【課題】 加工能率が著しく高く、加工時間の短縮、加工エネルギーの節減を図ることができるレーザによる岩石の加工技術を提供する。
【解決手段】 液体１０中に浸漬して岩石１１の表面に液体１０を介在させ、液体１０中を通って、岩石１１の表面に波長１．２μｍ以上の液体への吸収能の高いレーザ１３を照射し、液体１０中に誘起気泡を発生させ、レーザ１３照射部のキーホール２１内に発生するドロスを飛散させると共に、レーザ照射位置を照射面に沿って連続的に移動させ、レーザ非照射部２２が熱応力により割裂破壊するようにレーザ１３の照射条件及び移動速度を、岩石の加工部からの情報に基いて制御し、レーザ１３を矢印１４で示すように移動させ、周縁２３、底部２４で示すような大口径の孔を効率的に形成する。 （もっと読む）

【課題】システム構成が簡素で運用が容易となるように、１台の機構に既存の小型のセンサを少数組込み、形状計測、点検、補修をオペレータが効率的に遠隔操縦できる遠隔点検補修システムを提供する。
【解決手段】補修施工用のレーザ発射部４ａを有し、施工対象の構造物を監視して補修箇所を検知するテレビカメラ１７が取付けられたヘッド部４と、構造物の３次元形状を計測する形状計測センサ６と、形状計測センサ６及びヘッド部４の駆動機構１と、形状計測センサ６からの信号により構造物の補修箇所の３次元形状位置データを得て、ヘッド部４の施工経路に基づいた駆動機構１の駆動データを生成し、駆動機構１を遠隔で制御する制御装置１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 フェムト秒レーザーによる細管加工装置および加工方法を提供する。
【解決手段】フェムト秒レーザー装置、回転軸を有するチャック、およびビームスプリッタと反射鏡を有する光学系を具備するレーザー加工装置であって、被加工物をチャックの回転軸上に設置すると共に、１つのフェムト秒レーザー光を光学系によって複数に分割し、分割した各フェムト秒レーザー光を反射鏡によって被加工物に照射し、チャックを回転させながら回転軸に平行な方向に移動させることによって、加工を行うレーザー加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される液体ビームに沿って照射されるレーザー光線が屈折することを防止したレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、チャックテーブル加工送りする加工送り手段とを具備し、レーザー光線照射手段がレーザー光線発振手段とレーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を集光する加工ヘッドを具備しているレーザー加工装置であって、加工ヘッドは集光レンズによって集光された該レーザー光線の光軸に沿って液体を噴出する噴射ノズルを備えた液柱形成手段と、噴射ノズルから噴射される液柱を囲繞する筒状のガスカーテンを形成するガスカーテン形成手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 スラリーを使用せずに所望のスライス加工を施すことのできる半導体インゴットのスライス方法を提供することである。
【解決手段】 半導体インゴットをウエーハ状にスライスする半導体インゴットのスライス方法であって、ガラス板の一端を半導体インゴットを近傍に配置して該ガラス板を該半導体インゴットに対して略垂直に保持し、該ガラス板の他端から該ガラス板内に加工用レーザービームを導入し、該ガラス板の前記一端から出射するレーザービームによって該半導体インゴットを切削し、該切削によって生じた溝の底面近傍に該ガラス板の前記一端が配置されるように該ガラス板を移動する、各工程を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スラリーを使用せずに所望のスライス加工を施すことのできる半導体インゴットのスライス方法を提供することである。
【解決手段】 半導体インゴットをウエーハ状にスライスする半導体インゴットのスライス方法であって、一端に加工用レーザービームを入射する複数の入射窓を有し、該一端と対向する他端に開口を有する箱体の該他端を半導体インゴット近傍に配置して該箱体を該半導体インゴットに対して略垂直に保持し、箱体内を水で充填し、前記複数の入射窓を介して該箱体内の水中に加工用レーザービームを導入し、該箱体の前記開口から出射するレーザービームによって該半導体インゴットを切削し、該切削によって生じた溝の底面近傍に該箱体の前記他端が配置されるように該箱体を移動する、各工程を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザー加工ヘッドの構成を複雑化することなく、確実にレーザーのアライメント調整を行うことができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】本発明は、液体噴流により導かれたレーザーにより被加工物を加工するレーザー加工装置（１）であって、液体を噴射して液柱を形成するジェットノズル（１８）と、液柱内にレーザーを集光させるレーザー光学系（４）と、レーザーの焦点をジェットノズルの入口開口部に対する所定の目標焦点位置に位置合わせできるように、ジェットノズルとレーザーの焦点を相対的に移動させる相対移動機構（１２）と、ジェットノズルから噴射された液柱及びレーザーを受ける透光板（２０）と、この透光板を透過したレーザーが投射されるように配置され、投射されたレーザーの像に基づいて、レーザーの焦点を位置合わせするための受光部材（２４）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】液体の噴流中に導光させたレーザ光を被加工物に照射して加工を行うレーザ加工機において、そのレーザ光出力を直接計測する。
【解決手段】噴流４を遮蔽しかつレーザ光５を透過し得る遮蔽材１を設けてその後背に計測手段２を配し、レーザ光５を遮蔽材１越しに計測手段２に入射させて計測するようにした。これにより、例えば射出ノズル３３の劣化に伴うレーザビーム６の透過率の変動等の、レーザ光出力の問題点を事前に察知することが可能となる。 （もっと読む）

【解決手段】 被加工物としての結晶性材料２を透過するレーザ光Ｌを発振するレーザ発振器４を備え、上記レーザ光Ｌを結晶性材料の割断予定線に沿って照射して、照射部分を割断可能な状態に改質するようにした結晶性材料の割断方法と装置に関する。本発明においては、液体を上記結晶性材料に向けて液柱Ｗ状に噴射する加工ヘッド６と、この加工ヘッドに高圧の液体を供給する液体供給手段７と、上記レーザ発振器から発振されたレーザ光を上記液柱内に導入するレーザ導入手段１０とを備えており、液柱状で噴射された液体を結晶性材料の割断予定線に沿って相対移動させながら、レーザ光を上記液柱状に噴射した液体内に通過させて結晶性材料まで案内させて照射させることにより、照射部分を割断可能な状態に改質することができる。
【効果】 高精度な焦点合わせを必要とせずに、サファイアなどの結晶性材料を割断可能な状態に改質することができる。 （もっと読む）

【課題】噴射された液柱に対する外乱を十分に抑制することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】本発明は、液体噴流により導かれたレーザーにより被加工物を加工するレーザー加工装置（１）であって、液体を噴射して液柱を形成するジェットノズル（１８）と、液柱内にレーザーを集光させるレーザー光学系（４）と、ジェットノズルから噴射された液柱を、その基端から取り囲むように配置され、被加工物に向けてアシストガスを噴射するアシストガスノズル（２０）と、このアシストガスノズル内に形成されたアシストガス供給口（２０ｃ）に、アシストガスを流入させるアシストガス供給通路と、アシストガスノズルのアシストガス供給口よりも下流側に設けられ、アシストガス供給口から流入したアシストガスの流れを整流する、ほぼ円筒形の内壁面によって構成される長細いアシストガス整流部（２０ｂ）と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ加工装置１は、噴射孔１２ａを有する加工ヘッド６と、当該加工ヘッド６に高圧の液体を供給する液体供給手段５と、レーザ光Ｌを発振するレーザ発振器４とを備え、上記液体供給手段５から供給された液体を噴射孔１２ａから液柱Ｗにして被加工物２に噴射させると共に、上記液柱Ｗにレーザ光Ｌを導光する。
また、上記加工ヘッド６の下部に上記液柱Ｗが通過する貫通孔１７ａを穿設した多孔質体からなる吸引部材１７を設け、負圧発生手段２０によって吸引部材１７の下面に付着した液体を吸引する。
【効果】 噴射ノズルより噴射される液柱を安定して形成することができる。 （もっと読む）

【課題】加工深度測量機能を有する切削複合加工機を提供する。
【解決手段】切削複合加工機１０は、カッター２０、供給手段３０、第一レーザー光波４０を生じる第一放射器４２、第二レーザー光波５０を生じる第二放射器５２及び感知制御手段６０を備える。第一レーザー光波４０と第二レーザー光波５０は、それぞれカッター２０の固定端２２から通路２６に沿って切削端２４に向かって進んで工作対象物１４に照射することが可能である。感知制御手段６０は、第二レーザー光波５０が工作対象物１４に照射した後反射されてくる光波を受け取ることが可能である。カッター２０と第一レーザー光波４０によって切削を行い、第二レーザー光波５０によって加工深度を測量する。これにより、加工速度が比較的速いだけでなく、加工精度が比較的正確となる。 （もっと読む）

【課題】レーザーと流体を同時に使用して加工を行う噴気式レーザー加工装置を提供する。
【解決手段】噴気式レーザー加工装置１０は、気体供給手段１１、流体供給手段２１、回収手段３１、作動手段４１及びレーザー手段５１を備える。作動手段４１は外管４２を有し、内部に気体連結手段１１に連結される一つの第一通路４２１、流体供給手段２１に連結される少なくとも一つの第二通路４２２、回収手段３１に連結される少なくとも一つの第三通路４２３を有する。レーザー手段５１はレーザービームＢを生成し、レーザービームＢが第一通路４２１を貫通して工作対象物９９に照射することによりレーザー加工を行う。気体供給手段１１から供給される気体は第一通路４２１の底端から流出し、流体供給手段２１から供給される流体は第二通路４２２の底端から流出し、回収手段３１は第三通路４２３の底端から気体と流体を回収する。 （もっと読む）

レーザ罫書き中に基板（５０）の表面を乾燥させるための装置である。レーザ罫書きプロセス中、細い冷却用液体ジェット（１００）がレーザビーム（２００）を追跡し、部分的な亀裂を生成して伝搬させる。罫書きの精度とプロセス全体の安定性は、このビームと流体流の位置合わせの確度に依存する。一態様において、この装置は、少なくとも１つのノズル開口（３２０）と連通している少なくとも１つの内部チャンバ（３１０）を備えた導管（３００）を有する。導管は、加圧ガスをチャンバ内に導入するため加圧ガス源と連通されるように構成されている。加圧ガスは、基板表面から冷却用流体を除去するために用いられるガスカーテン（１１０）を形成する。
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【課題】ＬＩＢＷＥ法の特徴を活かしながら、貫通穴を精度良く量産できる透明材料加工法及び透明材料加工装置を提供することである。
【解決手段】レーザに対して励起反応性のある流動性物質１４を透明材料１５の裏面に接触させ、透明材料１５の表面からレーザを照射して透明材料１５の裏面から加工する透明材料加工装置１０において、レーザをリング状に整形する整形手段１９を備え、リング状のレーザを透明材料１５に照射して貫通加工する構成とすることにより、レーザ形状を外周部分とする貫通穴を得る。 （もっと読む）

【課題】プラスチックのブロー成形体１の被加工壁２にレーザ光３を照射して穴開けする場合に、被加工壁２を貫通したレーザ光３が対向壁６に照射されて、部分的に加熱され、対向壁６の表面にメラ（対向壁６の表面に形成されたふくらみやへこみ）が発生して見栄えが悪くなるのを防止する。
【解決手段】ブロー成形体１の内部に被加工壁２を上にして水７を張り、水７の層で対向壁６の内面を覆った後、被加工壁２の上方からレーザ光３を照射して穴開けする。レーザ光３は水に吸収されやすい比較的大きい波長のものを用いる。５は抜きかすであり、レーザ光照射後除去される。 （もっと読む）

【解決手段】 レーザ加工装置は、被加工物２に向けて噴射ノズルから液体を液柱Ｗにして噴射するとともに、該液柱を導光路として該液柱内にレーザ光Ｌを導入して上記被加工物に照射し、被加工物に所要の加工を施すようになっている。上記レーザ光Ｌの光軸は、噴射ノズルの中心線Ｏからノズル直径の１／５〜１／１０の範囲Ｄ内でずらして設定されている。
【効果】 レーザ光Ｌの光軸を上述した範囲Ｄ内でずらして設定することにより、レーザ光のエネルギー損失を可及的に防止しながら、液柱内で均質な強度分布が得られる。これにより、被加工物に溝を形成する作業や被加工物に被覆された皮膜を除去するような作業を効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】微細化したときの固形物粒子の大きさを均一に近づけ、連続的に大量の微粒化が可能であって、被照射有機物の熱変性を防止し、一様なレーザー光出力が得られない場合においても、安定した品質を維持できる液中アブレーションシステムを提供すること。
【解決手段】固形物を液中に分散させた分散液を保持する流路のレーザー光照射部に、レーザー光源１０２より発振されたレーザー光１０８を照射して、水中の固形物を微細化させる液中レーザーアブレーションシステム１００において、レーザー光の照射部１に、該レーザー光照射部の中心部２から螺旋状又は同心円状に分散液が流下する構造のレーザーアブレーション用流路５を設けた。 （もっと読む）

【課題】微細化したときの固形物粒子の大きさを均一に近づけると共に、連続的に大量の微粒化した固形物粒子を製造でき、且つ微細化以前の各粒子に対して、均一な回数レーザー光を照射することにより、微細化が不十分な粒子の生成すること、若しくは想定回数以上のレーザー光照射により、被照射有機物が熱変性することを防止する液中レーザーアブレーションシステムを提供すること。
【解決手段】固形物を液中に分散させた分散液を保持する流路のレーザー光照射部１０１ａに、レーザー光源１０２より発振したレーザー光を照射させて、分散液中の固形物を微細化する液中レーザーアブレーションシステム１００において、レーザー光照射部１０１ａにおける流路１の一部に遮光部材２を有するレーザーアブレーション用流路を備えた。 （もっと読む）

【課題】ノズルから噴出される液体ビームに沿って照射されるレーザー光線が屈折することを防止したレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、チャックテーブル加工送りする加工送り手段とを具備し、レーザー光線照射手段がレーザー光線発振手段と、レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線を集光する加工ヘッドと、加工ヘッドに液体を供給する液体供給手段とを具備しているレーザー加工装置であって、加工ヘッドは、液体供給手段から供給された液体をレーザー光線の光軸に沿って噴出する噴射ノズルと、噴射ノズルの下側に配設されノズルから噴射される液柱を通過させる通路を形成し下端に噴出口を有する筒体を備えた気体流通筒とを具備しており、気体流通筒の通路に気体を供給する気体供給手段を備えている。 （もっと読む）