第一のデバイスが提供される。そのデバイスはプリントヘッドを含む。更に、プリントヘッドは、第一のガス源に気密的に密閉された第一のノズルを含む。第一のノズルは、その第一のノズルの流れ方向に垂直な方向において０．５から５００マイクロメートルの最小寸法を有するアパーチャを有する。第一のノズルのアパーチャの最小寸法の５倍であるアパーチャから第一のノズル内への距離における流れ方向に垂直な最小寸法は、第一のノズルのアパーチャの最小寸法の少なくとも二倍である。
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【課題】固体原料を昇華して発生させた原料ガスを成膜装置へ供給する場合において、十分な気化量を継続して安定的に供給することができる気化器を提供する。
【解決手段】固体原料ＲＭを加熱して昇華させ、原料ガスＲを発生させる加熱部２と、加熱部２の上方に設けられ、加熱部２に固体原料ＲＭを供給する供給部１と、加熱部２で発生させた原料ガスＲを搬送するキャリアガスＣを導入するガス導入部３と、発生させた原料ガスＲをキャリアガスＣとともに導出するガス導出部４とを有する。ガス導入部３から導入されたキャリアガスＣが、加熱部２を通過する。 （もっと読む）

【課題】固体の粒子を安定的にを昇華させることが可能な気化器を有する成膜装置を提供する。
【解決手段】チャンバー内に設置された基板に、気化した第１の物質と気化した第２の物質とを供給し反応させることにより前記基板上に第３の物質の膜を形成する成膜装置において、常温では固体である前記第１の物質を気化させて供給するための気化器を有しており、前記気化器は、前記第１の物質の粒子を供給するための供給部と、前記供給部の下部に設けられた段部を有する傾斜状の加熱部と、を有し、前記第１の物質の粒子は、前記段部を有する傾斜状の加熱部において気化されるものであることを特徴とする成膜装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】低コストでかつ安定に成膜をすることができる成膜方法および成膜装置を提供すること。
【解決手段】薄膜の原料の固体を溶融して融液５１ａとし、融液５１ａを凝固させて棒状体を形成し、棒状体５１ｂを引き出す。棒状体５１ｂを溶融させずに保温又は加温しつつ搬送する。棒状体５１ｂの一部を溶融させて、蒸発源５１ｄに供給する。蒸発源５１ｄを加熱して蒸発させた蒸発粒子を基板に堆積させることで基板上に薄膜を形成する。以上の工程を、真空槽内で行う。 （もっと読む）

【課題】保守管理を容易に行うことができる蒸発装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料１を貯蔵するホッパ１１４と、内径を上方側ほど拡げるように円錐状に開口させた接続口部１１２ａを上端側に有する第一の接続管１１２と、第一の接続管１１２の下方側とホッパ１１４とを接続する連絡管１１３と、外径を下方側ほど狭めるように円錐状に形成されて第一の接続管１１２の接続口部１１２ａに着脱可能に嵌合する接続口部１１５ａを下端側に有する第二の接続管１１５と、第二の接続管１１５の上端側に接続された坩堝１１６と、坩堝１１６を加熱する電熱ヒータ１１８と、坩堝１１６と共に電熱ヒータ１１８を包囲する冷却ジャケット１２０と、第一の接続管１１２の接続口部１１２ａを冷却する冷却コイル１２１と、前記接続管１１２，１１５内に回転可能に配設されたスクリュシャフト１２２とを備えて蒸発装置１００を構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は基材の両面に加工を行う場合に、電子ペーパーや有機ＥＬなどのＦＰＤ向けとして好適に用いることができる透明なガスバリア性積層フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明なプラスチックフィルムからなる基材層１−１の両面上に、一方の面上にアンカーコート層２−１とガスバリア層３−１を順次積層し、もう一方の面上にアンカーコート層２−２とガスバリア層３−２を順次積層してなるガスバリア性積層フィルムにおいて、前記アンカーコート層を、フラッシュ蒸着法を用いて重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を前記基材層上に成膜し、紫外線または電子線を照射して硬化させて形成することを特徴とするガスバリア性積層フィルムの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 充填容器内の液体材料の液量を正確に管理し、過充填を防止でき、かつ定期的な一定量の補充を行うことができる充填容器内の液体材料の供給装置および該液体材料の供給装置における充填容器内の液面管理方法を提供すること。
【解決手段】 充填容器１内の液体材料が搬送ガスに同伴して供給される液体材料の供給装置において、充填容器１の上部に配設され一定量の内容積を有する定量供給器２と、一端が定量供給器２の下部と接続され、他端が充填容器１内の液体材料の液層内に浸される配管Ｌａと、一端が定量供給器２の上部と接続され、他端が充填容器１内にあり配管Ｌａの他端よりも上部に位置する配管Ｌｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】材料容器から放出口まで連なる輸送管温度の影響が、輻射あるいは伝導により材料容器に及ぶことにより、材料容器への材料補充や交換のための装置停止期間が長時間に及び、装置の稼動効率が低下するのを防ぐ。
【解決手段】材料容器１０において気化した成膜材料を放出口２０へ輸送するための輸送管１４と材料容器１０の間は、材料容器１０を輸送管１４から取り外し交換可能とする連結部１３によって接続されている。輸送管１４を加熱する加熱手段を複数に分割し、連結部１３の近傍の輸送管１４の温度を残りの部位から独立して制御するための連結部加熱手段１６を設ける。材料容器交換等のために成膜を停止するときは、材料容器加熱手段１１及び連結部加熱手段１６を輸送管加熱手段１５より先に停止する。 （もっと読む）

【課題】真空中、長尺基板上に薄膜を形成する薄膜形成法において、長時間安定して、薄膜形成の可能なように、棒状の供給材料を先端より順次溶解して供給する安定した材料供給を提供する。
【解決手段】薄膜を形成するための棒状材料３２を薄膜形成源上方まで搬送し、前記薄膜形成源の上方で溶解し、溶解した液滴１４を薄膜形成源に滴下するにあたり、棒状材料３２として、棒の軸方向に垂直な断面において材料強度に異方性があるシリコン材料を用いる。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下を抑えつつ組成の異なる合金薄膜を形成可能なスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】スパッタリング装置１０は、外部より低圧な雰囲気に維持可能なチャンバ１２と、チャンバ１２内で基材１４を保持する保持部１６と、保持部１６で保持された基材１４に周面が対向するように設けられた回転可能な回転陰極１８であって、表面のターゲット材料をスパッタリングするための電力が供給される筒状の回転陰極１８と、回転陰極１８の表面に金属材料を供給可能な複数の補助陰極３２０，３３０と、を備える。複数の補助陰極３２０，３３０は、互いに異なる金属材料を回転陰極１８の表面に供給する。 （もっと読む）

【課題】成膜材の物性との違いに関わらずドーピング材を自由に選択可能なイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、プラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、プラズマビームＰが照射されるハース５と、ハース５に電気的に接続され、ハース５に近接配置されたタブレット２１を支持する導電性のタブレット支持棒２５とを備え、ハース５の真空チャンバ３内における露出面にはタブレット２１と共に気化されてドーピングされるドーピング材２２が支持され、ハース５およびタブレット２１に対する通電量を調整可能な構成とした。 （もっと読む）

本発明の教示内容は、ＯＬＥＤや他の種類のディスプレイ装置の一部を成す１以上の基材の上に、１以上の材料（例えば、１種以上の固体など、１以上の薄膜）を積層するための装置および方法に関する。いくつかの実施の形態での開示内容は、１以上の基材の上にインクを積層するための装置および方法に関する。こうした装置には、例えば、インクを格納する１以上のチャンバと、１以上のチャンバ内にあってインクの液滴を噴射するように構成された複数の開口部と、例えば矩形配列の形を取る微細孔配列を有する放出ノズルと、を有し、各微細孔は入口ポートと出口ポートと有し、放出ノズルはチャンバから開口部を介して入口ポートで複数のインク液滴を受け取り、出口ポートから放出する。インク液滴は、放出ノズルの入口ポート上に間隔をあけて定められた固有の位置で受け取られる。いくつかの実施の形態では、複数（例えば３つ）の開口部を有する単一の液体インク格納チャンバが、複数の粒子が懸濁した液体の状態のインクを受け取り、インク液滴はチャンバからほぼ同時に、放出ノズル上の間隔をおいた別々の位置に向けて放出され、放出ノズルはキャリア液を蒸発させてから、固体の粒子を１以上の基材に積層する。 （もっと読む）

【課題】成膜材の物性との違いに関わらずドーピング材を自由に選択可能なイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、プラズマガン４と、プラズマビームＰが照射されるハース５とを備え、ハース５は、タブレット２１を真空チャンバ３の内部に露出するように配置する凹部２４ａと、真空チャンバ３の内部における露出面において成膜時にドーピングされるドーピング材２２を支持する環状溝２３ｂとを有し、ハース５の露出面のうちプラズマビームＰが照射される被照射面の面積により、ハース５の被照射面における電流密度を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固体原料を加熱して蒸発させて成膜用の原料ガスを得るにあたって、熱による劣化や変質を抑えながら長時間に亘って安定した量の原料ガスを得ること。
【解決手段】固体原料を貯留する粉体貯留部と、この粉体貯留部から供給される固体原料を溶融させて液体原料を得る粉体受け入れ室と、この粉体受け入れ室から取り出した液体材料を気化させることにより原料ガスを得る気化室と、を設けて、気化室では成膜処理に必要な生成量となるように液体材料に大きな熱量を加えて原料ガスを発生させる一方、粉体受け入れ室では固体原料が溶融できる程度の小さな熱量を加えて熱劣化を抑えながら液体原料を得て、この液体原料を粉体受け入れ室から気化室に向かって通流させる。 （もっと読む）

【課題】室内の気密を保持しながら成膜材料を補充する材料供給装置を提供する。
【解決手段】材料供給装置１００は、有機材料３０５が収納された材料容器３００と、材料容器３００を投入する材料投入室１１０と、蒸着源ヘッド２００ａに連結された連結管１２０ｂの内部通路と連通し、その連通した部分を材料気化部として、投入された材料容器３００を材料気化部まで搬送させる搬送路１２０ａを有し、材料気化部にて気化された有機分子を連結管１２０ｂの内部通路を介して蒸着源ヘッド２００ａに向けて送り出す材料輸送室１２０と、材料輸送室１３０から材料容器３００を取り出す材料取出室１３０と、を有する。材料投入室１１０と材料輸送室１２０と材料取出室１３０とは、それぞれ所望の減圧状態に維持されている。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内における膜材の突出長を一定に維持して、安定した成膜レート及び良好な膜質で成膜できるイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、真空チャンバ３内にプラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、真空チャンバ３内においてプラズマビームＰが照射されるハース５と、ハース５に収容された成膜用のタブレット２１を真空チャンバ３内に露出するように支持するタブレット支持棒２５と、タブレット支持棒２５を介してタブレット２１を真空チャンバ３内に押し出す駆動機構９と、真空チャンバ３内に突出したタブレット２１の突出方向における先端面の少なくとも一部に接触する接触部３７を有し、接触部３７をタブレット２１の先端面に当接させてタブレット２１の先端面を所定位置に位置規制する位置規制部とを備えた。 （もっと読む）

基板上に薄膜を堆積するための方法及びシステムは、基板上方に位置付けた蒸気供給流源からの蒸発可能材料を導入することを含む。蒸発可能材料は蒸発され、蒸気供給流源から蒸気供給流として基板から離れる方向に向けられる。蒸気供給流は、リディレクタから基板の方へ向きなおされて、基板上に薄膜として堆積される。 （もっと読む）

【課題】ホッパーからの材料供給が変化しても安定した成膜材料の供給が可能な簡単な構成の成膜装置の成膜材料供給装置を提供する。
【解決手段】材料ホッパー４１と、材料フィーダー４３と、制御板４８を備える成膜材料供給装置４０であって、材料ホッパー４１は、内部に収納した成膜材料２２を材料フィーダー４３に供給し、材料フィーダー４３は、材料ホッパー４１からの成膜材料２２を受け且つ内壁面４３ｄに螺旋溝４３ｅを有する円筒体４３ｃを備え、螺旋溝４３ｅを回転させることで円筒体４３ｃ内の成膜材料２２を、材料フィーダー４３の上端部４６ａにまで搬送の上、材料フィーダー４３外に排出し、制御板４８は、材料フィーダー４３の上端部４６ａから排出される成膜材料２２の排出量を制御している。 （もっと読む）

粒子材料を計量し、気化するための装置１９０が、粒子材料を計量するための計量デバイスであって、粒子材料を受け取るための貯蔵室２３０と、第１の開口部及び第２の開口部を有するハウジング２４０と、内部容積２５０内に配置され、滑らかな表面と、外周溝とを有する回転シャフト２７０と、貯蔵室内に配置され、粒子材料を流動化し、該粒子材料を貯蔵室から外周溝内に移送するために回転可能シャフトと協働する、複数の棒を有する回転するアジテーター２９０とを備え、粒子材料が溝によって移送されるように協働し、スクレーパーが、その中に保持される粒子材料を取り除き、計量された量の粒子材料を、前記第２の開口部を通して送達するように溝と協働し、構造が、第２の開口部において粒子材料を流動化する、計量デバイスと、計量された粒子材料を受け取り、フラッシュ蒸発させるフラッシュ蒸発器２１０とを備える。
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【課題】蒸着材料が劣化しにくい真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】本発明の真空蒸着装置１は、真空槽１１とボックス２１とを有しており、真空槽１１はボックス２１に通路１４を介して接続されている。交換用の蒸着容器３１ｂは内部空間が蓋３３で密閉されている。蓋３３は、蒸着容器３１ｂをボックス２１内部に搬入し、該内部空間が不活性ガスで置換されてから開けられるので、有機材料３２が劣化しない。蒸着容器３１ｂはボックス２１に挿入されたグローブ３６で把持され、真空槽１１内部を移動する。 （もっと読む）