【課題】大気圧プラズマ処理において、フッ素原料の回収率又は回収濃度の変動を抑制し、処理の安定性を確保する。
【解決手段】大気圧プラズマ処理部２から排出ライン３０に出された排出ガスを、分離部４０の分離膜４１で回収ライン５０への回収ガスと放出ライン６０への放出ガスに分離する。回収ガスをプロセスガスの少なくとも一部に充てる。上記分離に際し、フッ素系原料の回収率及び回収濃度のうち何れか一方又は両方が所望になるよう、回収ガス、放出ガス、排出ガスのうち少なくとも２つのガスの上記分離に係る物理量（好ましくは圧力）をプロセスガスの流量に応じて調節する。 （もっと読む）

【課題】密閉系においてサンプル液等の液体の流通をスムーズに行なうためのベローズが設けられ、かつ反応容器の入口側にパッシブバルブが設けられた反応容器プレートにおいて、ベローズの復元力により発生する負圧がパッシブバルブにかからないようにする。
【解決手段】各反応容器５にエアー抜き部１９の一端が接続されており、エアー抜き部１９の他端が反応容器エアー抜き流路２１に接続されている。反応容器エアー抜き流路２１の一端は切替えバルブ６３の接続ポートに通じている。大気開放流路２６は一端が切替えバルブ６３の接続ポートに通じ、他端が反応容器プレート１の外部へ通じている。切替えバルブ６３は、シリンジ５１と主流路２１とを接続すると同時に反応容器エアー抜き流路２１と大気開放流路２６とを接続することができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】微小流路を用いて非常に均一な粒径を有する、２０〜３０μｍ程度より小さい微小粒子を生成することできる微小粒子製造方法及びそのための微小流路構造体を提供する。
【解決の手段】微小粒子を含有する流体を流すための微小流路及びこれに連通する排出流路を備え、かつ前記微小流路に連通する１以上の流体の導入口と前記排出流路に連通する１以上の流体の排出口とを有した構造体であって、微小流路から排出流路への分岐部において、流体が流れる方向に沿って、微小流路の深さと実質的に等しい高さの複数の仕切り壁により複数の微小空間に分割されている微小流路構造体及びそれを用いた微小粒子の製造方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】照射ヘッドを大型化することなく、ＬＥＤ光源の冷却を行うことができるＬＥＤ光照射装置を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ光源２２を有する照射ヘッド１２と、ＬＥＤ光源の給電及び／又は制御を行う制御部３２が配置される制御装置１４と、ＬＥＤ光源２２を冷却する冷却手段とを備え、制御装置１４と照射ヘッド１２との間には連結管１６が設けられて、該連結管１６内を通過する電気ケーブル３６，３８を介して制御部３２とＬＥＤ光源２２が接続される。冷却手段は、照射ヘッド１２においてＬＥＤ光源２２に近接して設けられてＬＥＤ光源から伝熱がされるヒートシンク４０と、該ヒートシンク４０が晒される風を強制的に発生させるファン４２と、を備えており、ヒートシンク４０とファン４２とは、連結管１６を介して隔てられて配置されて、連結管１６を風が流通する。 （もっと読む）

【課題】反応容器プレートの外部からの異物の進入や外部への環境汚染を防ぎながら自動で反応処理を行なうことができる反応処理装置を提供する。
【解決手段】反応処理装置は、プレート保持部１、シリンジ駆動部２、バルブ駆動部３、温度調節部４及びそれらの動作を制御する制御部５を備えている。制御部５は、反応容器１０での反応処理を行なう前に、シリンジ５１を用いてサンプル液と試薬４５が収容されているサンプル容器３５を攪拌してサンプル液と試薬４５を混合し、さらにその混合液を希釈液４９が収容されている試薬容器３７へ送ってシリンジ５１を用いて攪拌して混合液を希釈し、その希釈混合液を各反応容器１０に繋がる主流路１３へ送液するようにシリンジ駆動部２、バルブ駆動部３を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ安価に地中への二酸化炭素の大量貯留を行うことを可能とした二酸化炭素貯留施設および二酸化炭素の地中貯留方法を提案する。
【解決手段】高透水層内に二酸化炭素を貯留するための二酸化炭素貯留施設１であって、地上から高透水層の上方にまで到達するアクセス坑道１０と、高透水層の上方においてアクセス坑道１０から横方向に延設された枝坑１１と、高透水層に貫入するように枝坑１１から下方向に形成された複数の圧入井１２と、アクセス坑道１０および枝坑１１内に配管されて圧入井１２に接続する二酸化炭素圧送管１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】反応容器プレートの外部からの異物の進入や外部への環境汚染を防ぎながら精度のよい反応処理を行なうことができる反応処理装置を提供する。
【解決手段】反応処理装置は、反応容器プレートを保持するためのプレート保持部１、反応容器プレートに設けられているシリンジを駆動するためのシリンジ駆動部２、切替えバルブを駆動するためのバルブ駆動部３及び反応容器の温度を所定温度に調節して反応させる反応処理部としての温度調節部４を備えている。シリンジ駆動部２、バルブ駆動部３及び温度調節部４の動作は制御部５によって制御される。制御部５は、サンプル容器３５に予め収容されている反応試薬を用いた分析動作を開始する前に、シリンジをサンプル容器３５に接続し、シリンジを吸引側へ駆動することによってサンプル容器３５内においてエアー抜き部３５ｉ側よりも液体収容部３５ｇ側を減圧するように制御する。 （もっと読む）

【課題】駆動周波数を常に自動的に共振周波数近傍としながらオゾン生成量を効率良く調整できる放電セル放電回路を提供すること。
【解決手段】直流電力を供給する電力供給部（Ｕｗ）と、インバータ（Ｕｊ）と、トランス（Ｔｒ）と、トランス（Ｔｒ）の２次側の放電セル（Ｄｓ）と共振インダクタ（Ｌｍ）とを接続した閉ループからなり共振インダクタ（Ｌｍ）と寄生容量（Ｃｍ）とによって構成される共振部とを具備する。共振部の共振周波数とインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数とを同調させるようにインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数を制御する同調制御部（Ｕｓ）と、電力供給部（Ｕｗ）の出力電力を調整可変して規定の出力電力になるように制御する電力制御回路（Ｕｗｃ）とを具備し、同調制御部（Ｕｓ）によるインバータ（Ｕｊ）の駆動周波数の制御と、電力制御回路（Ｕｗｃ）による電力制御との２つの制御系によって放電セル（Ｄｓ）の放電を継続させる。 （もっと読む）

【課題】 従来の高周波加熱装置や高周波化学反応装置では、試料に高周波電力を照射すると試料が発熱するとともにキャビティーも熱せられる結果、キャビティーを含む負荷の共振周波数が変化して大きな反射が立ち、試料に高周波電力が十分吸収されなかった。これを解決するために従来は導波管変換器内部短絡板など機械的な部品を駆動させて整合をとる必要があり、機構が複雑で信頼性に劣りコストが高いなどの欠点があった。
【解決手段】 本発明によれば、信号源として例えば周波数可変型高周波信号発生器を設け、負荷共振周波数の変動で反射検出端に出力が生じた場合はその信号を信号処理回路に送り、これを信号処理して常に反射最小の周波数に該信号発生器を自動調整するため整合用機械稼動部分が無く、電気信号だけの処理による装置が構成できるので機構が簡単で小型で信頼性が高く、コストの安い高周波電力応用装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】運転の複雑化を伴うことなく、紫外線発生量を制御することが可能な紫外線発生装置を提供すること。
【解決手段】本発明の紫外線発生装置によれば、紫外線５を透過可能な放電管１と、放電管１の周囲に配置される電極対２と、電極対２に交流電圧またはパルス電圧を印加する電源３とを備え、電源３によって、電極対２に交流電圧またはパルス電圧を印加することにより、放電管１内部に放電を起こさせて紫外線５を発生させる紫外線発生装置であって、放電を検知すると放電状態であると判定する放電検知センサ７を備えている。 （もっと読む）

【課題】炭酸ガスを直接、有機系成分に改質反応させて、炭酸ガスの大幅な排出削減が可能となる、炭酸ガス削減方法、および、それに用いる炭酸ガス反応装置を提供する。
【解決手段】らせん状の管状形状などの形状を取る炭酸ガス反応容器６に、炭酸ガス導入配管１から炭酸ガスと水導入配管２から水が送り込まれ、マイクロ波照射器３でマイクロ波を照射して、生成した有機系燃材料を有機系燃材料排出配管から取り出すことからなる炭酸ガス反応装置。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流体システムにおける、流体種の制御及び操作を提供すること。
【解決手段】
１つの様態において、本発明は、例えば、電界、機械的変形、介在流体の添加等を用いて、液体に囲まれた流体の小滴を生成するシステム及び方法に関する。特定の例において、小滴の各々にほぼ均一の数の成分を含有させることができる。例えば、小滴各々の９５％以上に同一数の特定種成分を含有させることができる。別の様態において、本発明は、例えば電荷及び／又は双極子と、電界との相互作用を通して、流体小滴を２つの小滴に分割するためのシステム及び方法に関する。また、本発明は、本発明の別の様態において、例えば電荷及び／又は双極子と電界との相互作用を通して、小滴を融合させるためのシステム及び方法に関する。特定の例において、小滴の融合によって、反応を開始させ又はこれを判別することができる。 （もっと読む）

マイクロチャネル内で流体流れを制御するためのシステムおよび方法は、すべてがマイクロチャネルと連通する、流体出口ウェルと１つまたは複数の流体入口ウェルとを備える流体回路を含む。負圧の差が出口ウェルに加えられ、入口ウェルからマイクロチャネルへの流体流れは、入口ウェルを大気圧に開放するまたは閉じることによって制御される。入口ウェルからの流体流れを停止するために、負圧の差を入口ウェルに加えて入口ウェルと出口ウェルの圧力を等しくすることができる。異なる入口ウェルを順次大気に開放して閉じることによって、制御された量の異なる試薬を連続的にマイクロチャネルに導入することができる。
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【課題】小スペースで複雑な制御を必要とすることなく、被照射面に対して光照射を均一に行うことのできる光照射装置及び光照射方法を提供することに。
【解決手段】回路形成面に紫外線硬化型の接着剤を有する接着シートＳが貼付された半導体ウエハＷを被照射体として支持する支持手段１１と、所定距離を隔てた位置に焦点軸Ｐを有するとともに、首振り動作可能に設けられた紫外線照射手段１３とを備えて光照射装置１０が構成されている。支持手段１１は、多関節ロボット１２に支持され、紫外線照射手段１３が首振り動作したときに、接着シートＳの接着剤層面ＳＡが焦点軸Ｐの位置から外れることがないように、ウエハＷを相対的に変位させる。 （もっと読む）

【課題】あるチャンネルにおいて抵抗値（配管抵抗値）が変化しても、他のチャンネルに流れる流体の流量を一定に保つ化学反応装置を実現すること。
【解決手段】マイクロリアクタを含み流体を供給する送液部と並列に接続される複数のチャンネルを有し、これらのマイクロリアクタで流体に化学反応を生じさせる化学反応装置において、前記送液部とバイパス流路を介して接続され、このバイパス流路の圧力を一定に保つ圧力制御部とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

ナノ体積マイクロキャピラリー結晶化システムは、従来の凍結保護用の結晶取り出し、もしくは内部で成長するタンパク質結晶のその場Ｘ線回折研究を可能にする結晶カードにおける、結晶化条件のナノリットル体積スクリーニングを可能にする。本システムは、結晶化反応混液の調合を結晶化実験の準備と統合させる。本システムは、結晶化相空間を効率的に利用するための結晶化実験における勾配スクリーニング、或いは１つの包括的ハイブリッド結晶化トライアルを実行するためのスパースマトリックスおよび勾配スクリーニングの組み合わせのいずれかを研究者が選択することを可能にする。
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【課題】マイクロ波を用いて無電極ランプから生成される紫外線光の配光分布の調整を可能にする。
【解決手段】ランプハウス１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３１，１３２および導波管１５１，１５２を介してマイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が構成される。ランプハウス１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、ファンを主体とする冷却機構２０により冷却する。無電極ランプ１２から照射される紫外線光は、被照射体に対してリフレクタ２１１，２１２を用いて集光または拡散させる。無電極ランプ１２は、径方向に上下に移動可能に支持する。無電極ランプ１２を上下させ、リフレクタ２１１，２１２の反射方向を変えることで、無電極ランプ１２の照射面積の変更が可能となる。これにより、被照射物の大きさにあった照射面積とすることで、効率的な紫外線光の照射を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】紫外線を放射するために必要な消費電力を小さくするとともに、出力設定値を変更しても累積放射時間に関わらず紫外線出力を一定に保つ。
【解決手段】記憶部６には、ＬＥＤユニット２の出力設定値の候補値ごとに補正テーブルが記憶されている。複数のＬＥＤチップ８から構成される各ＬＥＤユニット２からこれまでに紫外線を放射させたことがある場合、操作部５３で出力設定値が設定されると、ＰＬＣ５は、前回の放射までの累積放射時間に対応する補正値を出力設定値の補正テーブルから取得する。その後、ＰＬＣ５は、取得した補正値を用いて各ＬＥＤユニット２への供給電力の大きさを設定する。ここで、前回の出力設定値とは異なる出力設定値が設定された場合、ＰＬＣ５は、変更時の累積放射時間から開始して補正値を求める。 （もっと読む）

【課題】寿命の終わりを自動的に追跡するランプシステム、ランプ組立体及びその作動方法を提供する。
【解決手段】ランプシステム（30）は、ランプヘッド（10）及びランプ組立体（24）を有し、ランプ組立体は、これをランプヘッド内に固定する少なくとも１つの端部固定具（20）を有する。データキャリヤ（26）がランプ組立体に取り付けられている。データキャリヤは、識別子、動作データ、動作時間数を表すデータ、ランプ組立体と関連したランプ形式を表すデータ又はこれらの組合せを記憶するよう構成されている。データ読取り装置（34）がデータキャリヤに記憶されている情報を読み取るよう構成されている。コントローラ（40）が、データキャリヤから読み取った情報を処理するよう動作可能である。 （もっと読む）

【課題】真空装置中の全圧を制御しつつ気体供給路を短時間で変更できる調圧機能付高速ガス切替装置とする。
【解決手段】第１流量制御バルブを介して第１供給ガスを真空装置に供給する第１管路と、第２流量制御バルブを介して第２供給ガスを供給する第２管路とを第１三方向バルブで連結して、第１供給ガスと第２供給ガスのいずれかのガスを第１三方向バルブから第３流量制御バルブを介して真空装置に供給可能とする。また、第２管路の第２流量制御バルブと第１三方向バルブとの間の管路と、第４流量制御バルブを介して排気する排気管路とを第２三方向バルブで連結するとともに、排気管路の第４流量制御バルブと第２三方向バルブとの間の管路に前記第１管路から分岐した管路を連結して、第１供給ガスと第２供給ガスのいずれかのガスを第４流量制御バルブを介して排気可能とする。 （もっと読む）