【課題】従来技術の欠点を解消すること。
【解決手段】チャンバ内には導電性材料からなる少なくとも４つの加熱素子または加熱素子の群が配置されており、各加熱素子または加熱素子の群は、電気エネルギー網の別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムに接続されており、かつ直接的な電流通過によって加熱可能であり、別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子または別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子の群は、温度、加熱電力、電流、電圧、抵抗またはこの装置により影響される加熱素子のプロセス量からなる群からのパラメタの少なくとも１つの同じ値または異なる値に閉ループおよび／または開ループ制御可能であり、少なくとも４つの閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムがアースに対してガルバニック絶縁されている、腐食性ガスの温度処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】水を含む溶媒の超臨界又は亜臨界環境での反応において、繰り返して使用できる耐久性と、耐食性とを両立できる反応装置を提供すること。
【解決手段】反応装置は、反応対象の材料が接触する反応器（例えば、オートクレーブ容器１１）と、前記反応器の表面を被覆するとともに、未被覆部分の代表寸法が３０ｎｍ以下の銀又は金の皮膜と、を含む。このような構成により、超臨界又は亜臨界環境での反応において、反応器は、繰り返して使用できる耐久性と、耐食性とを両立できる。 （もっと読む）

【課題】高粘度流体や異粘性流体均一に混合でき、酸性溶液等を流通させた場合でも腐食が起こりにくいマイクロミキサーの提供。
【解決手段】第一の微小管状流路を有するプレート５に第二の流体を流通する第二の微小管状流路を有するプレート７が積層した積層部１１と、第一の微小管状流路の出口と第二の微小管状流路の出口とに通じ、流体が混合する混合部とを有し、プレートが金属材からなり、第一のプレートと第二のプレートの少なくとも一方が、流体供給路に通ずる微小管状流路の入り口部と、混合部に通ずる微小管状流路の出口部とを有し、該入り口部の微小管状流路が１本の流路で、出口部における微小管状流路内を液密状に流通する流体断面積が、入り口部における１本の微小管状流路内を液密状に流通する流体断面積より小さい断面積を有するプレートで、しかも、微小管状流路及び混合部がフッ素樹脂で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】小粒子およびナノ粒子の清浄高温合成のための装置を提供する。高温粒子合成を行うことができる耐久性粒子生成装置が開示される。粒子生成装置は過酷な反応条件にともなうサセプタ劣化を最小限に抑えるように構成される。
【解決手段】粒子生成装置において、
（ａ）反応体材料の貫通路を収容するための内部空間、
（ｂ）エネルギーの作用を受けると熱を発生することができ、あらかじめ定められた範囲内の前記反応体材料を加熱するに十分な温度が前記内部空間に達成されるように配置された、少なくとも１つのサセプタ、および
（ｃ）前記サセプタを前記反応体材料から隔離するための、前記サセプタと前記内部空間の間に配置された、熱を伝達するバリア層、を有する少なくとも１つの容器を備える粒子生成装置。 （もっと読む）

例えば、熱及び／又は化学ガスを封じ込めるための封じ込めシステム、例えば、遮断セグメント、遮蔽セグメント及び／又は分割セグメントを含むことができる炭素系封じ込めシステムが記載されており、各セグメントは壁を形成する壁パネル等の複数のパネルとすることができる。
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【課題】高温ガス、例えば水素及びテトラクロロシランとの接触に適した装置を提供する。
【解決手段】
反応器１００は、テトラクロロシランの水素化に用いることができる。反応器１００は、炭化ケイ素系の構成材料から調製される少なくとも１つの部品を有する。反応器１００は、加圧可能シェル１０１と、加圧可能シェル１０１に囲まれた断熱材１０２と、断熱材１０２に囲まれた加熱要素１０６と、加熱要素１０６に囲まれた反応室１０７とを含む。 （もっと読む）

【課題】モリブデンを含む金属酸化物触媒を用いて反応を起こさせる気相反応装置での、モリブデン酸化物の付着を効率的に抑制する。
【解決手段】モリブデンを含む金属酸化物触媒を用いて反応を起こさせる気相反応装置に用いられる冷却コイルであって、金属酸化物触媒から遊離したモリブデン化合物が接触する上記冷却コイル表面の、水溶液系における酸化反応の標準電極電位が−０．２Ｖ以上、２．８Ｖ以下である材料で構成された気相反応装置用冷却コイルを用いる。 （もっと読む）

【課題】発明は、ディスプレイ又は半導体の製造工程中に低圧工程チャンバで発生する汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明に係る汚染物質除去用プラズマ反応器２１０は、互いに距離をおいて位置する第１接地電極２１及び第２接地電極２２と、第１接地電極２１と第２接地電極２２との間に固定される誘電体３０と、第１接地電極２１及び第２接地電極２２と距離をおいて誘電体３０の外面に位置して交流電源部４０と連結し、これから駆動電圧の印加を受ける少なくとも１つの駆動電極５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】硫化水素を含む天然ガスを処理するガス処理設備の容器は、大型化の傾向にあることから重量の増大が問題となっており、このような容器の重量の低減を図る。
【解決手段】ガス処理装置は、天然ガス、石油随伴ガス、石油精製ガス等の硫化水素が含まれるガスを処理するために湿潤硫化水素環境で用いられる容器を備えている。この容器用の鋼板として降伏点が３００Ｎ／ｍｍ²以上の高張力鋼が用いられている。また、この容器を構成する高張力鋼の鋼板の内面には、オーステナイト系ステンレス鋼が内張りされるか、オーバーレイ溶接されている。これにより、容器内面の硫化水素による腐食を防止し、これによる原子水素発生を防止することで、水素誘起割れを防止する。さらに、高張力鋼を用いることで、容器の板厚の薄肉化を図ることにより、容器を軽量化する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を、火炎により熱分解する装置において、排ガスが高濃度の腐食性ガスを含む場合であっても、あるいは火炎による熱分解で高濃度の腐食性ガスが生成する場合であっても、目的の有害成分を効率よく分解することが可能で、燃焼室の構成が高温の腐食性ガスに対する優れた耐腐食性を有する熱分解装置を提供する。
【解決手段】 有害成分を熱分解する燃焼室、燃料ガスと空気を含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、排ガスを含むガスを燃焼室へ噴出するノズルを備え、該燃焼室の側壁が、燃焼室側の表面にフッ素樹脂が被覆された基材で構成され、該側壁の外周全体にわたり冷媒を流通するための流路が設けられてなる熱分解装置とする。 （もっと読む）

１実施形態で、部分であって、この部分の少なくとも一部が、ベース層であって、このベース層がケイ化物形成性金属元素を含有する第１の組成を有している、前記ベース層；及びケイ化物コーティング層であって、このケイ化物コーティング層が６００℃以上の第１の温度及び十分に低い圧力で、十分な量の前記ケイ化物形成性金属元素を有している前記ベース層を十分な量のシリコン元素を有している十分な量のシリコン源ガスに曝す工程であって、このシリコン源ガスが１０００℃以下の第２の温度で分解して十分な量のシリコン元素を生成することができる、前記曝す工程；前記十分な量のケイ化物形成性金属元素とこの十分な量のシリコン元素を反応させて、ケイ化物コーティング層を形成させる工程；によって形成されたものである、前記ケイ化物コーティング層；を包含している部分を包含する反応器が提供される。 （もっと読む）

【課題】工業的に導入可能であり、後に行われる被覆部品の変形を可能にし、大きな寸法の部品（典型的には表面が約１ｍ２を超えるプレート）にも応用できるような、金属製の支持部品に厚みの薄い防食被覆をしっかりと定着させるための方法を提供する。
【解決手段】化学装置の構成要素１００を製造するための、組み立て部品１０１、１０２、１１１、１１２の製造方法を対象とするものであり、該方法は、制御された雰囲気におけるろう付作業を含む作業によって、未加工の組み立て部品２１、２２に防食被覆３１、３２を定着させることと、場合によっては、塑性変形により被覆部品１０１、１０２を成形することを含む。ろう付の温度は、好ましくは約７５０℃未満、さらに好ましくは６００℃と７２０℃の間に含まれる。この方法によって、鋼鉄製のプレートに、１ｍｍ未満の厚みを有する防食被覆をしっかりと定着することができるようになる。 （もっと読む）

【課題】 粗製芳香族カルボン酸の精製工程における装置材質の腐食による補修、および、補修のための運転停止に伴う生産損失等のコスト増加を抑制し、さらに設備の更新時期を延長させることのできる芳香族カルボン酸の精製装置を提供する。
【解決手段】 粗製芳香族カルボン酸と水とを含有する液状物を調製する液状物調製槽、該液状物を加熱溶解する加熱溶解装置、及び、加熱された該液状物中の粗製芳香族カルボン酸を精製する精製槽、を有する芳香族カルボン酸の精製装置において、液状物調整槽、加熱溶解装置、精製槽、及びこれらを接続する配管並びに該精製槽から精製反応液を排出する排出管のうち少なくとも一部分が固溶体化熱処理を施された金属からなることを特徴とする芳香族カルボン酸の精製装置。 （もっと読む）

【課題】流通式で、超臨界水熱合成によりナノ粒子を合成する方法、及びその装置を提供する。
【解決手段】原料として、反応場で、合成後に酸を生じる金属塩水溶液を用いて、超臨界水熱合成を行う際に、反応場に、アルカリ水溶液を供給して、反応場のｐＨを制御して、合成微粒子の粒子径を制御すること、また、反応場に、アルカリ水溶液を供給する際に、常温で、アルカリ水溶液と金属塩水溶液を混合せず、高温高圧水とアルカリ水溶液を直接混合し、その後、アルカリを含む高温高圧水と上記金属塩水溶液を混合する２段の混合部により混合すること、あるいは、高温高圧水、アルカリ、金属塩水溶液を同時に１段で混合する１段の混合部により混合すること、からなる超臨界水熱合成方法、及び上記２段の混合部、又は１段の混合部、を具備した超臨界水熱合成装置。 （もっと読む）

流体供給装置とそのような装置を形成するための方法が提供される。流体供給装置は、本体、プレナム、入口、及び出口を含む。本体は、ホウ素、アルミニウム、ケイ素、ガリウム、耐火性硬質金属、遷移金属、及び希土類金属を有する元素、又はこれらの複合物、又はこれらの組み合わせ、の窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物の少なくとも一つから形成される。プレナムは、本体に配置される。入口は本体の第１部分を通過しプレナムと流体連通する。そして、出口は本体の第２部分を通過しプレナムと流体連通する。
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【課題】ケーシングを水冷手段により高温雰囲気から保護するとともにガス中の腐食成分による露点腐食を防止し、ケーシングの寿命を向上させることができる水冷ケーシングの腐食防止構造を提供する。
【解決手段】高温腐食性ガスが通流若しくは滞留する空間２を形成するケーシング本体３を備え、前記ケーシング本体３内の熱源からの輻射熱と対面する側に水冷ジャケット４が配設された水冷ケーシング１の腐食防止構造において、前記水冷ジャケット４が配設されたケーシング内面に対して、微小隙間１１を介して金属製の結露防止板５が配設され、該結露防止板５は水冷ジャケット４から外れた位置でケーシング本体３に支持されるように構成した。 （もっと読む）

本発明は、ポリシラザンの組成物を有する少なくとも１つの濡れ表面を備えた、液体クロマトグラフィーを実施するためのデバイスおよびこのようなデバイスを作製する方法を特徴とする。
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本発明は、耐食性反応管、反応管の内側に不動態化または耐食性コーティングを提供する方法、および耐食性反応管を使用して高ビスマスガラス粉末を製造する方法に関する。 （もっと読む）

層が適用される内壁又はブロックの集合体によって保護される内壁を備えたガス化装置であって、この層又はブロックは、（ｉ）少なくとも２５質量％の酸化クロムＣｒ_２Ｏ_３と（ｉｉ）少なくとも１質量％の酸化ジルコニウムとを含有する焼結材料の少なくとも１つの領域を有し、この酸化ジルコニウムＺｒＯ_２の少なくとも２０質量％が立方晶及び／又は正方晶で安定化される。 （もっと読む）