膜モジュール１Ａ，１Ｂの供給水側に循環する。従来の濃縮水循環に起因する系内のシリカ濃度の上昇によるシリカ除去性能の低下、不純物の蓄積の問題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】バイオマスの発酵溶液の蒸留を行うときにも蒸留塔システムを円滑に効率よく運転できるエタノール製造装置を提供する。
【解決手段】エタノール製造装置１は、バイオマスの糖化溶液を発酵させる発酵手段４と、発酵手段４で得られた発酵溶液を蒸留する蒸留手段５と、発酵溶液を発酵手段４から蒸留手段５に移送する移送手段４３とを備える。移送手段４３は、途中に、発酵溶液に含まれる無機化合物を分離する分離手段４４と、発酵溶液に含まれるタンパク質と分離手段４４により分離された無機化合物とを発酵溶液から濾別する濾過手段４５とを備える。 （もっと読む）

【課題】経済的に採算のとれる水源を安定的に確保し、かつ資源の有効利用を図ることができ、さらに消費電力を著しく抑制することができ、熱交換器の寿命も散水しない場合と同等にすることができる、熱交換器の冷却方法を提供する。
【解決手段】室内機と室外機を組み合わせた冷房装置の運転時において、前記室外機が有する熱交換器に対して散水して熱交換器を冷却する方法であって、前記散水に使用する水が、全蒸発残留物もしくはＴＤＳ（全溶解固形物）が１００〜１５００ｐｐｍの原水を処理する工程と、前工程で得られた処理水を精製する工程により精製された水であり、前記原水を処理する工程が、殺菌剤の添加、限外濾過膜処理、精密濾過膜処理、ＭＢＲ膜処理の何れかから選ばれる膜処理、及び活性炭処理を含む工程であり、前記処理水を精製する工程が、２段階の逆浸透膜処理と紫外線処理を含む工程である、熱交換器を冷却する方法。 （もっと読む）

【課題】正電荷を有する化合物に含有される不純物を効果的に除去し、水溶液中に含まれる、ベタインを回収する。また、電気透析中の水溶液に白濁や凝集物を形成しないような方法を提供する。
【解決手段】（イ）下記式（１）


（式中、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ³は、互いに同一でも異なっていてもよく、それぞれ炭素数１〜３の炭化水素基等を表し、Ａは、炭素数１以上６以下の直鎖状のアルキル鎖等を表す。）で表される、正電荷を有する化合物を含む水溶液のｐＨを４以下に調整する工程、及び（ロ）（イ）で得られる水溶液を脱塩槽５，７に供給して電圧を印加することにより、前記正電荷を有する化合物を陽イオン交換膜Ｃを透過させて濃縮槽６に移動させる工程を含む方法。 （もっと読む）

【課題】 取扱いが簡易で、かつ黒色の潤滑油でもその影響を実質的に受けずに、判定が迅速に可能となる潤滑油の劣化判定具を提供する。
【解決手段】
スキン層と多孔質層を含む多層からなる非対称膜であって、スキン層の分画分子量が１，０００〜２００，０００の限外ろ過膜に、指示薬をプロトン性有機溶媒に溶解した指示薬溶液を保持させていることを特徴とする潤滑油の劣化判定具。 （もっと読む）

【課題】粉末活性炭のみ用いた水処理装置より処理性能が優れた水処理装置を提供する。
【解決手段】本発明は、被処理水の不用物を固液分離する水処理装置であって、前記被処理水と粉末イオン交換樹脂と粉末活性炭とを混合させる混合手段と、前記粉末イオン交換樹脂及び前記粉末活性炭を含む被処理水の固液分離を行う固液分離手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、検体中の目的物質を高効率でハイスループットに分離することが可能なマイクロプレートおよびそのマイクロプレートを用いた分離方法を提供することにある。
【解決手段】本発明のマイクロプレートは、少なくとも１つのウェル部材を有するマイクロプレートであって、前記ウェル部材の側面に側面開口部が形成され、かつ前記側面開口部を覆うように設置されたフィルター部材が配置されていることを特徴とする。また、本発明の分離方法は、上記に記載のマイクロプレートを用いることにより、検体中の目的物質を分離することを特徴とする。 （もっと読む）