【課題】揮発性有機化合物を含む汚染土壌を効率よく浄化することができる揮発性有機化合物汚染土壌の浄化システムを提供すること。
【解決手段】浄化システム１は、超音波洗浄分解装置３と固液分離装置４とを備える。超音波洗浄分解装置３は、ＶＯＣを含む汚染土壌Ｅ１と洗浄水Ｗ１との混合物を入れる処理槽３１を有し、その混合物中に２０ｋＨｚの超音波１０を照射して汚染土壌Ｅ１を洗浄することにより、汚染土壌Ｅ１側から洗浄水Ｗ１側にＶＯＣを抽出する。固液分離装置４は、超音波洗浄分解装置から排出される洗浄水Ｗ１に含まれる土壌粒子と洗浄水Ｗ１とを分離し、分離した洗浄水Ｗ１を処理槽３１に戻す。超音波洗浄分解装置３は、固液分離装置４から処理槽３１に戻された洗浄水Ｗ１中に５００ｋＨｚの超音波１０を照射することにより、ＶＯＣを分解して無害化する。 （もっと読む）

【課題】 光触媒活性が高く適応性の豊富な光触媒複合体及びこれを用いた浄水装置を提供する。
【解決手段】 光触媒複合体１は、光触媒を含有する光触媒膜５と、光触媒膜に隣接して設けられ前記光触媒が機能する波長の光に対して透過性を有する導電性膜３と、導電性膜に接続されるリード線９とを有し、導電性膜の厚さは、リード線から離れるに従って減少する。光透過性支持体７によって支持されている。このような構成によって光触媒の活性を長期間に亘って高く維持し、効率よく水の浄化処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 処理槽の高さとランニングコストとを抑制しつつ、処理液の脱気度合を高めることのできる脱気装置を実現する。
【解決手段】 処理槽２内へ被処理液を噴出するノズル３と前記処理槽２内の真空吸引手段４とを備えた脱気装置１において、前記処理槽２の軸方向の中央部に前記ノズル３を噴出方向が上向きになるように配設する。 （もっと読む）

【課題】被処理水中の過酸化水素を迅速かつ確実に除去することができ、特に半導体、液晶などの電子材料を扱う産業において用いられる超純水製造装置における超純水中の過酸化水素の除去に適した過酸化水素の除去方法及び除去装置を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む被処理水を、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた過酸化水素分解触媒に接触させることを特徴とする水中の過酸化水素の除去方法、及び、平均粒子径１〜５０ｎｍである白金族の金属ナノコロイド粒子を担体に担持させた触媒を充填した過酸化水素分解装置と、過酸化水素を含む被処理水を該装置に供給する給水手段と、該触媒と接触した水を該装置から排出する排水手段とを有することを特徴とする過酸化水素の除去装置。 （もっと読む）

【課題】 廃棄物以外の材料を使用しなくともよく、処理方法が簡単であり、処理コストが低く、環境への悪影響が少ない塗料の処理方法を提供すること。
【解決手段】 塗装ブース１における塗装室３にて、塗装作業を行うと、塗料の粒子は、水槽５の水に蓄積される。水槽５から取り出した水と、残った塗料との混合液に、木屑、古紙を加え、その混合液を高速で攪拌した。水槽５から取り出した水に含まれていた塗料の粒子と、残りの塗料とが絡み合って水と分離し易い粗い混合粒子となった。網を用いて、上記の粗い混合粒子と、木屑、古紙とをろ過した。ろ過物を乾燥させると、上記の粗い粒は樹脂の塊となった。この樹脂の塊と、木屑、古紙との混合物を焼却した。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、超純水を製造するため、特に、液浸リソグラフィ法にて使用されるシステム及び方法に関する。本発明の１つの実施の形態において、液浸リソグラフィ装置にて使用される超純水を均一に提供することのできる自己密閉型のユースポイントキャビネットが提供される。本発明は、また、液浸リソグラフィ装置に対して所定の屈折率を有する材料を提供するシステム及び方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】レジスト上にナノサイズのバブル（気泡）や凹凸を発生させることのない液浸露光装置用超純水の製造方法及び製造装置を提供すること。
【解決手段】 超純水製造装置で処理され半導体製造工程へ洗浄水として供給される超純水を分取し脱気膜を通過させて溶存窒素ガス量が３ｍｇ／Ｌ以下、溶存酸素ガス量が５０μｇ／Ｌ以下になるまで脱気する。脱気した超純水をイオン交換装置、限外濾過膜に通過させて超純水中のイオン成分と微粒子を除去する。 （もっと読む）

【課題】 液体が侵入する恐れのある膜を用いることなしに気液分離フィルタ部を形成する。
【解決手段】気液分離チップの気液分離フィルタ部３はシリコン基板１に異方性ドライエッチングにより形成された多数の針状突起物を有するブラックシリコンと称されるものである。シリコン基板１上には接着性フッ素樹脂５によってガラス基板４が接合されて流路６が形成されている。気液分離フィルタ部３と流路６はともに紙面垂直方向に延びている。気液分離フィルタ部３で液相と気相との界面でガス移動が行なわれる。 （もっと読む）

【課題】炭酸イオンを含有するホウ素含有水から、希土類元素水酸化物を用いホウ素の吸着反応と脱着反応を利用してホウ素を除去する浄化処理方法において、該ホウ素含有水から予め炭酸イオンを経済的かつ効率的に除去し、これにより効率的にホウ素を除去するホウ素含有水の浄化処理方法を提供する。
【解決手段】炭酸イオンを含有するホウ素含有水から、吸着剤として希土類元素水酸化物粉末を用いホウ素の吸着反応と脱着反応を利用してホウ素を除去するホウ素含有水の浄化処理方法であって、前記ホウ素含有水に、カルシウム化合物を添加して炭酸カルシウムを生成させ、これを分離除去した後、続いて、希土類元素水酸化物と接触させホウ素を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】膜モジュール２０ｂをアスピレータ２０ｃにて駆動する隔膜式脱気装置を、有隔膜電解槽を有する電解水生成装置に採用する場合、当該電解水生成装置に不可欠に存在する水をアスピレータ２０ｃの駆動源に採用して、当該隔膜式脱気装置の採用に起因する装置の大型化を抑制し、かつ、アスピレータの駆動源である液体の無駄な消費を解消する。
【解決手段】当該隔膜式脱気装置を構成する膜モジュール２０ｂを原水の両導入管路１１ａ，１１ｂの一方に配設し、かつ、アスピレータ２０ｃを原水の両導入管路１１ａ，１１ｂの他方または電解生成水の両導出管路１２ａ，１２ｂのいずれかに配設して、アスピレータ２０ｃと膜モジュール２０ｂを互いに接続する。 （もっと読む）

【課題】被電解水を有隔膜電解槽の各電解室へ導入する各導入管路の一方または両方に配設した原水処理装置の不要時の負荷を解消して、その使用の寿命を向上させる。
【解決手段】電解水生成装置を構成する両導入管路１２ａ，１２ｂの途中に配設されて被電解水の原水を処理する原水処理装置１５ａ，１５ｂと、導入管路１２ａ，１２ｂに配設されて原水処理装置１５ａ，１５ｂを迂回するバイパス管路１６ａ，１６ｂと、原水の導入を原水処理装置１５ａ，１５ｂ側とバイパス管路１６ａ，１６ｂ側に選択的に切替える切替弁（１７ａ，１７ｂ），（１７ｃ，１７ｄ）とを備え、電解運転時、原水処理が不要な方の原水処理装置１ａ，１５ｂの不要な負荷を防止する。 （もっと読む）

【課題】薬品添加量および汚泥発生量を削減可能な、フェントン処理を用いた廃水の処理装置および方法を提供する。
【解決手段】過酸化水素供給手段と、第一鉄イオン供給手段と、ｐH調整手段とを備え、反応器内でヒドロキシラジカルを発生させる化学的酸化装置を有する廃水の処理装置であって、前記化学的酸化装置における第一鉄イオン供給手段が、第二鉄イオン供給手段と、供給された第二鉄イオンを光触媒に接触させることにより第一鉄イオンを発生させる手段と、光照射手段と、を有することを特徴とする廃水の処理装置、および処理方法。 （もっと読む）

【課題】 簡単な装置と操作により、過酸化水素の発生を防止し、効率よくＵＶ処理を行って有機物を分解除去し、高純度の超純水を製造することができる超純水製造方法および装置を提供する。
【解決の手段】 １次純水製造システムＡにおいて製造された１次純水を、２次純水製造システム（サブシステム）Ｂにおいて、サブタンク１１からＵＶ処理装置１３へ供給する際、水素添加装置１２から過酸化水素の発生を抑制する量の水素を添加し、ＵＶ処理装置１３においてＵＶを照射し、一次純水中に含まれる有機物を分解してイオン化し、アニオン交換器１４および混床式交換器１５で有機物が分解して生成するアニオンや、一次純水から持ち込まれる他のアニオンおよびカチオンを除去して超純水を製造する。 （もっと読む）

【課題】 発生汚泥量の低減効果と、酸素溶解効率の向上を、反応タンク外部に大きな設備設置スペースを設けることなく同時に達成する。
【解決手段】 上記課題は、活性汚泥を用いた廃水処理装置において、散気装置を備えた反応タンク内に超音波発生手段を設置したことを特徴とする廃水処理装置
によって達成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄等に使用した後や、余剰のオゾン水またはオゾン水を含む混合溶液を効率良く、確実にオゾンを分解することができるオゾン水分解装置を提供する。
【解決手段】オゾン水分解装置であって、少なくとも、オゾン水またはオゾン水を含む混合溶液である被分解オゾン水を受け入れる受けタンクと、該受けタンクとつながり、受けタンクから送液される前記被分解オゾン水を気液分離する気液分離手段を有するオゾン気液分離槽と、該オゾン気液分離槽とつながり、前記オゾン気液分離槽で分離されたオゾンガスを所定濃度以下に分解するオゾンガス分解槽と、前記オゾン気液分離槽とつながり、前記オゾン気液分離槽で分離された被分解オゾン水を所定濃度以下に分解するオゾン水分解槽を具備するオゾン水分解装置。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、浄水のためのシステムおよび方法を提供する。システムは、予熱器（３０）、脱気装置（４０）、蒸発室（５０）、デミスタ（７０）、および制御システム（１２０）を有し、制御システム（１２０）は、浄化システム（１０）が、使用者の介入または洗浄を必要とせずに、繰り返されるサイクルを通して動作することを可能にする。システムは、汚染された水試料から、微生物的汚染物質、放射性汚染物質、金属、塩、揮発性有機物、不揮発性有機物を含めた、複数の汚染物質を除去することができる。
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【課題】 専用の容器を必要とせず、反応所要エネルギーが低く、温和な条件で、かつ高分解率で液中ダイオキシン類を分解することが可能な、液中ダイオキシン類の分解処理方法を提供すること。
【解決手段】 容器内に充填又は保存された液中に含まれるダイオキシン類を分解する分解処理方法であって、前記ダイオキシン類を含む被処理液に水素供与体及びアルカリ化合物を添加して混合液を調製した後、該混合液の一部を取り出し、それをマイクロ波装置内に設置した触媒充填装置に流通させながらマイクロ波を照射した後、前記容器内に戻すことにより、液中のダイオキシン類を分解することを特徴とする液中ダイオキシン類の分解処理方法。 （もっと読む）

【課題】復水器ホットウェルの貯水容量が脱気器貯水タンクの貯水容量と比較して小さい場合は、脱気器水位制御の不調時に復水器ホットウェル水位が大きく低下し、最悪の場合復水ポンプの必要水量を確保できずポンプ停止に至ることが懸念される。
【解決手段】復水器ホットウェル６の水位を検出する復水器水位検出手段１７と、脱気器１０の水位を検出する脱気器水位検出手段１９と、脱気器水位検出手段１９の検出信号１９ａと脱気器の水位設定値との偏差に基づいて補給水流量調節弁１６の弁開度２２ａを算出する演算手段２０〜２２と、復水器水位検出手段１７の検出信号１７ａに基づいて補給水流量調節弁１６の下限開度を求める下限開度演算手段２４と、演算手段の弁開度２２ａが下限開度演算手段２４の下限開度２４ａ以下のとき当該下限開度２４ａを補給水流量調節弁１６の弁開度指令として出力する弁下限開度切替手段２３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】含水率の高い化学物質等を安全かつ経済的に処理し無害化し得る装置及び方法を提供する。
【解決手段】水を含む被処理物質Ｍ１を収容する被処理物質容器１と、被処理物質容器１の中の圧力を減圧し、元の圧力まで戻す又は加圧することが可能な真空ポンプ５及び弁４を備えた減圧沸騰式キャビテーション型化学物質無害化装置１０１であって、被処理物質Ｍ１の中の水を減圧沸騰により蒸発させて水蒸気の気泡Ｂ１を発生させ、気泡Ｂ１が瞬間的に縮小又はつぶれる際の作用により被処理物質Ｍ１を分解して無害化する。 （もっと読む）

【課題】含水率の高い化学物質等を安全かつ経済的に処理し無害化し得る装置及び方法を提供する。
【解決手段】被処理水が循環する閉ループ管路の中間Ｐ４Ａに攪拌式キャビテーション発生機構が配置される攪拌式キャビテーション型化学物質無害化装置であって、攪拌式キャビテーション発生機構には、回転軸４１により回転し回転軸方向に間隙を配して設置され水流通過孔４２ａ、４３ａを有する２つの回転板４２、４３の間に回転軸と平行となるようにワイヤー状部材４４が複数設置され、回転軸４１の回転に伴ってワイヤー状部材４４が被処理水を攪拌して水蒸気の気泡を発生させ、気泡が瞬間的に縮小又はつぶれる際の作用により被処理物質を分解して無害化する。 （もっと読む）