【課題】基板が搭載される印刷台の一部を乗降及び回転可能にすることによって配向液の滴が網状に滴下されるようにし、配向液の滴間空間を縮少することができ、配向膜が平坦化される時間を短縮するインクジェット配向膜印刷装置を提供する。
【解決手段】インクジェット配向膜印刷装置は、基板上に配向液を噴射する複数のインクジェットヘッド、及び基板が搭載される印刷台を含み、印刷台の一部は乗降及び回転可能であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板を処理するための方法であって、複数の注入口の一部から基板の表面に流体を塗布する工程と、流体が表面に塗布されている最中に流体を基板の表面から除去する工程とを備える方法が提供される。流体を塗布する工程および流体を除去する工程は、基板の表面上に流体メニスカス部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 エッチング液または現像液等の処理液を、処理の対象となる被処理材料に均一に噴霧する。
【解決手段】 隣接するヘッダパイプ１ａ〜１ｇ間において隣接するエッチングノズル３の間の距離をＰ３、エッチングノズル３のオシレーションの中心位置とエッチングがなされるプリント配線板２との間の距離をＬ３、最大オシレーション角度をθ３としたときに、下記の式を満たすように最大オシレーション角度θ３を調整する。
（Ｐ３／２）／Ｌ３＜ｔａｎθ３ （もっと読む）

【課題】 スループットを低下させることなく、良好な現像処理を実行することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 静止保持された基板に現像液吐出ノズルから供給される現像液を液盛りする（Ｓ１０１）。次に、現像液が液盛りされた状態で、所定時間、静止保持することにより、現像反応を進行させる（Ｓ１０２）。続いて、現像反応を停止させるために純水吐出ノズルから純水を供給するとともに（Ｓ１０３）、基板の表面に液盛りされた現像液の一部を残留させつつ基板を回転させる（Ｓ１０４）。これにより、溶解生成物を基板の表面に残留する現像液に拡散しやすい状態にしてレジストの溶解を促進する。そして、リンス処理（Ｓ１０５）、および乾燥処理（Ｓ１０６）を実行して現像処理を終了する。 （もっと読む）

【課題】スペーサ粒子の吐出安定性の高い印刷装置を提供する。
【解決手段】
ヘッド本体２０は内部フィルター３０によって吐出室２１と供給室２２に分割されており、噴出口３２からスペーサ分散液６７を吐出する印刷状態では、供給室２２内部でスペーサ分散液を流し、吐出室２１内部でスペーサ分散液を流さないようにすれば、噴出口３２からの吐出はスペーサ分散液の流れにより生じる圧力の影響を受け難い。逆に、吐出を行わない待機状態では、吐出室２１と供給室２２の両方でスペーサ分散液を流すようにすれば、スペーサ分散液６７中のスペーサ粒子６９の沈降が起こらず、内部フィルター３０や噴出口３２の目詰まりが置き難い。 （もっと読む）

【課題】 乾燥むらを発生させることなく基板の表面を効果的に洗浄することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 スピンチャック５０１の上方には遮断用流体ノズル６０が設けられている。遮断用流体ノズル６０は、筒型の遮断用ノズル本体部６０ｂを有しており、遮断用ノズル本体部６０ｂ内において二流体ノズル５０が設けられている。遮断用ノズル本体部６０ｂと二流体ノズル５０との間に遮断用流体通過部６０ａが形成されている。二流体ノズル５０により生成された混合流体が基板Ｗ上に供給される際に、この混合流体を取り囲むように窒素ガスを遮断用流体ノズル６０によって基板Ｗ上に供給する。それにより、窒素ガスが供給される領域を外気の酸素から遮断する。 （もっと読む）

【課題】 燃料電池を構成する各層のうち、所望の層において成分の分布を良好に変化させることができる燃料電池用膜電極接合体の製造方法を提供する。
【解決手段】 燃料電池用膜電極接合体の製造方法は、カソード下地層およびアノード下地層の少なくとも一方の層を形成するための領域を複数のゾーンに区分けする区分け工程と、区分けした各々のゾーンに塗布する塗装材料を、カソード下地層およびアノード下地層の少なくとも一方の層の成分の分布に合わせて選定する選定工程と、選定した塗装材料の特性に基づいて、隣接したゾーンに塗布した塗布材料が混合することを防ぐように、各々のゾーンに塗布材料を塗布する順番を決める順番決定工程と、決定した塗布順番にしたがって、各々のゾーンに塗布材料を塗布する塗布工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】被塗物の内部空間の壁面上に粉粒体を効率よく均一に塗布することができる粉粒体塗布装置及び方法を提供する。
【解決手段】流動槽１の下部室に加圧エアを供給すると共に放電用電極に高電圧電源１７から高電圧を印加すると、放電用電極から被塗物６に向けてコロナ放電が発生し、フラックスはコロナ放電により生じるイオンによって荷電されつつ流動化され、流動槽１内の上部では荷電されたフラックスが浮遊状態となる。吸引フード３内の空気が吸引され、これにより被塗物６の内部空間１１を通して流動槽１内で浮遊しているフラックスが内部空間１１の一端開口部から他端開口部に向かって吸引され、被塗物の内部空間内に空間電荷を形成することにより、被塗物６の内部空間１１の壁面上に荷電されたフラックスが付着される。 （もっと読む）

【課題】 超微少量の液滴を精度良く吐出することができる液滴吐出方法および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液体１２をノズル１１の先端から切れない状態で微少量吐出し、ノズル１１の下に位置するプレート５０に対して吐出された液体１２を接触させ、その状態でプレート５０を水平移動させることにより吐出された液体１２をプレート側に引っ張ってノズル１１から切り離しプレート５０上に液滴１３として滴下することを繰り返し、プレート５０に対して液滴１３を所定の間隔で滴下する。 （もっと読む）

【課題】処理溶液の圧力を測定するための圧力センサを含むスピンコーティングシステム、特にその装置を提供する。
【解決手段】基板上に処理溶液をスピンコーティング処理するのに有効な方法及び装置を開示する。この方法及び装置は、処理溶液の圧力、即ち、分配器から処理溶液の開始または終了に関係した圧力を検出するための圧力センサ218を含む。好ましい方法及び装置は、分配ライン215におけるフォトレジスト、現像液、水、溶媒、または洗浄剤の圧力を測定する。また、この方法及び装置は、割り込み動作を含むパラレル制御方法を含む処理制御システムを包含する。
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【課題】 環境や塗布液の性状等に応じて合理的に捨て打ちを行う。
【解決手段】 ディスペンサヘッドにより基板上に塗布液を塗布するとともに、それまでの待機期間中に、塗布液の捨て打ちを実行する塗布装置。この装置は、制御装置３０を有し、この制御装置３０は、その機能構成としてヘッドを駆動制御する主制御部３１と、塗布液の液量を画像認識に基づき計測する計測部３３と、計測値とその目標値とを比較し、その計測値が目標値でない場合に、当該計測値と目標値との差に基づき捨て打ちの実行条件を変更する実行条件変更部３４とを有する。主制御部３１は、実行条件として設定される初期条件に従って捨て打ち動作を実行するとともに、実行条件変更部３４により実行条件が変更された場合にはそれ以降の捨て打ち動作を変更後の実行条件に従って実行すべくヘッドを駆動制御する。 （もっと読む）

本発明は、親水性ゲルの調製に有用な架橋性組成物を提供し、ペンダントの親水性ポリ（アルキレンオキシド）基、ペンダントの光開始剤基、および任意に重合性官能基を有するオリゴマーから調製され、多官能性ポリ（アルキレンオキシド）で架橋される。 （もっと読む）

基板処理装置は、基板保持機構（１４）の回転速度に応じて変化する保持力で基板（Ｗ）を保持する基板保持機構（１４）と、基板保持機構（１４）を回転させて基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）を回転させる基板回転機構（２２）と、基板保持機構（１４）により保持された基板（Ｗ）の任意の位置に処理液を供給する処理液供給機構（１２，１５，１９）とを備えている。
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本発明は、基材表面上に接着性のリンを含む酸をベースとする被覆層を提供する方法を提供するものであり、その方法はリン酸、有機リン酸、ホスホン酸、およびそれらの混合物からなる基から選ばれる酸を含む被覆組成物を運搬するキャリアーと、前記酸化物表面とを、前記組成物中の酸分子の少なくとも一部分が酸化物表面と結合するのに十分な温度、十分な時間で、接触させることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 高い洗浄性や溶解性を保持しつつ、気泡等の欠陥を発生させること無く、ドウ状洗剤組成物からなる薄層を、均一な厚さ及び幅で形成し得るシート状洗濯用品の製造方法を提供すること。
【解決手段】 界面活性剤、アルカリ剤及び金属イオン捕捉剤をそれぞれ一種以上含有するドウ状洗剤組成物を、以下の式（１）で表されるその塑性流動指数ＢＦの値が６以下である状態下に、薄層に形成するシート状洗濯用品の製造方法。
【数１】
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