【課題】耐プラズマ性に優れ、安定した酸化物膜を提供する。
【解決手段】大気開放型ＣＶＤ法により、加熱した基材１０の表面に金属酸化物原料５を吹き付けて酸化物膜を成膜する。その際、ＸＲＲ法によって測定した膜密度が理論密度（ＴＤ）の７５．０〜９８．０％未満の範囲となるように成膜条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】抵抗率の低い金属酸化物薄膜及び金属酸化物半導体を提供する。
【解決手段】膜中の水素濃度が３×１０^２１／ｃｍ^３以下であることを特徴とする金属酸化物薄膜。 （もっと読む）

【課題】ナノサイズの高結晶性で単一相を有する遷移金属酸化物を、大量生産が容易にできる製造方法を提供する。
【解決手段】ａ）遷移金属粉末を反応物として、前記遷移金属粉末を過酸化水素水に溶解させ、０．００１〜０．２モルの遷移金属モル濃度を有するペルオキシ−メタレート(peroxi-metallate)溶液を製造する段階と、ｂ）前記ペルオキシ−メタレート溶液にアルコール、水及び酸を含有した反応溶液を添加して混合溶液を製造する段階と、ｃ）前記混合溶液を水熱反応させて、遷移金属酸化物ナノ粒子を製造する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】成形性に優れ、透明性と高い屈折率を有する樹脂複合体を提供するための無機酸化物分散液、その製造方法及び該分散液を用いた透明複合体を提供すること。
【解決手段】反応性基を有する表面修飾剤により表面が修飾された無機酸化物を含む無機酸化物分散液において、反応性基を有する表面修飾剤が、スチリル基、ビニル基、アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するシランカップリング剤（１）であり、且つスチレンを含むことを特徴とする無機酸化物分散液の提供。 （もっと読む）

【課題】重合開始基付き無機酸化物粒子並びにその製造方法、および該無機酸化物粒子を用いて得られる高分子修飾無機酸化物粒子並びにその製造方法を提供する。
【解決手段】無機酸化物粒子と重合開始剤とを含む分散液に超音波を照射することにより、該無機酸化物粒子の表面に重合開始基を付与してなる重合開始基付き無機酸化物粒子並びにその製造方法、および該無機酸化物粒子の表面を、重合性モノマーのリビングラジカル重合反応から得られる高分子化合物で修飾してなる高分子修飾無機酸化物粒子並びにその製造方法。なお、前記高分子修飾無機酸化物粒子は、疎水性に優れ、しかも有機溶媒への分散性が高いものである。 （もっと読む）

【課題】異物の量、特に着磁性異物の量を低減した球状金属酸化物粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末の少なくとも一方からなる原料粉末を火炎中に噴射して球状化し、それを捕集系で回収する工程を含む球状金属酸化物粉末の製造方法において、上記原料粉末中の粒径４５μｍ以上の異物を、異物除去装置を通過させることにより４５０個／５０ｇ以下に減ずる工程を含むことを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来は困難であった微細でかつ粒度分布幅の狭いナノ粒子を高効率に生成可能とする微粒子の製造方法、並びにこの方法の実施に用い得る微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子製造用原料としての一種以上の粒子を分散させて熱プラズマ炎中に供給し、前記微粒子製造用原料粒子を蒸発させ気相状態の混合物とし、この混合物を冷却して、微粒子を製造する方法において、前記熱プラズマ炎の発生装置として変調誘導熱プラズマ装置を用い、この変調誘導熱プラズマ装置のコイル電流の振幅変調を所定時間間隔で繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】従来の固相法に比べて低温でセラミックス粉体を得ることができる製造方法、およびかかる製造方法を用いたセラミックス膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】セラミックス粉体の製造方法は、金属化合物を含む原料液を準備する工程と、前記原料液を噴霧・乾燥させることにより粉体を形成する工程と、を含み、前記金属化合物は、加水分解性金属化合物および熱分解性有機金属化合物の少なくとも１種を含む。 （もっと読む）

【課題】原料粉体の平均粒径が粒状化の過程において変動することが少なく、目的とする粒度分布を有する球状化粒子を１つのバーナにより得られる無機質球状化粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】拡散型のバーナの第一原料供給路１Ａに粗粉を、第二原料供給路６Ａに微粉をキャリアガスに搬送して送り込み、酸素を第一酸素供給路５Ａと第二酸素供給路７Ａとに二分して供給する。燃料ガスを燃料供給路４Ａに送り込む。粗粒の原料粉体を分散体積が小さく火炎温度が高い領域で加熱溶融し、細粒の原料粉体を分散体積が大きく火炎温度が低い領域で加熱溶融する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、原料粉末をバーナーを用いて火炎中で球状化する球状金属酸化物粒子の製造方法において、高溶融率かつ高球形度の球状金属酸化物粉末を高効率で製造する製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末からなる群より選ばれる１種以上の原料粉末を、バーナーを用いて火炎中で球状化する球状金属酸化物粒子の製造方法において、バーナーは燃料ガス供給手段、助燃ガス供給手段及び原料粉末供給手段を備えた複数本で１群を構成し、且つバーナーを複数群設置することを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。バーナーの複数群が２群から６群であり、隣り合う各バーナー群の最近接バーナーの中心間の設置距離が、原料の平均粒径が３〜１５μｍの場合、バーナー半径の２．５倍〜５．６倍、原料の平均粒径が１５μｍを超え５０μｍ以下の場合、バーナー半径の２．５倍〜３．７倍であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】粒子の移動・凝集の点で標的物質の分離に好ましく、かつ、１粒子当たりに結合できる標的物質の量が多い粒子を提供すること。
【解決手段】標的物質が結合できる粒子であって、標的物質を結合させることが可能な物質または官能基が粒子本体の表面に固定化されており、粒子の密度が３．５ｇ／ｃｍ^３〜９．０ｇ／ｃｍ^３であり、また、粒子本体の表面が粗面化されており、粒子の比表面積が、粒子と同一の粒径および密度を有する真球粒子の比表面積の１．４〜１００倍となっており、かつ、単位表面積［ｃｍ^２］あたりの細孔半径２０ｎｍ以上の積算細孔体積［ｃｍ^３］の割合が１×１０^−６［ｃｍ^３／ｃｍ^２］以上であることを特徴とする粒子。 （もっと読む）

【課題】シリコーンオイルで表面処理された表面改質無機酸化物粉末であって、シリコーンオイルの固定化率が高く、高疎水性の表面改質無機酸化物粉末を提供する。
【解決手段】反応性変性シリコーンオイルにより表面処理された無機酸化物粉末であって、カーボン固定化率が９０％以上で、疎水率が９５％以上である表面改質無機酸化物粉末。無機酸化物粉末としては、フュームドシリカが好ましい。無機酸化物粉末に反応性変性シリコーンオイルを添加して温度１５０〜２８０℃で１次処理した後、２８０℃を超える温度で２次処理して得られる。反応性変性シリコーンオイルを用い、特定の温度条件の２段階処理による表面処理を行うことにより、固定化率が高く、高疎水性の表面改質無機酸化物粉末を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】成形時の流動性に富み、かつ電気的なショートを発生させない半導体封止材が提供される。またそのような組成物を調製するのに好適な球状金属酸化物粉末が提供される。
【解決手段】金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末の少なくとも一方からなる原料粉末を炉内に形成された火炎中に噴射して熱処理をし、それを炉に直結された捕集装置で回収する球状金属酸化物粉末の製造工程において、平均粒子径５０μｍ以下の粒子が４０ｍ／秒以上の速度で通過する部分の材質を、粒子径１．０μｍ以下のタングステンカーバイド原料とＣｏを焼結させた成形体で構成し、原料供給から捕集・回収に至る製造工程において４５μｍ以上の着磁性異物の増加量を１０個／５０ｇ以下にすることを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高熱伝導な酸化マグネシウムを多く含有しながら、緻密で球形度が良好で、封止樹脂への高充填が可能な球状粒子、それを含む樹脂組成物及びその製造方法、並びにその球状粒子の集合物であるフィラー及びそれを含む半導体樹脂封止剤を提供する。
【解決手段】酸化マグネシウムとＭｇ_２ＳｉＯ_４とから構成され、長辺と短辺の比が平均で１．０〜１．１であることを特徴とする球状粒子である。また、ＳｉとＭｇ及びＯとからなる溶融粒子を冷却して非晶質相を主相とする球状粒子を得る第１工程と、該非晶質相を主相とする球状粒子を加熱することにより結晶化させて前記球状粒子を得る第２工程と、を備えたことを特徴とする球状粒子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 流動性と成形性に優れ、バリの発生が更に少ない樹脂組成物、特に半導体封止材料を提供することであり、それに好適な超微粉末と超微粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＳｉＯ_２及びＡｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が９９．５質量％以上、平均粒子径が０．０５〜１．０μｍ、粒度分布の変動係数が１０〜１００％であり、Ａｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が１０〜９９質量％である超微粉末。この超微粉末を０．５〜２０質量％含有してなる平均粒子径が５〜５０μｍの無機質粉末。可燃ガスと助燃ガスとによって形成された高温火炎中にＳｉ源物質とＡｌ源物質を噴射し加熱処理して製造する超微粉末の製造方法であって、Ｓｉ源物質とＡｌ源物質は別々のバーナーから噴射し、Ａｌ源物質よりもＳｉ源物質を１〜２０ｃｍ下部から噴射する本発明の超微粉末の製造方法。 （もっと読む）

金属酸化物膜を、前記膜のための支持体の表面上に堆積させるための方法であって、堆積チャンバーを準備する工程と、電子およびプラズマからなるパルスビームを前記堆積チャンバー中に与える工程と、支持体を前記堆積チャンバー中に与える工程であって、前記支持体は堆積表面を有する工程と、金属酸化物を含んだ材料で作られたターゲット体を前記堆積チャンバー中に与える工程であって、前記ターゲット体はターゲット表面を有する工程と、前記電子およびプラズマからなるパルスビームを前記ターゲット表面に衝突させることによって前記ターゲット表面からアブレーションされた金属酸化物のプルームを形成する工程と、前記プルームを前記堆積表面に接触させることによって前記堆積表面上に金属酸化物膜を堆積させる工程とを含む方法。
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【課題】改質無機粒子およびその作製方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る改質無機粒子は、ヒドロキシル基を備える無機粒子と、無機粒子にウレタン結合によって連結する、エチレン性不飽和末端基を備える表面改質剤とを含む。また、本発明に係る改質無機粒子の作製方法は、ヒドロキシル基を備える無機粒子を準備する工程、一端にイソシアネート基を、他端にエチレン性不飽和基を備える表面改質剤を準備する工程および無機粒子を表面改質剤と混合して反応させ、表面改質剤を無機粒子に連結させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物粒子の表面改質剤及びそれを使用した金属酸化物粒子の表面改質方法を提供する。
【解決手段】立体障害を付与することができる環式アルキル基を含むアルキルシランポリオール単独またはアルキルアルコキシシランとの混合物からなる表面改質剤と、金属酸化物粒子の親水性表面に前記の表面改質剤を化学的結合を通じてコーティングして疎水性または両性（疎水性及び親水性）そして反応性に改質する金属酸化物粒子の表面改質方法に関するものである。
本発明によると特定化学構造のアルキルシランポリオールを選択使用することで、金属酸化物と改質剤間の化学的結合を誘導するための高温縮合反応中での表面改質剤自体の縮合による凝集を抑制することは勿論、ケイ素−水酸基（Ｓｉ−ＯＨ）結合を安定化させて、均一な粒子分布を有する表面改質された金属酸化物粒子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】ナノ結晶、例えば、安価な工程によって非極性環境で可溶性の金属酸化物ナノ結晶を得る合成工程を提供する。
【解決手段】新規の無溶媒方法を用いて高品質・高収率のナノ結晶、すなわち、金属酸化物ベースのナノ結晶を作成するための方法。ナノ結晶は、有利には有機アルキル鎖キャッピング基を含み、空気中及び非極性溶媒内で安定している。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で微細な粉末の焙焼を効率的に行うことができる焙焼炉と、それを用いて厚膜抵抗体形成用として好適な酸化イリジウム粉の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】 焙焼炉内を複数の加熱領域に分け、各加熱領域を別々に温度制御することができる焙焼炉を使用する。また、焙焼炉内の断面形状が略角型であって、雰囲気ガスが原料表面を吹込み方向と略同一方向のみに流れる層流とする。複数本の雰囲気ガス吹込み用ノズルを並列して設置してある。この焙焼炉を用いて、昇温時に各加熱領域を別々に温度制御しながら、ヘキサクロロイリジウム（IV）酸アンモニウム又はヘキサクロロイリジウム（IV）酸カリウムを６００〜１０５０℃で酸化焙焼することにより品質の安定した酸化イリジウム粉が得られる。 （もっと読む）