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Fターム[4J100CA05]の内容

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【課題】水に溶解されずにイマージョンリソグラフィに使用されるとともに、フォトレジストパターン形成におけるフォトレジスト膜内の光の多重干渉を防止し、フォトレジスト膜の厚さ変動によるフォトレジストパターン寸法幅の変動を抑制できる上部反射防止膜の重合体およびこの製造方法を提供する。また、前記上部反射防止膜の重合体を含む上部反射防止膜の組成物およびこれを用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】上部反射防止膜の重合体は、下記の化1のように示され、1,000〜1,000,000の重量平均分子量を有す。化1において、R1、R2、R3は、水素またはメチル基をそれぞれ示し、a、b、cは、各単量体のモル分率として0.05乃至0.9をそれぞれ示す。
【化1】
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【課題】
多量の有機溶剤等を使用しなくても不飽和基を含有する水性樹脂分散体を安定に製造する方法を提供する。
【解決手段】
ジシクロペンテニル基を含有する重合性不飽和モノマー(A)及び該モノマー(A)と共重合可能なその他の重合性不飽和モノマー(B)を含むモノマー成分を含むモノマー混合物(I)を、水性媒体中に平均粒子径が500nm以下になるように微分散させ、得られる乳化物を重合させることを特徴とする水性樹脂分散体の製造方法。 (もっと読む)


以下の成分:すなわち、a)− 4以下の分子量分布Mw/Mn;− 13C−NMRで測定されるrrトライアッド5%〜50%;− 示差走査熱量計(DSC)で検出可能な融解エンタルピーが認められない;− 135℃でテトラヒドロナフタレン(THN)中で測定した場合、0.85dl/g〜5dl/gの固有粘度(I.V.);および− 0.5%未満の赤外結晶化度の特性を有する、5重量%〜95重量%のアタクチック1−ブテンベースのポリマー;b)− 13C−NMRによって測定されるアイソタクチックペンタッド(mmmm)80%超;− 80℃を超える融点;および− 135℃でテトラヒドロナフタレン(THN)中で測定した場合、0.1dl/g〜5dl/gの固有粘度(I.V.)の特性を有する、約5重量%〜約95重量%のアイソタクチック1−ブテンベースのポリマーを含む1−ブテンポリマー組成物。 (もっと読む)


たとえば皮膚のような哺乳動物の身体組織に使用するのに適切な可塑性の架橋性重合体ヒドロゲルであって、一またはそれ以上のペンダントアニオン性基を含む第1のモノマーと、一またはそれ以上のペンダントカチオン性基を含む第2のモノマーとから形成された架橋性共重合体を含み、前記共重合体に含まれる前記モノマーの相対量は、アニオン性基とカチオン性基とが実質的に等モル量になるような量である。 (もっと読む)


【課題】ビニル付加ポリマー組成物、当該組成物の形成方法、エレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスデバイスを形成するための当該組成物の使用方法を提供する。
【解決手段】ノルボルネン型モノマーから得られる二つ以上の種類の区別される型の反復単位を有する主鎖を持ったビニル付加ポリマーからなり、第一型の反復単位は、式1に表わされるグリシジルエーテル置換ノルボルネンモノマーから得られ、第二型の反復単位はアラルキル置換ノルボルネンモノマーから得られる。


[式中、Xは−CH−,−CH−CH−および−O−O−から選択、mは0〜5,R,R,RおよびRの少なくとも一つはグリシジルエーテル含有基] (もっと読む)


式(1)で表される構成単位A、式(2A)及び/又は式(2B)で表される構成単位B、並びに式(3)で表される構成単位C〔R及びRは水素原子又はメチル基を示すが、R及びRが同時にメチル基になることはなく;Rは炭素数1〜3の2価の炭化水素基を示し;AOは炭素数2〜4のオキシアルキレン基を示し;mはオキシアルキレン基の平均付加モル数を示し、4≦m≦100の範囲の数であり;Rは水素原子、炭素数1〜20の炭化水素基、又はアシル基を示し、RCO及びRCOは炭素数8〜24のアシル基を示し;Rは炭素数2〜4の2価の炭化水素基を示し;X及びYは水素原子、アルカリ金属原子、アンモニウム、又は有機アンモニウムを示す〕を必須構成単位として含む共重合体であって、構成単位Aと構成単位B及び構成単位Cの合計とのモル比が7/3〜3/7であり、かつ構成単位Cを共重合体1モル中に1〜4モルの割合で含むリポソームなどの修飾に利用可能なリン脂質誘導体。

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【課題】 紫外線等の照射によって架橋による3次元硬化が可能な重合体、及びこれを含有する樹脂組成物において、反応成形時の収縮等による歪(ゆが)みや割れを防止することができ、最表面の硬化不良をも防止できるものを提供する。
【解決手段】下記に示すような1〜3個のエポキシ基及び1個のラジカル反応基を分子中に含むエポキシ基含有モノマーを、単独で、または1個のラジカル反応基を分子中に含む非エポキシ基含有モノマーとの組み合わせで、ラジカル反応基の重合により、可塑性、熱可塑性または液状の重合体を得る。この重合体は、エポキシ当量が200〜2000(g/eq)であり、かつ、重量平均分子量が2000〜20万である。紫外線等の照射により、光カチオン重合機構による3次元架橋により硬化が行われる。この硬化の際の体積収縮率は2%未満とすることができ、各種光学材料として使用可能な硬化物を得ることができる。
【化1】
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【課題】 微細解像性に優れ、レジストパターンのLERおよびSWの少なくとも一方を改善できる化学増幅型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを含むレジスト組成物であって、沸点が220℃以上の高沸点溶剤成分(X)を含有することを特徴とする化学増幅型レジスト組成物。 (もっと読む)


油相、水相、少なくとも1の油中水(W/O)系の乳化剤、および少なくとも1の水中油(O/W)系の乳化剤を含有し、20重量%乃至70重量%の、好ましくは25重量%乃至50重量%の架橋アニオン性高分子電解質を含有する組成物であって、前記高分子電解質は、部分的もしくは完全に塩化された2−メチル−2−[(1−オキソ−2−プロぺニル)−アミノ]−1−プロパンスルホン酸と少なくとも1の中性モノマーおよび任意に少なくとも1の弱酸性官能基を有するモノマーとが重合したコポリマーであり、部分的もしくは完全に塩化された2−メチル−2−[(1−オキソ−2−プロぺニル)−アミノ]−1−プロパンスルホン酸のモル比は、30%未満1%以上であることを特徴とする組成物。化粧料における適用。 (もっと読む)


【課題】配線等のパターニングにおける従来の現像工程を省略し、サイドエッチングが無く、低コスト、高スループットを実現可能とした表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板SUB上に成膜した金属膜MTを覆って酸現像タイプのネガ型ホトレジストNRGを塗布し、所要の開口パターンを有するネガ型露光マスクNMKを通してホトレジストを露光して露光部のホトレジストを硬膜化し、酸現像液を用いて硬膜化したホトレジストの露光部を残し、露光されなかった非露光部を除去するとともに、当該非露光部のホトレジストの除去で露出した金属膜MTをエッチングして除去した後、ホトレジストNRGを除去する。 (もっと読む)


産業用水溶液システム又は水に基づく産業用製品中へ、30〜100モル%のスチレンスルホン酸、0〜40モル%のN−ビニルラクタム及び/又はN−ビニルアミン、及び、0〜30モル%の別なフリーラジカル重合性モノマー、を含む、0.001〜5質量%の水溶性又は水分散性ポリマーを、殺生物剤として添加することにより、微生物を防除する方法、及びそのような添加剤を含む抗微生物性水溶液組成物を施用することにより、製品を防護する方法。 (もっと読む)


下記一般式(1)で示される4級アンモニウム塩(A)と、イオン性液体(B)とを含む高分子電解質用組成物を用いることで、イオン性液体の優れた特性を損なうことなく高分子化させることができ、安全性および導電性に優れ、しかも電位窓の広い電解質を得ることができる。


〔式中、R〜Rは互いに同一もしくは異種の炭素数1〜5のアルキル基、または反応性不飽和結合を有する置換基を示し、これらR〜Rのいずれか2個の基が環を形成していても構わない。Rは、メチル基、エチル基または反応性不飽和結合を有する置換基を示す。ただし、R〜Rの内少なくとも1つは前記反応性不飽和結合を有する置換基である。Xは一価のアニオンを示し、mは1〜8の整数を、nは1〜4の整数を示す。〕
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【課題】特に高価かつ特殊な共重合モノマー、或いは触媒としての鋳型化合物を大量に用いることなく本質的に耐炎化工程を短縮且つ低温化し、繊維間の融着や熱分解を抑制することができる炭素繊維プレカーサ用共重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】アクリロニトリル、アクリル酸系化合物、及びアクリル酸エステル系化合物を主たる成分とする不飽和共重合成分を、鋳型化合物に接触させてアダクトとし、これを固相重合することによって高アイソタクティシティを有する炭素繊維プレカーサ用共重合体を製造する方法であって、該固相重合終了後に、前記鋳型化合物を回収し、100℃以上の加熱処理により賦活した後、固相重合触媒として再使用する。 (もっと読む)


長鎖分岐ポリマーを調製するワンポット重合方法が提供される。本発明の長鎖分岐ポリマーの主鎖及び側鎖間の接合点として作用する“T”試薬も記載される。“T”試薬は2以上の官能基を有し、コモノマー及び連鎖移動剤の両方として作用する。任意に、まずα-オレフィン及び“T”試薬間の共重合反応がおこってポリオレフィン主鎖に“T”分子を組み込み、次いで組み込まれた“T”単位が成長ポリオレフィン連鎖と反応する連鎖移動剤として挙動して側鎖を形成する。特別な実施態様において、長鎖分岐ポリエチレン(PCBPE)及び長鎖分岐ポリプロピレン(PCBPP)を調製する重合方法が詳述される。 (もっと読む)


【課題】 DOFの広いポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 (A)酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分、および(B)露光により酸を発生する酸発生剤成分を含有するポジ型レジスト組成物であって、前記(A)成分が、相互に構造が異なるn[nは4〜6の整数]種の構成単位からなる共重合体であり、該共重合体中の各構成単位の割合がいずれも0モル%超100/(n−1)モル%以下であることを特徴とするポジ型レジスト組成物。 (もっと読む)


【課題】 高解像性を有するとともに、レジストパターンの矩形性、LER、DOF、およびELマージンの少なくとも1つを改善できるポジ型レジスト組成物およびレジストパターンの形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)とを含むポジ型レジスト組成物において、前記樹脂成分(A)が、フェノール性水酸基を有する構成単位(a1)と、ラクトン含有単環又は多環式基を有する構成単位(a2)と、酸解離性溶解抑制基を有する構成単位(a3)とを有する共重合体(A1)を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物およびレジストパターンの形成方法。 (もっと読む)


【課題】DUVエキシマレーザーリソグラフィーあるいは電子線リソグラフィー等においてレジスト樹脂として用いた場合に、解像性がよく、ラインエッジラフネスが小さく、ディフェクトおよびパーティクルの生成も少ないレジスト用重合体を提供する。
【解決手段】2−エチル−1,3,3,トリメチルビシクロ[2.1.1]ヘプタン−2−イル−メタクリレート,2−エチル−1,7,7,トリメチルビシクロ[2.1.1]ヘプタン−2−イル−メタクリレート,2−エチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン−exo−2−イル−メタクリレート,2−エチル−エチルトリシクロ[5.2.1.02,6]デカン−exo−8−イル−メタクリレート等、エステル酸素と特定位置の炭素との間の結合が酸素によって開裂し脂環構造が脱離しうる構造特性を与える特定物質と、2−または3−シアノ−5−ノルボルニルメタクリレート,1−メタクリロイルオキシ−3−ヒドロキシアダマンチル等の特定物質を反応させてなるレジスト用重合体。 (もっと読む)


【課題】 分子量及び分子量分布の制御された高分子量のピペリジル基を有する重合体又は共重合体を提供すること。
【解決手段】 下記一般式(I)で表される構成単位より構成される、数平均分子量30,000以上であるピペリジル基含有高分子量重合体又は共重合体。
【化1】
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少なくとも二種の異なる特に選択されるモノマーを含む新規なグラジエントコポリマーと、これを含有する化粧品用又は皮膚の手入れ用組成物。本発明はまた上述した化粧品用組成物を体又は顔の皮膚、爪、毛髪及び/又は睫毛等のケラチン物質に適用することを含んでなるケラチン物質のメークアップ又は手入れするための美容方法にも関する。 (もっと読む)


【課題】 シワや毛穴をきれいに隠し、見た目や感触の違和感のない凹凸部隠し用化粧料や皮脂を吸収することによる皮脂対策化粧料に有用な膨潤型吸油ポリマー、及びそれを含有する化粧料の提供。
【解決手段】 (A)炭素数18〜24の直鎖又は分岐鎖アルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレート、(B)(A)成分と共重合可能な1個の重合性不飽和基を有するビニルモノマー及び(C)2個以上の重合性不飽和基を有する架橋性モノマーを含有するモノマー成分を共重合させて得られるポリマー粒子であって、(A)成分と(B)成分のモル比が、(A)/(B)=45/55〜95/5であり、(C)成分の割合が、(A)成分と(B)成分の合計100重量部に対して、0.001〜5重量部であり、膨潤前の平均粒径が1〜40μmである、膨潤型吸油ポリマー粒子、並びにこの膨潤型吸油ポリマー粒子を含有する化粧料。 (もっと読む)


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