【課題】排気装置及びこれを含む基板処理装置、そして排気方法を提供する。
【解決手段】プロセスチャンバ内のガス及び反応副産物は排気ラインを通して排出される。排気ライン上には排出ポートが連結され、反応副産物は排出ポートを通して捕集される。排出ポートは、排気ラインの側壁に形成された排出口に連結され、捕集された反応副産物を格納する捕集筒と捕集筒を排気ライン上に連結する締結部材を含む。排気ラインは、第１及び第２排気ライン、そして連結ラインを含み、連結ライン上には排出口及びガイド面が形成される。 （もっと読む）

【課題】脈動の発生を抑えることで、特定物質の質量測定を行う場合にその精度を向上させることができ、しかも非特異吸着を抑える。
【解決手段】センサに液体を供給またはセンサへ供給した液体を排出するためのマイクロ流路である。起立状態で使用される流路本体１０が、流路中心線Ｊに平行な分割面Ｓで分割される、疎水性を示す第１の壁面部１１と親水性を示す第２の壁面部１２とを有する。第１の壁面部の周長をＬａ、第１の壁面部と液体との接触角をθａ、第２の壁面部の周長をＬｂ、第２の壁面部と液体との接触角をθｂとするとき、流路本体が、以下の式で表される条件を満たす。
Ｌａ・ｃｏｓθａ＋Ｌｂ・ｃｏｓθｂ＜０ （もっと読む）

【課題】環境汚染の抑制と焼却コストの低減を図れる可燃物処理装置を提供する。
【解決手段】可燃物処理装置１は、処理容器３と、外気を内部に取り込む吸気パイプ５と、取り込まれる空気を磁化する磁界発生手段７と、複数の滞留槽４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃを備えた煙突１５を有している。投入口６５から処理容器３内に投入された可燃物に着火し、エアーバルブ９により空気量を調整すると、磁化空気の存在により無炎に近い状態で燃焼が持続し、有害物は処理容器３内の還元雰囲気により無害化される。
燃焼により生じたガスの一部は、木酢液と同様の特性を有する液として滞留槽４３の液溜め部４５に集められるとともに、最上の活性炭層５３により無害化されて外部に放出される。 （もっと読む）

【課題】液分配器に少しの傾きが生じても液の均一な分配が可能であり、また液供給量の大小の制御は、常に一定のトラフ内の液面の高さを保持していれば充分であり、さらに広範囲の運転速度を達成しながらなお液の分配を均一に行うことができる気液接触装置用の液分配器を提供する。
【解決手段】トラフ（２）の底壁（２ａ）に多数の貫通孔（３）を設け、各貫通孔に毛細管現象の働く糸状体（４）を貫通させて液の供給用ガイドとし、各糸状体（４）の下端部を液分配器（１）の下方に設置された充填物の頂部に直結してなり、トラフの高さを供給される液の水頭圧が働く充分な寸法にした物質移動等を行う気液接触装置の液分配器。 （もっと読む）

【課題】内部でプラズマが発生する反応管の開口近傍の内壁を保護し、メンテナンスを容易に行うことができる技術を提供する。
【解決手段】センターリング１は、真空を保持して２つの配管の中心軸を位置合わせして接続するために、Ｏリング装着用溝５を外周面に有した第１円環部２と、第１円環部２の円環の中心軸方向両側にそれぞれ隣接した２つの第２円環部３とを有し、第１円環部２に隣接する一方の第２円環部３ｂは、外径が他方の第２円環部３ａと等しく、かつ、内径が他方の第２円環部３ａより小さく形成されると共に、内周面の全周縁に、円環の中心軸に平行な方向に突起部４を備える。 （もっと読む）

【課題】圧入された二酸化炭素の地中での挙動の監視。
【解決手段】地下の石炭層（本層１、下層２）に通じる複数の孔井を設け、これら複数の孔井のうち、下層２に通じる圧入井３から二酸化炭素ガスを圧入して下層２内の石炭などに固定させ、その後、二酸化炭素と置換されて放出されるメタンガスを主成分とする炭化水素系ガスを生産井４から回収する二酸化炭素の固定および炭化水素系ガスの生産システムにおいて適用される二酸化炭素の地中浸透モニタリング方法とする。間隔を開けて５つの地点（Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ）に穿設した観測孔内の底部に放射線強度計（γ線スペクトロメータ）の検出器を設置し、圧入井３には二酸化炭素ガスを圧入すると同時に、放射線強度計によってγ線強度の経時的変化を調べることにより、圧入された二酸化炭素の地中での挙動、すなわち二酸化炭素の地中浸透状況およびこれに伴う地中ガスの生産状況を監視できる。 （もっと読む）

【課題】２２０ｎｍ以下の波長域を含む紫外線が放射される短波長紫外線放電灯において、被処理物の処理効率の低下を防止し、人体に安全で、運転操作の信頼性に優れた短波長紫外線放電灯及びそれを使用した紫外線照射処理装置を提供する。
【解決手段】短波長紫外線放電灯１００の管体３１の外を引き回されるリード線６０が、フッ素樹脂押し出し成形絶縁体で被覆された絶縁導体上に金属製の外装部材を有する。紫外線照射処理装置は、この短波長紫外線放電灯１００を、２２０ｎｍ以下の波長域に透光性を有する透光管に内挿してなる。 （もっと読む）

【課題】ガラス材等の被加工材に生じた反り等の変形量を低減する。
【解決手段】ガラス基板１０，２０，３０の両面にドライフィルムを施し、各ガラス基板１０，２０，３０について一方のドライフィルムに所定パターンの開口を露光・現像により形成する。次に、サンドブラスト法によってその開口パターンに沿った溝をガラス基板１０，２０，３０に施す。次に、ドライフィルムを貼り付けた状態でガラス基板１０，２０，３０をエッチング液に浸漬し、溝の壁面部分をエッチングする。次に、溝に触媒を担持し、ガラス基板１０，２０，３０を接合する。 （もっと読む）

【課題】成分の分離処理を容易に実行できる化学処理用カートリッジおよびその使用方法を提供する。
【解決手段】外力を加えた際の変形によって内部の送液を行うことで化学処理を行わせる化学処理用カートリッジの内部に化学処理のシーケンスを規定する空間を形成する。カートリッジの内部に、外部からサンプルを受け入れるウェル２１と、受け入れられたサンプル中の目的成分を分離するための分離溶媒をサンプルに混合し、サンプル中の目的成分と他の成分とを分離するためのウェル２３と、を形成する。 （もっと読む）

【課題】流路内での流体の接触を積極的に行い、流体の速度分布を減少し、流路内で流体の混合または反応を良好に行うことができる流体処理容器を提供する。
【解決手段】複数の流体１１、１２を流すための流路１３を備え、流路１３の内壁１４に電圧を印加して進行波を生起させる圧電体１を有し、前記進行波の存在下で複数の流体を混合または反応させる流体処理容器。前記進行波は圧電体に電圧を印加して生起する機械的ひずみである。前記圧電体は、１２８°回転Ｙ板Ｘ伝播ＬｉＮｂＯ₃の単結晶からなる。前記圧電体に電圧を印加する櫛歯状電極を有する。 （もっと読む）

【課題】超音波洗浄などの処理を行うとともに放電プラズマによる処理を効率よく行うことができるプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置１１は、洗浄水Ｗを導入可能な容器１２と、超音波発生装置１３と、マイクロ波発生装置１４と、減圧装置１５とを備える。超音波発生装置１３は、容器１２内の洗浄水Ｗ中に超音波を照射してキャビテーションを多発的に生じさせ、洗浄水Ｗに含まれる有害物質を液相から気相に移行させる。マイクロ波発生装置１４は、容器１２内における気相にマイクロ波を照射して気相中にて放電プラズマを発生させ、気化した有害物質をその放電プラズマで分解して無害化する。 （もっと読む）

【課題】細長い管の内部を処理することが可能な細線状大気圧放電プラズマの生成方法および生成装置の提供。
【解決手段】内部電極１として直径１ｍｍの銅線を用い、内部電極１を外形１．９ｍｍ、内径１．３ｍｍの石英管４の中に挿入し、隙間を充填材としてセラミックボンド５で埋め、空気を排除した構造とする。円筒管としての石英管４の外側にアルミ箔を幅２ｍｍのテープ状に切ったものを５ｍｍの間隔で螺旋状に巻きつけて外部電極２とする。内部電極１と外部電極２との間に交流電圧３を印加し、誘電体バリア放電を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造の磁気処理装置として、安定して処理室に磁気処理した外気を供給することができるようにすることにある。
【解決手段】 外気を磁気処理する所定の断面とした筒状の磁気処理部７の流通路２の中央部にガイド棒１０を流通路２にそって配設して、この流通路２に所定の磁力の磁石体４、５を対向して配設し、外気を上記磁石体４、５を配設した流通路２で磁気処理してガイド棒１０にそって流通させて処理室に流入するようにしている。筒状の流通路２の対向する内側面に一定の間隔で流通路２の中心部側に突き出した仕切り１１を対称状または非対称状に配設し、また筒状の流通路２の周囲の内側面に所定の磁力の磁石体をスパイラル状の位置関係で配設することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】経済的な、流体の平衡化を可能にする平衡化装置であり、流体を撹拌するためのシステムを提供する。
【解決手段】ウェル５１内に配置可能な、開口端部を持ったチューブ６を有している。第１のシール層４は貫通孔４１を持っており、該貫通孔４１の縁部４１１が該チューブ６の開口端部の縁部６１の上に配置される。さらに、カバー２に隣り合って配置され得る第２のシール層３を有し、２つのシール層３，４の使用は、２つの単一の層３，４の利点を結び付けることを可能にする。特に、第１のシール層４の材料の利点（例えば、平らでない領域をシールするような、および、ウェル５１の開口部の上へ突き出しているチューブによって形成された段差を相殺するような、高い柔軟性）だけでなく、第２のシール層３の材料の利点（例えば、安価であること）が、２つのシール層が適切に配置された。 （もっと読む）

【課題】所望のサイズのクラスターを効率良く得ると共に得られたクラスターを基材へ効率良く堆積させることができるクラスター製造装置及びクラスター製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係るクラスター製造装置及びクラスター製造方法は、一対のターゲットを間隔をおいて互いに対向すると共に下流側に向いて傾斜するように対向配置し、複数のガス供給用毛細管が間隔をおいて同一平面上に配置されると共に、その径ｄｍｍと長さＬｍｍとの比Ｌ／ｄが５００≦Ｌ／ｄとなるように構成されるプラズマ源ガス供給手段によって、プラズマ源ガスを前記一対のターゲット間にシート状気流にして供給し、該供プラズマ源ガスをプラズマ状態にしつつ、前記一対のターゲットから蒸気を発生させ、クラスター発生部とクラスター成長部とが連通する連通部に配設されると共に、軸芯方向において、径が漸減する中空筒状の捕集筒によって、前記蒸気を捕集してクラスター成長部へ導入することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流路の長さがそれほど長くなくて済み、反応が完了するまでに要する時間を短縮できるマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】マイクロリアクタ１０において、第１導入ポートＰ１の出口とマイクロ流路Ｒ４の入口との間に設けられ第１導入ポートＰ１から導入した第１被反応流体Ｌ１をマイクロ流路Ｒ４に導入するための第１スリット状流路Ｒ１と、第２導入ポートＰ２の出口とマイクロ流路Ｒ４の入口との間に設けられ第２導入ポートＰ２から導入した第２被反応流体Ｌ２をマイクロ流路Ｒ４に導入するための第２スリット状流路Ｒ２とを備え、第１スリット状流路Ｒ１と第２スリット状流路Ｒ２とは、互いに平行でない状態でマイクロ流路Ｒ４の入口に設けられる。 （もっと読む）

モジュール式で再構成可能な多段型マイクロ反応器カートリッジ装置は、マイクロ反応器などの複数のマイクロ流体構成要素を取外し可能に取り付けるためのマニホールドを提供する。マイクロ流体構成要素は、２つの入力／出力端子を有したマイクロ流体構成要素ポートに取り付けられており、マイクロ流体構成要素ポートは、マニホールドの内部の接続を介して他のマイクロ流体構成要素ポートに接続され、マイクロ流体回路を提供している。マイクロ流体構成要素は、マイクロ流体回路差込口、または、２つの入力／出力端子および締結開口を有した装着ブロックと、第１および第２の輸送部分ならびに本体部分を有した流体チューブとを有するカートリッジであることが可能であり、これらの３つの部分は、実質的に平行な平面内に配置され、本体部分は、スプールの周囲にコイル状に巻かれている。コイルは、エポキシ製のプロテクタまたはＬ形ブラケットによって装着ブロックに接続されている。カートリッジは、それぞれ、第１および第２の輸送ラインに接続された第１および第２の遠隔入力／出力端子を有している。
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【課題】反応容器内の気圧をセンシングすることのできる反応装置、その反応装置を用いた発電装置、及び、電子機器を提供する。
【解決手段】複合型マイクロ反応装置１００は、断熱真空容器（反応容器）１５０と、断熱真空容器１５０内に収容され、異なる温度で反応物の反応を起こす改質器及び一酸化炭素除去器と、断熱真空容器１５０内の真空度（気圧）を測定するマイクロ真空センサ（気圧センサ）１とを備える。 （もっと読む）

【課題】分離能に優れているとともに、コンパクトに設計可能であり、限られた狭小空間であっても配設することができるガス分離管収容構造体を提供する。
【解決手段】有底筒状の基材、及び基材の少なくとも一の表面上に形成された選択透過膜を有する、一の開口部１を持った有底筒状のガス分離管２と、ガス分離管２をその内部に収容する容器３と、ガス分離管２の開口部１に配設され、ガス分離管２の内部と外部を気密的に隔離した状態でガス分離管２と容器３を接合する接合部材４と、を備え、接合部材の外径Ｄ_１に比して、容器３の少なくともガス分離管２を収容する部分の内径Ｄ_２の方が小さいガス分離管収容構造体１０である。 （もっと読む）

【課題】交換や破棄を容易にすることができる試料供給機構、それを用いた試料供給方法、マイクロ化学システム、評価システム、及びインジェクターシステムを提供する。
【解決手段】試料供給機構１０は、マイクロ化学チップ２０の流路２０ａに液体試料を供給するための機構であり、ストレートチューブから成る送液チューブ３０と、流路２０ａ及び送液チューブ３０の一端を接続するコネクタ部１１と、送液チューブ３０の他端を保持するチューブ保持部１２とを備える。ここで、液体試料に接触する部分は送液チューブ３０であり、この送液チューブ３０は交換可能である。コネクタ部１１は、送液チューブ３０が挿入される貫通孔１３を有する筒状である。チューブ保持部１２は、送液チューブ３０を保持するためのチューブ保持孔３１と、他のチューブ３２を保持する他のチューブ保持孔３３とを有する。 （もっと読む）