【課題】簡素な構成で容器の重心位置の変動により発生する振動を小さく抑えることができる攪拌・脱泡装置を提供する。
【解決手段】被処理物を収容する容器４を備え、該容器４は、公転又は自転あるいはそれら両方ができるように構成された攪拌脱泡装置であって、前記容器４の公転による遠心力によって重心が移動するバランス調整装置Ｖを備え、前記バランス調整装置Ｖは、移動体２５を有し、該移動体２５は、径方向内側に付勢され、前記容器４の公転による遠心力によって該付勢力に抗して外方へ移動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】投影システムの最終要素と基板の間の空間を充填する液体を有する装置の描画性能を向上させること。
【解決手段】リソグラフィ装置及びデバイス製造方法が、投影レンズの最終要素と基板の間の描画領域の少なくとも一部を充填する、液溜め１３の中に閉じ込められた大きな屈折率の液体を利用する。溶解した大気ガスに由来するか又は液体に曝された装置要素からのガス放出に由来する、液体中で発生する気泡が、露光に干渉して基板上の焼き付け欠陥を招かないように検出されかつ除去される。検出は液体中の超音波減衰の周波数依存を測定することによって実行可能であり、気泡除去は、液体の脱気及び加圧を行い、液体を大気から隔離し、低表面張力の液体を使用し、描画領域を通過する連続的な液流を供給し、さらに超音波定常波形の節を移相することによって実施可能である。 （もっと読む）

【課題】海水に吸収された硫黄分を効率良く処理することができる排煙脱硫装置及び排ガス処理方法を提供する。
【解決手段】本実施例に係る排煙脱硫装置１０Ａは、装置本体１３内で排ガス１１中のＳＯ₂を海水１２と接触させて洗浄する排煙脱硫装置において、装置本体１３内に配設され、ＡＣＦからなるＡＣＦ層で形成されたＡＣＦ槽２２と、排ガス１１を海水１２と接触させて排ガス１１中のＳＯ₂を吸収した硫黄分吸収液１９中に空気２３を供給する空気供給部２４と、装置本体１３内に供給される排ガス１１中のＳＯ₂の濃度を検知する硫黄分濃度検出部２５と、を有する。硫黄分吸収液１９中にＡＣＦ槽２２を浸漬し、ＡＣＦの触媒作用を利用することで、硫黄分吸収液１９中の亜硫酸イオンの酸化を促進し、亜硫酸イオンを効率良く処理する。 （もっと読む）

【課題】脱硫器下流のポンプの安定制御を可能とし、効率よく液体燃料を送液することのできる送液システム及びそれを備える燃料電池システムを提供する。
【解決手段】ポンプ１０５の上流側において、気液分離部１０３に液体燃料を通過させることにより、冷却機構１０１で冷却され、減圧機構１０２で減圧されることで溶解度が低下した液体燃料中の気泡を取り除き、液体燃料から気体を分離する。更に、気液分離部１０３を通過した液体燃料を気液分離槽１０４に貯留することによって、液体燃料中に含まれていた気体を液体中で上昇させて気液分離槽１０４の上部側に溜め、液体を底部側に溜める。このように、液体燃料を気液分離することで、気体が十分に除去された液体燃料をポンプ１０５に供給することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】横型のストリッピング装置における気相中に分散した処理液の上流側への落下を抑制して、ストリッピング効率を向上させることである。
【解決手段】処理液２と蒸気３が向流する横型の処理槽１内に、処理液２の流れる方向に向けた水平な回転軸６を配設して、回転軸６の軸方向に複数の掻上げ板７を取り付け、各掻上げ板７の処理液２が流れる上流側の端に、掻上げ板７で掻上げられて蒸気３の気相中に分散する処理液２の上流側への移動を規制する遮蔽板８を設けることにより、気相中に分散した処理液２の上流側への落下を抑制して、ストリッピング効率を向上させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】高粘度の塗布液を用いた場合であっても、支持体に均一で良好な塗膜を形成することができ、気泡痕による品質故障の発生を低減することができる超音波脱泡方法を提供する。
【解決手段】塗布液を支持体に塗布する工程、前記塗布液および支持体を加熱する工程、および超音波振動子を支持体側から作用させて塗布液に超音波を照射する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】フロート式の排気弁（40）を有する微細気泡発生装置（1）の気液分離器において、該排気弁（40）内の液面高さの変化に応じてフロート（43）をより確実に動作させて、排気弁（40）としての機能を確保できるような構成を得る。
【解決手段】タンク（11）内を導入空間部（15）と気液分離部（19）とに区画する仕切壁（13）の上方に連通路（18）が形成され、該連通路（18）に向かって開口する排気筒（21）の上側にフロート式の排気弁（40）が接続されている構成において、該排気筒（21）の下開口部（22）の下方で且つ上記仕切壁（13）の上方に、下方から見て該排気筒（21）の下開口部（22）を覆うように、上記排気弁（40）のケーシング（41）内に流入する空気溶解水の流速分布を均一化させるための整流部材（25）を設ける。 （もっと読む）

【課題】 管理型最終処分場から浸出する水（浸出水）を水処理施設で水処理を行い、処理水とともに生成する不純物を含む液体（濃縮液）の処理。
【解決手段】 浸出水の浄化方法であって、該浸出水のｐＨをアルカリ側に調整するとともに、ケイ酸含有無機物を混和することにより、該浸出水中に含まれる金属類を沈殿除去することを特徴とする浸出液の浄化方法および装置。ケイ酸含有無機物が、フライアッシュである。 （もっと読む）

【課題】多量な回収有機溶剤中から酸成分、水分を安定に除去することができる装置を備え、該装置から分離排出される排水を河川等環境中に排出せずに有効利用することができる有機溶剤含有ガス処理システムを提供する。
【解決手段】吸着材14を充填した吸着槽13を備えた有機溶剤回収処理装置10に被処理ガスを導入し、有機溶剤を吸着処理して有機溶剤濃度が減少した処理済みガスを排出し吸着処理が完了した後に、前記有機溶剤回収処理装置の吸着槽へスチームを導入し吸着材から有機溶剤を脱着し、発生する有機溶剤含有水蒸気を凝縮、分離する溶剤分離装置20に導入する有機溶剤回収システムと、酸成分除去剤を充填させた吸着槽を有する溶剤精製装置40に、該有機溶剤回収処理装置によって分離した回収有機溶剤を導入し、有機溶剤中の酸成分の濃度が減少した処理済み有機溶剤を排出する酸成分除去用溶剤精製装置23を備えた有機溶剤含有ガス処理システム。 （もっと読む）

【課題】混入気泡を含む樹脂の脱気方法及びシステムを提供。
【解決手段】回転可能な遠心分離チャンバ２００に、樹脂を入れ、遠心分離チャンバの回転により樹脂中の混入気泡の量を低減するシステムで、遠心分離チャンバに接続した真空源を備え、真空源が遠心チャンバを真空にして混入気泡の低減を促進する装置、遠心分離チャンバと熱的に連通し、樹脂を加熱したり、冷却したりできる熱処理装置、脱気操作の進行を追跡するモニタリング装置を備えたシステムである。 （もっと読む）

【課題】又、本発明は、アンモニアストリッピングを利用して、エネルギーガスの精製廃水に含まれるアンモニア及びシアンを低コストで効率良く処理できる廃水処理技術を提供する。
【解決手段】処理装置１は、エネルギーガス精製廃水を塩基性に調整するｐＨ調整手段９と、廃水を雰囲気と気液接触させて廃水に含まれるアンモニアを雰囲気へ放出させる気液接触手段F1,F2と、雰囲気にオゾンを供給して廃水に含まれるシアンを酸化分解するオゾン供給装置13とを有する。気液接触において、廃水と雰囲気とが互いに逆方向に移動することにより、廃水においてはアンモニア放出より遅れて酸化分解が進行する。 （もっと読む）

【課題】原子力施設から発生した使用済みイオン交換樹脂を容易に分離処理することのできる使用済みイオン交換樹脂の処理方法及び処理システムを提供する。
【解決手段】原子力施設から発生する使用済みイオン交換樹脂を分解し、又は前記使用済みイオン交換樹脂から核種を溶離した廃液を処理する使用済みイオン交換樹脂の処理方法において、前記廃液に含まれるハロゲンを分離するハロゲン除去工程と、ハロゲン除去工程の後に前記廃液に含まれるアンモニアを分離するアンモニア除去工程と、前記アンモニア除去工程の後に前記廃液に含まれる遷移金属を分離する遷移金属除去工程と、前記遷移金属除去工程の後に前記廃液に含まれるアルカリ金属を分離するアルカリ金属除去工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】既存の脱窒装置において行われるスケールの除去方法であって、多額の費用をかけずに行うことができるスケールの除去方法を提供すること。
【解決手段】アンモニウム塩を含有するアンモニウム塩含有原水からアンモニウム塩を除去するための脱窒装置において、前記脱窒装置に付着した塩基性の付着物を除去するための脱窒装置の付着物除去方法であって、前記浄水排出経路２３、前記脱窒中継槽−放散塔連結経路２０、及び前記放散塔１１に残留する処理水を排出する第一の工程と、前記浄水排出経路２３、前記脱窒中継槽−放散塔連結経路２０、及び前記放散塔１１にアンモニウム塩含有原水を充填して放置する第二の工程と、を含む脱窒装置の付着物除去方法。 （もっと読む）

流体から気泡を除去する容器が提供される。容器は、流体を受け取るための流体入口部と、容器から流体中の気泡を除去するための気泡出口部とを含む。１つ又はそれ以上の超音波変換器は、受け取られた流体を通る１つ又はそれ以上の超音波ビームを伝播して、流体中の気泡を気泡出口部の方向に移動する。流体出口部は、１つ又はそれ以上の超音波ビームが当てられた流体を排出する。導管構造は、１つ又はそれ以上の超音波ビームを容器の第１方向を通って気泡出口部に向かって伝播する。界面は、第１方向とほぼ反対方向への１つ又はそれ以上の超音波ビームの反射を防止する。
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【課題】本発明は、簡単な構造によって良好なメンテナンス性を有しながら、確実な消泡効果を発揮する脱泡装置を提供するものである。
【解決手段】液体を導入し大きな気泡を除去するための液体導入槽と、超音波振動によって脱泡処理を行う脱泡処理槽を少なくとも有し、液体導入槽には、液体を導入する液体導入配管と、液体を脱泡処理槽に移送する脱泡処理槽移送配管と、余分な液体を導入先に戻す第１のリターン配管が接続されており、脱泡処理槽には、前記脱泡処理槽移送配管と、脱泡処理の完了した液体を排出する排出配管と、余分な液体を導入先に戻す第２のリターン配管が接続されており、第１のリターン配管は、液体導入槽の上部に開口しており、脱泡処理槽移送配管は、第１のリターン配管より低位置に開口しており、第２のリターン配管は、脱泡処理槽の上部に開口しており、排出配管は、脱泡処理槽の下部に開口していることを特徴とする脱泡装置である。 （もっと読む）

【課題】攪拌脱泡装置を停止する際に、材料が新たな空気を巻き込むこと、及び、材料から新たな気泡が発生することを防止することが可能な攪拌脱泡方法、及び攪拌脱泡装置を提供することにある。
【解決手段】攪拌脱泡装置の停止方法は、材料Ｍが収容された容器１００を、容器内を減圧した状態で自転及び公転させることが可能に構成された攪拌脱泡装置１を停止する方法であって、容器の自転／公転角速度比を低下させながら、容器の自転角速度を低下させる自転角速度低下ステップ（ステップＳ１０４）と、自転角速度低下ステップに遅れて開始される、容器内を大気圧に開放する大気開放ステップ（ステップＳ１０６）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】容器を正確に自転駆動させることが可能で、かつ、駆動時の騒音の発生を抑えることが可能な攪拌脱泡装置を提供する。
【解決手段】攪拌脱泡装置１は、材料Ｍが収納された収納容器１００を公転させながら自転させることによって、材料を攪拌脱泡する装置であって、公転軸線Ｌ１を中心に公転すること、及び、公転軸線と交差する自転軸線Ｌ２を中心に自転することが可能に構成された容器ホルダ３０と、容器ホルダと一体的に挙動する自転プーリー６２と、公転軸線と平行に延びる仮想の直線を中心に回転可能に構成されている自転力付与プーリー６４と、ベルト７０と、を含む。自転プーリー及び自転力付与プーリーの外周には、複数の凸部（凸部６１及び凸部６３）が形成されている。ベルトには、複数の凹部７２が形成されている。そして、ベルトは、凹部が凸部と噛み合いながら、自転プーリーと自転力付与プーリーとの間で動力を伝達する。 （もっと読む）

【課題】微細気泡供給装置の気液分離器において、気液分離能力を低下させることなく小型化を図る。
【解決手段】微細気泡供給装置の気液分離器は、下部に気体溶解器からの溶解液を導入する導入口（14）と溶解液を導出する導出口（15）とが形成される一方、上部に排気弁（18）が取り付けられた圧力容器（11）と、圧力容器（11）内に設けられ、圧力容器（11）の底面から該圧力容器（11）内の上部に亘って形成され、圧力容器（11）内を導入口（14）側の導入空間（S1）と導出口（15）側の導出空間（S2）とに仕切る仕切部材（17）とを備えている。仕切部材（17）は、上方に向かうにしたがって、導入空間（S1）の横断面積が大きくなるように傾斜している。 （もっと読む）

【課題】気体透過膜モジュールの気体透過膜の劣化をモニターし、適切な時期に膜の交換を行うことができるようにする。
【解決手段】原水を水室５に通水し、気体室６内を真空ポンプ９によって減圧することにより脱気水が連続的に製造される。温度センサ１１の検出温度と大気温度との差ΔＴが所定値以上となる周期の長短から、気体透過膜の劣化を検知する。例えば単位時間（例えば１日）の間において該温度差ΔＴが所定値以上となる回数から、膜劣化を検知する。 （もっと読む）

【課題】材料の温度調整を可能にする、自転公転方式の攪拌脱泡装置を提供する。
【解決手段】攪拌脱泡装置１は、回転体２０の所定の位置に自転可能に取り付けられた、回転体の回転に伴って公転する容器ホルダ３０と、容器ホルダ３０に保持されて容器ホルダの回転に伴って回転する、材料Ｍが収納された収納容器１００とを含む。容器ホルダには、収納容器の側面を露出させる開口４０が形成されている。 （もっと読む）