【課題】 本発明は、ダイコータを用いて光学素子を作成する場合の厚みムラの問題を解決し、より薄い塗工膜を、広範囲に、厚みムラを抑えつつ、高い精度にて形成することができるダイコーティング法を提供することを目的とする。
【解決手段】 塗料を吐出可能に開口してなるスリット８を形成するとともに該スリット８に向かってマニホールド７から延びて塗料の通路をなすスロット９を形成した口金４を、所定の基体に対して相対的に移動可能に構成されたダイ本体２に設けてなり、且つ、スロット９の周囲の所定位置に口金４を加熱する加熱機構３を設けたダイコータ１を用い、加熱機構にて口金を加熱しながらスリットの位置から、光透過性を有する基材を備えた基体の面上に、液晶化合物を含有する液晶組成物にてなる塗料を吐出して塗工膜を形成することを特徴とするダイコーティング方法により、塗工膜を、広範囲に、厚みムラを抑えつつ、高い精度にて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の性質にバラつきが生じるのを防ぐこと。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に吐出するノズルを有する塗布部と、前記塗布部に前記液状体を供給する供給系と、前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方から前記液状体を回収し、回収した前記液状体を前記供給系及び前記塗布部のうち少なくとも一方に供給する循環系とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板の浮上量の変動を抑制することが可能な塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】第一気体供給経路及び第一吸引経路のうち少なくとも一方の経路の一部分には大気開放が可能な大気開放部が設けられているので、噴出される気体の流量及び吸引される気体の流量のうち少なくとも一方の変化を緩和することが可能となる。これにより、基板の浮上量の変動を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】粘度変化が生じる液体材料を高精度に塗布すること。
【解決手段】液体材料を吐出するノズル６と、液体材料をノズル６から吐出するためのポンプと、液体材料が通過する経路における液体材料の粘度を算出するための熱式流量センサ９と、算出した粘度に基づいて液体材料をノズル６から吐出させるための吐出圧力を設定し、設定された吐出圧力に基づいてポンプを制御するメインコントローラ８と、を備えた塗布装置であって、液体材料の粘度変化に合わせ、吐出圧力を調整することにより、高精度な塗布が実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ファスナーの軸部にシール剤を塗布する用途に好適なシール塗布装置及びシール塗布方法を提供することである。
【解決手段】シール塗布装置１は、シール剤が塗布されるべきファスナー２５をファスナー２５の中心軸まわりに回転するファスナー回転装置１２を具備する。ファスナー回転装置１２は、ファスナー２５を軸方向に把持する第１把持部１２３及び第２把持部１２５と、第１把持部１２３及び第２把持部１２５の少なくとも一方に対してトルクが伝達可能に接続されたモータ１２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 吐出口に連通する全ての流路からの流入量を均一にすることができ、塗布ギャップの影響を最小限とし、従来よりも精度良く膜状塗布を行う技術の提供。
【解決手段】 分岐路構造を有する分岐ブロックと、長手方向に幅広に形成された吐出口を有する先端部材と、分岐路構造に連通する細管流入口および先端部材の吐出口に連通する細管流出口を有する細管を複数本設けてなる管部と、を備え、分岐ブロックは、流入口に連通する流路を分岐させる室からなる分岐部を複数段備え、同一段に設けられた分岐部で分岐された流路の流出口までの長さは等しく構成されており、先端部材は、吐出口を構成する溝部を有しており、吐出口の端面の短手方向の長さＳが細管流出口の内径Ｄより長く構成されており、細管流出口が溝部の最奥面に略等間隔に配設されている膜状塗布ノズル。 （もっと読む）

【課題】エッジガイドによって案内されるカーテン塗膜を、均一な厚みと一定の幅で安定させることができるようにする。
【解決手段】エッジガイドに供給される潤滑液１５ｃの表面張力とカーテン塗膜１９を構成する塗料の表面張力との差の絶対値を、４ｍＮ／ｍ以下として表面張力をバランスさせるようにし、カーテン塗膜１９の厚みを幅方向に均等に安定させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】空気浮上搬送方式に好適なスリット状開口部の清浄化機構を備えたスリットコート塗布装置を提供することを課題とした。
【解決手段】エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する基板に対し、スリット状開口部から塗布液を吐出して基板上に塗布層を形成する基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置であって、前記塗布装置は、少なくとも、スリット状の開口部を備える塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを略上下方向に移動させる塗布ヘッド移動機構と、前記エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する拭き取り機構と、を備え、前記拭き取り機構は、ゴムパッドがスリット状の開口部に当接したまま開口部に沿って移動することでスリット状開口部を洗浄する機構である。 （もっと読む）

【課題】ノズルの清掃作業を効率的に行うこと。
【解決手段】基板に対して液状体を吐出するスリット開口が先端部に形成されたノズルを有する塗布部と、前記基板と前記ノズルとが相対的に移動するように前記基板及び前記ノズルのうち少なくとも一方を駆動する駆動部と、前記スリット開口に挿入可能に形成された清掃部材と、前記清掃部材を前記スリット開口の長手方向に移動させる清掃部材駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、所定粘度以上の粘度を有する材料を、対象の端縁を巻き込むように、対象に塗布することができるノズル、および、塗布方法を提供する。
【解決手段】幅方向に長手の扁平な開口４が形成されたノズル本体２を有するノズル１に、ノズル本体２の幅方向略中央に固定され、ノズル本体２の先端部よりも先側に向かって延びるガイドロッド３を設け、ガイドロッド３の幅方向他端部を、幅方向一方から、フェンダ部とフェンダライナとの重複部分の端縁に当接させた状態で、開口４からシーリング材を吐出させるとともに、ノズル１を、ホイルアーチ部の湾曲に沿って、ガイドロッド３が下流側となるように移動させ、重複部分の端縁を巻き込むように、重複部分にシーリング材を塗布する。 （もっと読む）

【課題】基材の一方の主面に塗布膜が形成されている場合において、他方の主面に良好に塗布膜を形成することができる塗布装置、および、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】塗布処理部１０は、活物質の第１塗布膜６が形成された状態で、基材５の第２主面５ｂに活物質の塗布液を塗布する。塗布処理部１０は、主として、ノズル１１と、位置検出部１３と、駆動部１５と、を備えている。ノズル１１は、バックアップローラ１２と対向する位置に配置されている。位置検出部１３は、いわゆる２次元レーザ変位計により構成されたセンサである。位置検出部１３は、長手方向に沿った基材５の搬送経路８において、ノズル１１の吐出位置ＰＤより上流側の検出位置ＰＳに配置されている。駆動部１５は、ノズル１１を前後左右上下に移動させることによって、バックアップローラ１２に対する吐出口１１ａの位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】 流量計の校正作業を容易かつ正確に実行することが可能な塗布装置およびこの塗布装置を使用した塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗布液が予め貯留された容器５３は、電子天秤５４上に載置されている。容器５３の上部には、蓋体５６が配置されている。この蓋体５６は、連結部材５８を介してチャンバー５５と連結されており、容器５３の上端からわずかな距離だけ離隔した位置に配置される。校正用支管の先端部は、金属製の細管５７と連結されている。この金属製の細管５７は、容器５３内に浸入し、容器５３に貯留された塗布液中に浸漬している。電子天秤５４は、容器５３およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する。 （もっと読む）

【課題】枚葉処理される基板間の処理時間間隔を短縮し、生産効率を向上することのできる基板処理装置及び処理液供給方法を提供する。
【解決手段】制御手段１０はノズル１１の吐出口１１ａからプライミングローラ３５に所定量の処理液Ｒを吐出させ、プライミング処理部３６により前記プライミングローラ３５を回転させて吐出口１１ａに付着しているレジスト液を整える一方、ポンプ２２に、吸入管２１を介して処理液供給源２０から処理液を吸入させる。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】基板に対する前処理後、塗布までの間に基板の表面の状態が変化するのを抑えること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記液状体が塗布される前の前記基板に対して前処理を行う前処理部と、前記塗布部によって前記液状体が塗布される塗布空間と前記前処理部によって前記前処理が行われる前処理空間とを接続する接続空間を有し、前記接続空間の雰囲気が不活性ガスの雰囲気となるように調整可能に設けられた接続部とを備える。 （もっと読む）

【課題】厚みムラが大きい基板に対しても、口金と基板とが衝突すること防止し、かつ塗布膜に膜切れが発生することのない安定した塗布を行うことができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板表面計測部３０は、塗布動作を行う前に、基板Ｗの塗布領域内の各計測設定位置の高さを計測することにより、各計測設定位置の高さ情報をあらかじめ取得し、吐出部高さ調節部２０は、各計測設定位置の高さ情報に基づいて、基板Ｗの最も高い点よりも所定距離分上方に口金１１が位置するよう、塗布動作前に口金１１の高さを調節し、吐出部１０は、基板Ｗに対し水平方向に相対的に移動しながら塗布動作を行い、吐出量調節部４０は、各計測設定位置の高さ情報に基づいて、吐出部１０と基板Ｗとの距離に応じて吐出部１０から塗布領域内の各位置へ吐出すべき塗布液の吐出量を塗布動作中に調節しながら、塗布を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける吸引口の目詰まりを自動的かつ確実に検出する。
【解決手段】浮上ステージの塗布領域において吸引口１８が内奥の比較的狭いガス通路１８ａに異物Ｑが挟まって目詰まりを起こしているときは、その付近で基板浮上高Ｈ_Gが局所的に設定値Ｈ_Sよりも高くなる。浮上高監視部は、監視ライン上のどこかで基板Ｇの浮上高Ｈ_Gが浮上高設定値Ｈ_Sを定常的に（基板Ｇが通過している間）超えているときは、光ビームＬＢが基板Ｇにより遮られることから、この異常事態を検知してコントローラに通報することができる。コントローラは、浮上高監視部からそのような基板浮上高に関する異常通報のモニタ信号を受け取った時は、浮上ステージの塗布領域において少なくともスリットノズル１４の直下付近で相当な数の吸引口１８が目詰まりを起こしていると判定する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚のバラつきを抑えること。
【解決手段】第一浮上量で基板を浮上させる第一浮上部、及び、第一浮上量よりも小さい第二浮上量で基板を浮上させる第二浮上部、を有し、第一浮上部と第二浮上部との間で基板を連続的に搬送する基板搬送部と、第二浮上部において第二浮上量で浮上する基板に液状体を塗布する塗布部と、第一浮上部と第二浮上部との間を移動する基板の浮上量を調整する浮上量調整部とを備える。浮上量緩和領域ＲＣは、塗布浮上領域ＴＣの上流側に設けられた上流側緩和領域（上流側調整部）ＲＡと、塗布浮上領域ＴＣの下流側に設けられた下流側緩和領域ＲＢとを有している。浮上量緩和領域ＲＣは、第一浮上部である基板搬入領域と第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣとの間、及び、第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣと第一浮上部である基板搬出領域との間、でそれぞれ基板の浮上量が急激に変化するのを緩和する部分である。 （もっと読む）

【課題】微量な粘性流体の安定した供給を可能とする。
【解決手段】先端が吐出口７である細く長い孔９を備えたノズル本体３を備え、粘性液体供給装置に用いられて吐出口７から接着剤を吐出させる粘性液体供給ノズル１を、潤滑性メッキ液を収容したメッキ槽内に浸して無電解メッキを行い、少なくとも吐出口７内外に潤滑性メッキ層１１を形成し、又は、ノズル本体３の基端に広口部５を備え、潤滑性メッキ液を収容したメッキ槽内に浸して広口部５に前記潤滑性メッキ液を収容し、広口部５から潤滑性メッキ液を加圧又は重力によりノズル本体３の細く長い孔に流通させて吐出口７から吐出させ少なくとも吐出口７内外に潤滑性メッキ層１１を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）