【課題】塗布針と基板との接触圧力の軽減が可能な塗布装置および本塗布装置を搭載した欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、支持部材との距離が一定となるように設定された基板と塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗料の使用量を低減し、且つ、経時的に反応性が低下する塗料であっても反応性を経時的に低下させることなく対象物に塗布することができる塗布装置及びその塗布装置を用いた塗布方法を提供すること。
【解決手段】塗料が塗布される板状の基材１８を安定保持する載置台１３と、載置台１３上の基材１８の上方位置に配置された塗布ユニット２０と、送液手段と、移動機構とを有する塗布装置１０である。塗布ユニット２０は、下方へ突出する突出部２８の先端面２８ｂに設けられた塗料供給口３２と、塗料含浸用布４４を先端面２８ｂに当接させた状態で張架支持すると共に、張架方向へ移動可能な支持・移動手段と、を有する。これにより、塗料供給口３２から流出した後に速やかに塗料を基材１８に塗布することができるので、経時的に基材１８との反応性が低下する塗料であっても反応性を経時的に低下させることなく塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】速い塗布速度で膜の形成を行うことのできる成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の成膜方法は、基板をステージに載置する工程と、前記ステージに対して一定の間隙を維持して配置され前記ステージに対して相対的に水平に移動可能でかつ表面に膜形成材料を含むインクが供給されるアプリケータと、前記基板との間に前記インクによるメニスカスを形成する工程と、前記メニスカスを形成した状態で前記基板と前記アプリケータとの間に電圧を印加する工程と、前記メニスカスが形成されかつ前記電圧が印加された状態で前記アプリケータを前記ステージに対して相対的に移動させて前記基板上に前記インクの膜を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被吸入流動体の選択的な吸引排出により吸入排出量の超微小量化、描画の超精密化、装置の超小型化を図ることができるとともに、描画速度に優れ、生産性の高い液体描画装置を提供する。
【解決手段】被吸入流動体１０を吸入排出する吸入排出手段１１と、吸入排出手段１１に被吸入流動体１０を吸入させる吸入駆動部３０と、被吸入流動体１０を貯留する被吸入部２０と、吸入排出手段１１から被吸入流動体１０を排出させる排出駆動部５０と、排出された被吸入流動体１０を被描画媒体６１へ転写する描画部６０と、吸入排出手段１１に当接し回転する複数のローラ４０と、を備え、吸入排出手段１１は、開口部と該開口部に通じる空間を有する吸入排出セル１２が複数配列された無端状のベルト部材であり、複数のローラ４０に掛け渡されて回転し、吸入排出セル１２ごとに、被吸入流動体１０を被吸入部２０において吸入して描画部６０において排出する連続処理が可能である。 （もっと読む）

【課題】 基板を傾斜させて搬送する場合においても、基板の裏面のみに適切に処理液を塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 処理液吐出パイプ３０は、搬送ローラ１０により搬送される基板１００が塗布ローラ２０に到達する前に、基板１００の下方側で、かつ、搬送ローラ１０による基板１００の搬送方向の上流側から、塗布ローラ２０の表面に向けて処理液を吐出する。そして、搬送ローラ１０により搬送される基板１００の後端が塗布ローラ２０に到達する前に、処理液吐出パイプ３０からの処理液の吐出が停止される。 （もっと読む）

【課題】塗布層厚みの均一性が極めて優れており、かつ塗布層の欠陥が抑制された、良好な外観を有する塗布フィルムを塗布開始直後から安定して得る事ができる塗液塗布方法および塗液塗布装置を提供することである。
【解決手段】計量バーの上流側、下流側、両端部および底部に設置されたカバーにより囲われた空間と、該空間に塗液を供給する塗液供給手段を有し、前記空間に満たされた前記塗液を前記計量バーの回転により持ち上げ、フィルムに前記塗液を塗布・計量する塗液塗布方法であって、前記計量バーのフィルム走行方向下流側であって前記フィルムの前記計量バーと同一面側に第２の計量バーを有し、少なくとも塗布開始および／又は終了時に、前記第２の計量バーを前記フィルムに接触させ、前記計量バーのカバーにより囲われた空間への塗液供給を継続しながら、前記計量バーを前記フィルムに接触および／又は離間させることにより、前記フィルムへの塗布を開始および／又は終了させることを特徴とする塗液塗布方法。 （もっと読む）

【課題】長距離にわたり連続的に液体材料を塗布することができる、液体塗布機構、当該液体塗布機構を備える液体塗布装置および液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布機構２５は、液体材料１２を微細領域に塗布する液体塗布機構であって、先端部において液体材料１２を塗布する塗布部１０と、液体保持部１１とを備えている。塗布部１０と液体保持部１１とは、塗布部１０と液体保持部１１との間に液体材料１２を保持可能な液体保持空間が形成され、液体保持空間に保持されるべき液体材料１２が液体保持空間と塗布部１０の先端部との間において連続的に存在可能となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布性能を向上させ、燃料電池の電池性能を向上させることができるペースト塗布装置を提供する
【解決手段】除去部１２５を構成する部分は、塗布ロール１１０の回転中心軸線方向ＣＬから見て、仮想線Ｌ１上、または仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における上流側にのみ設けられている。すなわち、除去部１２５は、当該仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における下流側に迫り出した部分を有さない構造となる。エッジ部１２３に連結されている折返し面１２２は、仮想線Ｌ１上、または仮想線Ｌ１よりも回転方向Ｄ３における上流側に配置されているため、エッジ部１２３で膜厚調整及び表面仕上げされたペースト表面を引っ張ることなく、平滑な状態を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】揮発性溶剤を含む塗布液の塗布において、塗布液の濃度の変動を抑制可能とし、安定した濃度の塗布液をワークに塗布することを可能とする塗布装置、塗布方法および太陽光発電モジュールの製造方法を得ること。
【解決手段】塗布液４を貯留する貯留槽５と、貯留槽５の塗布液４に外縁部の一部を浸漬させて支持され、回転駆動により、外縁部で保持した塗布液４をワークの表面に転写する塗工回転体である第２ローラ２ａと、第２ローラ２ａと対をなし、回転駆動により、外縁部で保持した塗布液４をワークの表面に転写する塗工回転体である第１ローラ１ａと、貯留槽５および塗工回転体を内部に収納するカバー部６と、を有し、揮発性溶剤を含む塗布液の塗布において、カバー部６は、揮発性溶剤の蒸気８を内部に充満させる。 （もっと読む）

【課題】 被塗布物の表面に形成された塗膜の厚みを均一化する。
【解決手段】 内部に固定された状態の被塗布物に塗布される塗布液を貯留し位置が固定された浸漬槽と、前記塗布液を貯留し昇降自在とされた昇降液槽と、両端がそれぞれ前記浸漬槽と前記昇降液槽に連通する液体用連通管とを備え、前記液体用連通管を介して前記浸漬槽と前記昇降液槽の間で前記塗布液の授受が行われ、前記昇降液槽と前記浸漬槽と前記液体用連通管に貯留された前記塗布液の合計された容量が一定の容量とされ、前記昇降液槽が昇降されたときの位置の変化に応じて前記昇降液槽と前記浸漬槽に貯留される前記塗布液のそれぞれの容量が増減される。 （もっと読む）

【課題】立体構造物に均一なコーティング剤の皮膜を形成する立体構造物のコーティング装置およびコーティング方法を提供する。
【解決手段】収容室２１にコーティング剤を供給して半導体装置４０を浸漬した後、収容室２１からコーティング剤を回収して半導体装置４０コーティング剤を塗布する。その後、回転駆動部３８によりコーティング剤を塗布した半導体装置４０を所望のコーティング剤の膜厚ごとに予め設定されている回転数で収容タンク１１とともに回転駆動する。 （もっと読む）

【課題】微小な領域に塗布することができ、１回の塗布量が多く、耐久性が高い塗布装置を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、その内部にインク３が注入され、その下端に開口部２ａが形成されたノズル状の容器２と、容器２内に挿入された針状の塗布部材４とを備える。待機時は、塗布部材４の先端部４ａをインク３に浸漬させ、塗布時は、塗布部材４の先端部４ａを開口部４を介して容器２の下に突出させ、塗布部材４の先端に付着したインク３を基板７の表面に塗布する。塗布部材４は、１本の細線５を折り返して形成した２本の細線５を含む。細線５の頂点部が塗布部材４の先端部４ａとなる。したがって、２本の細線４の微小隙間Ｇのインク３を基板７の表面に塗布できる。 （もっと読む）

【課題】従来よりコンパクト化することが可能な浸漬装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の電着処理装置１０は、ワークＷに電着被膜を形成するための表面の電着塗料を貯留した円形の電着処理槽１１と、電着処理槽１１内の電着塗料を一方向に旋回させる起流ポンプ１５と、ワークＷを吊り下げて、電着塗料に浸した状態に保持するワーク治具２０と、電着塗料中の異物を取り除くためのフィルタ１６とを備えている。電着処理槽１１を円形にしたことで電着処理装置１０が従来よりもコンパクト化され、設置の自由度が向上する。 （もっと読む）

【課題】塗布針を用いて液体材料を塗布する際に、従来よりも長い距離の塗布を可能にする。
【解決手段】塗布機構２５において、液体材料１０を収納する液体容器１１の底部１３には貫通孔１４が形成されている。塗布針１の先端には平坦面３が形成され、塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部２が形成されている。塗布針１には、さらに、先端から上方に向かって、テーパ部２の少なくとも一部および平坦面３の各々を分割するように１または複数のスリット溝５が形成されている。塗布対象物２６に液体材料１０を塗布するときに液体材料１０を平坦面３に導くために、塗布針１は、液体容器１１の貫通孔１４を貫通するとともに１または複数のスリット溝５の上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように液体容器１１に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】被処理物上に形成される塗膜の乾燥後の厚みが１μｍ以下になるような極薄膜であっても、被処理物表面に均一な塗膜を形成することを課題とする。
【解決手段】芯体４と、この芯体の外周に設けられたスポンジ層５と、このスポンジ層の外周に設けられたソリッド層６と、このソリッド層の外周に設けられた，塗布液に対して非粘着性及び非接着性をもった表面層７とを具備することを特徴とする薄膜形成用塗布ロール１。 （もっと読む）

【課題】うねりや凹凸がある大型基材や基板上に、サブミクロンレベルの膜厚の薄膜を精度よく形成できる技術開発が望まれている。その際、装置が巨大になることはなく、メンテナンス性に優れた、構成が要求されている。
【解決手段】低粘度の塗布材料をライン状に非常に小さなばらつきで塗布できるスリットコータヘッドを塗布液の供給機構として適用し、一対の転写ローラ系として、塗布幅と同等な長さを持つアニロックスロールと小径の版胴を組合わせた薄膜塗布方法により、前記の課題を解決可能である。一対の小径ローラ系においては、大型基材塗布の際の問題点となるローラ軸のたわみによる転写不良を一対のローラの配置で対応し、小径の版胴の連続性に関しては、材料、接合方法の工夫により、シームレス化を実現している。また、塗布液供給系と転写系をコンパクトに実装することにより、メンテナンス性にすぐれ、信頼性が高い薄膜塗布装置を提供できる。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷法による有機層の成膜において均一な膜形成ができる印刷用凸版、並びにそれを用いた発光輝度ムラのない有機ＥＬ素子及び電子デバイスの製造方法を提供すること
【解決手段】印刷方向と平行な方向に長いストライプ状の凸部が基材上に１つ以上形成された凸部パターンからなり、前記ストライプ状の凸部は少なくとも被印刷基板と最初に接触する印刷開始側から被印刷基板と最後に接触する印刷終了側を有し、インキ供給手段によって前記凸部上に供給されたインキを被印刷基板に転写する凸版印刷法に用いられる印刷用凸版であって、前記ストライプ状の凸部の幅は前記印刷開始側から前記印刷終了側にかけて一様に細くなっていることを特徴とする印刷用凸版。 （もっと読む）

【課題】ムラが目立たないようにパターンを形成すること。
【解決手段】基板に第１のパターンを塗布する第１パターン塗布部と、当該基板に第２のパターンを塗布する第２パターン塗布部と、を備え、第２パターン塗布部は、第１のパターンの一部分と第２のパターンの一部分とが基板の搬送方向に交差する方向に互いに重なるように、第２のパターンを塗布する。 （もっと読む）