【課題】高品質の刃物を低コストで再現性よく得る。
【解決手段】
この刃物硬化装置は、容器１００中の水（流体）２０中に固定された固定台１１と、超短時間パルスの極高尖頭値の電磁界を持つパルスレーザー光を発するレーザー光源１２を具備する。固定台１１には、硬化処理される刃物３０が機械的に固定される。レーザー光源１２は超短時間パルスの極高尖頭値の電磁界をもつパルスレーザー光１２１を発し、刃先面３２を照射する。このパルスレーザー光１２１の照射によって、刃先面３２の近傍において光学的及び熱的に圧縮応力を生成し、刃物３０全体、あるいはこのパルスレーザー光１２１に照射される任意の箇所において、圧縮残留応力、高硬度、高剛性等の特性を付与することができる。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線を被加工物の所定位置に確実に照射することができるとともに、レーザー光線を照射することによって発生するデブリの影響を防止することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段とを具備するレーザー加工装置であって、チャックテーブルに保持された被加工物を囲繞する環状の側壁と環状の側壁の上面を閉塞する透明部材によって形成された天壁とを有するとともに水供給孔と水排出孔を備えた水収容カバーと、水収容カバーをチャックテーブルから離隔した待機位置とチャックテーブルに保持された被加工物を包囲する作用位置に選択的に位置付ける水収容カバー位置付け手段と、水供給孔に接続された水供給手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）及び繊維強化金属（ＦＲＭ）の切断、穴あけ、溶接、曲げ加工、表面処理などのレーザ加工方法の提供。
【解決手段】材料の加熱・溶融・蒸発が可能かつ、材料内部への熱伝達はほとんどなく、熱歪みも生じにくい。１０ピコ秒から１００ナノ秒のパルス幅を持った超短パルスで、１ｍＪから５００Ｊのパルスエネルギーを持った固体レーザを用いて二重レーザ加工、カスケード加工を行うことで、さらに良好な加工面が得られる。 （もっと読む）

【課題】レーザビームを移動させる駆動装置に過剰な負荷をかけず十分高速な衝撃硬化処理ができるようにする。
【解決手段】液体に接した被処理部材４１の表面の処理領域に、第一方向に照射スポットを移動しながら液体を通してパルス状のレーザビーム５１をレーザ照射装置から被処理部材４１に断続的に照射し、第一方向に所定の距離を移動したら、第一方向に直交する第二方向に照射スポット４５を所定間隔移動し、その後に第一方向と逆の方向に照射スポットを移動しながらレーザビーム５１を照射し、第一方向の方向軸上でレーザビームが２回照射される間に照射スポット４５が移動する距離をｄｘ、所定間隔をｄｙとして、ｄｘ＜ｄｙとなるように被処理部材とレーザビーム５１を相対的に移動させることによって被処理部材４１の表面を衝撃硬化処理する。 （もっと読む）

【課題】所望の形状に基板を変形でき且つ固定できる基板固定装置を提供する。
【解決手段】吸引孔１２が形成された基板支持面１５を覆うように載置板２を取り付けるとともに、吸引孔１２が連通する減圧室１１ａ〜１１ｃを負圧にする真空ポンプＰを設ける。そして、調整弁Ｖａ〜Ｖｃの開度を調整することによって、減圧室１１ａ〜１１ｃ内を異なる負圧とし、吸引孔１２の吸引力を部分的に異なるものとして、基板を変形させた状態で載置板２上に吸着固定する。ここで、所望形状に滑らかに基板を変形させる観点からは、前記弾性多孔質部材の厚みは０．１ｍｍ〜５ｍｍの範囲であるのが好ましい。また、前記弾性多孔質部材の弾性率は１０〜２５Ｎ／ｍｍ^２の範囲であるのが好ましい。さらに、前記弾性多孔質部材の気孔率は２０〜５０％の範囲であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】レーザビームによってスクライブラインを形成する装置において、冷却ノズルに供給される冷却媒体の漏れを抑える。
【解決手段】この装置は、冷却ノズル２０と、モータ３０と、筒状の回転部材３１と、４つの軸受３２〜３５と、配管５１〜５５と、軸受用配管継ぎ手４３〜４６と、を備えている。冷却ノズル２０はガラス基板に冷却媒体を吐出して冷却スポットを形成する。モータ３０は冷却ノズル２０を旋回軸の回りに旋回させる。筒状の回転部材３１は、先端に冷却ノズル２０が支持されるとともに、モータ３０によって回転駆動され、内部をレーザビームが通過する。各軸受３２〜３５は内輪が回転部材３１に固定されるとともに外輪が自由に回転し得る。配管５１〜５５は冷却媒体を冷却ノズル２０に導く。軸受用配管継ぎ手４３〜４６は、軸受３２〜３５の外輪に装着され、配管が連結される。 （もっと読む）

【課題】曲線を含む加工ラインに沿ってスクライブラインを形成する装置において、冷却のための機構の移動制御を簡単にする。
【解決手段】この装置は、テーブル１と、レーザビーム形成機構２と、ガルバノスキャナ３と、冷却機構４と、各コントローラ５，７，８と、を備えている。レーザビーム形成機構２はレーザビームを形成し、ガルバノスキャナ３はガラス基板上にビームスポットを形成する。冷却機構４は、冷却ノズル２０から冷却媒体を吐出し、固定された位置に冷却スポットを形成する。そして、各コントローラによって、冷却スポットが常にビームスポットの終端部に位置するようにテーブル１が移動制御され、ビームスポットが加工ラインに沿って走査される。このとき、レーザビームと冷却ノズル２０とが干渉するのを避けるために、冷却ノズル２０が退避位置に移動させられる。 （もっと読む）

【課題】レーザを用いて互いに交差する２方向で脆性材料基板を割断する場合に、交点部分における欠けの発生を抑制する。
【解決手段】レーザビームＬＢの照射と、冷却ノズル３７からの冷却媒体の吹き付けによって、垂直クラック５３ａからなる第１スクライブライン５２ａと、垂直クラック５３ｂからなる第２スクライブライン５２ｂとを形成する。そして第２スクライブライン５２ｂにレーザビームＬＢを再度照射して垂直クラック５３ｂを伸展させて、第２スクライブライン５２ｂで基板５０を割断する。次いで、第１スクライブライン５２ａにレーザビームＬＢを再度照射して垂直クラック５３ａを伸展させて、第１スクライブライン５２ａで基板５０を割断する。このとき第１スクライブライン５２ａに再度照射するレーザビームＬＢの照射スポットの照射幅の最大幅を１．０ｍｍ以下とする。 （もっと読む）

【課題】加工時に被加工物を移動速度と同期的に揺動させながら加工することで、加工精度を向上させた、機構部品における微細溝の加工方法および機構部品における微細溝の加工装置を提供する。
【解決手段】機構部品１０に対し、微細溝１６を形成するための機構部品１０における微細溝１６の加工方法であって、微細溝１６を形成すべき部位にレーザ加工を施す際に、機構部品１０を移動速度と同期的に揺動させながら加工を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】前加工として下穴加工と、仕上げ加工を組み合わせ実行する加工法を採用にした、機構部品における微細孔の加工方法を提供する。
【解決手段】微細孔１８を形成すべき部位に、形成方向をガイドすべき下穴Ｐｈの加工を、予め、ウォータジェットレーザ加工装置１によって施し、下穴加工に沿ってドリル加工などの仕上げ加工を施すようにした。 （もっと読む）

ガラス基板またはガラス類似の基板（２６）に極めて小さな細孔（５４）を形成する方法は、例えば、パッチクランプ用途に便利であり、前記基板の前記表面を通ってレーザー誘起されたアブレーションのエネルギーを内包するための裏当てプレート（３２）を利用する。この裏当てプレート（３２）は、エネルギー吸収材（３４）、好ましくは水またはアセトンとともに、基板との界面をなしつつ、細孔の出口開口（アパーチャ）（５３）に対する火造りを提供する裏面衝撃波を提供し、それにより、細胞膜との改善された封止シールを形成する。
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【課題】レーザー加工により生じた粉塵等の切屑を、より確実に除去することができるレーザー加工装置及びそのレーザー加工装置を用いたレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】レーザー加工装置１は、レーザーにより被加工物Ｗを加工するレーザー加工装置１であって、被加工物Ｗに向かって照射するレーザーを出射するレーザー発振器１８と、ノズル１４を有し、ノズル１４から噴流液体Ｆを噴射する液体噴流手段６と、被加工物Ｗを設置する設置台９と、ノズル１４周囲の空間５２を吸引するヘッド側吸引手段４６と、設置台９に設けられ、設置台９表面近傍の空間を裏面側から吸引する設置台側吸引手段４８と、ヘッド側吸引手段４６及び設置台側吸引手段４８の吸引力を制御する吸引力制御装置６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を加熱および冷却により切断する際の切断終端部分において未切断部が発生しないガラス基板切断方法を提供すること。
【解決手段】ガラス基板の表面の切断予定ラインの始端に切断開始溝および該切断予定ラインの終端に切断終了溝を形成する溝形成工程と、前記ガラス基板の表面を走査しながら該ガラス基板を局部的に加熱および冷却することにより、前記ガラス基板の厚み方向に生じた亀裂が前記切断予定ラインの始端から終端にかけて延びた亀裂ラインを形成する亀裂ライン形成工程とを備えている。 （もっと読む）

マシンヘッドにおける損傷に対する保護に寄与するための工程であって、マシンヘッドは、透明な液体ジェットにガイドされたレーザー光線ＬＢを、工作物の処理のために光軸に沿ってノズル３を利用して発射する工程が特許請求されている。工程は以下のステップを含んでいる。第１に、穴のない鋼プレート（保護プレート２０）が、液体ウォータージェット（ＷＪ）の発射前に保護チャンバ（１０）の前面に固定される。その後、透明な液体ジェット（ＷＪ）にガイドされたレーザー光線（ＬＢ）が発射され、穴のない鋼のプレートブランクに衝突し、穴のない鋼のプレートブランクに通過穴を加工する。通過穴（２３）は、透明な液体ジェット（ＷＪ）にガイドされたレーザー光線（ＬＢ）の断面にほぼ一致したサイズを有する。通過穴（２３）を備えた鋼プレート（２０）は光軸上に正確に配置された通過穴（２３）を備えた保護プレートを提供する。したがって、さらなる位置合わせは必要ない。さらに、透明な液体ジェット（ＷＪ）にガイドされたレーザー光線（ＬＢ）を利用して工作物を処理するための装置が特許請求されている。装置は、液体ジェット（ＷＪ）にガイドされたレーザー光線（ＬＢ）を生成するための連結ユニット（ＣＵ）を備えたレーザーヘッドと、連結ユニット（ＣＵ）の開口部（５）に組み付けられた保護チャンバ（１０）と、保護チャンバ（１０）に交換可能に固定され且つ第１チャンバ（１０）の出口（１５）から離間して組み付けられた保護プレート（２０）と、を具備し、保護プレート（２０）は透明な液体ジェット（ＷＪ）にガイドされたレーザー光線（ＬＢ）の通過のための穴（２３）を備え、処理された工作物から飛散した破片から第１チャンバ（１０）の流出口（１５）を保護している。
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【課題】レーザ加工時のデブリによる悪影響を防止するためのレーザ加工前の保護膜の形成工程およびレーザ加工後の保護膜の除去工程に要する時間を短縮して、品質を確保しながら製造速度の高速化を図る。
【解決手段】レーザ加工前にウェーハ１の表面に水溶性樹脂Ｐを塗布して保護膜Ｐ１を形成する際、塗布した樹脂Ｐに温風を吹き付けて樹脂Ｐの硬化を速める。また、レーザ加工後に保護膜Ｐ１を除去して洗浄する際には、洗浄水を温水に加熱して保護膜Ｐ１に供給し除去作用を促進させ、保護膜Ｐ１の除去後には、ウェーハ１に温風を吹き付けて乾燥を速める。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ加工装置１は、レーザ光Ｌを発振するレーザ発振器２と、高圧の液体を供給する液体供給手段１４と、上記液体を液柱Ｗにして噴射するとともに該液柱Ｗにレーザ光を導光して被加工物Ｐに照射する加工ヘッド３と、上記加工ヘッド３と被加工物Ｐとを相対移動させる移動手段としての加工テーブル５とを備えている。
上記レーザ発振器２が発振したレーザ光Ｌは、上記ビームホモジナイザ７を透過してから、上記噴射ノズル１２より噴射される液柱Ｗに導光され、該液柱Ｗを導光路として上記被加工物Ｐに照射されるようになっている。
【効果】 光起電用パネルを構成する薄膜にレーザ光を照射しても、発電に寄与しない熱影響部分の形成される範囲を小さくするとともに、分割溝の幅を狭くすることが可能である。 （もっと読む）

【課題】加工箇所を効率よく冷却することができ、加工時の熱による悪影響を十分に抑制できるようにした熱切断加工用の冷却媒体供給ヘッドを提供する。
【解決手段】熱切断加工ヘッド１２からパイプＷの周壁に向けて外側から熱切断ビームを照射しパイプを切断するときに、パイプの内部に挿入されてパイプの内部に冷却媒体を供給する熱切断加工用の冷却媒体供給ヘッド１００であって、パイプの内周形状に対応した断面形状を有するヘッド本体１００Ａと、そのヘッド本体の外周部に設けられた冷却媒体の噴射ノズル１２０と、ヘッド本体の内部に形成され各噴射ノズルに冷却媒体を供給する内部通路１１０と、内部通路の入口に設けられ、外部の冷却媒体供給管に対してヘッド本体を回転自在に接続するロータリジョイントと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】従来のレーザ応用の貫通孔形成方法が持っていた多くの問題点を有せず、かつ、これら従来技術では得られなかった、加工対象物の形状によらず、加工対象物のレーザ光の入射側の径と出射側の径とが等しい貫通孔の形成、また、形成される貫通孔の径が、加工対象物のレーザ光の出射側が入射側よりも大きくなる、いわゆる逆テーパ状の貫通孔の形成など、形成される貫通孔の形状を容易に制御できる新規な貫通孔形成方法を提供する。
【解決手段】加工対象物に貫通孔を形成するレーザアブレーション加工法による貫通孔形成方法において、レーザ光に対して加工対象物の出射面に高分子物質のコロイド溶液、高分子物質の溶液、または、ポリオールを接触させた状態で前記レーザ光を照射する。 （もっと読む）

【課題】ブレークダンウンを抑制し、レーザピーニングの効果を得るために必要なエネルギ密度範囲となるレーザ光の光軸上の処理可能範囲を拡大する。
【解決手段】レーザ光源１と、このレーザ光源から出射されるレーザ光を伝送するレーザ光伝送手段１９と、固体材料に対するレーザ光の照射位置を任意に移動させる照射位置移動手段５と、照射されるレーザ光を集光する集光手段１２と、レーザ光を固体材料の表面に投影した際のレーザ投影面積を任意に調整する投影面積調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】タービン動翼とディスクを結合する構造の１つであるフォーク形構造は、翼フォークとディスクフォークを結合するピン孔やピンが腐食環境かつ大きい遠心力が作用する環境におかれ、疲労強度と耐ＳＣＣの向上が必要であることが分かった。
【解決手段】タービン動翼に設けられた翼フォーク２とディスクに設けられたディスクフォーク４を貫通するように設けられたピン孔６の内面に応力改善処理を施し、圧縮残留応力領域を形成する。ピン孔６はリーマ加工によって形成されるが、リーマ加工によってピン孔６内面に残留する引張応力を除去して圧縮残留応力７を形成することにより、蒸気タービンの疲労強度、耐ＳＣＣ性を高めることが可能である。 （もっと読む）