【課題】太陽電池に用いられる薄膜シリコンを成膜するためのプラズマＣＶＤ装置から排出される排ガスを排ガス処理システムを小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される水素およびモノシランを含む混合ガスから膜分離によりそれぞれのガスを分離する。第３成分ガス添加部３は、混合ガスに第３成分ガスを添加する。膜分離部５は、水素を選択的に透過させる膜を有し、第３成分ガスが添加された混合ガスからモノシランと水素とを分離する。この構成において、第３成分ガス添加部３は、以下の式に従って第３成分の添加量を変化させる。
ΔＦ ＝ Ｃ_１×ΔＡ、Ｃ_１ ≧ ０．３
ここで、ΔＡは水素回収率の減少幅（％）、ΔＦは、第３成分ガスの添加量の減少幅（Ｌ／ｍｉｎ）、をそれぞれ表す。 （もっと読む）

【課題】従来に比べ高濃度の酸を効率的に回収できる陽イオン交換膜ならびに水素イオン選択透過膜、および酸回収方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線元素分析器を用いて測定された、陽イオン交換膜の厚さ方向における硫黄元素のＸ線強度分布において、陽イオン交換膜の厚さ方向の中央部付近に現れる極小値（Ｓ_ｍｉｎ）と、陽イオン交換膜の一方の表面付近に現れる第１の極大値（Ｓ_ｍａｘ１）および陽イオン交換膜の他方の表面付近に現れる第２の極大値（Ｓ_ｍａｘ２）の平均値（Ｓ_ｍａｘ）との比（Ｓ_ｍｉｎ／Ｓ_ｍａｘ）が、０．２〜０．８である陽イオン交換膜を用いる。 （もっと読む）

【課題】溶着設備の大型化や製造コストの大幅な増大を伴うことなく、濾板に対して濾過膜シートの周縁部分を充分な展張力をもって高強度に溶着保持せしめることを可能となし、負圧や正圧、流体圧や振動等が及ぼされる状況下において優れた耐久性と安定性をもって目的とする濾過機能を発揮し得る、新規な構造の平板状膜エレメントを提供すること。
【解決手段】 熱可塑性合成樹脂からなる濾板２０を用い、濾板２０の表面４３における濾過膜シート３０の重ね合わせ領域の周縁部分に位置して周方向に連続して線状に延びる溶着突条の複数本を並列状に形成すると共に、平面多角形状の濾過膜シート３０の各角部において隣り合う溶着突条間に角部補助突起を形成し、それら溶着突条と角部補助突起を濾過膜シート３０に溶着せしめて固着することにより濾過膜シート３０の周縁における濾板２０への溶着面積を辺部分より角部分において大きくした。 （もっと読む）

【課題】船舶から排出される、あるいは船舶に積み込まれるバラスト水の処理装置において、水中部品を簡易かつ効果的に洗浄できる手段を提供する。
【解決手段】
被処理水としての海水を濾過処理する濾過手段と、濾過された処理水を殺菌処理する殺菌手段とを備えたバラスト水の処理装置であって、濾過手段および／または殺菌手段の構成部品であって被処理水中もしくは処理水中に設置される部品を洗浄する洗浄手段を備え、該洗浄手段は、水蒸気を該部品に直接噴射する蒸気洗浄手段とした。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】処理槽のサイズが能力的に大きすぎる場合に、処理槽内での液循環への悪影響を可及的に回避しつつ、濾過処理能力を低く調節して最適化を図ることで、環境的にも経済的にも一層優れた対応を可能と為し得る、新規な構造の平板状膜エレメントを提供すること、及び、かかる平板状膜エレメントを用いて構成された浸漬型膜分離装置用の膜ユニットを提供すること。
【解決手段】剛性を有する濾板２０の一方の面３２に濾過膜シート３０を重ね合わせて濾過膜シート３０の周縁を濾板２０に固着すると共に、濾過膜シート３０を透過した濾過液を外部に導く濾過液流路４０を濾板２０に形成することにより、濾板２０の一方の面３２側に濾過処理面３４を構成する一方、濾板２０の他方の面３６を露呈させることにより、濾板２０の他方の面３６側に非濾過処理面３８を構成した。 （もっと読む）

【課題】アルコール分離性能が、例えば経時的に低下することなく、高いアルコール分離性能を有するアルコール選択分離膜及びその製造方法並びに該複合膜を用いたアルコール分離方法を提供すること。
【解決手段】アルコール選択吸着性微粒子とアルコール選択透過性高分子との界面に、該アルコール選択吸着性微粒子の表面に結合したアルコール選択透過性線状高分子を配したことを特徴とするアルコール分離膜。 （もっと読む）

【課題】精密ろ過、限外ろ過（ＵＦ）およびナノろ過（ＮＦ）フィルターに適切な膜を提供すること。
【解決手段】かかる膜は、ナノファイバー足場を含んでもよく、任意に不織布ポリマー基材および／またはポリマー被覆、ならびに官能化ナノ充填材を併用してもよい。適切な膜はまた、基材にポリマー被覆および官能化ナノ充填材を含んでもよく、それは不織布膜、ナノファイバー足場またはそれらの両方を含むことができる。この被覆は、約０．３ｎｍから約３００ｎｍに達する直径を有する少なくとも一つのナノ充填材と組み合わせたポリマーを含む。いくつかの実施形態では、この基材は、約１ｎｍから約２０，０００ｎｍの直径を有するファイバーから作られるナノファイバー足場を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】枠体とフィルタ濾材との接着力と、枠体の剛性との両立に適したフィルタユニットを提供する。
【解決手段】プリーツ加工されたフィルタ濾材１と、フィルタ濾材１を支持する枠体２とを備え、枠体２が樹脂により構成されており、フィルタ濾材１の周縁部が枠体２に枠体２の内周側から埋め込まれて固定されたフィルタユニット１００であって、枠体２は、外周側に配置された剛性保持層２１と、内周側に配置された、ポリオレフィン系樹脂に極性基が導入された接着性ポリオレフィン系樹脂を含む接着層２１とを備えている。 （もっと読む）

式（Ｉ）、［式中、ｋ及びｎはそれぞれ独立して１〜１００の数であり、ｍは１〜１００の範囲であり、（Ｘ）は、式（ＩＩ）のブロックであり、かつ（Ｙ）は、式（ＩＩＩ）のブロックであり、（Ａ）は、脂肪族又は芳香族ジイソシアネートリンカーの残基であり、（Ｂ）は、アルカノール末端基を含み、及び場合によりさらに１つ以上の脂肪族エーテル部を含む、直鎖のオリゴシロキサン又はポリシロキサンの残基であり、かつ（Ｃ）は、芳香族オリゴスルホン又はポリスルホンブロックである］オリゴ又はポリウレタン化合物は、有利には、ポリマー組成物中で、例えば膜のための孔付着添加剤として使用されてよく、ｍが０であるオリゴ又はポリウレタン化合物に関して、特に、抗微生物水濾過膜の製造に適している。
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【課題】本発明の課題は、半透膜溶液が裏抜けせず、非塗布面同士の接着性に優れ、半透膜と半透膜支持体間の接着性に優れた半透膜支持体を提供することにある。
【解決手段】熱圧処理が施された繊維基材からなり、半透膜塗布面と非塗布面とを有する半透膜支持体において、半透膜塗布面を鏡面ロールにて、非塗布面を微粗面ロールにて、熱圧処理が施されていることを特徴とする半透膜支持体。通気性が０．４〜３．５ｃｃ／ｃｍ^２／ｓｅｃであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】より容易に組み付けることのできるイオン交換膜、イオン交換体、イオン交換ユニット、イオン交換装置および当該イオン交換装置を用いた水処理装置を得る。
【解決手段】少なくとも表面にイオン交換基を有するイオン交換繊維２３ａ，２４ａを不織布状に積層することで、イオン交換機能を有するとともに、水に対して難膨潤性であるイオン交換膜２３，２４を形成した。 （もっと読む）

【課題】耐水性、耐酸性、耐アルカリ性、及びイオン吸着能に優れ、親水性が高く、濾過寿命が長く、透過流量に優れた結晶性ポリマー微孔性膜、及び該結晶性ポリマー微孔性膜を効率良く製造することができる結晶性ポリマー微孔性膜の製造方法、並びに該結晶性ポリマー微孔性膜を用いた濾過用フィルタの提供。
【解決手段】非対称孔構造を有する結晶性ポリマーからなるフィルムの露出表面の少なくとも一部が、架橋剤と架橋されてなる多価アミンで被覆されている結晶性ポリマー微孔性膜である。 （もっと読む）

【課題】
塩水を逆浸透膜処理する水処理装置のアルカリ液注入部において、塩水とアルカリ液の接触による析出を防止する。
【解決手段】
塩水を逆浸透膜処理する水処理装置であって、高圧ポンプへ至る前のアルカリ液注入点において塩水にアルカリ液を注入するアルカリ液注入手段を有し、かつ、アルカリ液注入手段が、（ａ）一端がアルカリ液送液装置に結合し、他端がアルカリ液注入点において塩水供給管路に結合されたアルカリ液注入管路、（ｂ）一端が淡水送液装置に結合し、他端が淡水注入点においてアルカリ液注入管路に結合された淡水注入管路、（ｃ）アルカリ液注入管路上であって、かつ、淡水注入点の上流に設けられたアルカリ液注入弁、（ｄ）淡水注入管路上に設けられた淡水注入弁、を含む水処理装置。 （もっと読む）

【課題】水処理プロセスにおいて、水回収率が高く、逆浸透膜の化学的劣化を防止し、効果的にＭＦ膜またはＵＦ膜モジュールを洗浄する方法、および造水装置を提供する。
【解決手段】塩分を含有する原水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュール４で膜ろ過して前処理膜ろ過水を得る膜ろ過工程Ａと、該前処理膜ろ過水を逆浸透膜モジュール８で膜ろ過して逆浸透膜ろ過水と逆浸透膜濃縮水とを得る膜ろ過工程Ｂとからなる水処理プロセスにおいて、膜ろ過工程Ａで用いる精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールを洗浄する膜モジュールの洗浄方法であって、逆浸透膜濃縮水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールの逆圧洗浄水として使用するとともに、アルカリ剤を添加した逆浸透膜ろ過水を精密ろ過膜モジュールまたは限外ろ過膜モジュールの逆圧洗浄水として使用する。 （もっと読む）

(i)少なくとも２個のアクリルアミド基を含む架橋剤２．５〜５０重量％と、(ii)エチレン性不飽和基と陽イオン基とを含む硬化性イオン化合物１２〜６５重量％と、(iii)溶媒１０〜７０重量％と、(iv)フリーラジカル開始剤０〜１０重量％と、(v)リチウム塩及び/又はカルシウム塩とを含む硬化性組成物である。かかる組成物は、イオン交換膜を製造するのに有用である。 （もっと読む）

本発明は、ε−カプロラクタム、硫酸アンモニウム、カプロラクタム製造プロセスからの１種または複数種の有機不純物を含む１種または複数種の他の不純物、および任意選択により硫酸アンモニウム以外の塩を含有する水溶液を膜プロセスによって処理し、それによって濃縮水および透過水が得られる方法であって、その方法で使用される膜が、範囲１００〜１０００ｇ／モルの分画分子量を有する、ポリエーテルスルホン膜、スルホン化ポリエーテルスルホン膜、ポリエステル膜、ポリスルホン膜、芳香族ポリアミド膜、ポリビニルアルコール膜、ポリピペラジン膜、酢酸セルロース膜、酸化チタン膜、酸化ジルコニウム膜および酸化アルミニウム膜の群から選択され：水溶液中のカプロラクタムの６０重量％を超える量が、膜を通って透過水側へと通過し、精製カプロラクタム含有透過水ストリームが得られ；有機不純物の少なくとも５０重量％が濃縮溶液に保持される、方法に関する。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜を使用した水処理システム等に用いられる前処理装置及び前処理方法であって、大きな設置面積を必要としない、凝集剤の添加を必要とせずに前処理による十分な濁質除去を達成できる、かつ単位膜面積当たりの処理流量（流束）が高い水処理システムを与えることができる前処理装置及び前処理方法を提供する。
【解決手段】１μｍ以上、１０μｍ未満の平均孔径を有する濾過膜を用いた第１の膜濾過手段と精密濾過膜又は限外濾過膜を用いた第２の膜濾過手段を有することを特徴とする水処理システム用の前処理装置、及びこの前処理装置により行うことができる前処理方法。 （もっと読む）

(i)少なくとも２個のアクリルアミド基を含む架橋剤２．５〜５０重量％と、(ii)エチレン性不飽和基と陰イオン基とを含む硬化性イオン化合物２０〜６５重量％と、(iii)溶媒１５〜４５重量％と、(iv)フリーラジカル開始剤０〜１０重量％とを含む硬化性組成物であって、該組成物は０．８〜１２のｐＨを有する。かかる組成物は、イオン交換膜を製造するのに有用である。 （もっと読む）

【課題】 散気管からの気泡によるバブリング作用を中空糸膜の全体に効果的に作用させることによって膜面や膜間に付着した懸濁成分を効率よく剥離除去することができ、しかも、コンパクトで中空糸膜を高密度に設置できる濾過装置を提供する。
【解決手段】懸濁成分を含む被処理液１２を浸漬型吸引濾過用又は外圧濾過用の膜モジュール１４に透過させて固液分離を行う濾過装置１１において、前記膜モジュール１４を、軸線を鉛直方向に向けた多数本の中空糸膜１５の上下両端をそれぞれ相互に密接させた膜集束体１６で形成するとともに、該膜集束体１６下端の中空糸膜密接部の直上に、前記多数本の中空糸膜１５の間を縫うようにして軸線方向の長さが異なる複数の散気管２１を交互に挿入する。 （もっと読む）