【課題】必要に応じて微細な拡散粒子を異なる配列と異なる密度に形成することができ、光学的拡散構造が好ましい光線の拡散効果と均一化の効果が得られる拡散シートの成型型枠、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】成型型枠は基板を具え、該基板の表面には、該表面に凹入する複数の凹入部を形成する。その製造方法は、板材を提供し、該板材の一方の側に位置決め材を設けるステップと、該板材を利用して複数の微粒子を該底板に配列するステップと、気相成長を行い、該底板に設けた微粒子の一方の側に気相成長を行い、該側に金属フィルム層を形成するステップと、電気鍍金を行い、該金属フィルム層上に一定の厚さに電気鍍金を行って拡散シートの成型型枠を形成するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】樹脂スタンパ用の芳香族ポリカーボネート樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（ａ）一般式（Ｉ）及び一般式（II）




で表される芳香族ポリカーボネート−ポリオルガノシロキサン共重合体、及び（ｂ）前記（ａ）以外のポリカーボネート樹脂からなる樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】コート材や潤滑材を塗布することなく離型性を高めた微細成形型および微細成形型用基材並びに微細成形型の製造方法を提供する。
【解決手段】微細成形型１は、基材１３の表面１３ａに微細な凹部１１が形成されている。微細成形型１は、基材１３の表面１３ａから注入した注入イオンの濃度が他の部分よりも高い高濃度注入イオン層１４が基材１３の表面１３ａから凹部１１の底部１１ｂまでの間に形成されている。また、注入イオンは炭素イオン、フッ素イオンまたは塩素イオンのいずれかにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】シート状基材表面にインプリントモールドの微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造において、大面積のシートに賦形する場合においてもエアの噛み込みによる転写不良がなく、微細凹凸形状をシートの表面に精度良く高効率で製造できる方法及び装置を提供する。
【解決手段】微細凹凸形状の賦形面８ａを有するインプリントモールド８と中間基材６との間にシート状基材５を設置し、一対の加圧板３、４により該インプリントモールド８と該中間基材６とを該シート状基材方向に加圧することにより、該シート状基材表面に微細凹凸形状を賦形する微細形状転写シートの製造方法及び装置であって、賦形面内に厚み変化を有するインプリントモールド８を用いることにより、該加圧板３、４の加圧力が最大となった時、該賦形面内において賦形圧力差及び最大賦形圧力部が存在し、かつ、賦形圧力が極小値を取る部位が存在しないように加圧する。 （もっと読む）

本開示は、マスター型からパターン化シリコーン娘型を用いてマスター型を複製する方法を提供し、娘型はそのパターン化表面上に延性金属を有する。
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【課題】ナノインプリントにおいて高アスペクト比の微細構造体を高速で安定して形成するための微細構造パターン転写用ベルト状金型およびそれを用いた微細パターン転写装置（ナノインプリント装置）を提供する。
【解決手段】本発明のナノインプリント用のベルト状金型は、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を有する。 （もっと読む）

【課題】マスクブランクを用いて高精度の微細パターンが形成されたインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板上にパターンを形成するための薄膜を有するマスクブランクにおいて、薄膜は、Ｃｒと酸素を含む材料で形成されている上層と、Ｔａまたはその化合物を含み、且つ、弗素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工が可能な材料で形成されている下層とからなる。薄膜の上層を、酸素を実質的に含まない塩素系ガスを用いたドライエッチング処理によりエッチング加工し、続いて薄膜の下層及び基板を、弗素系ガスを用いたドライエッチング処理により一度にエッチング加工することによりインプリント用モールドを得る。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネル、フィールドエミッションディスプレイ、および蛍光表示管等の平面ディスプレイに好適なパターンを、低コストで精度良く形成できるパターン形成技術を提供する。
【解決手段】少なくとも、（Ａ）硬化性化合物、（Ｂ）ウレタン化合物、（Ｃ）重合開始剤および（Ｄ）界面活性剤を含有する成形型用硬化性樹脂組成物により達成される。 （もっと読む）

【課題】インプリント用モールドの凹凸パターンのうち、特に凸部の根元部に対する応力集中を緩和してインプリントモールドの寿命を向上させ、プロセスコストで低減したインプリント用モールドおよびそれを用いた微細パターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板２０の上に加工材料である光硬化性樹脂２２を塗布し、その上面にインプリント用モールド３０を重ね、加熱しながら圧力を加え、紫外線を照射して硬化させた後、離型する。このインプリント用モールド３０に凹凸の微細構造を形成する際、凹部は、底部、側壁部、および底部と側壁部との間で傾きが連続的に変化するラウンド部を備えた形状とする。 （もっと読む）

【課題】等方性エッチングを用いた微細加工の際にエッチングの制御性を向上し、大型基板においても均一な加工を実現する微細構造形成方法を提供する。
【解決手段】所定の開口部を有するマスクが表面に設けられた被エッチング体にエッチング液を用いて上記開口部から被エッチング体を蝕刻し、被エッチング体表面に凹部を形成する微細構造形成方法であって、被エッチング体に含まれる物質とエッチング液との反応により不溶物を生成させ、被エッチング体の露出面に蓄積する不溶物によりエッチングを停止させる。 （もっと読む）

【課題】高耐久性の断熱スタンパ、特に光ディスク基板の成形に利用でき成形回数が多くなっても界面剥離を生じない断熱スタンパとその製造方法の提供。
【解決手段】１）表面に微細パターンを持つ第１金属層／酸素を構成元素として含む耐熱性樹脂からなる断熱層／金属からなる接合中間層／導電被膜層／第２金属層を有し、断熱層と接合中間層の界面近傍に、酸素の割合が特異的に多い部分（特異点）を有する断熱スタンパ。
２）表面に微細パターンが形成された原盤上に第１金属層を形成し、その上に、酸素を構成元素として含む耐熱性樹脂からなる断熱層を形成し、その上に、金属からなる接合中間層と導電被膜層を、気相成長法により、大気雰囲気中に暴露させることなく連続して成膜することにより、断熱層と接合中間層の界面近傍に、酸素の割合が特異的に多い部分（特異点）を形成させ、その上に、第２金属層を形成した後、原盤を剥離する断熱スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】要求される防眩性に対する対応が容易で、コストを上げることなく、生産効率が高く、使用した製品の性能に影響を与えない防眩性フィルムの製造方法及び防眩性フィルムの提供。
【解決手段】溶媒に樹脂を溶解したドープを連続的に回動する無端支持体の上に流延し、ウェブを形成した後、前記無端支持体から前記ウェブを剥離し、乾燥する溶液流延法で製造する凹凸面を有する防眩性フィルムの製造方法であって、前記無端支持体の表面は凹凸形状を有する樹脂層で被覆されており、前記樹脂層の上に前記ドープを流延しウェブを形成した後、前記ウェブを残留溶媒が３０％〜８０％の状態で剥離し、乾燥することで、前記凹凸形状を転写し、前記凹凸面を形成することを特徴とする凹凸面を有する防眩性フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流体チップ等を作製するための高品質な微細金型を簡便な製造方法で且つ短納期で、安価に提供する。
【解決手段】表面に所望の凹型パターンが形成されたエラストマー材料からなる母型に、電極膜を形成した後、金型になる金属皮膜を電解めっきにより成膜して製造された微細金型。 （もっと読む）

【課題】容易にスタンパ溝の側面に勾配をつけることが可能となり、スタンパを用いた２Ｐ法によるホログラム素子の作製において、バリの発生をなくし、不良率の増加を防ぐことができるスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】レジスト８に、この表面に対して傾斜する側面を有するレジスト溝を、パターンとして形成するように、露光用光源からの露光用光１３の焦点１３ａを、上記レジスト８上よりも基板１側に、ずらして、この露光用光１３にて上記レジスト８を露光する。その後、上記レジスト８を現像し、上記レジスト８をマスクとして上記基板１をエッチングして、上記基板１の表面に、この表面に対して傾斜する側面を有するスタンパ溝を、形成する。 （もっと読む）

【課題】 微細成型技術を用いて、転写された面への投影が、二次元形状を複数の方向へ連続して構成した構造である微細構造物およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 加工対象物の成型面に対して型を押圧することにより、型のパターンを転写する微細構造物の製造方法であって、パターンの成型面への投影が、線幅１μｍ以下の二次元形状を連続して構成した形状となるパターンを有する型を、加工対象物に対し押圧することにより、型のパターンを転写する。これにより、転写されたパターンの成型面への投影が、線幅（線２０２の幅）が１μｍ以下の二次元形状２０１を連続して構成した形状となる構造を有する微細構造物を提供できる。 （もっと読む）

【課題】撥油性に優れたナノインプリントに用いるモールド母材およびモールドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】表面におけるフッ素原子濃度が１０００ｐｐｍ以上であることを特徴とするフッ素化合成石英ガラスからなるモールド面を有し、撥油性に優れる、ナノインプリントに用いるモールド母材およびモールド。合成石英ガラスからなるナノインプリントに用いるモールドのモールド面をフッ素化する、該モールド母材およびモールドの製造法。 （もっと読む）

【課題】安価な方法で、凹凸パターンがモールド表面全体に、且つ、高密度に規則的に配列した磁気記録媒体用のナノインプリントモールドを提供すること。
【解決手段】モールド基板全面に自己組織化可能な微粒子を規則的に配列させる手段を作製し、該基板に自己組織化可能な微粒子を滴下して、基板全面に前記微粒子を規則的に配列させることにより、安価な方法で、凹凸パターンがモールド表面全体に、且つ、高密度に規則的に配列した磁気記録媒体用のナノインプリントモールドが提供される。 （もっと読む）

【課題】スタンパに高い圧力かけた場合にもスタンパが歪むことのなく、パターンの相関位置関係が崩れない複製スタンパおよびその製造方法ならびにそのスタンパを用いて製造される磁気記録媒体が搭載される磁気記録装置を提供することを可能にする。
【解決手段】凹凸形状のパターンを有する第１スタンパの表面を洗浄した後に、第１スタンパの表面に第１離型層を形成する工程と、第１スタンパの少なくとも凹凸形状のパターンを有する領域の第１離型層上に選択的に第１転写層を形成する工程と、Ｎｉ電鋳法により第１スタンパの第１転写層を覆うように第１電鋳層を形成する工程と、第１スタンパから前記第１電鋳層および前記第１転写層を剥離することにより、凹凸形状が反転した、第１電鋳層と第１転写層とが一体化した凹凸形状のパターンを有する第２スタンパを形成する工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】その表面が超硬材料からなり、高温でも変形しにくいため寿命の長いナノインプリント用スタンパとその製造方法を提供する。
【解決手段】微細パターンが形成されたそのスタンプ面が、ダイヤモンドにより構成されているナノインプリント用スタンパ。とくにスタンプ面のダイヤモンドが、平均結晶粒径１μｍ以下の微細結晶からなる上記のスタンパ。また、基板上にリソグラフィーによりマザーモールドとなる微細パターンを形成するステップと、該微細パターンの表面に化学的気相成長法によりダイヤモンド膜を形成するステップと、このダイヤモンド膜が形成されたマザーモールドからダイヤモンド膜を分離するステップとを具備するナノインプリント用スタンパの製造方法。 （もっと読む）

【課題】残留ひずみ、そりを低減可能で転写性に優れ、かつ耐久性に優れた射出成形金型を提供する。
【解決手段】固定型３と可動型２とを合わせキャビティ６を形成する射出成形金型であって、前記固定型３及び／又は前記可動型２は入れ子８、７を有し、該入れ子８、７は前記キャビティ６の少なくとも一部を形成し、前記入れ子７（８）は、キャビティ面側から反キャビティ面側に向かって、金属板１２（２２）、断熱性を有するセラミックス材１３（２３）、金属製の入れ子本体１４（２４）の順で構成され、前記金属板１２（２２）と前記セラミックス材１３（２３）、前記セラミックス材１３（２３）と前記入れ子本体１４（２４）とは、各々部材間にインサート材１５（２５）、１６（２６）を挿入し拡散接合により接合されている。 （もっと読む）