【課題】従来のＡｌＣｒＮ膜よりも飛躍的に耐摩耗性を向上させることが可能な極めて実用性に秀れた切削工具用硬質皮膜の提供。
【解決手段】切削工具用基材に形成される切削工具用硬質皮膜であって、金属元素および半金属元素として少なくともＡｌ，Ｃｒ及びＢを含む窒化物若しくは炭窒化物であり不可避不純物を含む物質から成る第一皮膜層と、Ｓｉの窒化物若しくは炭窒化物であり不可避不純物を含む物質または炭窒化硼素であり不可避不純物を含む物質から成る第二皮膜層とを交互に各２層以上積層した多層皮膜層を備え、この多層皮膜層を構成する前記第一皮膜層の厚さを０．８ｎｍ〜４０ｎｍに設定し、前記第二皮膜層の厚さを０．２ｎｍ〜４ｎｍに設定し、更に、前記第一皮膜層が前記第二皮膜層の４倍以上の厚さとなるように前記第一皮膜層及び前記第二皮膜層の厚さを設定する。 （もっと読む）

【課題】メタル成膜装置のチャンバ内で防着板等の部材から堆積メタル膜の不所望な剥離を防止することができるメタル膜剥離防止構造及び当該構造を用いる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】このスパッタ装置においては、チャンバ１０内でターゲット１２の表面からスパッタされたメタル粒子が、ターゲット正面の半導体ウェーハ２２に向かうだけでなく、その周囲にも拡散または飛散して、シールド部材３０にも付着して堆積メタル膜４０を形成する。シールド部材３０は、たとえばステンレス鋼からなり、その防着表面（内壁面）にはアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるプラズマ溶射膜が形成され、このプラズマ溶射膜の表面が適度に粗面化されている。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性と耐塑性変形性とに優れる被覆切削工具及びその製造方法を提供する。
【解決手段】被覆切削工具は、微粒のWC粒子10pを硬質相とするWC基超硬合金からなる微粒層1pと粗粒のWC粒子10gを硬質相とするWC基超硬合金からなる粗粒層1gとが積層された基材1と、基材1表面に形成された被覆膜2とを具える。微粒層1pのWC粒子10pは、平均粒径1μm以下、粗粒層1gのWC粒子10gは、平均粒径が1μm以上3μm未満で、WC粒子10pよりも大きい。微粒層1pが基材表面側に配され、この上に被覆膜2が物理蒸着法により形成される。被覆膜2を構成する結晶粒20の中には、微粒層1pのWC粒子10pに直接接して成長した結晶粒20pが存在し、この結晶粒20pの粒径は、微粒層1pのWC粒子10pと同程度の大きさである。この被覆切削工具は、希ガスのイオンを用いたボンバードメント処理を基材1表面に施した後、被覆膜2を形成することで製造される。 （もっと読む）

【課題】 光学素子の反射防止層上に、光学素子の視認性を損なうことなく、耐久性の優れた防汚層を備えた反射防止層の成膜方法及び同成膜を行うための装置を提供する。
【解決手段】 基材上に反射防止層を成膜し、前記反射防止層上に、厚さ１０ｎｍ以下のＴｉＮ膜を防汚層として積層することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性の高いタッチパネル１を提供する。
【解決手段】基板２２上に透明電極膜１８を形成し、透明電極膜１８の表面に第一の金属薄膜３１を形成してから、第一の金属薄膜３１表面にスパッタリング法で第二の金属薄膜３２を形成して下部電極層３０とする。第二の金属薄膜３２を成膜する際には、スパッタリング雰囲気中に酸素ガス又は窒素ガスを導入し、導入量を増大しながら金属ターゲット６１をスパッタリングするので、第二の金属薄膜３２は表面側程酸素又は窒素の含有量が多くなり、下部電極層３０の表面の耐摩耗性が高くなる。 （もっと読む）

【課題】１以上のアスペクト比を有する多層集積回路のビア、スルーホール又はトレンチにＡｌ電気コンタクトを形成する。
【解決手段】スパッタチャンバと、堆積チャンバと、移送チャンバと、を備え、半導体基板上における薄膜層のアパーチャを充填する充填装置において、スパッタチャンバは、スパッタ堆積材料の供給源となるターゲットカソードと、半導体基板を支持するための基板位置決め部材と、ＤＣ電源装置を具備し、ターゲットカソードからスパッタされた種を生成するために使用される第１のプラズマ発生ユニットと、基板位置決め部材に接続された基板バイアスＲＦ電源装置と、ＲＦ電源装置を具備し、ターゲットカソードと基板位置決め部材との間に位置して、ターゲットカソードから前もってスパッタされた種をイオン化又は再イオン化するために使用される第２のプラズマ発生ユニットと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２４は、工具基材２２の表面に化合物層２６が設けられるとともに、窒素含有量が３〜４０at％のＣＮ層２８が外表面を構成するように最上層に設けられ、且つ、それ等の中間的な組成の化合物／ＣＮ傾斜層２７がその化合物層２６とＣＮ層２８との間に設けられており、全体の膜厚Ｄが０．０５〜２０μｍの範囲内とされているため、ＣＮ層２８により優れた耐熱性、耐摩耗性、耐溶着性が得られる一方、化合物層２６により高い付着強度が得られて剥離等が抑制され、優れたに耐久性が得られる。しかも、化合物／ＣＮ傾斜層２７が介在させられているため、ＣＮ層２８が高い付着強度で化合物層２６に付着され、硬質被膜２４全体の付着強度が高くなって耐剥離性が一層向上する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性に優れているとともに、高い付着強度が得られる高寿命の硬質被膜を提供する。
【解決手段】ドリル１０のボディ１６に設けられた硬質被膜２４は、第１化合物層２６、ＣＮ層２７、第２化合物層２８、およびＣＮ層２７がその順番で工具基材２２の表面に設けられた計４層の多層構造、或いはＣＮ層２７が外表面を構成するように更に第１化合物層２６から順番に繰り返し積層された４層よりも多い偶数層の多層構造を成しているため、最上層のＣＮ層２７により優れた耐熱性、耐摩耗性、および耐溶着性が得られる一方、工具基材２２の表面には第１化合物層２６が設けられているため高い付着強度が得られ、剥離等が抑制されて優れた耐久性が得られる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で容易且つ確実に触媒材料を均一で高密度の微粒子状態に形成し、直径が均一に制御されたムラのない高密度の炭素元素からなる線状構造体の成長を可能とする。
【解決手段】下地材料をＴｉＮとし、シリコン基板１１上に、例えばレーザーアブレーション法によりＴｉＮ微粒子１２を、直径３ｎｍ程度に設定して堆積した後、ＴｉＮ微粒子１２が堆積されたシリコン基板１１上に、例えばレーザーアブレーション法によりＣｏ微粒子１３を、ＴｉＮ微粒子１２と同等或いは小さい大きさ、ここでは直径１ｎｍ程度に設定して堆積する。 （もっと読む）

【課題】衝撃による傷が発生しない高硬度、高耐傷性でかつ腐蝕が発生しない高耐蝕性の金色色調の装飾部品を提供すること。
【解決手段】軟質基材からなる装飾部品の表面に初期層としてＨｆ、Ｔｉ、Ｚｒのうちから１種類以上の金属からなる金属層と第１の合金層を形成させ、次いで第１の変調構造層としてＨｆ、Ｔｉ、Ｚｒのうちから１種類以上の金属からなり第１の合金層とは異なる第２の合金層と、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｚｒのうちから１種類以上の金属からなり第２の合金層とは異なる第３の合金層とを交互に積層させた後に、さらに第２の変調構造層としてＡｕ合金層と、Ｈｆ、Ｔｉ、Ｚｒのうちから１種類以上の金属からなる第４の合金層とを交互に積層させて最表層がＡｕ合金層である多層積層構造の硬化層をを形成させることにより衝撃によるキズが発生しない高硬度、高耐傷性で腐蝕が発生しない高耐蝕性で金色色調の装飾部品が達成される。 （もっと読む）

【課題】反射膜と透光膜の適切な組合せにより、これらの成膜条件の変更に基づいて、様々な色相を呈することができる反射体および反射体の製造方法を提供する。
【解決手段】反射体Ｒは、基板２０と、基板２０上の窒化チタンからなる反射膜２２と、反射膜２２上の酸化チタンからなる透光膜２３と、を備え、透光膜２３の厚み、窒化チタンの組成割合、および、酸化チタンの組成割合、に基づいて、反射膜２２により反射される光の色相を変更可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＰＶＤ法により硬質薄膜が形成されるプレス用金型において、各種鋼板、特に、高張力鋼板等をプレス加工するのに好ましく用いられうる、被膜の硬度、密着性、滑り性及びビード引抜き特性に優れた、被膜の耐久性が高いプレス用金型を提供すること。
【解決手段】被加工材料をプレス加工するためのプレス用金型であって、少なくともプレス加工の際に被加工材料と接触する部分の金型母材表面にＰＶＤ法により被膜が形成されており、前記被膜が前記金型母材表面に形成されたＴｉＮ層２ａ、前記ＴｉＮ層表面に形成されるＴｉ（ＣｘＮｙ）層２ｂ（但し、ｘ+ｙ＝１，ｘ＜１で、前記ＴｉＮ層表面から遠ざかるにつれてｘが１に近づくように徐々に増大する）、及び前記Ｔｉ（ＣｘＮｙ）層表面に形成されたＴｉＣ層２ｃからなることを特徴とするプレス用金型。 （もっと読む）

【課題】物品処理装置におけるヒータ温度制御のために熱電対温度検出器を採用している場合において、熱電対温度検出器の交換を容易にし、ヒータ温度を適切に制御して被処理物を目的とする温度へ向け精度よく加熱することができるようにする。
【解決手段】ヒータ５の複数の部位に熱電対温度検出器Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を取り外し可能に取り付け、該検出器で検出される複数のヒータ温度のうちの最高温度に基づいてヒータ５を代表するヒータ代表温度を求め、ヒータ代表温度に基づいて、被処理物Ｗが所定温度へ向け加熱されるためのヒータ温度が得られるように、ヒータ電源６からヒータ５（シースヒータ５３）への通電を制御する。 （もっと読む）

【課題】鋳造すべき溶融金属によって表面にクラックやコーティング層の剥離が生じにくく、耐ヒートチェック性に優れたダイカスト金型、およびその表面処理方法を提供する。
【解決手段】溶融金属の鋳造に用いられるダイカスト金型であって、係るダイカスト金型における表面３のうち、少なくともキャビティを含む表面３に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属（例えば、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ）またはこれらの合金からなり、マイクロビッカース硬さが１０００Ｈｖ以下で且つ厚みが１〜３０μｍの第１層４と、係る第１層４の表面上に被覆され、ＩＶＡ族、ＶＡ族、ＶＩＡ族の少なくとも一種の金属との炭化物（例えば、ＴｉＣ）、窒化物（例えば、ＴｉＮ）、酸化物（例えば、Ｃｒ_２Ｏ_３）、あるいは炭窒化物（例えば、ＴｉＣＮ）からなる第２層６と、を含む、ダイカスト金型１。 （もっと読む）

【課題】金属を機械加工するため、複数の一様な層からなる被膜の耐摩耗性と多層被膜の耐久性の両方を備える工具の提供。
【解決手段】厚さ2.0〜20μｍのPVD被膜を有する被覆された切削工具であって、(Me_ｃ１、Me_ｃ２)(C、N、O)からなる厚さ1.0〜4.5μｍの第１の層と、(Me_ｄ１、Me_ｄ２)(C、N)からなる厚さ0.5〜4.5μｍの第２の層と、第１の層と第２の層の間にある(Me_ｅ１、Me_ｅ２)(C、N、O)からなる厚さ0.1〜1.0μｍの層とを備え、且つ、層に挟まれたこの層の厚さが、第１の層と第２の層のうちの薄いほうの厚さの0.5倍未満であり、層に挟まれたこの層の組成が第１の層および第２の層とは異なっている被覆された切削工具及び製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】耐浸食性コーティング組成物及びコーティング方法を含むタービンエンジン構成要素を提供する。
【解決手段】被覆されたタービンエンジン１００構成要素は、タービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２と、電子ビーム物理蒸着又はイオンプラズマカソードアーク蒸着を用いてタービンエンジン構成要素１０２、１０４、１０６、１０８、１１０、１１２の表面の少なくとも一部分上に配置された耐浸食性コーティングとを含んでいる。耐浸食性コーティングは、セラミック、サーメット、又は以上のものを少なくとも１つ含む組合せからなることができる。 （もっと読む）

【課題】母材を傷めることなく安価かつ容易に硬質皮膜コーティングを除去して硬質皮膜コーティング金属部材の再生を行うことができる硬質皮膜コーティング金属部材の再生方法を提供する。
【解決手段】ＰＶＤやＣＶＤによる硬質皮膜コーティングが施された金属部材を、ハロゲン系ガスが存在する雰囲気中において加熱保持し、表面の硬質皮膜コーティングをハロゲン化物とすることにより除去する工程を備えたことにより、従来の薬液処理に比べて大幅に短い時間で硬質皮膜コーティングを除去し、金属部品の再生を行うことができる。また、従来のようにプラズマ雰囲気ではなく、加熱雰囲気を利用するため、高価な設備が不要で極めて安価に再生処理を行うことができる。さらに、母材が超硬合金であっても従来の薬液処理のようにＣｏ溶出による母材の損傷や粗れが生じないため、再生後の金属部品の耐磨耗性等に悪影響を及ぼさない。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、高温での安定性が向上した酸化アルミニウムを含む被膜を備えた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された１以上の被膜とを備えるものであって、該被膜は、少なくとも酸化アルミニウム被膜を含み、該酸化アルミニウム被膜は、酸化アルミニウムとともにＣａを含む被膜であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 長期間にわたって優れた硬度および美的外観を保持することができる装飾品を提供すること、および前記装飾品を提供することができる表面処理方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の装飾品の表面処理方法は、基材２の少なくとも一部（２ａ）に、窒化処理または浸炭処理による硬化処理を施す工程（２ｂ）と、硬化処理が施された基材２上の少なくとも一部に下地層４０を形成する工程（２ｃ）と、下地層４０上の少なくとも一部にイオンプレーティング法により被膜３０を形成する工程（２ｄ）とを有する。下地層４０は、Ｔｉ、Ｃｒまたはこれらのうち少なくとも１種を含む合金から構成されるものである。また、被膜３０は、ＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＯ、ＣｒＮ、ＣｒＣ、ＣｒＣＮおよびＣｒＯよりなる群から選択される少なくとも１種を含む材料で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 高温であっても耐摩耗性を発揮することができ、低コストにて提供が可能な耐摩耗性皮膜を提供することを目的とする。
【解決手段】 基材３上に形成され、金属窒化物とされた表層５を備えた耐摩耗性皮膜であって、表層５上には、表層５を皮膜する最表層１０が設けられ、最表層１０は、炭素が固溶されたアルミナとされていることを特徴とする。 （もっと読む）