説明

Fターム[4K029AA22]の内容

物理蒸着 (93,067) | 基体 (14,066) | 形状 (5,788) | 粒、粉、球 (90)

Fターム[4K029AA22]に分類される特許

1 - 20 / 90


【課題】ナノダイヤモンドに水素イオンやヘリウムイオンをイオン注入したナノダイヤモンドに比べて所定波長範囲内の波長の励起光に対して所定波長範囲内の波長の蛍光の光強度を大きくする。
【解決手段】ナノダイヤモンドに所定の元素がイオン注入されて形成され、波長範囲700〜900nm内の波長の励起光により励起されたときに、波長範囲700〜1400nm内の波長の蛍光を発することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】簡便な工程でありながら、1バッチで粉体に対してクラスタを均一に堆積させることが可能な粉体に対するクラスタ堆積方法を提供すること。
【解決手段】ターゲット材料からクラスタCを生成する工程と、
クラスタCの中から質量フィルタによりクラスタサイズを基準として堆積用のクラスタを選別する工程と、
担体粒子Pからなる粉体と液体との混合物を真空中に噴出させる工程と、
真空中に噴出された前記混合物中の担体粒子Pに、前記堆積用のクラスタを接触させることにより、担体粒子Pの表面上にクラスタCを堆積させる工程と、
を含むことを特徴とする粉体に対するクラスタ堆積方法。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電極触媒の製造方法に関し、直流式のスパッタリング装置を用いる際に、微細化した触媒金属をカーボン粉末の表面に担持可能な電極触媒の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内部が真空に保持された回転バレルと、該回転バレル内に配置したターゲットユニットと、該プラズマを発生可能な直流式のスパッタリング電源と、を備えたスパッタリング装置を用い、上記回転バレル内にカーボン粉末を収納すると共に、上記ターゲットユニット内に白金プレートを設置して、上記回転バレルを回転させつつ上記スパッタリング電源からのスパッタ出力を1.0kWよりも小さい値に設定して、上記白金プレートの白金を前記カーボン粉末にスパッタリングする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電極触媒の製造方法に関し、スパッタリング時に微細化した触媒金属をカーボン粉末の表面に担持可能な電極触媒の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】内部が真空に保持された回転バレルと、該回転バレル内に配置したターゲットユニットと、該ターゲットユニットに接続されプラズマを発生可能なスパッタリング電源と、を備えたスパッタリング装置を用い、上記回転バレル内に比表面積300m/g以下のカーボン粉末を収納すると共に、上記ターゲットユニット内に白金プレートを設置して、上記回転バレルを回転させつつ上記スパッタリング電源によりプラズマを発生させて、上記白金プレートの白金を上記カーボン粉末にスパッタリングする。 (もっと読む)


【課題】シール摺動部材を常用しているエアーシリンダーにおいて、Oリングが使用されている。DLC膜付ゴムにおける摺動部の摩擦係数μ0.35を0.08〜0.15程度に下げ、ドライ摺動でも使用可能な低摩擦化、長寿命化を具現化する摺動部材を提供する。
【解決手段】1例として挙げたエアーシリンダー1は、ハウジング2の内部にピストン4およびピストンロッド3が一対となりエアー室7にエアー出入口8,9から空気圧が交互に送り込まれる機構になっている。シリンダー1の機能を発揮するため、Oリング5およびOリング6がエアー漏れを防ぐように圧接挿入されている。Oリング5,6の摩擦係数を下げるためDLC膜付ゴムの膜面に電子ビーム照射をすることにより、摩擦係数の低減を実現する。 (もっと読む)


【課題】導電性が良く、光透過率の高い透明導電性超微粒子又は透明導電性薄膜を微粒子に被覆した透明導電性微粒子及びその製造方法、電気光学装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る透明導電性微粒子は、内部の断面形状が多角形を有する真空容器1を、前記断面に対して略垂直方向を回転軸として回転させることにより、該真空容器1内の微粒子3を攪拌あるいは回転させながらスパッタリングを行うことで、該微粒子3の表面に該微粒子より粒径の小さい透明導電性超微粒子又は透明導電性薄膜が被覆されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 被蒸着体にカーボン粉を用い、蒸着材としてシリコンを付着することで、カーボン粉上に均一に所定のシリコンナノ粒子を均一に付着させることができる。微粒子形成装置を提供する。
【解決手段】 攪拌容器73に収納された担持体であるカーボン粉(被蒸着体7)を攪拌しながらナノ粒子(蒸着体)のプラズマを上から照射し、カーボン粉表面に触媒金属を担持させる。この過程で、スタンプ85のアーム部89は、攪拌容器73の回転に連動して、上部開口部の縁部90の斜めに切りかけたスロープを登る。そして、最終上段まで上がったときに、段差90cで低い段差に急激に落とされて、その下部にあった被蒸着体7の塊を粉砕する。また、蒸着材料のシリコンは電気を通さないといけないため比抵抗は0.1Ωcm以下に保たないといけない。 (もっと読む)


【課題】基材表面が金属単原子層で被覆された金属単原子層被覆材料及びその製造方法を提供する。
【解決手段】親和力、融点及び蒸発温度に関して所定の関係を満たす第1の基材及び被覆金属を、金属単原子層が形成されるように密閉容器内に封入する封入工程と、密閉容器を、各被覆金属の真空での蒸発温度の最大値TMb以上、各第1の基材と各被覆金属とが反応する温度の最小値及び密閉容器の耐熱温度の内のいずれか低い方の温度以下で加熱した後、冷却し、第1の基材の表面を被覆金属からなる金属単原子層で被覆する被覆工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】少ない担持量でかつ同等の性能が得られ、付着した白金が殆ど離脱することがない燃料電池用電極を製造することができる燃料電池用電極製造装置およびその方法を提供する。
【解決手段】真空チャンバ2と、蒸着材料11の金属からなるカソード電極、トリガ電極13、アノード電極23、トリガ電源31、およびアークプラズマ発生用の並列に設けられたアーク電源32とコンデンサ33を備えた同軸型真空アーク蒸発源5と、前記同軸型真空アーク蒸発源5と対向して配置され、被蒸着体7である粉体状担体を収容する容器73と、前記容器73内で前記粉体状担体を攪拌する攪拌手段3と、前記攪拌手段3による攪拌過程で生じた前記粉体状担体の塊を粉砕するために、前記容器内の底面を叩く粉砕手段85とを有し、前記粉体状担体に前記金属を蒸着させて燃料電池用電極を製造する燃料電池用電極製造装置1及びその方法。 (もっと読む)


【課題】微粒子の表面全体に均一厚さのPVD皮膜を形成することができるようにする。
【解決手段】真空チャンバ1内に蒸着源2及びこれと一定の位置関係に保持された処理容器3を配置して、処理容器3内において微粒子にこれを運動させつつPVD皮膜を形成するようにした微粒子の皮膜形成方法において、処理容器3を、これが回転盤6の外周部に複数のバケット7を周方向に並列配置してなるものとして、回転盤表面6aの水平面12に対する角度αが1°〜75°となる傾斜状態で回転盤表面6aに直交する軸線14回りで一定方向Rに回転させることにより、上方へと回行したバケット7から回転盤表面6a上に放出された微粒子が当該表面6a上を転動しつつ流下して下方に位置するバケット7に流入するようにして、微粒子に、これが回転盤表面6a上を転動,流下する間において、PVD皮膜を形成するようにする。 (もっと読む)


【課題】結晶球の周回経路の結晶方位に対応した膜厚の膜を正確に真空成膜する。
【解決手段】真空容器21内で蒸着材料22を加熱気化させる蒸着材料放射ステップ(22,31)と、弾性表面波4を周回させる圧電性結晶球2の周回経路5が前記気化された蒸着材料22の放射ビームの照射方向と対面するように、圧電性結晶球2を回転可能に支持する支持ステップ(32,35)と、周回経路の結晶方位に従って前記回転支持ステップによる圧電性結晶球2の回転速度を変更し、周回経路上に結晶方位に依存した膜厚分布で真空成膜する成膜制御ステップ(1,5,32,34,35)とを有する球状弾性表面波素子の製造方法である。 (もっと読む)


本願は、第1基材上の収容溝に補助体を挿入して、前記補助体の第1表面は、前記収容溝に収容され、前記補助体の第2表面は、外部に露出させるステップ、前記第2表面に第1コーティング層を形成するステップ、前記第1コーティング層が形成された補助体と第2基材とを付着するステップ、前記第2基材に付着した前記第1コーティング層が形成された補助体を前記第1基材から分離して、前記第1コーティング層が形成された補助体の第1表面を外部に露出させるステップ、前記第1表面上に第2コーティング層を形成するステップ、及び前記第1コーティング層と前記第2コーティング層とが形成された補助体を前記第2基材から分離するステップを含む粒子の製造方法及びこれによって製造される粒子を提供する。 (もっと読む)


【課題】 被蒸着体の表面に塊(ダマ)を形成させずに、蒸着材を付着することができる微粒子形成装置を提供する。
【解決手段】 攪拌容器73に収納された担持体であるアルミナ粉(被蒸着体7)を攪拌しながらナノ粒子(蒸着体)のプラズマを上から照射し、アルミナ粉表面に触媒金属を担持させる。この過程で、スタンプ85のアーム部89は、攪拌容器73の回転に連動して、上部開口部の縁部90の斜めに切りかけたスロープを登る。そして、最終上段まで上がったときに、段差90cで低い段差に急激に落とされて、その下部にあった被蒸着体7の塊を粉砕する (もっと読む)


【課題】所望の光学特性を有する光学部品の製造方法及び所望の光学特性を有する光学部品を提供する。
【解決手段】第1の中心軸C1回りに旋回している中心軸であって、第1の中心軸C1に対して傾斜している第2の中心軸C2回りに球状レンズ32を旋回させながら、気相成長法により光学的機能膜33を形成する。 (もっと読む)


【課題】機能性微粒子の純度を高めつつ、機能性微粒子を含む機能膜を基材の表面に安定して形成すること。
【解決手段】開放型で不活性ガスを用いて雰囲気制御を行うヘッド24を用いて、液中の機能性微粒子4をミストジェット技術にて所望の分布で基板3上に吐出させる工程と、その後に大気圧プラズマ化学輸送法により薄膜8を成膜させる工程とを交互に繰り返す。 (もっと読む)


【課題】微粒子に付着材料を容易に蒸着することができ、さらに、回収率を高めることが可能な、複合微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子を収容する回転体と、回転体内の微粒子に遠心力を付与する遠心機と、任意の傾斜角度に回転体を可動し、回転体を支持する傾斜可動手段とを備える複合微粒子の製造装置を構成する。さらに、複合微粒子の製造装置は、回転体の回転中心から重力方向に引いた垂線よりも、微粒子が最上点から下降する回転側に回転体の回転中心から重力方向に引いた垂線と直交する水平線側に設けられている撹拌手段とを備える。 (もっと読む)


【課題】蒸着源からの蒸気を遮ることなく、試料のほぼ外周全域にわたって存在させながら、試料の外周表面の全面に蒸着膜を形成することができる蒸着装置とこの蒸着装置を用いた蒸着方法を提供すること。
【解決手段】中心軸を水平方向に向けたコイルバネ状の形状を有するホルダー2と、試料1をホルダーの内側に保持した状態においてホルダーをその中心軸の周りに回転させる回転手段とを備え、回転手段によってホルダーをその中心軸周りに回転させることにより、試料をホルダーに対して回転させ、蒸着源に対する試料の向きと姿勢を変更し、向きと姿勢を変更させながら試料の外周表面全面に前記蒸着源からの蒸気による蒸着膜を形成させる。 (もっと読む)


【課題】バイオスクリーニングにおいて標的物質を回収するために用いる構造体であって、加工性が高くまたは融点が低くかつ密度が小さなシリコンを用いて、表面積が大きくかつ磁気特性を帯びたシリコン構造体を提供する。
【解決手段】基材11と、基材11のシリコンを主成分とする表面に直接接合された二酸化珪素を主成分とする複数の繊維状突起物12とを備えたシリコン構造体10であり、繊維状突起物12に磁性体を担持させた。二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物12を互いに絡み合うように密集して形成させることにより、表面積を増大しかつ、繊維状突起物12に磁性体13を担持させることにより磁気分離が可能で高効率な回収を可能とする。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、欠陥のない有機分子膜被覆ナノ結晶粒子を提供するのみならず、これを含む有機分子膜被覆ナノ粒子の製造工程を極めて簡便にすることができた製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、ナノ結晶粒子の表面が有機分子膜にて被覆されてなる有機分子膜被覆ナノ結晶粒子であって、前記ナノ結晶粒子の表面全体が有機分子膜にて被覆されていることを特徴とし、有機分子膜被覆ナノ粒子の製造方法であって、ナノ粒子の母材となるターゲット材料を表面修飾用の有機分子液中に浸漬した状態でレーザー照射し、前記ターゲット材料から前記有機分子液中にナノ粒子を放散させ、その表面に前記有機分子を結合させることを特徴とする。
本発明は、上記の製造方法において、前記ターゲット材料が、前記レーザー照射によって放散されたナノ粒子の表面に酸化膜が生じない性質を有することを特徴とし、前記ターゲット材料が、予め表面を水素終端化されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】排ガス触媒用ナノ粒子担持方法及び排ガス触媒製造方法の提供。
【解決手段】同軸型真空アーク蒸着源1を用い、真空雰囲気中で、トリガ電極13とカソード12との間にパルス電圧を印加してトリガ放電を発生させ、カソード12とアノード11との間にコンデンサと直流電源とを接続し、360μF以上1080μF以下のコンデンサ容量にて、60〜100Vの直流放電電圧を印加して間欠的にアーク放電を誘起させ、生成される触媒金属の荷電粒子を、担体としてのアルミナ粉、ジルコニウム、又はランタノイドからなる金属の酸化物が混入されているアルミナ粉の表面に供給、蒸着せしめ、触媒金属ナノ粒子の担持された担体からなる触媒を得る。 (もっと読む)


1 - 20 / 90