【課題】３個以上のリングハースに対しても均等に成膜材料を供給することができること。
【解決手段】長期間の連続運転に耐える多量の成膜材料を収容する成膜材料供給室から供給される成膜材料を成膜室内のリングハース上で蒸発させて上方を移送される基板に膜を形成させる真空蒸着装置において、前記リングハースは前記移送される基板の幅方向に３個以上並設されていて、少なくとも両端のリングハースを除く中間のリングハースには、前記成膜材料の供給量を調節可能な電磁振動フィーダにより供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、所定の有機薄膜を基板に形成するための有機物蒸着装置に関する。本発明による有機物蒸着装置は、蒸着チャンバと、前記蒸着チャンバ内に提供され、基板の処理面が下方を向くように前記基板を支持する支持部材と、前記基板の処理面に有機物を蒸発させる有機物蒸発器が設けられる蒸発器提供部と、前記有機物蒸発器の交換のために、前記蒸発器提供部に隣接して配置される蒸発器交換部と、を含む。従って、本発明による有機物蒸着装置は、有機物蒸発器の交換を自動的に行う。 （もっと読む）

本発明の1つの目的は、気化させる粒子状材料を再装填する効率的な方法を提供することである。この目的は、気化ゾーンを有する蒸着チェンバーの中に材料を供給してその材料を気化させて層を形成する方法によって達成される。改善点として、材料の汚染を防ぐために制御された環境下で材料を受け取るキャビティを規定するカートリッジを用意するステップと、そのキャビティからの材料を受け取り、受け取ったその材料を供給路に沿って気化ゾーンまで移動させるステップと、カートリッジを蒸着チェンバーに取外し可能に固定するステップを含んでいる。
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【課題】大面積の基板に対しても、シャドーマスクを用いることなく、選択的に薄膜の形成を行うことのできる成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】蒸発源１００は筒状セル１２８と、それを加熱する下側ヒータ１３４、上側ヒータ１３６を備えている。加熱板１３０は、その内側に設けたヒータ１３８により温度制御が可能となっている。加熱板１３０は、連結する材料供給部１０２から筒状セル１２８内に供給される蒸着材料を加熱し、蒸発若しくは昇華によって気化させる。加熱板１３０を筒状セル１２８内で回転させる回転機構１３２を設け温度の均一化を図っても良い。材料供給部１０２を加熱するヒータ１４０を設けて、筒状セル１２８内に供給する蒸着材料の温度を上げるようにしても良い。このような蒸発源１００により、大面積の基板に対しても均一性良く、連続して成膜することができる。 （もっと読む）

【課題】 蒸着装置に用いる原料供給装置であって、蒸着装置の成膜速度の安定性が良好となる原料供給装置、および当該原料供給装置を有する蒸着装置を提供する。
【解決手段】 被処理基板を内部に保持する処理容器と、前記処理容器に原料を蒸発あるいは昇華して供給する原料供給装置とを有し、前記被処理基板に蒸発あるいは昇華された前記原料を蒸着させる蒸着装置であって、前記原料供給装置は、前記原料を第１の温度に加熱して当該原料を蒸発あるいは昇華させて気体原料とする気体発生室と、当該気体原料の温度を前記第１の温度より低い第２の温度に調整する温度調整室と、を有することを特徴とする蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】低抵抗で光透過率が大きい酸化物透明導電膜を電子ビーム蒸着法などの各種真空蒸着法を用い連続供給システムを備えた蒸着装置で製造するにあたり、蒸着用酸化物焼結体タブレットの供給時に破損物質が発生することなく真空槽内の汚染を防止でき、連続供給システムの押上げ用ロッド軸や回転テーブルの回転軸等機構部品に破損物質が堆積することによって、スムーズな駆動に支障をきたすことの無い蒸着用酸化物焼結体タブレットを提供する。
【解決手段】連続供給システムを備えた蒸着装置を使用し真空蒸着法で成膜する時に用いる蒸着用酸化物焼結体タブレットであって、該蒸着用酸化物焼結体タブレットは略円柱形状であり、底面と側面がなす角部が、断面長さが０．７〜５ｍｍのＣ面取り形状、又は直径０．７〜５ｍｍのＲ面取り形状をなしているか、該略円柱形状の側面の十点平均粗さ（Ｒｚ）が１１０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で成膜槽内を減圧状態に維持したまま、成膜材料を成膜槽内に供給できるインライン式成膜装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも入口槽と、成膜槽と、出口槽と、基材を保持するための基材ホルダと、キャリアと、前記基材ホルダを搭載した前記キャリアを前記入口槽、前記成膜槽及び前記出口槽を順次通過するように搬送する搬送機構と、を備え、前記成膜槽が、成膜材料を蒸発させる蒸発装置を有し、前記基材ホルダが搭載されたキャリアを前記成膜槽内に位置させた状態で前記蒸発装置により成膜材料を蒸発させて前記基材に膜を形成するインライン式成膜装置において、前記搬送されるキャリアを利用して前記成膜槽内へ成膜材料を搬送し前記蒸発装置へ直接又は間接的に成膜材料を供給する成膜材料搬送機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】 蒸発源に充填できる蒸着材料の量は限られているので、ＥＬ層を成膜する際に、多数の大面積基板を連続して処理することが益々困難となっている。そこで、蒸着材料の利用効率を高め、大面積基板にも連続して蒸着することのできる成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 被膜を堆積させる基板と対向し、該基板の一表面に対応して移動可能に設けられた蒸発源と、該蒸発源に蒸着材料を供給する手段（蒸着材料供給手段）とを備えた成膜装置とする。蒸発源は、被膜を堆積する基板の一表面を走査可能とする移動手段に保持され、蒸着材料供給手段は、気流により蒸着材料の粉末を供給する方式、蒸着材料を溶媒中に溶解又は分散している原料液をエアロゾル化して供給する方式、若しくは、ロッド状、ワイヤ状、可撓性フィルムに付着した状態、粉体状の蒸着材料を機械的機構により供給する方式とする。 （もっと読む）

【課題】 電極を確実に当接させることにより安定して通電が行われ、またメンテナンスが容易に行える成膜装置を提供する。
【解決手段】 チャンバ３の内部に配設されたターンテーブル１と、ターンテーブル１に設けられたボート２と、ボート２に膜材料を供給する膜材料供給機構Ｂと、ターンテーブル１の中心軸１０１を中心とする円周上に設けられた一対の上部電極８と、ターンテーブル１が所定位置に位置するときの一対の上部電極８の下方に位置するように配置された一対の下部電極９と、一対の下部電極９の少なくとも一方を実質的に鉛直方向に保持する可動体１２と、可動体１２を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持する弾性封止体１１と、所定位置に位置する一対の上部電極８が、一対の下部電極９から離隔した位置と一対の下部電極９との間を上下するようターンテーブル１を駆動するエアシリンダ５とを備えている、成膜装置。 （もっと読む）

【課題】発熱体を構成している金属の蒸発を原因とする汚染を防ぐことで、大きな面積の酸化物薄膜をより高品質に形成できるようにする。
【解決手段】複数の絶縁柱１５１により支持板１５２に屈曲されて配設された電熱線よりなる発熱体１０５を、大気中などの高い濃度で酸素を含む雰囲気で、１１００℃程度にまで通電加熱することで、発熱体１０５の表面に構成する金属の酸化被膜が形成された状態として用いる。発熱体１０５が、鉄とクロムとアルミニウムとの合金よりなる電熱線から構成されている場合、表面には酸化アルミニウムの被膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】 真空蒸着装置における条件変更、品種変え等の過程で、ルツボの位置及びロッド状蒸着材料を供給するロッド供給装置の位置の変更調整の作業時間を大幅に短縮することができるようにすることを目的とする。
【解決手段】 真空槽１内に溶解した蒸着材料を収容するルツボ３と、ロッド状蒸着材料６を供給するロッド供給装置７とを有し、クーリングロール２を巻装走行するベースフィルム１０にこの蒸着材料を蒸着するようにした真空蒸着装置において、このルツボ３を移動するルツボ移動手段２０と、このロッド供給装置７を移動するロッド供給装置移動手段２２と、このルツボ移動手段２０及びこのロッド供給装置移動手段２２を制御する制御手段２１、２３とを設け、この制御手段２１、２３により、このルツボ３及びこのロッド状蒸着材料６を供給するロッド供給装置７をこの真空槽１の外部から位置制御できるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】 ボートの温度管理および製作を複雑化することなく、溶解した蒸発材料の濡れ広がりによる電極取付部への付着を防止して、ピンホール等の発生を抑えることができる蒸着用ボートを提供する。
【解決手段】 本発明の蒸着用ボート１１は、抵抗加熱体からなるボート本体１２と、このボート本体１２の両端部に各々設けられた電極取付部１３と、ボート本体１２の表面略中央に位置しており蒸発材料の供給を受けるキャビティ（材料受け部）１４とを備え、ボート本体１２の表面であって、キャビティ１４と電極取付部１３との間の領域に、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう方向と交差する方向に延在する複数の溝部１５を形成することにより、キャビティ１４から電極取付部１３へ向かう蒸発材料の流動を堰き止めて、蒸発材料が電極取付部１３へ到達することを規制する。 （もっと読む）

【課題】壁や他のスクリーンの設置を必要とすることなく、飛散が少しも基板に到達しない蒸発装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つの物質で複数の基板をコーティングするための蒸発装置であって、溶融区域と、蒸発区域と、溶融区域および蒸発区域の間に設けられ、両者を連結する加熱区域と、溶融区域および蒸発区域の各々を異なる温度に加熱する加熱装置とを有する少なくとも１つの坩堝を具備する蒸発装置である。加熱区域を介して溶融物質が溶融区域から蒸発区域内へ流入するようになっていて、加熱区域の温度は溶融区域の温度および蒸発区域の温度の間である。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着装置において生産性を向上させる。
【解決手段】真空蒸着装置１０は、ターゲットチャンバ１００、プロセスチャンバ２００及び飛行チャンバ３００を備える。各チャンバは相互に独立して真空を維持可能に構成されており、ターゲット１１０から発生する蒸発物質１１０ａは、各チャンバ内の空間を介して、プロセスチャンバ２００内で治具９００により回動可能に保持された基板２１０に蒸着される。この際、蒸発物質１１０ａは、スリット部２２１が形成された遮蔽板２２０によって基板２１０への到達が制限される。スリット部２２１は、治具９００が回動することによって生じる基板２１０上の角速度の相違に対応付けられ、角速度が大きい領域に対応する箇所程大きい開口面積を有しており、蒸着膜の膜特性が良好に制御される。 （もっと読む）

材料を一定速度で気化させて基板上に層を形成する方法は、気化可能で気化中に体積が変化する可能性のある柱状の材料を、その気化可能な材料の有効気化温度よりも低温に維持された温度制御領域から気化エネルギー供給源へと供給するステップと；柱の表面に一定の熱流を供給する気化エネルギー供給源を用意し、供給速度とは無関係に気化可能な材料を単位時間に一定の体積で気化させて基板上に層を形成するステップを含んでいる。
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【課題】スプラッシュが発生しても、長尺帯状基材に付着するのを防止でき、かつ、長尺帯状基材に蒸着されていない部分の発生をできるだけ少なくすることができる真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】長尺帯状基材を連続走行させる基材搬送装置3と、ルツボ4内の蒸発材料を加熱する加熱装置51,52と、蒸発材料をルツボ4に供給する蒸発材料供給装置7と、開閉シャッター6と、溶湯量検知装置81と、温度検知装置82と、制御手段9とを備える。開閉シャッター6は、長尺帯状基材とルツボ4との間に進退可能に配置され、進出位置においてルツボ4と長尺帯状基材との間を遮断して蒸発材料が長尺帯状基材に付着するのを阻止する。蒸発材料をルツボ4に供給する際には、長尺帯状基材の走行を停止し、かつ、長尺帯状基材とルツボ4との間を、開閉シャッター6で遮断する。成膜工程時は、蒸発材料のルツボ4への供給は行わない。 （もっと読む）

本発明は、真空コーティング設備用のエバポレータ（１）を備える真空処置プラントに関する。本発明によるエバポレータ（１）は、掴持方向（Ａ）に移動可能で、基部（２２）を有する蒸発ボート（３）を掴持および位置決めすることを目的とした供給ライン（４）を案内するためのデバイスを備え、上記エバポレータ（１）はさらに、上記移動可能な供給ライン（４）を上記基部（２２）に固定的に接続するための２つのスペーサ（１８、１９）を備え、それぞれの上記スペーサ（１８、１９）の一側には移動可能な供給ライン（４）が、他側には基部（２２）が配置されているため、上記第１供給ライン（４）を強制的に案内することができ、また、上記スペーサ（１８、１９）は、上記第１供給ライン（４）と上記基部（２２）の間に、上記スペーサ（１８、１９）の少なくとも小さな逸脱範囲にかけて案内方向（Ｂ）が上記掴持方向（Ａ）と本質的に平行である長さと構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器の真空状態を維持しつつハースを交換可能なハース機構及び成膜装置を提供する。
【解決手段】 ハース機構２は、成膜装置１の真空容器１０内の材料保持位置Ｂにおいて固形成膜材料Ｍａを保持するための機構である。ハース機構２は、上下方向に貫通しており固形成膜材料Ｍａを導入するための導入孔２１ａを有する複数のハース部材２１と、真空容器１０内に設けられ、複数のハース部材２１を搭載するとともに、複数のハース部材２１を材料保持位置Ｂの下方へ順次移動させるハース搭載部２２と、材料保持位置Ｂの下方において上下方向に移動可能に設けられ、ハース搭載部２２上に搭載されたハース部材２１を材料保持位置Ｂへ押し上げるハース押上げ部材２３ａと、材料保持位置Ｂの下方において上下方向に移動可能に設けられ、固形成膜材料Ｍａを押し上げる材料押上げ部材２４ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】 真空蒸着装置において生産性を向上させる。
【解決手段】 真空蒸着装置１０は、ターゲットチャンバ１００、プロセスチャンバ２００及び飛行チャンバ３００を備える。各チャンバは相互に独立して真空を維持可能に構成されており、飛行チャンバ３００は、更にターゲットチャンバ１００内の空間１０１及びプロセスチャンバ２００内の空間２０１が夫々真空に維持されている状態で真空蒸着装置１０から取り外すことが可能に構成されている。また、飛行チャンバ３００は第１〜第３飛行チャンバから構成されており、これらも相互に脱着が可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】 成膜装置において、ハースの消耗部分を容易に交換可能なハース機構及びハース交換装置を提供する。
【解決手段】 ハース機構２は、ハース２ａ、基礎部材２ｂ、及びカバー２ｃを備える。ハース２ａは、成膜材料Ｍａを挿通させるための貫通孔２１ａを有するハース基部２１と、ハース基部２１の貫通孔２１ａと連通して成膜材料Ｍａを挿通させるための貫通孔２２ａを有し、ハース基部２１上に載置されたハース先端部材２２とに分かれて構成されている。プラズマＰによる消耗はハース２ａの先端に主に発生するので、消耗したハース先端部材２２をハース基部２１から取り除き、交換用のハース先端部材２２をハース基部２１上に載置することにより、容易にハース２ａの消耗部分を交換できる。 （もっと読む）